KR20030068412A

KR20030068412A - 실린더 장치

Info

Publication number: KR20030068412A
Application number: KR10-2003-0008015A
Authority: KR
Inventors: 요네자와케이타로; 요시무라가쿠
Original assignee: 가부시키가이샤 코스멕
Priority date: 2002-02-13
Filing date: 2003-02-08
Publication date: 2003-08-21
Also published as: ATE280013T1; EP1336450B1; EP1336450A3; TWI260253B; DE60300095T2; JP2003307205A; US20030150323A1; KR100915754B1; DE60300095D1; CN1438091A; CN1248823C; TW200302766A; US6761103B2; JP3881589B2; EP1336450A2

Abstract

워크 서포트에 알맞은 실린더 장치를 제공한다.

록(Lock)용의 제1 실린더(20)의 제1 피스톤(22)은, 작동실(23)의 압축공기가 록 개시압력을 초과했을 때에 록 하강함과 동시에 릴리스 개시압력으로 저하했을 때에 제1 스프링(24)에 의해 상승한다. 진퇴용의 제2 실린더(32)는, 제2 피스톤(35)의 하측에 형성한 입구실(41)과, 동상(同上)의 제2 피스톤(35)의 상측에 형성한 출구실(45)과, 상기의 제2 피스톤(35)을 하강시키는 제2 스프링(46)을 구비한다. 상기의 작동실(23)을 상기의 출구실(45)을 거쳐 외기에 연통시켜, 그 작동실(23)에서 외기에 도달할 때까지의 사이에 제한통로(37)를 설치한다. 상기의 작동실(23)을 연통구멍(62)에 의해 상기의 입구실(41)과 상기의 출구실(45)과의 한쪽에 연통시킨다.

Description

실린더 장치{CYLINDER ASSEMBLY}

본 발명은, 예컨대 공작기계용 워크 서포트(Work Support)에 이용하는데 알맞은 실린더 장치에 관한 것이다.

예컨대, 본 발명자가 제안한 일본국·특개평 10-146733호 공보(또는, 그 일본 공보에 대응하는 미국특허 제5,979,267)에 나타난 바와 같이, 종래의 워크 서포트용 실린더 장치는, 작업용으로서 하나의 실린더만을 구비하고 있었다.

또, 이 종류의 실린더 장치로서 본 발명자가 알고 있는 것으로는, 작업용 실린더와 진퇴(進退)용 실린더 2개의 실린더를 구비하여, 다음과 같이 작동하는 것이 있다.

록(Lock) 작동시에는, 먼저 진퇴용 실린더의 진퇴용 피스톤을 상승시켜, 진출스프링의 부세력(付勢力)에 의해 서포트 로드(Support Rod)를 워크피스(Workpiece)에 맞닿게하고, 그후, 그 상위 위치의 서포트 로드를 작업용 실린더에 의해 끼워 고정한다. 또, 릴리스 작동시에는, 먼저 작업용 실린더에 의한상기의 끼움고정상태를 해제하고, 그후, 상기의 진퇴용 피스톤을 하강시켜, 그 진퇴용 피스톤이 상기의 진출스프링의 부세력에 저항하여 상기 서포트 로드를 하강시키는 것이다.

상기의 2개의 실린더를 구비한 기술에서는, 상기 서포트 로드의 끼움고정상태를 해제했을 때에, 상기의 진출스프링의 부세력에 의해 상기 서포트 로드가 상기 워크피스를 밀어 올린다는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 상기와 같은 문제점을 해소할 수 있는 실린더 장치를 제공하는데 있다.

도1은 본 발명의 제1 실시예를 나타내고, 실린더 장치를 적용한 워크 서포트의 입면시의 단면도,

도2의 도2A에서 도2F는, 상기 워크 서포트를 록(Lock) 구동할 때의 작동 설명도,

도3의 도3A에서 도3F는, 상기 워크 서포트를 릴리스(Release) 구동할 때의 작동 설명도,

도4는 본 발명의 제2 실시예를 나타내고, 상기 워크 서포트의 입면시의 단면도로서, 상기의 도1에 유사한 도면,

도5는 상기 워크 서포트에 설치한 제2 피스톤의 상승상태를 나타내고, 상기의 도4중의 부분도에 유사한 도면,

도6은 상기의 제2 피스톤의 하강 도중의 상태를 나타내고, 상기의 도5에 유사한 도면이다.

(부호의 설명)

20제1 실린더

21제1 실린더 구멍

22제1 피스톤

23작동실

24제1 스프링

32제2 실린더

33제2 실린더 구멍

34로드(Rod)구멍

35제2 피스톤

36피스톤 로드

37제한통로(환상간극)

40제2 실린더 구멍(33)의 제1 단벽(하부단벽)

41입구실

44제2 실린더 구멍(33)의 제2 단벽(상부단벽)

45출구실

46복귀수단(제2 스프링)

47차폐부

48밸브자리

49밸브면

51조작구(조작볼트)

61전환수단

62연통구멍

65씰링(Sealing)부재

66제한통로

67끼워맞춤간극

K유동저항 부여수단

P1제1 설정압력

P2제2 설정압력

상기의 목적을 달성하기 위해, 청구항 1의 발명은, 예컨대, 도1과 도2A에서 도2F 및 도3A에서 도3F, 또는 도4에서 도6에 나타내는 바와 같이, 실린더 장치를 다음과 같이 구성한 것이다.

작업용의 제1 실린더(20)와 진퇴용의 제2 실린더(32)를 구비하고,

상기 제1 실린더(20)는, 작동실(23)의 가스압력이 제1 설정압력(P1)을 초과했을 때에 록(Lock) 작동함과 동시에, 상기 작동실(23)의 가스압력이 상기의 제1 설정압력(P1)보다도 낮은 제2 설정압력(P2)으로 저하했을 때에 릴리스(Release) 작동이 가능하게 구성하며,

상기의 제2 실린더(32)는, 제2 실린더 구멍(33)에 끼워진 제2 피스톤(35)과, 상기 제2 실린더 구멍(33)의 제1 단벽(40)과 상기의 제2 피스톤(35)과의 사이에 형성되어 압력가스가 공급·배출되는 입구실(41)과, 상기 제2 실린더 구멍(33)의 제2 단벽(44)과 상기의 제2 피스톤(35)과의 사이에 형성된 출구실(45)과, 상기 제2 피스톤(35)을 상기의 제1 단벽(40)을 향해 후퇴시키는 복귀수단(46)을 구비하고,

상기의 작동실(23)을 상기의 출구실(45)을 거쳐 외기에 연통시켜, 그 작동실(23)에서 외기에 도달할 때까지의 사이에 유동저항 부여수단(K)을 설치하며,

상기 작동실(23)을 상기의 입구실(41)과 상기의 출구실(45)로 전환하여 연통시키는 전환수단(61)을 설치하고, 그 전환수단(61)은 상기 제2 피스톤(35)의 진출이동의 초기부터 후기에는 상기의 작동실(23)을 상기의 출구실(45)에 연통시키며, 그것에 대하여, 상기의 제2 피스톤(35)의 진출이동의 종기(終期)에는 상기의 작동실(23)을 상기의 입구실(41)에 연통시키는 것이다.

상기의 청구항 1의 발명은, 예컨대 도2A에서 도2F와, 도3A에서 도3F에 나타내는 바와 같이, 다음과 같이 작용한다.

록 작동시에는, 상기의 입구실(41)로 압축공기 등의 압력가스를 공급한다. 그러면, 그 입구실(41)의 압력(M)이 도2F중의 실선도에 나타내는 바와 같이 상승하는데 비해, 상기의 작동실(23)의 압력(N)은, 상기의 전환수단(61)의 작용에 의해, 도2F중의 파선도에 나타내는 바와 같이 상기의 입구실(41)의 압력(M)의 상승보다도 늦게 상승한다. 이 때문에, 먼저 도2A에서 도2D에 나타내는 바와 같이, 상기의 입구실(41)의 압력에 의해 상기의 제2 피스톤(35)(및 상기의 제2 피스톤(35)에 연결한 조작구(51))이 상승하고, 그후, 상기의 작동실(23)의 압력(N)이 상기의 제1 설정압력(P1)보다도 높게 되어, 도2E에 나타내는 바와 같이 상기의 제1 실린더(20)의제1 피스톤(22)이 록측으로 진출한다.

또, 릴리스 작동시에는, 상기의 입구실(41)의 압력가스를 외부로 배출한다. 그러면, 그 입구실(41)의 압력(M)이 도3F중의 실선도에 나타내는 바와 같이 하강하는데 비해, 상기의 작동실(23)의 압력(N)은, 상기의 유동저항 부여수단(K)의 작용에 의해, 도3F중의 파선도에 나타내는 바와 같이 상기의 입구실(41)의 압력(M)의 하강보다도 늦게 하강한다. 이 때문에, 먼저 도3A에서 도3D에 나타내는 바와 같이, 상기의 복귀수단(46)에 의해 상기의 제2 피스톤(35)(및 조작구(51))이 하강하고, 그후, 상기의 작동실(23)의 압력(N)이 상기의 제2 설정압력(P2)보다도 낮게 되어, 도3E에 나타내는 바와 같이 상기의 제1 피스톤(22)이 릴리스측으로 후퇴한다.

따라서, 상기의 청구항 1의 발명은 다음의 효과를 나타낸다.

록(Lock)시에는, 진퇴용의 제2 실린더의 제2 피스톤을 진출시킨 후에 제1 실린더를 록 작동시킬 수 있으며, 릴리스시에는, 상기의 제2 피스톤을 후퇴시킨 후에 상기의 제1 실린더를 릴리스 작동할 수 있다.

이 때문에, 예컨대 본 발명을 워크 서포트에 적용한 경우에는, 상기의 릴리스시에 전술한 진출스프링 등의 진출수단에 의해 상기 서포트 로드가 워크피스를 밀어 올리는 것을 방지할 수 있다.

본 발명은, 청구항 2에 나타내는 바와 같이, 다음과 같이 구성하는 것이 바람직하다.

상기의 제2 실린더 구멍(33)의 주면(周面)에, 상기의 작동실(23)을 상기의 제2 실린더 구멍(33) 안으로 연통시키는 연통구멍(62)을 개구시켜, 그연통구멍(62)의 개구부와 상기의 제2 피스톤(35)의 외주면에 의해 상기의 전환수단(61)을 구성한다.

상기의 청구항 2의 발명은, 상기의 전환수단(61)을 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

본 발명은, 청구항 3에 나타내는 바와 같이(도4에서 도6을 참조), 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 주면과 상기의 제2 피스톤(35)의 외주면과의 사이에 씰링(Sealing)부재(65)를 개재시키는 것이 바람직하다.

상기의 청구항 3의 발명은, 상기의 입구실에 공급한 압력가스가 상기의 출구실로 누설되는 것을 상기의 씰링부재에 의해 확실하게 방지할 수 있다. 이 때문에, 상기의 압력가스의 공급시에, 그 압력가스가 상기의 출구실에서 외기로 누설되는 것을 방지할 수 있으며, 압력가스의 소비량이 적게 된다. 또, 그 압력가스의 공급시에, 상기의 누출한 압력가스가 실린더 장치의 구성 부재에 어떠한 오작동을 발생시키는 것도 방지할 수 있다.

본 발명은, 청구항 4에 나타내는 바와 같이 (도4에서 도6을 참조), 상기의 제2 피스톤(35)의 외주면에 상기의 씰링부재(65)를 장착하여, 그 씰링부재(65)에 의해 상기의 전환수단(61)의 일부분을 구성하는 것이 바람직하다. 이 청구항 4의 발명은, 작동이 확실하고 간소한 구성의 전환수단을 제공할 수 있다.

본 발명은, 청구항 5에 나타내는 바와 같이(도4에서 도6을 참조), 상기의 연통구멍(62)에 제한통로(66)를 설치하여, 그 제한통로(66)에 의해 상기의 유동저항 부여수단(K)의 적어도 일부분을 구성하는 것이 바람직하다. 이 청구항 5의 발명은,상기의 유동저항 부여수단을 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

본 발명은, 청구항 6에 나타내는 바와 같이(도4에서 도6을 참조), 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 주면과 상기의 제2 피스톤(35)의 외주면과의 사이의 끼워맞춤간극(67)에 의해 상기의 유동저항 부여수단(K)의 적어도 일부분을 구성하는 것이 바람직하다. 이 청구항 6의 발명은, 상기의 유동저항 부여수단을 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

본 발명은, 청구항 7에 나타내는 바와 같이(도1을 참조), 다음과 같이 구성하는 것이 바람직하다.

상기의 출구실(45)에, 그 출구실(45)보다도 지름이 작은 로드구멍(34)을 직렬로 연통시켜, 그 로드구멍(34)에, 상기의 제2 피스톤(35)에 연결한 피스톤 로드(36)를 소정의 환상간극(37)을 두고 삽입하고, 그 환상간극(37)에 의해 상기의 유동저항 부여수단(K)의 적어도 일부분을 구성한다.

상기의 청구항 7의 발명은, 상기의 유동저항 부여수단을 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

본 발명은, 청구항 8에 나타내는 바와 같이(도1과 도2D와 도3B를 참조), 상기의 제2 피스톤(35)의 진출이동의 종기(終期)에 상기의 출구실(45)과 외기와의 연통을 차단하는 차폐부(47)를 설치하는 것이 바람직하다. 이 청구항 8의 발명은, 그제2 피스톤의 진출이동의 종기에, 상기의 입구실과 상기의 작동실에 공급된 압력가스가 외기로 누출하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

본 발명은, 청구항 9에 나타내는 바와 같이(도1과 도2D와 도3B를 참조), 상기의 차폐부(47)를 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 상기의 제2 단벽(44)에 설치된 밸브자리(48)와, 상기의 제2 피스톤(35)에 설치된 밸브면(49)에 의해 구성하는 것이 바람직하다. 이 청구항 9의 발명은, 상기의 차폐부를 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

(발명의 실시형태)

도1과 도2A에서 도2F 및 도3A에서 도3F는, 본 발명의 제1 실시형태를 나타내고 있다. 이 제1 실시형태에서는, 본 발명의 실린더 장치를 공압식의 워크 서포트에 적용한 경우를 예시하고 있다. 먼저, 도1의 입면시의 단면도에 의해 상기 워크 서포트의 구조를 설명한다.

워크 팰릿(Work Pallet)(1)의 수용구멍(1a)에 워크 서포트(2)의 하우징(Housing)(3)이 기밀상태로 나사 결합된다. 그 하우징(3)은 상부단벽(4)과, 하부단벽을 구성하는 하부블록(5)과, 몸통부분(6)을 구비한다. 상기 하우징(3) 내에 서포트 로드(8)가 상하방향으로 이동 자유롭게 삽입된다. 그 서포트 로드(8)의 상부에는, 워크피스(W)에 맞닿는 푸시볼트(Push Bolt)(9)가 설치된다.

상기 서포트 로드(8)의 외주면의 하반부분에 끼움고정영역(R)이 설치되어, 그 끼움고정영역(R)에 통형태의 콜릿(Collet)(11)이 밖에서 끼워진다. 이 콜릿(11)은 위쪽으로 좁아지는 테이퍼 외주면(12)을 구비하고, 상하방향으로 연장하는 1개의 슬릿(Slit)(13)에 의해 탄성적으로 지름이 수축되도록 되어 있다. 상기 콜릿(11)의 외주측에 환상(環狀)의 전동구(15)가 배치되고, 그 전동구(15)의 테이퍼 내주면(16)이 상기의 콜릿(11)의 테이퍼 외주면(12)에 상측부터 대면된다.

상기 테이퍼 외주면(12)과 테이퍼 내주면(16)과의 사이에 형성한 환상테이퍼 간극(17)에는 다수의 볼(18)이 삽입되어 있다.

작업용의 제1 실린더(20)는, 상기 하우징(3)의 상기의 몸통부분(6)의 내주에 형성한 제1 실린더 구멍(21)과, 그 제1 실린더 구멍(21)과 상기의 전동구(15)와의 사이에 삽입한 환상의 제1 피스톤(22)과, 그 제1 피스톤(22)을 하강시키는 작동실(23)과, 상기의 제1 피스톤(22)을 상승시키는 제1 스프링(24)을 구비한다. 그 제1 스프링(24)은, 상기의 전동구(15)의 하측의 스프링실(25)에 장착되어 있다.

보다 자세하게 말하면, 상기의 제1 피스톤(22)의 상부가 씰링부재(26)에 의해 상기의 상부단벽(4)에 기밀상태로 가이드(Guide)됨과 동시에, 동상의 제1 피스톤(22)의 하부가 다른 씰링부재(27)에 의해 상기의 하부블록(5)에 기밀상태로 가이드되어 있다. 그리고, 상기의 작동실(23)에 압축공기를 공급하는 것에 의해, 상기의 제1 피스톤(22)의 상단에 형성한 대면적의 환상수압면에 아래쪽으로 힘이 작용함과 동시에, 상기의 제1 피스톤(22)의 하단에 형성한 소면적의 환상수압면에 위쪽으로 힘이 작용하여, 이들 상하의 힘의 차이에 의해 상기의 제1 피스톤(22)이 하강한다.

상기의 제1 스프링(24)은, 여기서는 압축코일 스프링으로 이루어지며, 상기의 전동구(15)의 하부면에 장착한 상부 스프링 리테이너(Retainer)(29)와 상기 콜릿(11)의 하단에 장착한 하부 스프링 리테이너(30)와의 사이에 장착되어 있다. 또한, 상기의 상부 스프링 리테이너(29)가 상기의 다수의 볼(18)을 받아내고 있다. 또, 상기의 제1 스프링(24)의 부세력이 상기의 하부 스프링 리테이너(30)를 통해서 상기 콜릿(11)의 하단을 상기의 하부블록(5)에 맞닿게 하고 있다.

상기의 하부블록(5) 내에 진퇴용의 제2 실린더(32)가 설치된다. 그 제2 실린더(32)는 다음과 같이 구성되어 있다.

상기의 하부블록(5)에 지름이 큰 제2 실린더 구멍(33)과 지름이 작은 로드구멍(34)이 위쪽으로 직렬로 연통된다. 상기의 제2 실린더 구멍(33)에 제2 피스톤(35)이 끼워짐과 동시에, 상기 로드구멍(34)에 피스톤 로드(36)가 소정의 환상간극(제한통로)(37)을 두고 삽입된다. 그 환상간극(37)이 유동저항 부여수단(K)의 적어도 일부분을 구성하고 있다.

또한, 상기의 환상간극(37)은, 여기서는 상기의 제2 실린더 구멍(33)과 제2 피스톤(35)과의 끼워맞춤간극보다도 큰 간극으로 형성하고 있지만, 그 피스톤 끼워맞춤간극 이하의 작은 간극이라도 상관없다.

또, 여기서는 상기의 제2 피스톤(35)과 상기 피스톤 로드(36)와의 양자를 일체로 구성하고 있지만, 이들 양자를 별체로 구성해도 좋다.

상기의 제2 실린더 구멍(33)의 하부단벽(제1 단벽)(40)은, 여기서는 상기의 수용구멍(1a)의 바닥벽에 의해 구성되어 있으며, 그 하부단벽(40)과 상기의 제2 피스톤(35)과의 사이에 입구실(41)이 형성된다. 그 입구실(41)에 압축공기의 급배구(42)가 연통된다. 또, 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 상부단벽(제2단벽)(44)과 상기의 제2 피스톤(35)과의 사이에 출구실(45)이 형성된다. 그 제2 피스톤(35)을 아래쪽으로 후퇴시키는 제2 스프링(복귀수단)(46)이 상기 로드구멍(34)의 상부단벽과 상기 피스톤 로드(36)와의 사이에 장착된다. 그 제2 스프링(46)은, 여기서는 압축코일 스프링에 의해 구성되어 있다.

상기 제2 피스톤(35)의 진출이동의 종기에 상기의 출구실(45)과 상기의 환상간극(37)과의 연통을 차단하는 차폐부(47)가 설치된다. 그 차폐부(47)는, 여기서는 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 상기의 상부단벽(44)에 설치한 밸브자리(48)와, 상기의 제2 피스톤(35)의 상부단면에 설치한 밸브면(49)에 의해 구성되어 있다.

또한, 상기의 밸브면(또는 밸브자리(48))을 상기 제2 피스톤(35)(또는 상기의 상부단벽(44))에 장착한 씰(Seal)부재(도시하지 않음)에 의해 구성하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 씰부재에 의해 상기의 차폐부(47)의 밀폐기능을 향상시킬 수 있다.

상기의 로드구멍(34) 내에 조작볼트(조작구)(51)가 삽입되며, 그 조작볼트(51)의 다리부가 상기 피스톤 로드(36)에 나사 결합된다. 그 조작볼트(51)의 머리부(52)가 상기 서포트 로드(8)의 피계합부(8a)에 상측에서 걸어맞춤된다. 또, 상기의 조작볼트(51)의 머리부(52)와 상기의 푸시볼트(9)와의 사이에, 상기 서포트 로드(8)를 위쪽으로 부세하는 진출스프링(진출수단)(53)이 장착된다. 그 진출스프링(53)은, 여기서는 압축코일 스프링에 의해 구성되어 있다.

또한, 상기의 환상간극(37)은, 상기 로드구멍(34) 내와, 상기의 하부블록(5)의 위쪽 측부의 연통홈(55)과, 상기 스프링실(25) 내와, 상기의 하부블록(5) 내의종(縱)구멍(56)과 상기 워크 팰릿(1)의 배기구멍(57)을 순서대로 거쳐 외기에 연통되어 있다.

또한, 상기의 작동실(23)을 상기의 입구실(41)과 상기의 출구실(45)과의 한쪽에 연통시키는 전환수단(61)이 설치된다. 보다 자세하게 말하면, 상기의 작동실(23)과 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 상부와의 사이에 연통구멍(62)이 형성된다. 그 연통구멍(62)의 개구부와 상기의 제2 피스톤(35)의 외주면에 의해 상기의 전환수단(61)이 구성되어 있다.

상기 워크 서포트(2)를 록 구동할 때에는, 상기의 제1 실린더(20)와 제2 실린더(32)가 도2A에서 도2E 및 도2F에 나타내는 바와 같이 작동한다. 상기의 도2A부터 도2E는 작동설명용의 개략도이다. 또, 상기의 도2F는, 상기의 입구실(41)의 압력(M) 및 상기의 작동실(23)의 압력(N)의 변화를 나타내는 그래프로서, 압력(P)과 시간(T)과의 관계를 개략적으로 나타낸 것이다.

도2A의 릴리스 상태에서는, 상기의 작동실(23)의 압축공기가 외부로 배출됨과 동시에, 상기의 입구실(41)의 압축공기도 외부로 배출되고 있다. 이 때문에, 상기의 제1 피스톤(22)이 상기의 제1 스프링(24)에 의해 후퇴함과 동시에, 상기의 제2 피스톤(35)이 상기의 제2 스프링(46)에 의해 하강하고 있으며, 상기의 작동실(23)이 상기의 출구실(45)에 연통하고 있다.

상기의 도2A의 릴리스 상태에서 도2E의 록 상태로 전환할 때에는, 상기의 급배구(42)에서 상기의 입구실(41)로 압축공기를 공급하여, 그 입구실(41)의 압력(M)을 록용 설정압력(여기서는, 약 0.45㎫)까지 높인다.

그 입구실(41)로의 압축공기의 공급에 의해, 먼저, 도2B에 나타내는 바와 같이, 상기의 제2 피스톤(35)이 상승하기 시작한다. 이 경우, 상기의 작동실(23)의 록 개시용의 압력인 제1 설정압력(P1)(여기서는, 약 0.25㎫)보다도 상기의 입구실(41)의 압력(M)이 낮은 상태로 상기의 제2 피스톤(35)이 상승을 개시하도록, 상기의 제2 스프링(46)의 부세력 등을 설정하고 있다. 또, 이 실시형태에서는, 상기의 입구실(41)의 압축공기가 상기의 제2 피스톤(35)의 외주면과 제2 실린더 구멍(33)과의 끼워맞춤간극을 지나 상기의 출구실(45)에 아주 조금 누설되나, 그 누설된 압축공기는 상기의 환상간극(37)과 상기 로드구멍(34)을 지나 외부로 원할하게 배출된다.

이어서, 도2C에 나타내는 바와 같이, 상기의 제2 피스톤(35)이 상사점의 근방으로 상승하면, 상기의 작동실(23)이 상기의 연통구멍(62)의 개구부를 거쳐 상기의 입구실(41)로 연통하기 시작하므로, 상기의 작동실(23)의 압력(N)이 상승하기 시작한다. 또한, 이 시점에서의 상기의 입구실(41)의 압력(M)도 상기의 제1 설정압력(P1)(약 0.25㎫)보다도 낮게 되도록, 상기의 제2 스프링(46)의 부세력 등을 설정하고 있다.

계속해서, 도2D에 나타내는 바와 같이, 상기의 제2 피스톤(35)이 상사점에 도달하면, 상기의 밸브면(49)이 상기의 밸브자리(48)에 맞닿아 상기의 환상간극(37)을 메우고, 그것과 거의 동시에, 상기의 연통구멍(62)의 개도(開度)가 최대가 된다. 이것에 의해, 상기의 작동실(23)의 압력(N)이 급속하게 상승하여 상기의 제1 설정압력(P1)(약 0.25㎫)을 초과한다. 이 때문에, 도2E에 나타내는 바와같이, 그 작동실(23)의 압력에 의해 상기의 제1 피스톤(22)이 상기의 제1 스프링(24)에 저항하여 진출하고, 그 제1 피스톤(22)이 상기 콜릿(11)을 통해서 상기의 서포트 로드(8)를 록(Lock)한다.

상기 워크 서포트(2)를 릴리스 구동할 때에는, 상기의 제1 실린더(20)와 제2 실린더(32)가 도3A에서 도3E 및 도3F에 나타내는 바와 같이 작동한다. 이들 도3A부터 도3F는, 상기의 도2A에서 도2F에 유사한 도면이다.

상기의 도3A의 록 상태에서 도3E의 릴리스 상태로 전환할 때에는, 도3A에 나타내는 바와 같이, 상기의 입구실(41)의 압축공기를 상기의 급배구(42)를 거쳐 외부로 배출하여, 그 입구실(41)의 압력(M)을 급속하게 저하시켜 간다. 그러면, 먼저, 도3B에 나타내는 바와 같이, 상기의 제2 스프링(46)에 의해 상기의 제2 피스톤(35)이 하강하여 상기의 밸브자리(48)에서 밸브면(49)이 떨어짐과 동시에, 상기의 연통구멍(62)의 개구부가 상기의 출구실(45)에 연통하기 시작한다. 이 때문에, 상기의 작동실(23)의 압축공기가 상기의 연통구멍(62)과 상기의 출구실(45)과 상기의 환상간극(37)과 상기 로드구멍(34)을 거쳐 외부로 배출되기 시작한다.

계속해서, 도3C에 나타내는 바와 같이, 상기의 제2 스프링(46)에 의해 상기의 제2 피스톤(35)이 하강해 간다. 이 경우, 상기의 작동실(23)의 압축공기의 외부로의 배출을 상기의 환상간극(37)의 제한작용에 의해 제한하고 있으므로, 상기의 입구실(41)의 압력(M)의 저하보다도 상기의 작동실(23)의 압력(N)의 저하가 느리게 된다. 또한, 이 실시형태에서는, 상기의 제2 피스톤(35)의 하강에 의해, 상기의 조작볼트(51)의 머리부분(52)(도1 참조)이 상기 록 상태의 서포트 로드(8)의 피계합부(8a)(도1 참조)에 상측부터 맞닿는다. 이 때문에, 상기의 진출스프링(53)(도1 참조)의 부세력에 의해 상기 서포트 로드(8)가 상승하는 것을 확실하게 저지할 수 있다.

이 시점에서는, 상술과 같이 상기 서포트 로드(8)가 록 상태이므로, 상기의 조작볼트(51) 및 제2 피스톤(35)의 하강이 저지되어 있다. 이 때문에, 먼저 도3D에 나타내는 바와 같이, 상기의 제2 피스톤(35)이 상기의 도3C와 같은 높이로 유지된 상태에서 상기의 입구실(41)의 압력(M)이 저하하고, 그후, 상기의 작동실(23)의 압력(N)이 릴리스 개시용의 압력인 제2 설정압력(P2)(여기서는, 약 0.15㎫)보다도 저하한다. 이것에 의해, 도3E에 나타내는 바와 같이, 상기의 제1 스프링(24)에 의해 상기의 제1 피스톤(22)이 후퇴하여, 상기의 콜릿(11)에 의한 상기 서포트 로드(8)의 록 상태가 해제되고, 이 때문에, 상기의 제2 피스톤(35)과 상기의 조작볼트(51)가 상기의 제2 스프링(46)에 의해 더욱 하강한다.

상기 워크 서포트(2)의 구체적인 작동을 상기의 도1에 의해서 설명한다.

도1에 나타내는 릴리스 상태에서는, 상기의 제1 피스톤(22) 및 전동구(15)가 제1 스프링(24)에 의해 상승하여 상기 콜릿(11)의 지름의 수축을 해제하고 있다. 또, 상기의 제2 피스톤(35) 및 상기 피스톤 로드(36)가 상기의 제2 스프링(46)에 의해 하강하고, 이것에 의해, 상기의 조작볼트(51)의 머리부분(52)이 상기의 진출스프링(53)에 저항하여 상기 서포트 로드(8)를 하강시키고 있다.

상기 릴리스 상태에서, 상기 워크피스(W)를 상기의 푸시볼트(9)의 상방위치에 수평방향으로 반입한다. 그후, 압축공기를 상기의 급배구(42)에서 상기의 입구실(41)로 공급한다. 그러면, 그 공급된 압축공기의 압력에 의해, 먼저 상기의 제2 피스톤(35) 및 상기의 조작볼트(51)가 상기의 제2 스프링(46)에 저항하여 상승해 가고, 그 소정량 이상의 상승이 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 상기의 상부단벽(44)에 의해 저지된다. 상기의 조작볼트(51)의 상승과 동시에, 상기의 진출스프링(53)에 의해 상기 서포트 로드(8)가 상승하여, 일점쇄선도로 나타내는 바와 같이, 상기의 푸시볼트(9)가 상기 워크피스(W)에 맞닿는다. 이 상태에서는, 상기의 조작볼트(51)의 머리부분(52)의 하부면과 상기 서포트 로드(8)의 상기의 피계합부(8a)와의 사이에는, 맞닿는 간극이 상하방향으로 형성되어 있다.

이어서, 상기의 제2 피스톤(35)의 상사점으로의 이동에 의해, 전술한 바와 같이, 상기의 급배구(42)의 압축공기가 상기의 입구실(41)과 상기의 연통구멍(62)을 순서대로 지나 상기의 작동실(23)에 공급된다. 그리고, 그 작동실(23)의 압력이 전술의 도2F의 제1 설정압력(P1)(여기서는, 약 0.25㎫)을 초과하면, 그 작동실(23)에서 제1 피스톤(22)에 작용하는 공압력의 상하방향의 차력(差力)에 의해 상기의 전동구(15)가 아래쪽으로 이동하고, 그 전동구(15)의 테이퍼 내주면(16)이 상기 볼(18)을 전동시키면서 상기 콜릿(11)의 데이터 외주면(12)에 부드럽게 걸어맞춰지며, 그 콜릿(11)의 지름을 수축시킨다. 이것에 의해, 그 지름이 수축된 콜릿(11)이 상기 서포트 로드(8)의 상기의 끼움고정영역(R)을 구심방향으로 눌러, 그 서포트 로드(8)를 일점쇄선도의 높이 위치로 끼움 고정한다.

상기의 록 상태에서 워크피스(W)의 상부면이 기계 가공되는데, 그 가공시의 눌러 내리는 힘을 상기 서포트 로드(8)의 서포트 힘에 의해 축심방향으로 강력하게받아내고 있다.

상기의 기계가공이 종료한 후, 상기의 입구실(41)의 압축공기를 배출한다. 그러면, 먼저 상기의 제2 피스톤(35) 및 조작볼트(51)가 하강하여, 그 조작볼트(51)의 머리부분(52)이 상기의 록 상태의 서포트 로드(8)의 상기의 피계합부(8a)에 상측부터 맞닿는다. 이 때문에, 상기의 진출스프링(53)에 의해 상기 서포트 로드(8)가 상승하는 것을 상기의 조작볼트(51)가 확실하게 저지하고, 그후, 상기의 서포트 로드(8)의 상기 록 상태가 해제된다. 보다 자세하게 말하면, 다음과 같다.

상기의 압축공기의 배출에 의해, 먼저 상기의 제2 스프링(46)에 의해 상기의 제2 피스톤(35)과 상기의 조작볼트(51)이 하강해 간다. 이어서, 전술한 바와 같이, 상기의 작동실(23)의 압축공기가 상기의 연통구멍(62)과 상기의 출구실(45)과 상기의 환상간극(37)을 거쳐 외부로 배출된다. 그리고, 상기의 작동실(23)의 압력이 상기의 도3F의 제2 설정압력(P2)(여기서는, 약 0.15㎫)보다도 저하하면, 상기의 제1 피스톤(22) 및 전동구(15)가 제1 스프링(24)에 의해 상측으로 눌려져, 그 전동구(15)의 테이퍼 내주면(16)이 상기 볼(18)을 전동시키면서 부드럽게 위쪽으로 이동하여, 상기 콜릿(11)의 테이퍼 외주면(12)의 상기의 눌림상태를 해제한다. 이것에 의해, 상기의 콜릿(11)이 자체의 탄성복원력에 의해 지름이 확대되어, 상기 서포트 로드(8)의 록 상태가 해제된다. 이 때문에, 상기의 제2 피스톤(35) 및 상기의 조작볼트(51)가 더욱 하강하여, 상기 서포트 로드(8)를 도1의 하강위치로 복귀시킨다.

상기의 제1 실시형태는 다음의 장점을 나타낸다.

상기 워크 서포트(2)의 릴리스 작동시에는, 먼저 상기의 조작볼트(51)가 하강하여, 상기의 진출스프링(진출수단)(53)의 부세력에 의해 상기 서포트 로드(8)가 상승하는 것을 저지하고, 그후, 상기 콜릿(11)에 의한 상기 서포트 로드(8)의 끼움고정상태를 해제한다. 이 때문에, 그 끼움고정상태를 해제했을 때에, 상기의 진출스프링(53)의 부세력이 상기 서포트 로드(8)를 통해서 상기 워크피스(W)를 밀어 올리는 것을 방지할 수 있다.

또, 전술한 바와 같이 상기의 차폐부(47)에 상기 씰부재(도시하지 않음)를 설치한 경우에는, 상기의 제2 피스톤(35)의 상사점 위치에서의 위쪽의 수압(受壓)면적을 작게 할 수 있으므로, 상기의 입구실(41)(및 상기의 출구실(45))의 압력이 높은 단계에서 상기의 제2 피스톤(35)이 하강하기 시작한다. 이것에 의해, 상기의 조작볼트(51)가 하강한 후에 상기 서포트 로드(8)를 록 해제시키는 것이 확실하게 된다.

또한, 상기의 차폐부(47)는, 상기의 제2 피스톤(35)의 상부단면과 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 상부단벽(44)과의 조합 대신에, 그 제2 피스톤(35)의 외주면과 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 주면과의 조합 등으로 하는 것도 가능하다.

도4에서 도6은, 본 발명의 제2 실시형태를 나타내고 있다. 도4는 상기의 워크 서포트(2)의 입면(立面)시의 단면도로서, 상기의 도1에 유사한 도면이다. 도5는 상기의 제2 피스톤(35)의 상승상태를 나타내고, 상기의 도4중의 부분도에 유사한 도면이다. 도6은 상기의 제2 피스톤(35)의 하강 도중의 상태를 나타내고, 상기의도5에 유사한 도면이다.

또한, 그 제2 실시형태에서는, 상기의 제1 실시형태와 같은 구성의 부재에는 원칙적으로 동일 참조부호를 붙여두고 있으며, 그 제1 실시형태와 다른 구성에 대해서 설명한다.

상기의 제2 피스톤(35)의 외주면에 씰링부재(65)가 장착되고, 상기의 연통구멍(62)이 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 도중 높이부에 개구된다. 그 연통구멍(62)의 개구부와 상기의 씰링부재(65)에 의해 상기의 전환수단(61)이 구성되어 있다.

그리고, 도4의 릴리스 상태에서 상기의 입구실(41)로 압축공기를 공급하면, 상기의 제2 피스톤(35)이 상승하기 시작하다. 그 제2 피스톤(35)의 상승의 초기부터 후기까지는, 상기의 씰링부재(65)에 의해, 상기의 입구실(41)의 압축공기가 상기의 작동실(23)로는 유출되지 않는다. 그리고, 상기의 제2 피스톤(35)이 도5의 상승위치에 도달했을 때에(또는, 그 상승위치의 직전의 위치에 도달했을 때에), 상기의 입구실(41)의 압축공기가 상기의 연통구멍(62)을 통해 상기의 작동실(23)로 유출하기 시작한다. 이 때문에, 그 작동실(23)의 압력은, 상기의 도2F중의 일점쇄선도(N')로 나타내는 바와 같이 상승한다.

또, 상기의 연통구멍(62)에 제한통로(66)를 설치하여, 그 제한통로(66)에 의해 상기의 유동저항 부여수단(K)의 적어도 일부분을 구성한다. 또한, 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 주면과 상기의 제2 피스톤(35)의 상반부의 외주면과의 사이의 끼워맞춤간극(67)에 의해 상기의 유동저항 부여수단(K)의 적어도 일부분을 구성한다.

그리고, 상기의 도5의 상태에서 상기의 입구실(41)의 압축공기를 상기의 급배구(42)를 거쳐 외부로 배출하면, 상기의 제2 피스톤(35)이 하강해 간다. 그 제2 피스톤(35)이 도6에 나타내는 위치로 하강했을 때에는, 상기의 작동실(23)의 압축공기가 상기의 제한통로(66)와 상기의 끼워맞춤간극(67)을 순서대로 지나 상기의 출구실(45)로 미소량만 배출되기 시작하며, 그 미소량의 압축공기가 상기 로드구멍(34)을 거쳐 외부로 배출된다.

이때, 상기의 제한통로(66)와 상기의 끼워맞춤간극(67)이 부여하는 유동저항에 의해, 상기의 작동실(23)의 압력의 강하가 느리게 되어, 상기의 제1 피스톤(22)의 상승개시가 늦어지게 된다. 따라서, 상기의 제1 피스톤(22)에 의한 상기 서포트 로드(8)의 록 해제의 개시를 늦출 수 있으며, 상기의 제2 피스톤(35) 및 상기의 조작볼트(51)가 하강한 후에 상기 서포트 로드(8)를 록 해제시키는 것이 가능하게 된다.

상기의 제2 실시형태는 상기의 제1 실시형태의 전술한 장점을 나타냄과 동시에, 또 다른 다음의 장점을 나타낸다.

상기의 입구실(41)로 공급한 압축공기가 상기의 출구실(45)로 누설되는 것을 상기의 씰링부재(65)에 의해 확실하게 방지할 수 있다. 이 때문에, 상기의 압축공기의 공급시에, 그 압축공기가 상기의 출구실(45)에서 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있으며, 압축공기의 소비량이 적게 된다. 그뿐아니라, 상기의 누설한 압축공기에 의해 상기의 서포트 로드(8)가 필요 이상으로 급격하게 상승하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 이 제2 실시형태에서는, 상기의 제1 실시형태와 마찬가지로, 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 상부단벽(44)에 밸브자리(여기서는 도시하지 않음)를 설치함과 동시에 상기의 제2 피스톤(35)의 상부에 밸브면(여기서는 도시하지 않음)을 설치해도 좋다. 이 경우, 상기의 제2 피스톤(35)에 장착한 상기의 씰링부재(65)가 손상했을 때라도, 도5의 상태에서 상기의 작동실(23)의 압축공기가 상기의 로그구멍(34)을 지나 외부로 누설되는 것을, 상기의 밸브자리와 밸브면으로 이루어지는 차폐부에 의해 확실하게 방지할 수 있다.

또, 상기의 씰링부재(65)는, 상기의 제2 피스톤(35)에 장착하는 것 대신에, 상기의 제2 실린더 구멍(33)에 장착해도 좋다.

상기의 제1과 제2의 각 실시형태는, 상기의 제1 피스톤(22)의 하강개시 및 상승개시를 늦추기 위해, 하기와 같이 구성하는 것이 바람직하다.

상기의 도1 또는 도4에 나타내는 바와 같이 제1 피스톤(22)이 상사점에 위치하는 상태에서는, 그 제1 피스톤(22)의 상기의 씰링부재(26)를 상기의 상부단벽(4)에도 씰링하여 맞닿게 한다. 이 경우, 상기의 제1 피스톤(22)의 하강개시 전에는, 그 제1 피스톤(22)의 상단의 환상수압면의 면적이 작으므로, 상기의 작동실(23)의 압력이 충분하게 높아진 후에 상기의 제1 피스톤(22)이 하강하기 시작한다. 그리고, 그 제1 피스톤(22)의 하강에 의해 상기의 씰링부재(26)가 상기의 상부단벽(4)에서 떨어지면, 상기의 제1 피스톤(22)의 상단의 환상수압면의 면적이 크게 되므로, 그 제1 피스톤(22)이 강력하게 눌러 내려지게 된다.

또, 상기의 도4에서 도6에 나타내는 바와 같이, 상기의 연통구멍(62)에 상기의 제한통로(66)를 설치했지만, 그것 대신에, 또는 이것에 더하여, 상기의 제1 실린더 구멍(21)과 상기의 제1 피스톤(22)과의 사이의 환상간극(G)을 작은 값으로 설정하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기의 환상간극(G)이나 상기의 연통구멍(62)의 유동저항이 크게 되므로, 상기의 작동실(23)의 상승시간 및 강압시간이 길게 된다. 이것에 의해, 상기의 제1 피스톤(22)의 하강개시 및 상승개시가 느려지게 된다.

이상에 의해, 상기의 제1 피스톤(22)에 의한 상기 서포트 로드(8)의 록 개시 및 록 해제의 개시를 늦출 수 있으므로, 상기의 조작볼트(51)가 상승 및 하강한 후에 상기 서포트 로드(8)를 록 및 록 해제시키는 것이 확실하게 된다.

상기의 제1과 제2의 각 실시형태는 다음과 같이 변경 가능하다.

상기의 유동저항 부여수단(K)은, 도1중의 상기의 환상간극(37)과 도4중의 상기의 제한통로(66)와 도6중의 상기의 끼워맞춤간극(67)과의 적어도 하나를 이용하면 좋고, 또는 도1 또는 도4중의 전술한 연통홈(55) 등의 배기통로의 일부를 이용해도 좋다. 또, 그 유동저항 부여수단(K)은 환상간극이나 제한통로 대신에, 가늘고 긴 구멍이나 오리피스(Orifice)나 니들밸브(Needle Valve) 등이라도 좋다.

상기의 전환수단(61)은, 상기의 작동실(23)을 상기의 입구실(41)과 상기의 출구실(45)로 전환하여 연통시키는 것이라면 좋다. 따라서, 상기의 제2 피스톤(35)의 외주면이 상기의 연통구멍(62)의 개구부를 전폐(全閉)하는 순간이 있어도 상관없고, 또는 상기의 연통구멍(62)이 상기의 입구실(41)과 출구실(45)과의 양방으로 연통하는 순간이 있어도 상관없다. 또한, 그 전환수단(61)은, 상기의 연통구멍(62)의 개구부와 상기의 제2 피스톤(35)의 외주면과의 조합에 한정되는 것이 아닌것은물론이다.

상기 서포트 로드(8)를 위쪽으로 진출시키는 수단은, 예시의 진출스프링(53) 대신에, 고무 등의 탄성체라도 좋고, 또한 압축공기 등이라도 좋다.

또, 상기의 제2 피스톤(35)을 아래쪽으로 후퇴시키는 수단은, 예시의 제2 스프링(46) 대신에, 고무 등의 탄성체라도 좋고, 또한, 압축공기 등이라도 좋다.

본 발명의 실린더는, 예시한 구조의 워크 서포트에 적용하는 것 대신에, 다른 구조의 워크 서포트에 적용 가능하며, 또한, 워크 서포트와는 다른 용도로도 적용 가능하다. 예컨대, 전술의 콜릿(11)을 이용한 테이퍼 전동기구 대신에, 얇은 슬리브의 외주에 환상의 가스 작동실을 형성하여, 그 얇은 슬리브를 압력가스에 의해 지름을 수축시켜 서포트 로드 등을 록하는 것을 생각할 수 있다.

상기의 각 청구항은 다음의 효과를 나타낸다.

청구항 1의 발명은, 록(Lock)시에는 진퇴용의 제2 실린더의 제2 피스톤을 진출시킨 후에 제1 실린더를 록 작동시킬 수 있으며, 릴리스(Releas)시에는 상기의 제2 피스톤을 후퇴시킨 후에 상기의 제1 실린더를 릴리스 작동할 수 있다.

이 때문에, 예컨대 본 발명을 워크 서포트에 적용한 경우에는, 상기의 릴리스시에 전술한 진출스프링 등의 진술수단에 의해 상기 서포트 로드가 워크피스를 밀어 올리는 것을 방지할 수 있다.

청구항 2의 발명은, 상기의 전환수단(61)을 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

청구항 3의 발명은, 상기의 입구실에 공급한 압력가스가 상기의 출구실로 누설되는 것을 상기의 씰링부재에 의해 확실하게 방지할 수 있다. 이 때문에, 상기의 압력가스의 공급시에, 그 압력가스가 상기의 출구실에서 외기로 누설되는 것을 방지할 수 있으며, 압력가스의 소비량이 적게 된다. 또, 그 압력가스의 공급시에, 상기의 누출한 압력가스가 실린더 장치의 구성 부재에 어떠한 오작동을 발생시키는 것도 방지할 수 있다.

청구항 4의 발명은, 작동이 확실하고 간소한 구성의 전환수단을 제공할 수 있다.

청구항 5의 발명은, 상기의 유동저항 부여수단을 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

청구항 6의 발명은, 상기의 유동저항 부여수단을 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

청구항 7의 발명은, 상기의 유동저항 부여수단을 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

청구항 8의 발명은, 그 제2 피스톤의 진출이동의 종기에, 상기의 입구실과 상기의 작동실에 공급된 압력가스가 외기로 누출하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

청구항 9의 발명은, 상기의 차폐부를 간소한 구성으로 정밀하게 제조할 수 있으므로, 신뢰성이 있는 실린더 장치를 싼 값으로 실시할 수 있다.

Claims

작업용의 제1 실린더(20)와 진퇴(進退)용의 제2 실린더(32)를 구비하고,

상기의 제1 실린더(20)는, 작동실(23)의 가스압력이 제1 설정압력(P1)을 초과했을 때에 록(Lock) 작동함과 동시에, 상기 작동실(23)의 가스압력이 상기의 제1 설정압력(P1)보다도 낮은 제2 설정압력(P2)으로 저하했을 때에 릴리스(Release) 작동 가능하게 구성하며,

상기의 제2 실린더(32)는, 제2 실린더 구멍(33)에 끼워진 제2 피스톤(35)과, 상기 제2 실린더 구멍(33)의 제1 단벽(40)과 상기 제2 피스톤(35)과의 사이에 형성되어 압력가스가 공급·배출되는 입구실(41)과, 상기 제2 실린더 구멍(33)의 제2 단벽(44)과 상기 제2 피스톤(35)과의 사이에 형성된 출구실(45)과, 상기 제2 피스톤(35)을 상기 제1 단벽(40)을 향해 후퇴시키는 복귀수단(46)을 구비하고,

상기 작동실(23)을 상기의 출구실(45)을 거쳐 외기에 연통시켜, 그 작동실(23)에서 외기에 도달할 때까지의 사이에 유동저항 부여수단(K)을 구비하며,

상기 작동실(23)을 상기의 입구실(41)과 상기의 출구실(45)로 전환하여 연통시키는 전환수단(61)을 설치하고, 그 전환수단(61)은 상기 제2 피스톤(35)의 진출이동의 초기(初期)부터 후기(後期)에는 상기의 작동실(23)을 상기의 출구실(45)에 연통시키며, 이것에 대해, 상기의 제2 피스톤(35)의 진출이동의 종기(終期)에는 상기의 작동실(23)을 상기의 입구실(41)에 연통시키는 것을 특징으로 하는 실린더 장치.
제 1 항에 있어서,

상기의 제2 실린더 구멍(33)의 주면(周面)에, 상기의 작동실(23)을 상기의 제2 실린더 구멍(33) 안으로 연통시키는 연통구멍(62)을 개구시켜, 그 연통구멍(62)의 개구부와 상기의 제2 피스톤(35)의 외주면에 의해 상기의 전환수단(61)을 구성한 것을 특징으로 하는 실린더 장치.
제 2 항에 있어서,

상기의 제2 실린더 구멍(33)의 주면(周面)과 상기 제2 피스톤(35)의 외주면과의 사이에 씰링부재(65)를 개재시킨 것을 특징으로 하는 실린더 장치.
제 3 항에 있어서,

상기의 제2 피스톤(35)의 외주면에 상기의 씰링부재(65)를 장착하여, 그 씰링부재(65)에 의해 상기 전환수단(61)의 일부분을 구성한 것을 특징으로 하는 실린더 장치.
제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,

상기의 연통구멍(62)에 제한통로(66)를 설치하여, 그 제한통로(66)에 의해 상기의 유동저항 부여수단(K)의 적어도 일부분을 구성한 것을 특징으로 하는 실린더 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,

상기의 제2 실린더 구멍(33)의 주면과 상기의 제2 실린더(35)의 외주면과의 사이의 끼워맞춤간극(67)에 의해 상기의 유동저항 부여수단(K)의 적어도 일부분을 구성한 것을 특징으로 하는 실린더 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,

상기의 출구실(45)에, 그 출구실(45)보다도 지름이 작은 로드(Rod) 구멍(34)을 직렬로 연통시켜, 그 로드구멍(34)에 상기 제2 피스톤(35)에 연결한 피스톤 로드(36)를 소정의 환상간극(37)을 두고 삽입하고, 그 환상간극(37)에 의해 상기의 유동저항 부여수단(K)의 적어도 일부분을 구성한 것을 특징으로 하는 실린더 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한항에 있어서,

상기의 제2 피스톤(35)의 진출이동의 종기에 상기의 출구실(45)과 외기와의 연통을 차단하는 차폐부(47)를 설치한 것을 특징으로 하는 실린더 장치.
제 8 항에 있어서,

상기의 차폐부(47)를, 상기의 제2 실린더 구멍(33)의 상기의 제2 단벽(44)에 설치한 밸브자리(48)와, 상기 제2 피스톤(35)에 설치된 밸브면(49)에 의해 구성한 것을 특징으로 하는 실린더 장치.