KR20030058584A - 반도체소자의 콘택 형성방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체소자의 콘택 형성방법에 관한 것으로, 반도체소자의 콘택 공정시 특성 열화를 방지하기 위하여, 소자분리영역의 반도체기판 상에 활성영역을 노출시키는 층간절연막을 다마신 방법으로 형성하고 상기 층간절연막 사이를 활성영역을 매립하는 폴리실리콘막을 전체표면상부에 형성한 다음, 상기 폴리실리콘막을 평탄화식각하여 콘택플러그를 형성하여 반도체소자의 특성 및 신뢰성을 향상시키고 그에 따른 반도체소자의 고집적화를 가능하게 하는 기술이다.
Description
본 발명은 반도체소자의 콘택 형성방법에 관한 것으로, 특히 저장전극 콘택 간의 소자분리막으로 질화막을 이용하여 도전층 간의 보이드 ( void ) 생성을 억제하고 산화막/질화막의 CMP 및 폴리실리콘의 에치백공정으로 저장전극 노드간의 쇼트 ( short ) 불량을 방지하며 콘택플러그를 용이하게 형성함으로써 콘택 공정의 특성 열화를 방지하는 기술에 관한 것이다.
종래기술의 캐패시터 형성방법을 다음과 같다.
먼저, 게이트 LDD 형성후 층간절연막을 형성하고 콘택마스크를 이용한 사진식각공정으로 콘택홀을 형성한 다음, 이를 매립하는 폴리실리콘막을 형성한 다음, 평탄화식각하는 것이다.
도 1, 도 2a 내지 도 2c는 종래기술에 따른 반도체소자의 콘택 형성방법을 도시한 평면도 및 단면도로서, 도 2a 내지 도 2c는 상기 도 1 의 ⓐ-ⓐ 절단선을 따라 도시한 것이다.
도 1 및 도 2a를 참조하면, 반도체기판(11) 상부에 활성영역(15)을 정의하는 소자분리막(13)을 형성한다.
그리고, 상기 반도체기판(11) 상부에 게이트전극, 즉 워드라인(17)을 형성한다.
그리고, 전체표면상부에 층간절연막을 형성하고 콘택마스크를 이용한 사진식각공정으로 상기 층간절연막을 식각하여 상기 반도체기판(11)의 활성영역을 노출시키는 콘택홀(20)을 형성한다.
이때, 상기 층간절연막(19)의 상부가 ⓧ 와 같이 손상된다.
도 2b 및 도 2c를 참조하면, 전체표면상부에 콘택플러그용 도전층인 폴리실리콘막(21)을 형성한다.
그리고, 상기 폴리실리콘막(21)을 평탄화식각하여 상기 콘택홀(20)을 매립하는 폴리실리콘막(21)으로 저장전극 콘택플러그를 형성한다.
이때, 상기 ⓧ 부분에 상기 폴리실리콘막(21)이 남아 콘택플러그와 쇼트될 수 있는 문제점이 있다.
그리고, 상기 층간절연막(19)의 손상된 부분인 ⓧ 부분에 형성된 폴리실리콘막(21)으로 인하여, 상기 층간절연막(19)과 폴리실리콘막(21)의 식각선택비 차이를 확보하기 어렵게 되고 상기 평탄화식각공정시 상기 층간절연막(19)이 과다 식각되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 바와같이 종래기술에 따른 문제점을 해결하기 위하여, 다마신 방법을 이용하여 질화막으로 층간절연막을 형성하고 이를 이용하여 콘택플러그를 형성함으로써 반도체소자의 특성 및 신뢰성을 향상시키고 그에 따른 반도체소자의 고집적화를 가능하게 하는 반도체소자의 콘택 형성방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1, 도 2a 내지 도 2c는 종래기술에 따른 반도체소자의 콘택 형성방법을 도시한 평면도 및 단면도.
도 3, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 반도체소자의 콘택 형성방법을 도시한 평면도 및 단면도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
11,31 : 반도체기판13,33 : 소자분리막
15,35 : 활성영역17,37 : 게이트전극, 워드라인
19 : 층간절연막21,43 : 폴리실리콘막
39 : 희생산화막41 : 질화막
이상의 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 반도체소자의 콘택 형성방법은,
소자분리영역의 반도체기판 상에 활성영역을 노출시키는 층간절연막을 다마신 방법으로 형성하는 공정과,
상기 층간절연막 사이를 활성영역을 매립하는 폴리실리콘막을 전체표면상부에 형성하는 공정과,
상기 폴리실리콘막을 평탄화식각하여 콘택플러그를 형성하는 공정을 포함하는 것과,
상기 층간절연막은 질화막으로 형성하는 것과,
상기 다마신 방법은 활성영역과 소자분리영역을 분리시킬 수 있는 노광 마스크를 이용하여 실시하는 것과,
상기 평탄화식각공정은 에치백이나 CMP 공정으로 실시하는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명의 원리는,
다마신 방법을 이용하여 소자분리영역 상에 질화막으로 형성된 층간절연막을 형성하고 상기 층간절연막 사이의 활성영역을 저장전극용 도전층으로 매립하여 저장전극 콘택플러그를 형성함으로써 소자의 특성 열화없이 소자를 제조하는 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
도 3, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 반도체소자의 콘택 형성방법을 도시한 평면도 및 단면도로서, 도 4a 내지 도 4c는 상기 도 3 의 ⓒ-ⓒ 절단선을 따라 도시한 것이다.
도 3 및 도 4a를 참조하면, 반도체기판(31) 상부에 활성영역(35)을 정의하는 소자분리막(33)을 형성한다.
그리고, 상기 반도체기판(31) 상부에 게이트전극, 즉 워드라인(37)을 형성한다.
그리고, 전체표면상부에 희생산화막(39)을 전체표면상부에 형성하고 상기 희생산화막(39) 상부에 감광막을 도포한 다음, 소자분리영역만을 노광시킬 수 잇는 노광마스크를 이용하여 노광 및 현상공정을 실시하고 감광막패턴을 형성한다.
그리고, 상기 감광막패턴을 마스크로 하여 상기 소자분리영역 상부에 희생산화막(39) 패턴을 남긴다.
도 4b를 참조하면, 전체표면상부에 질화막(41)을 증착하고 평탄화식각한 다음, 노출된 희생산화막(39)패턴을 제거함으로써 질화막(41)패턴을 형성한다.
이때, 상기 질화막(41)패턴은 상기 반도체기판(31)의 활성영역(35)을 노출시킨다.
도 4c를 참조하면, 전체표면상부에 폴리실리콘막(43)을 증착하고 이를 평탄화식각하여 상기 질화막(41)패턴을 노출시키는 동시에 상기 폴리실리콘막(43)으로 형성되는 저장전극용 콘택플러그를 형성한다.
이때, 상기 평탄화식각공정은 CMP 공정이나 에치백 공정으로 실시한다.
이상에서 설명한 바와같이 본 발명에 따른 반도체소자의 콘택 형성방법은, 희생산화막을 이용하는 다마신 방법을 이용하여 질화막으로 층간절연막을 형성하여 보이드나 쇼트 없이 저장전극 콘택플러그를 용이하게 형성함으로써 반도체소자의 특성 및 신뢰성을 향상시키고 그에 따른 반도체소자의 고집적화를 가능하게 하는 효과를 제공한다.
Claims (4)
- 소자분리영역의 반도체기판 상에 활성영역을 노출시키는 층간절연막을 다마신 방법으로 형성하는 공정과,상기 층간절연막 사이의 활성영역을 매립하는 폴리실리콘막을 전체표면상부에 형성하는 공정과,상기 폴리실리콘막을 평탄화식각하여 콘택플러그를 형성하는 공정을 포함하는 반도체소자의 콘택 형성방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 층간절연막은 질화막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 콘택 형성방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 다마신 방법은 활성영역과 소자분리영역을 분리시킬 수 있는 노광 마스크를 이용하여 실시하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 콘택 형성방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 평탄화식각공정은 에치백이나 CMP 공정으로 실시하는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 콘택 형성방법.
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