KR20030046792A - 이중 전방 감지 센서를 갖는 무인 반송차 - Google Patents

Abstract

본 발명은 무인 반송차에 관한 것으로서 장애물 유형에 따라 감지 거리를 갖도록 하여 감지 거리를 조절할 수 있도록 하기 위하여 본 발명에 따른 무인 반송차는, 전방 좌우를 감지하는 화물 감지 센서가 전면부 좌우 양측 가장자리에 각각 설치되어 있고, 전방 중앙을 감지하는 차량 감지 센서가 전방 중앙 상단부와 하단부에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 화물 감지 센서와 차량 감지 센서를 구비하여 전방 물체만 감지하는 부분과 차량 서로간 감지하는 부분을 구별하여 모두 감지할 수 있도록 하는 이중 감지 기능에 의해 자동화 부분에 효과적으로 적용될 수 있다.

Description

이중 전방 감지 센서를 갖는 무인 반송차{Automated guided vehicle having duplicate sensor for sensing front}

본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 조립 공정에서 공정 라인 사이의 제품의 운송을 담당하는 이중 전방 감지 센서를 갖는 무인 반송차에 관한 것이다.

통상적으로 기계 자체에서 대부분의 작업 공정이 자동적으로 처리되는 자동 제조 방식을 가리키는 것을 자동화(Automation)라 하고, 이와 같은 자동화에는 제조 라인에서 가공물이나 부품의 치수, 형상, 품질 등을 자동적으로 계측하는 자동 계측 시스템, 제조 라인의 시스템을 자동화 및 무인화하는 공장 자동화(Factory Automation; FA) 또는 제조 라인의 반송물을 자동으로 이송시키는 물류자동화 등이 있다.

그리고 이러한 자동화시스템은 모든 산업분야에서 적용되고 있으며 또한 적용시키기 위해 연구 개발에 부단한 노력을 기울이고 있고, 특히 반도체 제조 라인의 자동화 시스템은 필수적이라 할 수 있다. 이러한 자동화 시스템을 위하여 도입된 것이 무인 반송차이다.

일반적으로, 무인 반송차는 무인화에 의한 부품의 이송 및 공급 등을 위한 이송 수단으로서, 소위 무인화 공장 또는 보다 협소한 개념의 자동화된 생산 라인에서 부품 등의 이송물을 각 공정으로 공급하거나 또는 생산 완료된 제품의 입고를 위한 이송작업 등을 수행하는 데 유용한 수단이다. 무인 반송차는 AGV(Automated Guide Vehicle), LGV(Laser Guided Vehicle), RGV(Rail Guided Vehicle) 등이 있다.

이러한 무인 반송차는 상기한 바와 같은 이송 작업등을 위해 통상 정해진 제어 프로그램에 의해 제어되어 동작되면서 이동하게 된다. 그런데, 무인 반송차는 운전자가 없이 자동으로 주행되므로 전방에 장애물이 있을 경우, 그 장애물에 대한 위치정보 등을 검출할 수 있는 검출수단을 마련하여, 그 검출수단에 의해 검출된 위치 정보를 이용해 주행 속도를 제어함으로써 장애물과의 충돌 등의 안전사고를 예방한다. 종래 무인 반송차에 대하여 소개하기로 한다.

도 1은 종래 기술에 따른 무인 반송차의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 측면도이다.

도 1을 참조하면, 종래에는 무인 반송차(110)에 전방 감지 센서인 광 센서(111)를 설치하여 주행 방향에 대한 장애물의 위치 정보를 검출해 내었다. 광 센서(111)는 광을 조사하여 조사된 광이 장애물로부터 반사되어 되돌아오는 반사광을 수광하여 장애물에 대한 위치 정보를 검출해내는 장치이다. 즉, 조사된 후 반사되어 돌아오는 반사광의 파장, 시간 등을 검출하여 장애물에 대한 위치정보를 얻게 된다. 이러한 광 센서(111)에 의해 검출된 장애물의 위치 정보를 이용하여 무인 반송차(110)의 속도를 감속하거나 정지시킴으로써 무인 반송차(110)가 그 주행 방향에 놓인 장애물에 충돌되는 것이 방지된다.

전술한 바와 같이 일반적으로 무인 반송차는 하나의 감지 센서를 구비한다. 이 감지 센서를 이용하여 이동 경로 상의 화물, 차량, 설비 등의 장애물을 감지하여 정지하도록 구성된다. 그러나, 하나의 감지 센서를 이용하기 때문에 장애물에 따른 감지 거리가 장애물 종류에 무관하게 항상 일정하여 좁은 통로 등을 이동할 때 벽을 장애물로 인식할 수 있는 등 여러 가지 문제점이 발생될 수 있다.

따라서 본 발명의 목적은 장애물 유형에 따라 감속과 정지가 가능하도록 하여 오인식에 의한 정지를 방지할 수 있도록 하는 이중 감지 센서를 갖는 무인 반송차를 제공하는 데에 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 무인 반송차의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 측면도,

도 2는 본 발명에 따른 무인 반송차를 개략적으로 나타낸 정면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10; 무인 반송차

11,12; 화물 감지 센서

13,14; 차량 감지 센서

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 이중 감지 센서를 갖는 무인 반송차는, 전방 좌우를 감지하는 화물 감지 센서와 전방 중앙을 감지하는 차량 감지 센서를 포함한다. 화물 감지 센서는 한 쌍으로서 전면 좌우 양측 가장자리에 각각 설치되고, 차량 감지 센서는 전방 중앙 상하 양측 가장자리 설치된다.

본 발명에 따른 이중 감지 센서를 갖는 무인 반송차는 화물 감지 센서가 좌우 45도 각도 조절이 가능한 것을 사용함으로써 감지되는 전방 좌우 폭의 조절이 가능하도록 하는 것이 바람직하다.

이하 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 이중 감지 센서를 갖는 무인 반송차에 대하여 좀 더 상세하게 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명에 따른 이중 감지 센서를 갖는 무인 반송차의 개략적인 정면도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 무인 반송차(10)는 화물 감지 센서(11,12)와 차량 감지 센서(13,14) 등 이중으로 감지 센서를 갖는 구조이다. 화물 감지 센서(11,12)와 차량 감지 센서(13,14)는 모두 차량 전면부에 설치된다. 무인 반송차(10)의 전면부에서 무인 반송차(10)의 1/2 높이 정도의 위치의 좌측과 우측 가장자리에 화물 감지 센서(11,12)가 하나씩 설치되어 있다. 이 화물 감지 센서(11,12)는 각도 조절 기능, 특히 좌우 45도 조절이 가능한 것을 사용한다. 각도의 조절 및 감지거리의 조절을 통하여 통로가 좁은 경우에 화물로 인식하지 않을 수 있다. 보통 화물 감지 센서의 경우에 감지 거리가 약 1m 내지 2m 정도가 되는 것이 적당하다.

그리고, 무인 반송차(10)의 전면부에서 상단부와 하단부에 차량 감지 센서(13,14)가 각각 설치되어 있다. 차량 감지 센서(13,14)는 전방의 다른 무인 반송차를 감지하거나 설비를 감지하게 되며 필요에 따라 화물 감지 센서의 감지 거리보다 길거나 짧아질 수 있다.

여기서, 화물 감지 센서나 차량 감지 센서로 사용될 수 있는 것은 레이저(laser)를 이용하는 센서와 빔(beam)을 이용하는 종류의 광 센서 등 다양한 센서들이 사용될 수 있으나 레이저 센서의 경우가 비교적 감도가 우수하여 정확한 동작에 유리하다.

이와 같은 본 발명에 따른 무인 반송차는 감지 센서로서 화물 감지 센서와 차량 감지 센서를 모두 구비하여 화물이 감지가 될 경우와 다른 차량이 감지될 경우를 차별화하여 인식하도록 하고 그에 따른 감속 및 정지가 이루어지도록하 되어 있다. 화물 감지 센서의 경우 각도의 조절에 의해 전방 좌우측의 감지 정도를 조절하여 무인 반송차의 이동 경로 상에 좁은 통로 등이 있을 경우 그 각도 및 감지 정도를 조절함으로써 보다 정확한 동작이 가능하게 된다.

또한, 차량 감지 센서는 이동 경로 상에 있는 차량, 설비 등만을 감지하여 보다 정확한 동작이 가능하게 된다. 결국, 본 발명에 따른 무인 반송차는 장애물의 대상에 따라 감지 거리나 감지 폭 등을 각각 조절할 수 있다.

이상과 같은 본 발명에 따른 이중 감지 센서를 갖는 무인 반송차에 따르면, 화물 감지 센서와 차량 감지 센서를 구비하여 전방 물체만 감지하는 부분과 차량서로간 감지하는 부분을 구별하여 모두 감지할 수 있도록 하는 이중 감지 기능에 의해 자동화 부분에 효과적으로 적용될 수 있다.

Claims (2)

1. 전방 좌우를 감지하는 화물 감지 센서가 전면부 좌우 양측 가장자리에 각각 설치되어 있고, 전방 중앙을 감지하는 차량 감지 센서가 전방 중앙 상단부와 하단부에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이중 감지 센서를 갖는 무인 반송차.
2. 제 1항에 있어서, 상기 화물 감지 센서는 좌우 45도 각도 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 이중 감지 센서를 갖는 무인 반송차.