KR20030009632A - 액체 순환 시스템 - Google Patents

Abstract

여기에 개시된 액체 순환 시스템은, 상기 항온수를 저장하는 써큘레이터 및 상기 써큘레이터에 저장된 상기 항온수의 용량이 미리 설정된 범위 내에 속하도록 상기 써큘레이터로 상기 항온수를 공급하는 수단을 포함한다. 따라서, 써큘레이터에 저장되는 항온수는 항상 일정 레벨로 유지된다.

Description

액체 순환 시스템{LIQUID CIRCULATION SYSTEM}

본 발명은 반도체 제조시 필요한 항온수를 공급하는 액체 순환 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 순환기 내에 저장되는 항온수의 용량을 항상 일정 레벨로 유지시킬 수 있는 액체 순환 시스템에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에서 사용되는 포토 스피너(photo spinner) 설비에서 스핀부의 모터 플랜지 공급 노즐(motor flange supply nozzle)에는 모터의 고속 회전 및 과열에 의한 설비의 손상을 방지하기 위한 온도 제어 기능을 수행하는 써큘레이터(circulator) 가 요구된다.

도 1은 종래의 써귤레이터를 보여주는 도면이다.

도 1을 참조하면, 종래의 써큘레이터(10)는 저장된 항온수의 용량을 사용자가 용이하게 식별할 수 있는 창(11)과 항온수 주입구(12)를 구비한다. 사용자는 써큘레이터(10)의 창(11)을 수시로 관찰해서 항온수의 레벨이 최저 임계 레벨(L)보다 낮아지면 항온수 물통(20)에 담겨진 항온수를 주입구(12)로 직접 주입시킨다.

이와 같은 종래의 써큘레이터(10)에서는 사용자가 부주의로 항온수의 용량을 체크하지 않은 경우, 항온수가 언더플로우 레벨(12)까지 낮아지는 경우가 발생될 수 있다. 항온수가 언더플로우 레벨까지 낮아지면 써큘레이터는 오동작을 방지하기 위해 자동으로 동작을 정지시킨다. 써큘레이터의 동작이 정지되면 반도체 제조 공정 전체에 악영향을 끼치게 되고 이는 곧 생상성 저하를 초래하게 된다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 써큘레이터에 저장되는 항온수를 항상 일정 레벨로 유지할 수 있는 액체 순환 시스템을 제공하는데 있다.

도 1은 종래의 써귤레이터를 보여주는 도면;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 순환 시스템을 보여주는 도면; 그리고

도 3은 도 2에 도시된 액체 순환 시스템에서 써큘레이터에 액체를 공급하는 제어 수순을 보여주는 플로우차트이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100 : 써큘레이터110 : 감지부

111, 112, 113 : 센서120 : 제어부

130 : 스피커140 : 항온수 주입구

200 : 밸브300 : 항온수 공급 파이브

상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 액체 순환 시스템은: 상기 액체를 저장하기 위한 용기; 그리고 상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량이 미리 설정된 범위 내에 속하도록 상기 용기로 상기 액체를 공급하는 수단을 포함한다.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 액체 공급 수단은, 상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량을 감지하되, 상기 감지된 용량이 최저 임계값보다 작으면 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하고, 상기 감지된 용량이 최고 임계값보다 크면 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체가 공급되는 것을 차단한다.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 액체 공급 수단은, 상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량을 감지하고, 감지된 용량에 대응하는 제어 신호를 발생하는 감지 수단; 그리고 상기 제어 신호에 응답해서 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체가 공급되는 것을 제어하는 밸브를 포함한다.

이 실시예에 있어서, 상기 감지 수단은, 상기 감지된 용량이 최저 임계값보다 작으면 상기 밸브가 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하도록 상기 제어 신호를 발생하고, 상기 감지된 용량이 최고 임계값보다 크면 상기 밸브가 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하지 않도록 상기 제어 신호를 발생한다.

이 실시예에 있어서, 상기 감지 수단은, 상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량이 최저 임계값에 도달했는 지를 감지해서 제 1 감지 신호를 발생하는 제 1 센서와; 상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량이 최고 임계값에 도달했는 지를 감지해서 제 2 감지 신호를 발생하는 제 2 센서; 그리고 상기 제 1 감지 신호에 응답해서 상기 밸브가 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하도록 상기 제어 신호를 발생하고, 상기 제 2 감지 신호에 응답해서 상기 밸브가 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하지 않도록 상기 제어 신호를 발생하는 제어 회로를 포함한다.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 감지 수단은, 상기 감지된 용량이 상기 최고 임계값보다 큰 오버플로우 값에 도달하면 경고음을 발생한다.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 액체를 저장하기 위한 용기에 미리 설정된 범위 내에 속하는 용량의 액체를 공급하기 위한 방법은: 상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최저 임계 레벨보다 낮은 지를 검출하는 단계와; 상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최저 임계 레벨보다 낮으면 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하는 단계와; 상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최고 임계 레벨보다 높은 지를 검출하는 단계와; 상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최고 임계 레벨보다 높으면 상기 액체 공급을 중지하는 단계; 그리고 상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최고 임계 레벨보다 높지 않으면 상기 액체 공급 단계로 리턴하는 단계를 포함한다.

(실시예)

이하 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 3을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 순환 시스템을 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 상기 액체 순환 시스템은 써큘레이터(100), 밸브(200), 그리고 항온수 공급 파이프(300)를 포함한다.

상기 써큘레이터(100)는 저장된 항온수의 레벨을 감지하는 감지부(110), 감지된 레벨에 따라 상기 밸브(200)의 온/오프를 제어하기 위한 제어 신호를 발생하는 제어부(120), 경고 신호를 출력하기 위한 스피커(130), 그리고 항온수 주입구(1400를 포함한다.

상기 감지부(110)는 제 1 내지 제 3 센서들(111, 112 및 113)을 포함한다. 제 1 센서(111)는 상기 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최저 임계 레벨보다 낮아지는 지를 감지해서 제 1 감지 신호(START)를 발생한다. 즉, 상기 제 1 센서(111)는 항온수가 감지되는 상태에서 감지되지 않는 상태로 변화될 때 상기 제 1 감지 신호(START)를 발생한다. 제 2 센서(112)는 상기 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최고 임계 레벨보다 높아지는 지를 감지해서 제 2 감지 신호(END)를 발생한다. 즉, 상기 제 2 센서(112)는 항온수가 감지되지 않은 상태에서 감지되는 상태로 변화될 때 상기 제 2 감지 신호(END)를 발생한다. 그리고 제 3 센서(113)는 상기 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 오버플로우 레벨에 도달하였는 지를 감지해서 제 3 감지 신호(OVERFULL)를 발생한다.

상기 제어부(120)는 상기 센서들(111-113)로부터 입력되는 감지 신호들(START, END 및 OVERFULL)에 응답해서 상기 밸브(200)의 온/오프를 제어하기 위한 신호(CTRL)를 발생한다. 구체적으로, 상기 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최저 임계 레벨보다 낮아짐에 따라 상기 제 1 감지 신호(START)가 활성화되면,상기 제어부(120)는 상기 밸브(200)를 온시키기 위한 활성 레벨(예를 들면, 하이 레벨)의 제어 신호(CTRL)를 발생한다. 그에 따라, 상기 항온수 공급 파이프(300)를 통해 흐르는 항온수는 밸브(200)와 항온수 주입구(140)를 통하여 써큘레이터(100)로 공급된다.

이와 같이, 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최저 임계 레벨보다 낮아지면 자동으로 항온수를 보충함으로서 사용자의 편의가 증대된다.

반면, 상기 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최고 임계 레벨보다 높아져서 상기 제 2 감지 신호(END)가 활성화되면, 상기 제어부(120)는 상기 밸프(200)를 오프시키기 위한 비활성 레벨(예를 들면, 로우 레벨)의 제어 신호(CTRL)를 발생한다. 그에 따라 상기 항온수 공급 파이프(300)를 통해 흐르는 항온수는 써큘레이터(100)로 공급되지 않는다.

특히, 본 발명의 써큘레이터(100)는 스피커(130)를 더 구비하여, 센서(113)가 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 오버플로우 레벨을 초과함을 감지할 때, 경고 신호를 출력한다. 따라서, 센서(112), 제어부(120) 또는 밸브(200)가 오동작해서 항온수가 써큘레이터(100)의 최고 적재 용량을 초과하여 공급될 때, 사용자가 이러한 오동작에 대한 적절한 대처를 수행할 수 있도록 한다.

도 3은 도 2에 도시된 제어부(120)에서 항온수가 써큘레이터(100)로 공급되는 것을 제어하는 수순을 보여주는 플로우차트이다.

먼저, 단계 S400에서 제어부(120)는 센서(111)로부터 제 1 제어 신호(START)를 받아들여 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최저 임계 레벨보다 낮은 지를 판별한다.

판별 결과, 상기 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최저 임계 레벨보다 낮으면 그 제어는 단계 S410으로 진행한다. 단계 S410에서 상기 제어부(120)는 활성 레벨의 제어 신호(CTRL)를 발생해서 상기 밸브(200)를 턴 온시켜 써큘레이터(100)로 항온수가 보충되도록 한다.

단계 S420에서 제어부(120)는 센서(112)로부터 제 2 제어 신호(END)를 받아들여 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최고 임계 레벨보다 높은 지를 판별한다.

판별 결과, 상기 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최고 임계 레벨보다 높지 않으면 다시 상기 단계 S420으로 리턴해서 항온수 보충 동작을 계속 수행한다.

상기 판별 결과, 상기 써큘레이터(100)에 저장된 항온수가 최고 임계 레벨보다 높으면 그제어는 단계 S430으로 진행한다. 단계 S4230에서 상기 제어부(120)는 비활성 레벨의 제어 신호(CTRL)를 발생해서 상기 밸브(200)를 턴 오프시켜 써큘레이터(100)로 항온수가 보충되는 것을 중지시킨다.

예시적인 바람직한 실시예를 이용하여 본 발명의 설명하였지만, 본 발명의 범위는 개시된 실시예들에 한정되지 않는다는 것이 잘 이해될 것이다. 오히려, 본 발명의 범위에는 다양한 변형 예들 및 그 유사한 구성들을 모두 포함될 수 있도록 하려는 것이다. 따라서, 청구범위는 그러한 변형 예들 및 그 유사한 구성들 모두를 포함하는 것으로 가능한 폭넓게 해석되어야 한다.

이상과 같은 본 발명에 의하면, 써큘레이터에 저장되는 항온수를 항상 일정레벨로 유지시킬 수 있다.

Claims (7)

1. 액체 순환 시스템에 있어서:

   상기 액체를 저장하기 위한 용기; 그리고

   상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량이 미리 설정된 범위 내에 속하도록 상기 용기로 상기 액체를 공급하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 순환 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 액체 공급 수단은,

   상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량을 감지하되, 상기 감지된 용량이 최저 임계값보다 작으면 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하고, 상기 감지된 용량이 최고 임계값보다 크면 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체가 공급되는 것을 차단하는 것을 특징으로 하는 액체 순환 시스템.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 액체 공급 수단은,

   상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량을 감지하고, 감지된 용량에 대응하는 제어 신호를 발생하는 감지 수단; 그리고

   상기 제어 신호에 응답해서 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체가 공급되는 것을 제어하는 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 순환 시스템.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 감지 수단은, 상기 감지된 용량이 최저 임계값보다 작으면 상기 밸브가 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하도록 상기 제어 신호를 발생하고, 상기 감지된 용량이 최고 임계값보다 크면 상기 밸브가 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하지 않도록 상기 제어 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 액체 순환 시스템.
5. 제 3 항에 있어서,

   상기 감지 수단은,

   상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량이 최저 임계값에 도달했는 지를 감지해서 제 1 감지 신호를 발생하는 제 1 센서와;

   상기 용기에 저장된 상기 액체의 용량이 최고 임계값에 도달했는 지를 감지해서 제 2 감지 신호를 발생하는 제 2 센서; 그리고

   상기 제 1 감지 신호에 응답해서 상기 밸브가 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하도록 상기 제어 신호를 발생하고, 상기 제 2 감지 신호에 응답해서 상기 밸브가 상기 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하지 않도록 상기 제어 신호를 발생하는 제어 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 순환 시스템.
6. 제 4 항에 있어서,

   상기 감지 수단은,

   상기 감지된 용량이 상기 최고 임계값보다 큰 오버플로우 값에 도달하면 경고음을 발생하는 것을 특징으로 하는 액체 순환 시스템.
7. 액체를 저장하기 위한 용기에 미리 설정된 범위 내에 속하는 용량의 액체를 공급하기 위한 방법에 있어서:

   상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최저 임계 레벨보다 낮은 지를 검출하는 단계와;

   상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최저 임계 레벨보다 낮으면 액체 공급 소오스로부터 상기 용기로 상기 액체를 공급하는 단계와;

   상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최고 임계 레벨보다 높은 지를 검출하는 단계와;

   상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최고 임계 레벨보다 높으면 상기 액체 공급을 중지하는 단계; 그리고

   상기 용기에 저장된 액체의 용량이 최고 임계 레벨보다 높지 않으면 상기 액체 공급 단계로 리턴하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 공급 방법.