KR200266298Y1 - 집진 집수장치가 설치된 건습식 폐가스처리장치 - Google Patents

Abstract

가연성 폐가스와 수용성 폐가스의 처리가 가능한 건습식 폐가스처리장치에 의하여 가연성 폐가스를 처리할 때 생성된 파티클 및 수용성 폐가스를 처리하는 과정에서 수용성 폐가스에 분사된 액체가 메인 덕트로 배출되지 못하도록 메인 덕트 입구에 집진 및 집수를 동시에 수행하는 집진 집수장치 및 집진 집수장치가 설치된 건습식 폐가스처리장치에 관한 것으로, 본 고안에 의하면 건습식 폐가스처리장치에 의하여 수용성 폐가스를 처리할 때 사용된 용매가 메인덕트로 빨려 올라감으로써 발생하는 메인덕트 및 메인덕트 후단에 설치된 타 설비의 부식 및 건습식 폐가스처리장치에서 가연성 폐가스를 처리하는 과정에서 생성된 미세 파티클중 집진되지 않은 잔여 미세 파티클이 메인덕트를 통하여 외부로 배출됨으로써 발생되는 환경 오염을 적극적으로 방지한다.

Description

집진 집수장치가 설치된 건습식 폐가스처리장치{Burn-wet type waste gas treatment apparatus installed with particle and water collecting apparatus}

본 고안은 집진 집수장치 및 집진 집수장치가 설치된 건습식(burn-wet type) 폐가스처리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 가연성 폐가스와 수용성 폐가스의 처리가 가능한 건습식 폐가스처리장치에 의하여 가연성 폐가스를 처리할 때 생성된 파티클 및 수용성 폐가스를 처리하는 과정에서 수용성 폐가스에 분사된 액체가 메인덕트로 배출되지 못하도록 메인덕트 입구에 집진 및 집수를 동시에 수행하는 집진 집수장치 및 집진 집수장치가 설치된 건습식 폐가스처리장치에 관한 것이다.

최근들어 급속하게 발전하는 반도체 기술은 컴퓨터 분야, 정보통신 분야, 자동차 분야, 항공 분야, 우주산업 분야에 이르기까지 거의 모든 분야의 기술 발전을 가져왔다.

이와 같은 역할을 하는 반도체 기술은 순수 실리콘 웨이퍼중 손톱 크기 정도의 면적에 수백만∼수천만개의 소자(예를 들어 트랜지스터)를 집적하는 단계에까지 이르고 있다.

그러나, 타 산업에 지대한 영향을 미치는 반도체 기술은 그 장점에 비례하여 환경을 파괴할 수 있는 공해를 다량 발생하는 단점을 갖는 분야로 이는 반도체 공정 특성상 매우 유독한 각종 화학 가스를 사용할 수밖에 없고 반도체 공정에서 화학 가스들이 극소량만이 반응되고 나머지 대부분이 폐가스 형태로 외부로 배출되기 때문이다.

최근 환경 오염 방지를 위한 각종 환경 규제 및 법적 규제가 강화되고 있는 시점에서 반도체 공정으로 인하여 발생한 폐가스를 완전 무결하게 처리하기 위한 다양한 폐가스처리장치 및 방법의 기술 개발이 활발하게 진행되고 있다.

대부분의 폐가스는 산화 또는 용해에 의하여 처리가 가능하기 때문에 이와 같은 성질을 적극적으로 이용하여 가연성 폐가스는 산화시켜 고체상의 파티클로 상변환시킨 후 파티클을 집진하는 방법을 사용하고, 수용성 폐가스는 용매에 혼합시켜 수용성 폐가스를 수용액화한 후 수용액을 후처리하는 방법을 사용한다.

최근, 대한민국 특허출원 제 98-51414호에는 '건습식 폐가스 처리장치 및 그 방법'이 개시된 바 있는데, 이 건습식 폐가스 처리장치는 특히 가연성 폐가스와 수용성 폐가스가 혼합된 혼합 폐가스를 단일 설비에서 모두 처리할 수 있는 유용성이있다.

구체적으로, 종래 건습식 폐가스처리장치의 폐가스 건식 처리 유닛으로 유입된 가연성 폐가스, 수용성 폐가스중 가연성 폐가스는 가연성 폐가스가 산화되기에 적합한 고온 환경을 갖는 폐가스 건식 처리 유닛에 의하여 산화되어 파티클로 상변환된 후, 파티클은 파티클 제거 유닛에 의하여 1차적으로 제거된다.

이때, 파티클 제거 유닛에 의하여 제거되지 않은 파티클과 고온에서도 산화되지 않는 수용성 폐가스는 필터 부재가 가득 채워진 상태로 용매가 분사되는 폐가스 복합 처리 유닛으로 유입되어 용매에 의하여 용해되어 수용액이 된다.

수용액은 수용액이 모이는 드레인 탱크로 배수되고, 파티클 제거 유닛에서 미처 제거되지 않은 파티클은 필터 부재에 의하여 2 차적으로 제거된 상태로 진공압이 형성된 메인덕트로 배기된다.

그러나, 종래 건습식 폐가스처리장치중 폐가스의 흐름이 유발되도록 진공압이 형성된 메인덕트와 연통된 폐가스 복합 처리 유닛으로부터 수용성 폐가스를 처리하기 위하여 분사된 용매가 메인덕트에 형성된 진공압에 의하여 역류되어 메인덕트로 빨려 올라가 메인덕트 및 메인덕트와 연통된 후속 설비를 심하게 부식시키는 문제점이 있다.

또다른 문제점으로는 처리된 폐가스가 메인덕트를 통하여 배기되도록 하기 위해서는 어쩔 수 없이 필터 부재에 적정 공극이 형성되어 있어야 하는데, 이 공극을 통하여 미세 파티클이 정제가스와 함께 배기되어 분진에 의한 환경 오염을 발생시키는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안은 이와 같은 종래 문제점을 감안하여 안출된 것으로써, 본 고안의 목적은 수용성 폐가스를 처리하기 위하여 수용성 폐가스에 분사된 용매가 메인덕트로 유입되지 않토록 함에 있다.

본 고안의 다른 목적은 가연성 폐가스가 처리된 후 발생한 파티클이 메인덕트로 유입되지 않토록 함에 있다.

본 고안의 또다른 목적은 후술될 본 고안의 상세한 설명에서 보다 명확해질 것이다.

도 1은 본 고안에 의한 집진 집수장치가 설치된 건습식 폐가스처리장치의 일실시예를 도시한 개념도.

도 2는 도 1의 A-A 단면도.

도 3은 본 고안에 의한 집진 집수장치의 다른 실시예를 도시한 단면도.

이와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위한 집진 집수장치는 입자 형태를 갖는 액체와, 입자 형태를 갖는 고체 알갱이가 혼합물을 이룬 상태로 유입되는 혼합물 유입관과, 혼합물 유입관을 통하여 유입된 혼합물에 원심력이 작용하도록 혼합물 유입관과 연통된 원심력 발생 몸체와, 원심력에 의하여 원심력 발생 몸체의 내부에서 집진된 고체 알갱이, 원심력에 의하여 집수된 액체가 드레인되는 혼합물 수거부와, 집진 및 집수가 종료된 후 기체만이 배기되도록 원심력 발생 몸체에 설치된 배기관를 포함한다.

집진 집수장치가 설치된 건습식 폐가스처리장치는 가연성 폐가스 및 수용성 폐가스로 구성된 폐가스중 상기 가연성 폐가스를 산화시켜 파티클을 형성시키는 폐가스 건식 처리 유닛, 폐가스 건식 처리 유닛에 피착된 파티클을 긁은 후 물과 혼합시켜 물-고체 혼합물을 형성 시킴으로써 폐가스 건식 처리 유닛으로부터 파티클을 제거하는 파티클 제거 유닛, 혼합물을 산화된 가연성 폐가스 및 수용성 폐가스로부터 분리시켜 혼합물은 드레인 탱크에 수거되도록 하는 분리 유닛, 수용성 폐가스를 용매에 혼합시켜 수용액화시킴과 동시에 파티클 제거 유닛에서 제거되지 않은 파티클을 포집하는 폐가스 복합 처리 유닛, 폐가스 복합 처리 유닛으로부터 처리된 폐가스를 진공압으로 배기시키는 메인덕트로 구성된 건습식 폐가스 처리장치에 있어서, 메인덕트와 폐가스 복합 처리 유닛의 사이에는 메인덕트의 진공압에 의하여 폐가스 복합 처리 유닛으로부터 유출된 용매 및 파티클에 원심력을 가하여 집수 및 집진을 수행하는 집진 집수 장치가 설치된다.

이하, 본 고안에 의한 집진 집수장치 및 집진 집수장치가 설치된 건습식 폐가스처리장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도 1에는 본 고안에 의한 집진 집수장치가 설치된 건습식 폐가스처리장치의 일실시예가 도시되어 있는 바, 먼저 건습식 폐가스처리장치(600)는 전체적으로 보아, 폐가스 유입 매니폴더(50), 폐가스 건식 처리 유닛(100), 파티클 제거 유닛(150), 분리 유닛(200) 및 폐가스 복합 처리 유닛(250), 드레인 유닛(300)으로 구성된다.

폐가스 건식 처리 유닛(100)은 폐가스를 공급받아 폐가스를 산화시켜 화학적으로 안정하면서도 매우 미세한 고체 알갱이 형태를 갖는 파티클로 상변환하는 역할을 한다.

이와 같은 역할을 하는 폐가스 건식 처리 유닛(100)의 내부에는 폐가스 건식 처리 유닛(100)에 피착된 파티클을 긁어 제거하는 파티클 제거 유닛(150)이 설치되며, 파티클 제거 유닛(150)은 폐가스 건식 처리 유닛(100)에 의하여 폐가스가 파티클로 상변환되면서 폐가스 건식 처리 유닛(100)의 내벽에 피착되는 파티클을 제거함과 동시에 내벽으로부터 제거된 파티클 및 내벽에 피착되지 않은 부유 파티클에 액체, 예를 들어 물을 혼합하여 파티클이 묽은 페이스트(paste) 상태가 되도록 한다.

이처럼 파티클에 액체를 가하여 페이스트 상태를 만드는 것은 폐가스 건식 처리 유닛(100)에서 형성된 고체-액체 혼합물인 파티클 페이스트, 미반응 수용성 폐가스류, 파티클이 포함되어 있는 폐가스로부터 파티클을 폐가스와 파티클이 갖는 독특한 상(state)의 성질을 이용하여 선별 분리함과 동시에 파티클 덩어리가 배관을 빈번하게 막는 것을 방지하기 위함이다.

이들 폐가스와 파티클을 각각 분리하기 위하여 파티클 제거 유닛(150)에는 분리 유닛(200)이 연결되는데, 분리 유닛(200)에 의하여 고체-액체 혼합물인 파티클 페이스트는 중력 방향으로 이동되어 드레인 유닛(300)으로 유입되도록 하고, 나머지 미반응 폐가스 및 파티클이 섞여 있는 수용성 폐가스는 폐가스 복합 처리 유닛(250)으로 분리 유입된다.

분리 유닛(200)의 타측 단부에는 파티클 페이스트와 폐가스-파티클 혼합기중 폐가스-파티클 혼합기가 유입되도록 폐가스 복합 처리 유닛(250)이 설치되고, 분리 유닛(200)의 하단부에는 파티클 페이스트가 유입되는 배관(260)이 연결되며, 배관(260)은 드레인 유닛(300)에 결합된다.

폐가스 복합 처리 유닛(250)은 통체(252), 바람직하게 복수개가 연통되도록조립된 통체(252)로, 통체(252)의 하단부에는 앞서 설명한 분리 유닛(200)의 단부가 연결된다.

이와 같은 폐가스 복합 처리 유닛(250)의 통체(252)의 외측면에는 포트(254)가 통체(252)를 관통하여 형성되고, 포트(254)에는 미반응 폐가스를 용해시키는 용매가 공급되는 용매 공급관(256)이 결합된다.

이때, 용매 공급관(256)의 단부에는 용매 분사 노즐이 형성되어 통체(252)에 공급된 미반응 수용성 폐가스는 용매 분사 노즐로부터 분사된 용매에 용해되어 수용액화된다.

이때, 일실시예로 통체(252)에 설치된 용매 분사 노즐은 소정 간격을 갖도록 복수개가 설치되는데, 이들중 가장 하부에 위치한 용매 분사 노즐은 상시 용매가 분사되고, 상부에 위치한 용매 분사 노즐일수록 용매 분사 노즐로부터 용매가 분사되는 시간 간격이 점차적으로 길어지도록 단속적으로 용매가 분사된다.

이때, 용매 분사 노즐로부터 용매가 분사되는 시간 간격은 폐가스가 용매에 녹는 정도인 용해도 표에 의하여 구해지며, 이처럼 소정 시간 간격을 갖고 용매 분사 노즐에서 용매를 분사하는 것은 폐가스가 용해된 용매가 외부로 배기되지 않토록 하기 위함이다.

또한, 폐가스 복합 처리 유닛(250)의 통체(252) 내부에는 폐가스 건식 처리 유닛(100)에서 생성되어 파티클 제거 유닛(150)에서 제거되지 않고 폐가스 복합 처리 유닛(250)으로 수용성 폐가스와 함께 유입된 파티클을 다시 한번 제거하기 위하여 파티클 흡착 제거용 필터 부재(260)가 가득 충진되어 있다.

그러나, 메인덕트의 진공압에 의하여 폐가스 복합 처리 유닛(250)에서 처리된 폐가스가 배기될 때, 처리된 폐가스와 함께 폐가스 복합 처리 유닛(250)의 수용액, 용매 또는 미세 파티클이 함께 메인덕트로 빈번하게 유출되어 메인덕트가 오염되는 경우가 발생하므로 이를 방지하기 위하여 폐가스 복합 처리 유닛(250)의 단부에는 연결 배관(400)의 일측 단부가 연통되고, 연결 배관(400)의 타측 단부에는 집진 집수장치(500)가 설치된다.

집진 집수장치(500)에는 다시 진공압이 형성된 메인덕트가 연통된다.

본 고안에서는 집진 집수장치(500)의 바람직한 실시예 2 개가 설명되고 있는 바, 이들을 첨부된 도 2 또는 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도 2를 참조하면, 집진 집수장치(500)는 하단이 개구된 원통 형상의 제 1 몸체(510), 제 1 몸체(510)의 하단부에 용접 등의 방법에 의하여 연통되며 하단이 개구된 고깔 형상을 갖는 제 2 몸체(520)로 형성된다.

이때, 제 1 몸체(510)의 상단부 중앙에는 개구(512)가 형성되고 개구(512)에 파이프 형상의 배기관(514)이 연통되며, 제 1 몸체(510)의 원통면에 대하여 접선 방향으로 개구가 형성되고, 개구에는 앞서 설명한 연결 배관(400)의 타측 단부가 연통된다. 다른 실시예로 개구에 급기관(515)을 형성하고 급기관(515)에 연결 배관(400)의 타측 단부를 결합시켜도 무방하다.

한편, 제 2 몸체(520)의 하단부에 형성된 개구에는 드레인 배관(530)의 일측 단부가 연통되고, 드레인 배관(530)의 타측 단부는 앞서 설명한 드레인 탱크(300)에 수거된 수용액에 잠기도록 설치된다.

이와 같이 형성된 집진 집수장치(500)의 작용을 간략하게 설명하면, 폐가스 복합 처리 유닛(250)으로부터 처리된 폐가스에는 수용액중 일부 또는 미세 파티클의 일부가 메인덕트의 진공압에 의하여 연결 배관(400)을 통하여 집진 집수 장치(500)로 유입된다.

이때, 수용액중 일부 또는 미세 파티클의 일부는 집진 집수 장치(500)의 제 1 몸체(510)의 원통면에 대하여 접선 방향으로 형성된 개구를 통하여 제 1 몸체(510)의 내부 접선 방향을 갖으면서 처리된 폐가스와 함께 혼합된 상태로 유입된다.

일단, 처리된 폐가스, 수용액의 일부분, 미세 파티클의 일부분이 제 1 몸체(510)의 내부 접선 방향으로 유입되면 이들은 제 1 몸체(510)의 내측면을 따라서 회전하면서 원심력을 받게 된다.

이때 수용액-미세 파티클-수용액의 순서대로 즉, 무거운 물체에는 더 큰 원심력이 작용하여 입자 형태의 수용액은 제 1 몸체(510)의 내부면에 제일 먼저 피착된 후 중력 방향으로 제 1 몸체(510)의 내부면을 따라 제 2 몸체(520)쪽으로 흘러 내려간다.

미세 파티클은 원심력에 의하여 제 1 몸체(510)의 내부면에 피착되면서 수용액과 혼합되고, 처리된 폐가스는 제 1 몸체(510)의 상단부에 형성된 배기관(514)을 통하여 메인덕트로 배기된다.

이때, 미세 파티클이 혼합된 수용액은 제 2 몸체(520)의 하단부에 연통된 드레인 배관(530)을 따라서 드레인 탱크(300)로 유입되어 수거됨으로써 미세 파티클과 수용액은 집진 집수 장치(500)에 의하여 집진 및 집수되고 처리된 폐가스만이 메인덕트를 통하여 배기된다.

첨부된 도 3에는 본 고안에 의한 다른 실시예가 도시되어 있다.

앞서 설명한 도 2의 실시예에서 집진 집수장치(500)의 제 1 몸체(510) 및 제 2 몸체(520)의 내측면에는 수용액과 미세 파티클이 피착되는데, 이때 수용액에 혼합된 미세 파티클이 제 2 몸체(520)의 내측면에 지속적으로 피착되어 미세 파티클이 성장하게 되어 주기적으로 집진 집수장치(500)를 폐가스 복합 처리장치로부터 분리하여 클리닝을 수행하는 불편함이 있다.

이와 같은 불편함을 제거하기 위하여 도 3의 실시예에서는 집진 집수장치(500)의 제 1 몸체(540) 및 제 2 몸체(550)의 내측면에 피착되면서 성장하는 미세 파티클을 긁어 제거하는 스크래이퍼 유닛(560)이 설치된다.

구체적으로, 도 3의 집진 집수장치(500)는 하단이 개구된 원통 형상의 제 1 몸체(540), 고깔 형상을 갖는 제 2 몸체(550) 및 스크래이퍼 유닛(560)으로 형성된다.

보다 구체적으로, 제 1 몸체(540)의 원통면 접선 방향으로는 타원 형상의 개구가 형성되며, 개구에는 앞서 언급한 연결 배관(400)의 단부가 용접 등의 방법에 의하여 연통된다.

이와 같이 연결 배관(400)이 연통된 제 1 몸체(540)의 내주면에는 중앙에 배기관(570)이 연통된 평평한 플레이트 형상의 커버(575)의 원주면이 용접 등의 방법에 의하여 결합된다.

이때, 제 1 몸체(540)의 내측면중 커버(575)에 의하여 분리된 2 개의 구역중 상부 구역(580)에 해당하는 제 1 몸체(540)의 원통면에는 메인덕트와 연통되도록 개구가 형성되고, 개구에는 메인덕트와 연통되도록 배기관(542)이 설치된다.

한편, 제 1 몸체(540)의 내측면중 커버(575)에 의하여 분리된 2 개의 구역중 하부 구역(590)에 해당하는 제 1 몸체(540)의 원통면 내측에 수용액과 혼합된 상태로 제 1 몸체(540)의 원통면 내측에 다량 피착된 파티클을 제거하기 위하여 스크래이퍼 유닛(560)의 스크래이퍼(562)가 설치된다.

스크래이퍼 유닛(560)은 스크래이퍼(562), 스크래이퍼(564)를 회전시키는 모터(564)를 포함한다.

스크래이퍼(562)는 제 1 몸체(540), 제 2 몸체(550)의 내측면 모두에 접촉되는 형상을 갖는 스크래이퍼 로드(562a) 및 스크래이퍼 로드(562a)가 제 1 몸체(540) 및 제 2 몸체(550)의 내측면에 항상 접촉되도록 지지하는 지지로드(562b)로 구성된다. 이때, 지지로드(562b)의 단부는 2 개로 갈라지고, 갈라진 2 개의 단부에는 핀 홀(pin hole)이 형성된다.

이와 같이 형성된 지지로드(562b)의 단부에는 지지로드(562b)를 소정 분당 회전수로 회전시키는 모터(564)의 회전축(564a)이 결합되는 바, 이를 구현하기 위하여 먼저 스크래이퍼 로드(562a)가 설치된 지지로드(562b)의 단부가 제 1 몸체(540)의 하단에 형성된 개구를 통하여 삽입되도록 한 후, 커버(575)의 배기구(570)를 관통하여 커버(575)외부로 돌출되도록 한다.

이와 같이 커버(575)의 배기구(570)를 통하여 돌출된 지지로드(562b)의 단부에 형성된 핀 홀(pin hole)과 모터(564)의 회전축(564a)에 형성된 핀 홀(pin hole)이 얼라인먼트된 상태에서 핀 홀과 핀 홀에는 핀(566)이 결합되어, 회전축(564a)에 토크가 발생하면 핀(566)에 의하여 지지로드(562b)에 토크가 전달되어 지지로드(562b)는 제 1 몸체(540) 및 제 2 몸체(550)의 내측면을 긁으면서 회전하게 된다.

이와 같이 스크래이퍼 유닛(560)이 제 1 몸체(540)에 결합된 상태에서 제 1 몸체(540)의 하단부에 형성된 개구에는 제 2 몸체(550)의 상단부가 용접 등의 방법에 의하여 연통된 후, 제 2 몸체(550)의 하단부에 형성된 개구에는 드레인 배관(530)의 일측 단부가 연통되고, 드레인 배관(530)의 타측단부는 앞서 언급한 드레인 탱크(300)에 결합된 후 드레인 탱크(300)에 수거된 수용액 속에 잠겨 있게 된다.

이와 같이 구성된 도 3의 실시예의 작용을 간략하게 설명하면 다음과 같다.

먼저, 폐가스 복합 처리 유닛(250)으로부터 연결 배관(400)을 통하여 집진 집수장치(500)로 처리된 폐가스, 미세 파티클, 수용액의 일부가 혼합된 상태로 유입되면서 처리된 폐가스, 미세 파티클, 수용액의 일부는 원심력을 받게 되는데, 중량이 무거운 수용액, 미세 파티클, 처리된 폐가스의 순서대로 큰 원심력을 받게 된다.

일단 수용액, 미세 파티클, 처리된 폐가스에 원심력이 작용하면 수용액은 제 1 몸체(540)의 내측면에 피착되어 중력 방향에 위치한 제 2 몸체(550) 측으로 흘러 내리게 되고, 흘러내리는 수용액에는 미세 파티클이 원심력에 의하여 다시 피착되어 혼합된다.

이와 같이 제 1 몸체(540)의 내측면에 혼합 상태로 피착된 수용액 및 미세 파티클은 지지로드(562b)에 설치되어 회전되는 스크래이퍼 로드(562a)에 의하여 긁혀지게 되고 긁혀진 수용액 및 미세 파티클 혼합물은 곧바로 드레인 배관(530)으로 유입된 후 드레인 탱크(300)로 수거된다.

한편, 중량이 매우 작은 처리된 폐가스는 드레인 배관(530)의 단부가 수용액에 잠겨 있음으로 드레인 탱크(300)로 유입되지 않고 배기관(542)을 통하여 메인덕트로 유입되어 폐가스 복합 처리 유닛(250)으로부터 메인덕트로 배기되던 미세 파티클 및 수용액의 일부는 집진 집수 장치에 의하여 집진 집수된다.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, 건습식 폐가스처리장치에 의하여 수용성 폐가스를 처리할 때 사용된 용매가 메인덕트로 빨려 올라감으로써 발생하는 메인덕트 및 메인덕트 후단에 설치된 타 설비의 부식 및 건습식 폐가스처리장치에서 가연성 폐가스를 처리하는 과정에서 생성된 미세 파티클중 집진되지 않은 잔여 미세 파티클이 메인덕트를 통하여 외부로 배출됨으로써 발생되는 환경 오염을 적극적으로 방지하는 효과가 있다.

Claims (10)

1. 가연성 폐가스 및 수용성 폐가스로 구성된 폐가스중 상기 가연성 폐가스를 산화시켜 파티클을 형성시키는 폐가스 건식 처리 유닛과,

   상기 폐가스 건식 처리 유닛에 피착된 상기 파티클을 긁은 후 물과 혼합시켜 물-고체 혼합물을 형성 시킴으로써 상기 폐가스 건식 처리 유닛으로부터 상기 파티클을 제거하는 파티클 제거 유닛과,

   상기 혼합물을 산화된 상기 가연성 폐가스 및 상기 수용성 폐가스로부터 분리시켜 상기 혼합물은 드레인 탱크에 수거되도록 하는 분리 유닛과,

   상기 수용성 폐가스를 용매에 혼합시켜 수용액화시킴과 동시에 상기 파티클 제거 유닛에서 제거되지 않은 파티클을 포집하는 폐가스 복합 처리 유닛과,

   상기 폐가스 복합 처리 유닛으로부터 처리된 폐가스를 진공압으로 배기시키는 메인덕트와,

   상기 메인덕트와 상기 폐가스 복합 처리 유닛의 사이에 설치되어 상기 폐가스 복합 처리 유닛으로부터 유출된 폐가스의 집수 및 집진을 수행하는 집진 집수 장치를 포함하며,

   상기 집진 집수장치는,

   입자 형태를 갖는 액체와, 입자 형태를 갖는 고체 알갱이가 혼합물을 이룬 상태로 유입되는 혼합물 유입관과;

   상기 혼합물 유입관을 통하여 유입된 상기 혼합물에 원심력이 작용하도록 상기 혼합물 유입관과 연통된 원심력 발생 몸체와;

   상기 원심력에 의하여 상기 원심력 발생 몸체의 내부에서 집진된 상기 고체 알갱이, 상기 원심력에 의하여 집수된 상기 액체가 드레인되는 혼합물 수거부와;

   집진 및 집수가 종료된 후 기체만이 배기되도록 상기 원심력 발생 몸체에 설치된 배기관를 포함하는 것을 특징으로 하는 집진 집수 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 원심력 발생 몸체는 원통 형상으로 상기 원심력 발생 몸체의 상단부 중앙에는 상기 배기관이 형성되고, 상기 원심력 발생 몸체의 원통면에는 상기 혼합물 유입관이 연통된 것을 특징으로 하는 집진 집수 장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 혼합물 유입관은 상기 원심력 발생 몸체의 접선 방향으로 연통된 것을 특징으로 하는 집진 집수 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 배기관은 진공압을 발생시키는 진공압 발생장치와 연통된 것을 특징으로 하는 집진 집수 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 원심력 발생 몸체에는 상기 원심력 발생 몸체의 내측면에 집진된 고체 알갱이와 집수된 액체를 긁어 제거하는 스크래이퍼 유닛이 설치된 것을 특징으로 하는 집진 집수 장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 스크래이퍼 유닛은

   상기 원심력 발생 몸체의 내측면과 접촉되는 스크래이퍼와;

   상기 스크래이퍼를 상기 원심력 발생 몸체의 내측면을 따라서 회전시키는 스크래이퍼 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 집진 집수 장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 스크래이퍼 구동장치는 모터인 것을 특징으로 하는 집진 집수장치.
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