KR200247991Y1

KR200247991Y1 - 시너 라인의 버블 자동 배출장치

Info

Publication number: KR200247991Y1
Application number: KR2020010019469U
Authority: KR
Inventors: 이승호
Original assignee: 동부전자 주식회사
Priority date: 2001-06-28
Filing date: 2001-06-28
Publication date: 2001-10-17

Abstract

본 고안은 시너 라인의 버블 자동 배출장치에 관한 것으로, 용매 조(solvent bath)에 연동된 시너 필터(thinner filter)에 용매 조 라인(solvent bath line)을 연결하여 시너 필터에 정체된 버블(bubble)을 용매 조 라인을 통해 용매 조에 자동 배출(auto vent)하도록 한다. 따라서, 각종 웨이퍼 수율 감소 현상 및 웨이퍼에 시너 어택 및 EBR 불량 현상을 방지하며, 운용자가 시너 필터에 정체되는 버블을 계속적으로 관찰해야 하는 번거로운 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.

Description

시너 라인의 버블 자동 배출장치{APPARATUS FOR AUTO VENTING BUBBLE IN THINNER LINE}

본 고안은 시너 라인의 버블 자동 배출장치에 관한 것으로, 특히 트랙(track) 장비내의 코터 유닛(coater unit)에 있어서, 시너 필터에 용매 조 라인(solvent bath line)을 연결하여 시너 필터에 정체된 버블(bubble)을 자동적으로배출(vent)하도록 하는 장치에 관한 것이다.

통상적으로, 트랙(track) 장비는 반도체 공정에서 웨이퍼 상에 포토 레지스트(phote resist)를 도포하고 노출(expose)된 웨이퍼를 현상액을 이용하여 현상하는 장비이다. 여기서 포트 레지스트를 도포하는 유닛을 코터(coater)라 하며, 이 코터는 포토 레지스트를 웨이퍼에 공급(dispense)하고 일정시간이 경과한 후, 웨이퍼의 에지(edge)와 백 면(back side)을 클리닝(cleaning)하기 위해 시너 용액을 공급한다.

즉, 시너 용액을 웨이퍼 에지에 공급하는 배관도는 도 1에 도시된 바와 같다.

도 1을 참조하면, 버퍼 탱크(1)에 저장된 시너 용액이 3웨이 밸브(2)를 거쳐 3개의 핀 플로우(3,4,5)를 통해 각각의 시너 필터(6,7,8)에 제공되어 정체된다.

그중, 시너 필터(6)에 정체된 시너 용액은 온/오프 밸브(9)의 온(ON) 제어에 따라 용매 조에 유입되면 용매 조에서 시너 용액에서 발생되는 FUME을 이용해 포토 레지스트 노즐의 경화를 방지하고, 유량계(10)의 유량 제어에 따라 일정량이 유입되는 시너 용액 또한 온/오프 밸브(11)의 온(ON) 제어에 따라 에지 비즈 리므블(edge bead removal) 노즐을 통해 웨이퍼에 분사되며, 온/오프 밸브(12)의 온(ON) 제어에 따라 서너 용액이 RRC 노즐을 통해 웨이퍼에 분사된다.

그리고, 시너 필터(7)에 정체된 시너 용액은 온/오프 밸브(13)의 온(ON) 제어에 따라 제1 백 린스(back rinse) 노즐을 통해 웨이퍼에 분사되며, 시너 필터(8)에 정체된 시너 용액은 온/오프 밸브(14)의 온(ON) 제어에 따라 제2 백 린스(backrinse) 노즐을 통해 웨이퍼에 분사된다.

이때, 시너 필터(6,7,8)에 시너 용액이 정체되는 과정에 있어서, 시너 용액에서 버블이 발생할 경우, 이 버블은 시너 필터(6,7,8)에 계속적으로 정체되는데, 이 시너 필터(6,7,8)에 정체된 버블을 운용자가 직접 메뉴얼 밸브(15,16,17)를 오픈(open)하여 버블을 배출해 주어야 한다.

만약, 운용자의 착오로 인하여 메뉴얼 밸브(15,16,17)를 오픈(open)하여 버블을 배출해 주어야 하는 작업을 잊을 경우, 버블은 계속 시너 필터(6,7,8)에 정체되다가 일정량 이상 모이면 온/오프 밸브(9,11,12,13,14) 및 노즐을 통해 시너 용액에 함유되어 웨이퍼에 분사하게 된다.

즉, 웨이퍼에 시너 용액이 분사될 때, 시너 용액에 버블이 함유되어 나올 경우 웨이퍼 안쪽으로 시너 용액이 튀어 들어가거나 에지에 있는 포토 리스트를 제대로 클리닝하지 못해 웨이퍼의 수율을 감소시키며, 웨이퍼에 시너 어택 및 EBR 불량이 발생하게 된다.

이에 따라, 웨이퍼 수율 감소 현상 및 웨이퍼에 시너 어택 및 EBR 불량을 방지하기 위해 시너 필터(6,7,8)에 정체되는 버블을 계속적으로 관찰하면서, 일정량 이상이 정체되면, 운용자가 직접 메뉴얼 밸브(15,16,17)를 오픈(open)하여 버블이 배출되도록 하여 방지할 수 있지만, 운용자가 시너 필터(6,7,8)에 정체되는 버블을 계속적으로 관찰해야 하는 불편하고 번거로운 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 그 목적은 시너 필터에 용매 조 라인(solvent bath line)을 연결하여 시너 필터에 정체된 버블(bubble)을 자동적으로 배출(vent)하도록 하는 시너 라인의 버블 자동 배출장치를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 고안에서 시너 라인의 버블 자동 배출장치는 용매 조(solvent bath)에 연동된 시너 필터(thinner filter)에 용매 조 라인(solvent bath line)을 연결하여 시너 필터에 정체된 버블(bubble)을 용매 조 라인을 통해 용매 조에 자동 배출(auto vent)하도록 하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래 시너 라인의 버블 배출장치에 대한 도면이며,

도 2는 본 고안에 따른 시너 라인의 버블 자동 배출장치에 대한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

18 : 버퍼 탱크 20 : 3웨이 밸브

30,40,50 : 핀 플로우 60,70,80 : 시너 필터

90,110,120,130,140 : 온/오프 밸브 100 : 유량계

150,160 : 메뉴얼 밸브

S1 : 용매 조 라인(solvent bath line)

S2 : 용매 조

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 바람직한 실시 예의 동작을 상세하게 설명한다.

도 2는 본 고안에 따른 시너 라인의 버블 자동 배출장치에 대한 도면으로서, 버퍼 탱크(18)와, 3웨이 밸브(20)와, 핀 플로우(30,40,50)와, 시너 필터(60,70,80)와, 온/오프 밸브(90,110,120,130,140)와, 유량계(100)와, 메뉴얼 밸브(150,160)를 포함한다.

버퍼 탱크(18)는 시너 용액을 저장하고 있으며, 저장된 시너 용액을 3웨이 밸브(20)에 유입시키면, 3웨이 밸브(20)는 유입되는 시너 용액을 3개의 핀 플로우(30,40,50)를 통해 각각의 시너 필터(60,70,80)에 제공하여 정체되도록 한다.

그중, 시너 필터(60)에 정체된 시너 용액은 유량계(10)의 유량 제어에 따라 일정량으로 온/오프 밸브(110)의 온(ON) 제어에 따라 EBR(Edge Bead Removal) 노즐을 통해 웨이퍼에 분사되며, 온/오프 밸브(120)의 온(ON) 제어에 따라 서너 용액이 RRC 노즐을 통해 웨이퍼에 분사된다.

그리고, 시너 필터(70)에 정체된 시너 용액은 온/오프 밸브(130)의 온(ON) 제어에 따라 제1 백 린스(back rinse) 노즐을 통해 웨이퍼에 분사되며, 시너 필터(80)에 정체된 시너 용액은 온/오프 밸브(140)의 온(ON) 제어에 따라 제2 백 린스(back rinse) 노즐을 통해 웨이퍼에 분사된다.

이때, 시너 필터(60,70,80)에 시너 용액이 정체되는 과정에 있어서, 시너 용액에서 버블이 발생할 경우, 이 버블은 시너 필터(60,70,80)에 계속적으로 정체되는데, 이 시너 필터(60,70,80)에 정체된 버블 중 시너 필터(70,80)에 정체된 버블은 운용자가 직접 메뉴얼 밸브(150,160)를 오픈(open)하여 버블을 인위적으로 배출해 주어야 한다.

특히, 본 발명에 따라 시너 필터(60,70,80)에 정체된 버블 중 시너 필터(60)에 정체된 버블은 용매 조 라인(solvent bath line)(S1)을 통해 온/오프 밸브(90)에 자동 배출된다. 여기서, 용매 조 라인(S1)은 정해진 시간, 즉 30분 또는 1시간에 한번 정도 시너 용액을 자동적으로 공급한다.

온/오프 밸브(90)는 밸브의 온 제어에 따라 시너 필터(60)로부터 용매 조 라인(S1)을 통해 유입되는 버블이 함유된 시너 용액을 용매 조(S2)에 자동 배출한다.

용매 조(S2)는 포토 레지스트 노즐이 대기하고 있는 곳으로, 온/오프 밸브(90)를 통해 배출된 시너 용액에서 발생하는 퓨음(fume)(공정중 광물질이 증발한 가스상태로부터 벗어나 화학반응으로 응축하여 생기는 고체입자)을 이용해 포토레지스트 노즐의 경화를 방지하는 유닛임에 따라 시너 용액에 버블이 함유되어 있어도 웨이퍼에는 직접적으로 접촉되지 않아 버블에 의해 발생되는 각종 웨이퍼 수율 감소 현상 및 웨이퍼에 시너 어택 및 EBR 불량 현상이 나타나지 않게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안은 시너 필터에 용매 조 라인(solvent bath line)을 연결하여 시너 필터에 정체된 버블(bubble)을 자동적으로 배출(vent)함으로써, 각종 웨이퍼 수율 감소 현상 및 웨이퍼에 시너 어택 및 EBR 불량 현상을 방지하며, 운용자가 시너 필터에 정체되는 버블을 계속적으로 관찰해야 하는 번거로운 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.

Claims

시너 라인의 버블 배출장치에 있어서,

용매 조(solvent bath)에 연동된 시너 필터(thinner filter)에 용매 조 라인(solvent bath line)을 연결하여 상기 시너 필터에 정체된 버블(bubble)을 상기 용매 조 라인을 통해 상기 용매 조에 자동 배출(auto vent)하도록 하는 것을 특징으로 하는 시너 라인의 버블 자동 배출장치.