KR200208173Y1 - 포토레지스트의 도포장치 - Google Patents

Abstract

음극선관 패널 내면에 포토레지스트를 도포하는 장치로서, 종래에 도포되고 남은 포토레지스트를 회수하여 재사용할 수 없어 포토레지스트를 도포시 원가가 상승되는 문제점을, 측정탱크에서 성분측정된 혼합액을 혼합탱크에 보관 후, 이를 패널 내면에 도포하게 되는 포토레지스트의 도포장치에 있어서, 상기 패널에 도포되고 남은 잉여분의 포트레지스트가 모아지는 회수부와; 이 회수부와 제5호스로 연결되어 상기 잉여 포트레지스트를 냉각시키는 회수냉각부재와; 이 회수냉각부재와 제6호스로 연결되어 냉각된 회수 포토레지스트가 수용되는 저장소와; 이 저장소와 상기 혼합탱크에 연결됨은 물론, 소정의 위치에 질량 유량계가 설치된 제7호스를 포함하여 이루어지는 포토레지스트의 도포장치를 제공하여, 원감절감 및 양호한 상태의 포토레지스트의 도포로 음극선관의 품질을 향상시킬 수 있는 포토레지스트의 도포장치에 관한 것.

Description

포토레지스트의 도포장치

제1도는 본 고안에 의한 포토레지스트의 도포장치를 도시한 개략도,

제2도는 종래의 포토레지스트의 도포장치를 도시한 개략도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

50 : 회수부 54 : 제5호스

56 : 회수냉각부재 58 : 제6호스

60 : 저장소 62 : 제7호스

64 : 필터부재 P : 패널

[산업상의 이용분야]

본 고안은 포토레지스트의 도포장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 패널에 도포되고 남은 잉여분의 포토레지스트를 회수하여 이를 재사용함으로써 원가 절감을 실현할 수 있는 포토레지스트의 도포장치에 관한 것이다.

[종래의 기술]

일반적으로 음극선관의 패널에 형광면을 제조시에는, 포토레지스트(P/R, Photo Resist)를 상기 패널 내면에 도포하여 사용하게 되는 바, 종래에 이러한 포토레지스트의 도포는 제2도에 도시된 포토레지스트 도포장치를 통하여 이루지게 된다.

도면을 참조하여 종래의 상기한 장치를 통해 포토레지스트가 패널에 도포되는 과정을 개략적으로 알아 보면, 우선 혼합탱크(10)로 각 저장소(12, 14, 16, 18, 20, 22)에 저장되어 있는 고점도 조절액, 저점도 조절액, 수소이온농도지수(이하, pH라 칭함)조절액, 계면활성제, 보강제, 감광제가 각기 제1호스(24)를 통해 공급된다.

이때, 상기한 각 성분액은 상기 제1호스(24)에 설치되어 있는 질량 유량계(26)에 의하여 그 이송량을 제어받게 된다.

이에 상기 혼합탱크(24)에서 상기 각 성분액이 일정비율로 혼합된 액은 다시 제2호스(28)를 통해 측정탱크(30)으로 보내지게 되는 바, 여기서 상기 혼합액은 상기 측정탱크(30) 내부에 설치되어 있는 프로팅 스위치(32)의 감지에 의해 측정탱크(30)의 일정부위만큼 자동공급되게 된다.

이와 같이 공급된 혼합액은 상기 측정탱크(30)내에서 이 측정탱크(30)에 설치되어 있는 온도계(34), 점도계(36) 및 pH 미터기(38)에 의해 그 성분이 측정된 후, 제3호스(40)와 제4호스(42)를 통해 다시 상기 혼합탱크(10)로 이송되게 된다.

이렇게 하여 상기 혼합탱크(10)에 조합완료된 포토레지스트는 패널(P) 상면으로 위치한 전자변(44)의 작동에 의해 상기 제4호스(42)를 통해 패널(P)내면으로 도포될 수 있게 된다.

그런데, 이와 같은 종래의 포토레지스트 도포장치에는 상기 패널에 과잉의 포토레지스트가 도포되어 잉여분의 포토레지스트가 발생되면, 이 잉여분의 포토레지스트를 회수할 수 있는 장치가 따로이 마련되어 있지 않기 때문에, 상기한 잉여분의 포토레지스트를 회수하여 재사용할 수 없다는 문제점이 발생된다.

이에 종래에는 상기와 같이 잉여분의 포토레지스트가 발생되면, 이를 그냥폐기처리했기 때문에 상기 장치릍 이용하여 패널에 포토레지스트를 도포시에는 많은 양의 포토레지스트가 소모되므로 그 비용이 상승하게 된다.

따라서, 본 고안은 이러한 종래의 포토레지스트 도포장치가 안고 있는 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 패널이 도포되고 남은 포토레지스트를 회수하여 이를 재사용함으로써 원가절감을 이룰 뿐만 아니라 음극선관의 품질 또한 향상시킬 수 있는 포토레지스트의 도포장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

[문제점을 해결하기 위한 수단]

이에 본 고안은 상기 목적을 실현하기 위하여, 측정탱크에서 성분측정된 혼합액을 혼합탱크에 보관 후, 이를 패널 내면에 도포하게 되는 포토레지스트의 도포장치에 있어서, 상기 패널에 도포되고 남은 잉여분의 포토레지스트가 모아지는 회수부와,이 회수부와 제5호스로 연결되어 상기 잉여 포토레지스트를 냉각시키는 회수냉각부재와, 이 회수냉각부재와 제6호스로 연결되어 냉각된 회수 포토레지스트가 수용되는 저장소와, 이 저장소와 상기 혼합탱크에 연결됨은 물론, 소정의 위치에 질량 유량계가 설치된 제7호스룔 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 포토레지스트의 도포장치를 제공한다.

이때, 상기 혼합탱크와 포토레지스트를 패널에 도포하는 전자변사이에 연결된 제4호스에는, 그 소정의 위치에 필터부재가 설치됨을 특징으로 한다.

[실시예]

이하, 본 고안의 이해을 돕기 위하여 바람직한 실시예를 첨부한 도면과 더불어 상세히 설명하면 다음과 같다.

제1도는 본 고안에 의한 포토레지스트의 도포장치를 설명하기 위한 개략도로서, 편의상 종래와 동일한 부분은 같은 부호를 사용하도록 한다.

도시된 바와 같이 본 고안은 종래와 마찬가지로 각 저장소(12, 14, 16, 18, 20, 22)에 저장되어 있는 각 성분액이 혼합탱크(10)에 일정비율로 혼합된 후, 측정탱크(30)로 보내져 성분측정되고 다시 혼합탱크(10)로 이송된 포토레지스트가 전자변(44)을 통해 패널(P)에 도포되는 기본구조로 이루고 있다.

이러한 구성에 본 고안은 상기 패널(P)에 도포되고 남은 상기 포토레지스의 잉여분을 다시 회수하여 재사용 할 수 있도록 회수장치를 더욱 포함하여 마련되게 된다.

상기 회수장치를 도면을 통해 설명하자면 먼저, 상기 패널(P)의 하측으로는 이 패널(P)에 포토레지스트가 도포되고 잉여 포토레지스트가 발생되면, 이 잉여 포토레지스트가 회수될 수 있는 회수부(50)가 배치되어 있다.

상기 회수부(50)에 잉여 포토레지스트가 모여지도륵 하는 것은 상기 패널(P)를 지지하고 있는 캐리어(52)가 틸트됨에 따라 인해 이루어지게 된다.

이렇게 하여 상기 회수부(50)에 잉여 포토레지스트가 회수되면, 이 회수 포트레지스트는 제5호스(54)를 따라 회수냉각부재(56)로 이송되게 된다.

여기서 상기 회수냉각부재(56)는 고온도 상태인 상기 회수 포토레지스트의 온도를 일정온도까지 저하시켜 주는 작용을 이루게 된다.

이와 같이 온도저하된 상기 회수 포트레지스트는 제6호스(58)따라 이송되어 저장소(60)에 저장될 수 있게 된다.

이후, 상기 저장소(60)에 저장된 회수 포토레지스트는 다른 저장소(12, 14, 16, 18, 20, 22)에 저장된 각 성분액과 마잔가지로 그 소정의 위치에 질량 유량계(26)가 설치되면서 상기 혼합탱크(10)에 연결되어 있는 제7호스(62)를 따라 혼합탱크(10)에 공급될 수 있게 된다.

한편, 본 고안의 상기 포토레지스트 도포장치에는 상기 혼합탱크(10)와 전자변(44) 사이로 연결된 제4호스(42)에 밀터부재(64)가 설치되어 구성된다.

이에 상기와 같이 구성되는 본 고안이 회수한 상기 회수 포토레지스트의 점도 및 pH를 일정화해가며 상기 패널(P)에 포토레지스트를 도포하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 도포작업을 이루기 위하여 상기 혼합탱크(10)에 각 저장(12, 14, 16, 18, 20, 22, 60)에 저장되어 있는 고점도, 저점도, pH 조절액, 계면활성제, 보강제, 감광제 그리고 포토레지스트의 회수액이 각 질량유량계(26)의 제어에 따라 일정성분으로 공급되게 된다.

이때, 상기 회수액에 있어서 그 성분에 이상이 발생되면 본 고안은 이를 보정하면서 사용하게 되는 바, 이는 즉 상기 회수액이 점도가 높은 상태로 공급될 경우에는 상기 저점도 조절액, 보강제, 감광제에 해당되는 각 질량유량계(26)가 작동하여 셋팅된 양만큼 저점도 조절액, 보강제, 감광제를 추가 공급하여 상기 회수액의 성분을 보정시키게 된다.

또한, 상기 회수액이 점도가 낮은 상태로 상기 혼합탱크(10)에 공급되면 상기 경우와 같이 고점도 조절액, 보강제, 감광제에 해당되는 각 질량유량계(26)가 작동하여 셋팅된 양만큼 고점도 조절액, 보강제, 감광제를 추가 공급함으로써 상기 회수액의 낮은 점도성분을 보정시키게 된다.

한편, 본 고안은 상기 회수액의 pH 성분에 이상이 있을 때에도 이를 보정하여 사용하게 되는 바, 이는 즉 상기 회수액이 pH치가 낮은 상태로 상기 혼합탱크(10)에 공급되면, 이때 상기 pH 조절액에 해당하는 질량유량계(26)의 작동으로 인해 pH 조절액이 추가공급되어 상기 혼합액외 pH치를 적정수준으로 보정시키게 된다.

이와는 반면 상기 혼합액의 pH치가 높은 경우에는 이를 폐기 처리시키게 된다.

이와 같이 해서 상기 혼합탱크(10)에서 그 성분이 조절된 혼합액은 제2호스(28)를 통해 측정탱크(30)으로 이송되어 점도 및 pH치가 상기 점도계(36)와 pH 미터기(38)의 센싱으로 자동분석된 후, 제3,4호스(40, 42)을 통해 재차 혼합탱크(10)에 공급되어 보관되게 된다.

이처럼 상기 회수액올 혼합하여 그 성분이 측정완료된 포토레지스트는 상기 혼합탱크(10)에서 상기 전자변(44)이 작동하게 되면, 상기 패널(P) 내면으로 도포하게 되는데, 이때 이 포토레지스트는 상기 제4호스(42)로 이송시에 상기한 필터부재(64)을 통과하면서 이송되게 된다.

여기서 상기 필터부재(64)는 상기 포토레지스트에 혼합된 회수액이 포함하고 있던 이물질을 걸러주게 된다.

이에 따라 상기 포토레지스트는 회수액을 포합시킴으로써 발생하게 되는 이물질을 최소화시킬 수 있게 되므로, 양호한 상태의 포토레지스트로서 상기 패널(P)에 도포될 수 있다.

[고안의 효과]

이상에서 살펴 본 바와 같이 본 고안에 의한 포토레지스트의 도포장치는, 종래에 패널에 도포되고 남은 포토레지스트를 회수하여 재사용하게 됨으로써 패널에 포트레지스트를 도포시 포토레지스트의 낭비를 막아 원가절감을 이룰 수 있는 장점을 지니게 된다.

또한, 본 고안은 회수된 잉여 포토레지스트의 성분조절 및 이에 포함된 이물질을 걸러주게 구성됨으로써, 포토레지스트의 상태를 이물질이 없는 양호한 상태로 이루어 이를 패널에 도포할 수 있는 이점을 더불어 안게 된다.

Claims (2)

1. 포토레시스트를 구성하는 성분액이 각기 수용되는 복수의 저장소(12, 14, 16, 18, 20, 22)와, 제1호스(24)를 통해 상기 각 저장소(12, 14, 16, 18, 20, 22)와 연결되는 혼합탱크(10)와, 상기 제1호스(24)에 설지되는 질량 유량계(26)와, 제2호스(28)를 통해 상기 혼합탱크(10)와 연결되는 측정탱크(30)와, 제4호수(42)를 통해 상기 혼합탱크(10)와 연결되는 전자변(44)과, 상기 측정탱크(30)외 상기 제4호스(42)에 연결되는 제3호스(40)와, 패널(P) 내면에 도포되고 남은 잉여분의 포토레지스트가 모아지는 회수부(50)와, 이 회수부(50)와 제5호스(54)르 연결되어 상기 잉여 포토레지스트틀 냉각시키는 회수냉각부재(56)와, 이 회수냉각부재(56)와 제6호스(58)로 연결되어 냉각된 회수 포토레지스트가 수용되는 저장소(60), 및 이 저장소(60)와 상기 혼합탱크(10)에 연결됨은 물론, 소정의 위치에 질량 유량계(26)가 설치된 제7호스(62) 를 포함하는 포토레지스트의 도포장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 제4호스(42)의 소정의 위치에 필터부재(64)가 설치되는 포토레지스트의 도포장치.