JP2001276600A - 薬品の供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 たとえば半導体ウエハや液晶のガラス基板の
汚れを洗浄するために使用されるアルカリ還元水の製造
のために、そのアルカリ還元水の製造工程へアンモニア
を供給するような工業薬品や化学薬品等の薬品の供給装
置に関し、タンクローリー車によるアンモニアの供給を
不要とし、原液槽が大型化することもなく、またアンモ
ニアの臭気が周辺に拡散することもなく、アンモニアの
補給作業のためのアンモニア残量の監視の頻度を少なく
し、また人手による原液槽への直接的な補給作業を必要
としない供給装置を提供することを課題とする。 【解決手段】 薬品が収納され、薬品の供給のための配
管部に接続しうるカプラーが具備されている２個以上の
キャニスター1a,1b …と、該キャニスター1a,1b …内の
薬品の重量を測定するための重量計と、前記２個以上の
キャニスター1a,1b …のうち、１個のキャニスター内の
前記重量計で測定される薬品の重量を検知して、薬品の
供給路を他のキャニスターに自動的に切り換えるための
自動切換手段とを具備することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、工業薬品や化学薬
品等の薬品の供給装置、さらに詳しくは、たとえば半導
体ウエハや液晶のガラス基板の汚れを洗浄するために使
用されるアルカリ還元水の製造のために、そのアルカリ
還元水の製造工程へアンモニアを供給するような供給装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】周知の
ように、半導体ウエハや液晶のガラス基板の汚れの洗浄
には、純水や超純水が用いられるが、特に微粒子に対す
る洗浄効果を高めるためには、純水に水素ガスとアルカ
リを溶解させた洗浄水が用いられている。

【０００３】この洗浄水は、アルカリ性を呈し且つ負の
酸化還元電位を有することから、アルカリ還元水と称さ
れているが、このようなアルカリ還元水を製造するに
は、その製造ラインにアンモニア水のようなアルカリ溶
液を供給することが必要であり、そのアンモニア水を供
給するための装置が必要である。

【０００４】一般に、液体状の工業薬品を供給する供給
装置としては、従来では、図３に示すように、薬品を貯
留する原液槽31と、該原液槽31から供給される原液とし
ての薬品を希釈するための希釈槽32とで構成したものが
ある。

【０００５】このような供給装置では、原液槽31への薬
品の補給作業を容易にする観点から、一般にタンクロー
リー車で薬品が原液槽31へ供給されている。

【０００６】このようなタンクローリー車で薬品を供給
する場合、小容量では経済性が低いため、原液槽31の容
量をたとえば２m³以上にする等、大きくする必要があ
る。

【０００７】しかし、原液槽31の容量が大きくなると、
貯留時間も長くなり、高濃度のアンモニア水のような揮
発性の薬品の場合、原液槽31内のアンモニアが放散さ
れ、濃度が下がるという問題があった。

【０００８】また、アルコール等では、揮発することに
よって量そのものが減るという問題もあった。

【０００９】このように濃度を下げず、量を減少させ
ず、さらに臭気を放散させないためには、原液槽31を密
閉状態にする必要がある。

【００１０】また、高濃度アンモニア（濃度29％）の蒸
気圧は30℃で1.6kg/cm²であり、原液槽31内の圧力をこ
れ以上に保つ必要がある。

【００１１】さらに、補給時や希釈槽に送液するとき
に、槽内の圧力を調整する機構や排気を処理する装置が
必要となり、装置全体が大型化するという問題があっ
た。

【００１２】一方、装置を小型化する観点から、図４に
示すように、５〜20L 程度の比較的小さい原液槽31を用
いる供給装置も採用されている。

【００１３】しかし、このような装置では、タンクロー
リー車を使用することができず、原液槽へのアンモニア
の補給は人手で行う必要があり、アンモニアの臭気が拡
散するおそれがあった。

【００１４】また、原液槽を取り外して原液槽ごと交換
する場合、配管を外す必要があり、仮に管継手等の接続
部分で外したとしても、配管内のアンモニアが漏れて臭
気が拡散するおそれがあった。

【００１５】さらに、アンモニアの補給を人手で行うこ
とになるので、頻繁に監視を行い、原液槽内のアンモニ
アの残量を確認して、空になる前にアンモニアを補給す
るか原液槽ごと交換する必要がある。

【００１６】そして、このようにアンモニアの補給を定
期的且つ頻繁に行うのは、非常に煩雑である。

【００１７】本発明は、このような問題点をすべて解決
するためになされたもので、従来のように、タンクロー
リー車によるアンモニアの供給を不要とし、原液槽が大
型化することもなく、またアンモニアの臭気が周辺に拡
散することもなく、アンモニアの補給作業のためのアン
モニア残量の監視の頻度を少なくし、また人手による原
液槽への直接的な補給作業を必要としない供給装置を提
供することを課題とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するためになされたもので、その課題を解決す
るための手段は、薬品が収納され、薬品の供給のための
配管部に接続しうるカプラーが具備されている２個以上
のキャニスター1a,1b …と、該キャニスター1a,1b …内
の薬品の重量を測定するための重量計と、前記２個以上
のキャニスター1a,1b …のうち、１個のキャニスター内
の前記重量計で測定される薬品の重量を検知して、薬品
の供給路を他のキャニスターに自動的に切り換えるため
の自動切換手段とを、薬品の供給装置に具備させたこと
である。

【００１９】キャニスター1a,1b …は、透視できる部分
の存在しない密閉されたタンクである。従って、たとえ
ばレベルスイッチ等によって外部から液量を確認するこ
とはできない。そのために、本来はキャニスター1a,1b
…内の薬品の残量を確認することはできない。

【００２０】しかし、本発明では、キャニスター1a,1b
…内の薬品の重量を測定するための重量計を装置に具備
させるとともに、１個のキャニスター内の薬品の重量を
検知して薬品の供給路を他のキャニスターに自動的に切
り換えるための自動切換手段を装置に具備させたため、
キャニスターが密閉タンクであるにもかかわらず、上記
重量計や自動切換手段で、キャニスター内の薬品の残量
を確認することができるとともに、薬品の供給路の切り
替えを自動的に行うことができるのである。

【００２１】一方、キャニスターに取り付けられている
カプラーは、配管部を抜き取った状態では閉となってキ
ャニスターを密閉し、配管部を差し込んだ状態では開と
なって配管部の内部と連通状態となるようなものであ
り、キャニスターを交換する作業中のカプラーの抜き取
りや差し込みによりアンモニアの臭気が外部に放散され
ることがない。

【００２２】また、このようなカプラーによって、使用
済のキャニスターからの配管部の抜き取りはカプラーを
介してワンタッチで簡単に行うことができ、また新たな
キャニスターへの配管部の差し込みも、カプラーを介し
てワンタッチで簡単に行うことができる。

【００２３】尚、キャニスター1a,1b …へは、圧送用ガ
スを供給するための圧送用ガス供給路を設けることも可
能である。

【００２４】自動切換手段としては、キャニスター1a,1
b …への圧送用ガス供給路となる配管部7a,7b …に設け
られた自動弁8a,8b …のようなものが採用される。

【００２５】また、キャニスター1a,1b …からの薬品の
供給路となる配管部5a,5b …に設けられた自動弁6a,6b
…又は逆止弁のようなものが採用される。

【００２６】また、薬品を希釈する必要がある場合、高
濃度の薬品を希釈する希釈槽３を、キャニスター1a,1b
…の後段に設けることも可能である。

【００２７】この場合、希釈槽３で希釈された薬品を貯
留するための貯留槽12を、該希釈槽３の後段に設けるこ
とも可能である。

【００２８】さらに、希釈槽３へ供給される薬品と希釈
水とを攪拌混合するための窒素ガス等の圧送用ガスを、
希釈槽３内に注入することも可能である。また、窒素ガ
ス等で攪拌混合するほかに、攪拌機や循環ポンプ等の手
段を用いることも可能である。

【００２９】さらに、希釈槽３内の薬品量の検知や希釈
濃度を調整するためのレベルスイッチ11を、希釈槽３に
設けることも可能である。このようなレベルスイッチ
は、貯留槽12に設けることも可能である。

【００３０】希釈槽３と貯留槽12には、吸排気用配管部
15,16 を接続することが可能であり、さらに、吸排気用
配管部15,16 の先端側にダクト配管部を設けることが可
能である。また、吸排気用配管部15,16 に別々にダクト
配管部を設けることも可能である。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につい
て、図面に従って説明する。

【００３２】図１は、一実施形態としてのアンモニア供
給装置の概略ブロック図を示す。

【００３３】図１において、1a,1b は、アンモニアが貯
留されたキャニスターで、配管の接続部分となるカプラ
ー（図示せず）が取り付けられている。

【００３４】このカプラーは、差し込むだけのワンタッ
チの作業で、配管が接続でき、外すときも液もれや臭気
の拡散を生じさせないように、キャニスター1a,1b に取
り付けられるものである。

【００３５】このキャニスター1a,1b は、２個配設され
ている。

【００３６】2a,2b は、前記キャニスター1a,1b 内のア
ンモニアの重量を測定しうるロードセル（重量計）で、
該ロードセル2a,2b 上に前記キャニスター1a,1b が載置
されている。

【００３７】従って、ロードセル2a,2b もキャニスター
1a,1b の個数に応じて２個配設されている。

【００３８】３は、前記キャニスター1a,1b に貯留され
たアンモニアを希釈するための希釈槽で、この希釈槽３
は、配管部４、及びその配管部４から分岐した配管部5
a,5bを介してキャニスター1a,1b に接続されている。

【００３９】7a,7b は、アンモニア圧送用の窒素ガスの
配管部で、それぞれキャニスター1a,1b に接続されてな
るとともに、自動弁8a,8b が設けられており、この自動
弁8a,8b の開閉により、アンモニアを圧送するための窒
素ガスが送り込まれる。

【００４０】配管部5a,5b には、それぞれ自動弁6a,6b
が設けられており、それらの自動弁6a,6b の開閉によっ
て、いずれか一方のキャニスター1a,1b からアンモニア
が希釈槽３へ供給されるように構成されている。尚、自
動弁6a,6b に代えて逆止弁を採用することにより同じ効
果を得ることができる。

【００４１】9a,9b は、配管部7a,7b に設けられた安全
弁を示す。

【００４２】前記希釈槽３には、アンモニアの他に、希
釈用の希釈水が供給される。10は、この希釈水を供給す
るための配管部である。

【００４３】また、希釈槽３には、該希釈槽３内の液量
を検知し、アンモニアと希釈水の供給液量を調整するた
めのレベルスイッチ11が設けられている。

【００４４】このレベルスイッチ11としては、複数の電
極棒を用いたもの、フロート式、超音波式、静電容量
式、光学式のものが使用できる。

【００４５】さらに、希釈槽３には、混合用の窒素ガス
が供給される。

【００４６】12は、希釈されたアンモニア水を貯留する
ための貯留槽で、配管部13を介して前記希釈槽３に接続
されている。

【００４７】また、その配管部13には、バルブ14が設け
られている。

【００４８】希釈槽３と貯留槽12には、それぞれ吸排気
配管部15,16 が設けられ、その吸排気配管部15,16 は、
ダクト配管部17に合流する。

【００４９】貯留槽12にも、希釈槽３の場合と同様に、
アンモニア水の液量を検知するためのレベルスイッチ18
が設けられている。

【００５０】19は、前記貯留槽12内の希釈アンモニア水
をアルカリ還元水製造工程へ供給するポンプである。2
0,21 は、吸排気配管部15,16 にそれぞれ設けられたフ
ィルターを示す。

【００５１】本実施形態の供給装置は、以上の構成から
なり、次にその供給装置を用いてアンモニア水をアルカ
リ還元水製造工程に供給する場合について説明する。

【００５２】先ず、希釈槽内のレベルスイッチ11で液量
の低下を検知し、自動弁6b及び自動弁8bは閉の状態のま
まとし、自動弁6a及び自動弁8aを開の状態としてキャニ
スター1a側から配管部5a及び配管部４を介して必要量の
アンモニアをレベルスイッチ11で検知して希釈槽３へ供
給する。

【００５３】具体的には、配管部４を通過するアンモニ
アの流量がレベルスイッチ11で検知されて、希釈槽３へ
のアンモニアの供給量が調整されるのである。

【００５４】必要量のアンモニアを供給した後は、自動
弁6a及び自動弁8aは閉となる。

【００５５】次に、希釈槽３へは、配管部10を介して必
要量の希釈水をレベルスイッチ11で検知して、自動弁22
を開にすることにより供給する。これによってキャニス
ター1aから供給される高濃度のアンモニアが所定濃度に
希釈されることとなる。

【００５６】具体的には、配管部10を通過する希釈水の
流量がレベルスイッチ11で検知されて、希釈槽３への希
釈水の供給量が調整されるのである。

【００５７】このようにして、希釈槽３内のアンモニア
の希釈濃度は、レベルスイッチ11で調整されながら、所
定濃度に希釈され、その結果、希釈槽３内のアンモニア
は、所定濃度に希釈されることとなるのである。

【００５８】この場合、キャニスターが空になる等でキ
ャニスターの切り替えを行うことによりアンモニアの流
量に変動が生じても、レベルスイッチで流量を検知して
希釈槽３内へ先ずアンモニアを供給し、次に希釈水を供
給しているので、希釈濃度に変動が生ずるおそれもな
い。

【００５９】また、逆に希釈水を供給した後に、アンモ
ニアを供給することも可能である。

【００６０】しかし、このような要因に基づく希釈濃度
の変動を度外視すれば、アンモニアと希釈水との流量を
調整した上で希釈槽３へ同時に送液することも可能であ
る。この場合には、配管部４，10に流量計（図示せず）
が設けられ、各々の流量計でアンモニアと希釈水との流
量が検知され、調整されることとなる。従って、流量を
検知，調整する手段は上記のようなレベルスイッチ11の
他、流量計を使用することも可能である。

【００６１】さらに、希釈槽３には窒素ガスが吹き込ま
れてアンモニアと希釈水とが混合され、それによって、
アンモニアと希釈水とが別々に供給されるにもかかわら
ず、希釈槽３内のアンモニア水の濃度がほぼ均一とな
る。

【００６２】ただし、長時間窒素ガスを吹き込むとアン
モニア濃度が低下するので、吹き込み時間は、アンモニ
アと希釈水との供給後、５分以下とする。

【００６３】キャニスター1a内のアンモニアが希釈槽３
へ供給されるにつれて、キャニスター1a内のアンモニア
の量は減少し、その量はロードセル2aで測定される。

【００６４】ここで、キャニスター1aは、透視できる部
分の存在しない密閉されたタンクであり、外部からは液
量を確認することができないが、上記のようなロードセ
ル2a上に載置されているので、キャニスター1aの内部の
液の重量が測定されることで、キャニスター1a内の液量
が絶えず検知されることとなる。

【００６５】そして、キャニスター1aの内部が空の状
態、すなわちロードセル2aで測定されるキャニスター1a
内の液の重量が０となったとき、自動弁6a及び自動弁8a
が閉の状態になるとともに、自動弁6b及び自動弁8bが開
の状態になり、キャニスター1b側から希釈槽３へアンモ
ニアが供給されることとなる。

【００６６】そして、上記キャニスター1aの場合と同様
に、キャニスター1b側からの希釈槽３へのアンモニアの
供給後に、希釈水を希釈槽３へ供給する。そして、空に
なったキャニスター1aは、キャニスター1bが空になるま
でに、アンモニアが充填された新たなキャニスター1aへ
の交換作業を行えばよい。

【００６７】このように、一方のキャニスター1a内のア
ンモニアが空の状態になっても、その状態がロードセル
2aで検知されて、自動弁6a,6b 及び自動弁8a,8b の切り
換えにより、他方のキャニスター1bから自動的にアンモ
ニアが供給されるため、キャニスター切換え時に作業員
の監視を必要とすることなく、また希釈作業を中断させ
ることなく、２個のキャニスター1a,1b から自動的にア
ンモニアが希釈槽３へ供給されることとなるのである。

【００６８】そして、キャニスター1b内のアンモニアの
重量もロードセル2bで測定され、キャニスター1b内のア
ンモニアが空になったとき、その状態がロードセル2bで
検知される。

【００６９】このようにアンモニアが空になった使用済
のキャニスター1a,1b は、アンモニアが収容された新た
なキャニスター1a,1b と交換される。

【００７０】このようなキャニスターの交換作業におい
て、キャニスター1a,1b には、上記のようなカプラーが
取り付けられているため、使用済のキャニスター1a,1b
からの配管部の抜き取りはカプラーを介してワンタッチ
で簡単に行うことができ、また新たなキャニスター1a,1
b への配管部の差し込みも、カプラーを介してワンタッ
チで簡単に行うことができる。

【００７１】また、キャニスター1a,1b に取り付けられ
ているカプラーは、配管部を抜き取った状態では閉とな
ってキャニスター1a,1b を密閉し、配管部を差し込んだ
状態では開となって配管部の内部と連通状態となる。

【００７２】従って、キャニスターを交換する作業中の
カプラーの抜き取りや差し込みによりアンモニアの臭気
が外部に放散されることもないのである。

【００７３】一方、希釈槽３へ供給されて希釈されたア
ンモニア水は、直接アルカリ還元水製造工程へ供給され
ず、一旦貯留槽12へ供給される。

【００７４】上記のように、希釈槽３では、レベルスイ
ッチ11でアンモニアの希釈濃度が調整されるのではある
が、希釈作業中はアンモニアの濃度は安定しない。従っ
て、このような状態で直接アルカリ還元水製造工程へｐ
Ｈ調整の目的でアンモニア水を供給すると、ｐＨが安定
しないこととなる。

【００７５】そこで、希釈槽３内のアンモニアを直接ア
ルカリ還元水製造工程へ供給せずに、貯留槽12へ一旦ア
ンモニアが供給されるのである。

【００７６】アンモニアの濃度を安定させるため、希釈
作業中には、希釈槽３内のアンモニアは貯留槽12へ供給
しないこととする。この場合、バルブ14が閉の状態とさ
れて配管部13を介してアンモニア水が貯留槽12へ供給さ
れることもない。

【００７７】また、このような貯留槽12を設けることに
よって、希釈槽３内での希釈作業中においても、貯留槽
12からアルカリ還元水製造工程へアンモニア水を供給す
ることができるのである。

【００７８】尚、希釈槽３からの貯留槽12へのアンモニ
ア水の供給、及び貯留槽12からのアルカリ還元水製造工
程へのアンモニア水の供給等により、希釈槽３及び貯留
槽12の液面が下がったときには、それぞれの槽内の空間
部の圧力が下がり、槽内が負圧になって槽の破損を生ず
るおそれがあるので、それぞれ吸排気配管部15,16 から
外部の空気をそれぞれ希釈槽３及び貯留槽12に流入す
る。

【００７９】このとき、外部の空気によって槽内が汚染
されるおそれがあるが、吸排気配管部15,16 には、それ
ぞれフィルター20,21 が設けられているので、槽内の汚
染は防止されることとなる。

【００８０】一方、希釈槽３へのアンモニアや希釈水の
供給、及び貯留槽12への希釈槽３かちのアンモニア水の
供給等により、希釈槽３及び貯留槽12の液面が上がった
ときには、それぞれの槽内の空間部の圧力が上がるの
で、吸排気配管部15,16 を介して槽内の気体を外部に排
出する。

【００８１】この場合、アンモニアの臭気は、吸排気配
管部15,16 を介してダクト配管部17へ流入するので、槽
の近辺にアンモニアの臭気が発散することもないのであ
る。

【００８２】ただし、ダクト配管部17と吸排気配管部1
5,16 との接続部分は密な状態にされてはおらず、隙間
を残したルーズな状態にされているため、槽内の気体は
ダクト配管部17から強制的に吸引されることはなく、従
って、槽内のアンモニアの濃度低下は極力防止されるこ
ととなる。尚、吸排気配管部15,16 の口径は約20mmとさ
れている。

【００８３】尚、上記実施形態では、キャニスター1a,1
b が２個配設されていたが、キャニスターの個数は該実
施形態に限定されるものではなく、３個以上配設されて
いてもよい。

【００８４】また、該実施形態では、キャニスター1a,1
b 内の液の重量をロードセル2a,2bで測定するようにし
たが、このロードセル2a,2b に代えて他の重量計を用い
ることも可能である。

【００８５】さらに、上記実施形態では、窒素ガスを流
入して希釈槽３の内部を攪拌することとしたため、上記
のような好ましい効果が得られたが、このような窒素ガ
スを流入することは本発明に必須の条件ではない。

【００８６】さらに、上記実施形態では、希釈槽３内の
アンモニア水をアルカリ還元水の製造工程へ直接供給せ
ず、一旦貯留槽12へ供給することとしたため、上記のよ
うな好ましい効果が得られたが、このような貯留槽12を
設けることも本発明に必須の条件ではない。

【００８７】さらに、上記実施形態では、希釈槽３及び
貯留槽12に吸排気配管部15,16 及びダクト配管部17を接
続したため、上記のような好ましい効果が得られたが、
このような吸排気配管部15,16 やダクト配管部17を設け
ることも本発明に必須の条件ではない。

【００８８】さらに、上記実施形態では、キャニスター
内に空になったときに、アンモニアの供給を他のキャニ
スターに切り換えるように構成したが、空になる前に、
アンモニアが所定の残存量になったときに切り替えるよ
うにすることも可能である。

【００８９】要は、１個のキャニスター内のアンモニア
の重量を検知して、アンモニアの供給路を他のキャニス
ターに切り換えるように構成されていればよいのであ
る。

【００９０】尚、上記実施形態では、アルカリ還元水の
製造のためにアンモニアを供給する場合について説明し
たが、他の用途のためのアンモニア供給用に本発明を適
用することも可能である。

【００９１】従って、希釈槽３を設けることも本発明に
必須の条件ではなく、たとえば高濃度のアンモニアを供
給する目的で本発明の供給装置を使用することも可能で
ある。

【００９２】さらに、本発明は、アンモニアの供給を主
眼とするものではあるが、アンモニア以外の、たとえば
イソプロピルアルコール、メタノール、エタノール、ア
セトン、トルエン、メチルイソブチルケトン、酢酸エチ
ル等の溶剤類、或いは酢酸、塩酸、硝酸等の酸類、その
他各種の工業薬品や化学薬品等の薬品に本発明を適用す
ることも可能である。

【００９３】要は、キャニスターに収容されて市販され
ているような薬品の供給用としてであれば、本発明を適
用することが可能である。

【００９４】

【発明の効果】叙上のように、本発明は、アンモニア等
の薬品が収納され、配管部に接続しうるカプラーが具備
されている２個以上のキャニスターと、該キャニスター
内の薬品の重量を測定するための重量計と、前記２個以
上のキャニスターのうち、１個のキャニスター内の前記
重量計で測定される薬品の重量を検知して、薬品の供給
路を他のキャニスターに自動的に切り換えるための自動
切換手段とを薬品の供給装置に具備させたため、１個の
キャニスター内の薬品量が検知されて、自動切換手段の
切り換えにより、他方のキャニスターから自動的に薬品
が供給されることとなり、その結果、作業員の監視を必
要とすることなく、２個以上のキャニスターから自動的
に薬品を供給することができるという効果がある。

【００９５】特に、アルカリ還元水の製造のためにアン
モニアを供給する場合のように、自動的且つ連続的に薬
品を供給することが要求されるような用途に対して好適
に適用できるという効果がある。

【００９６】また、キャニスターは、透視できる部分の
存在しない密閉されたタンクであり、レベルスイッチ等
によって外部から液量を確認することはできないが、キ
ャニスター内の薬品の重量を測定するための重量計が具
備され、また１個のキャニスター内の薬品の重量を検知
して薬品の供給路を他のキャニスターに自動的に切り換
えるための自動切換手段が具備されているため、キャニ
スターが密閉タンクであるにもかかわらず、重量計や自
動切換手段で、キャニスター内の薬品の残量を確認し
て、薬品の供給路の切り替えを自動的に行うことができ
るという効果がある。

【００９７】また、キャニスター内の薬品の重量が検知
されるので、速やかに新たなキャニスターと交換するこ
とができる利点がある。

【００９８】さらに、キャニスターには、カプラーが取
り付けられているため、使用済のキャニスターからの配
管部の抜き取りはカプラーを介してワンタッチで簡単に
行うことができ、また新たなキャニスターへの配管部の
差し込みも、カプラーを介してワンタッチで簡単に行う
ことができるという効果がある。

【００９９】また、キャニスターに取り付けられている
カプラーは、配管部を抜き取った状態では閉となってキ
ャニスターを密閉し、配管部を差し込んだ状態では開と
なって配管部の内部と連通状態となるようなものである
ため、キャニスターを交換する作業中のカプラーの抜き
取りや差し込みによりアンモニアの臭気が外部に放散さ
れることもないという効果がある。

【０１００】以上のように、本発明においては、キャニ
スターという薬品を収容した市販の容器をそのまま利用
して供給装置の一部として使用したため、従来のような
タンクローリー車による供給等が不要になり、しかも液
体の臭気を発散させるおそれがない。

【０１０１】また、重量計でキャニスター内部の薬品の
重量を測定することにより、薬品の残量を検知すること
としたため、キャニスターが内部を透視できない構造で
あるにもかかわらず、人手の補給作業等を要することな
く、２個以上のキャニスター内の液体を自動的に交換し
て供給できるという効果がある。

【０１０２】さらに、キャニスターから供給される高濃
度の薬品を希釈する希釈槽をキャニスターの後段に設け
た場合には、その希釈槽へ薬品と希釈水とを供給して混
合することにより、所定濃度の薬品の希釈液を調整する
ことができ、たとえばアルカリ還元水製造のためのアン
モニア水を調整することができる等の効果がある。

【０１０３】さらに、希釈槽で希釈された薬品を貯留す
るための貯留槽を希釈槽の後段に設けた場合には、希釈
槽で薬品の濃度調整がなされた上で貯留槽へ薬品が供給
されるので、希釈槽からの貯留槽への薬品の供給を停止
した状態で、希釈槽で濃度調整の作業を行いながら、す
でに濃度調整がされた薬品を貯留槽から目的とする箇所
へ供給することができるという効果がある。

【０１０４】さらに、希釈槽へ供給される薬品と希釈水
とを攪拌混合するための窒素ガスを希釈槽内に注入した
場合には、希釈槽内での薬品の濃度を略均一にすること
ができるという効果がある。

【０１０５】さらに、希釈槽内の薬品の希釈濃度を調整
するためのレベルスイッチを希釈槽に設けた場合には、
希釈槽内での濃度調整を好適に行うことができるという
効果がある。

【０１０６】さらに、希釈槽と貯留槽とに吸排気用配管
部を接続した場合には、これらの槽内の気体の圧力調整
を好適に行うことができ、さらに、吸排気用配管部の先
端側にダクト配管部を設けた場合には、そのダクト配管
部で薬品の臭気を吸収でき、外部に不用意に発散される
のを防止できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施例としてのアンモニア供給装置の概略ブ
ロック図。

【図２】ダクト配管部の概略正面図。

【図３】従来のアンモニア供給装置の概略ブロック図。

【図４】従来のアンモニア供給装置の概略ブロック図。

【符号の説明】

1a,1b …キャニスター 2a,2b …ロードセル ３…希釈槽 5a,5b …配管部 6a,6b …自動弁 8a,8b …自動弁 11…レベルスイッチ 12…貯留槽 15,16 …吸排気用配管部

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薬品が収納され、薬品の供給のための配
   管部に接続しうるカプラーが具備されている２個以上の
   キャニスター1a,1b …と、該キャニスター1a,1b …内の
   薬品の重量を測定するための重量計と、前記２個以上の
   キャニスター1a,1b …のうち、１個のキャニスター内の
   前記重量計で測定される薬品の重量を検知して、薬品の
   供給路を他のキャニスターに自動的に切り換えるための
   自動切換手段とを具備することを特徴とする薬品の供給
   装置。
2. 【請求項２】 キャニスター1a,1b …へ圧送用ガスを供
   給するための圧送用ガス供給路が設けられている請求項
   １記載の薬品の供給装置。
3. 【請求項３】 自動切換手段が、キャニスター1a,1b …
   への圧送用ガス供給路となる配管部7a,7b …に設けられ
   た自動弁8a,8b …である請求項２記載の薬品の供給装
   置。
4. 【請求項４】 自動切換手段が、キャニスター1a,1b …
   からの薬品の供給路となる配管部5a,5b …に設けられた
   自動弁6a,6b …又は逆止弁である請求項１又は２記載の
   薬品の供給装置。
5. 【請求項５】 キャニスター1a,1b …から供給される高
   濃度の薬品を希釈する希釈槽３が、キャニスター1a,1b
   …の後段に設けられている請求項１乃至４のいずれかに
   記載の薬品の供給装置。
6. 【請求項６】 希釈槽３で希釈された薬品を貯留するた
   めの貯留槽12が、該希釈槽３の後段に設けられている請
   求項５記載の薬品の供給装置。
7. 【請求項７】 希釈槽３へ供給される薬品と希釈水とを
   攪拌混合するための攪拌混合手段が、該希釈槽３に設け
   られている請求項５又は６記載の薬品の供給装置。
8. 【請求項８】 希釈槽３内の薬品の希釈濃度を調整する
   ためのレベルスイッチ11が該希釈槽３に設けられている
   請求項５乃至７のいずれかに記載の薬品の供給装置。
9. 【請求項９】 希釈槽３と貯留槽12とに吸排気用配管部
   15,16 が接続されている請求項５乃至８のいずれかに記
   載の薬品の供給装置。
10. 【請求項１０】 吸排気用配管部15,16 の先端側にダク
    ト配管部が設けられている請求項９記載の薬品の供給装
    置。