KR20020094612A - 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따르면, 검사가 필요한 반도체 팩키지를 탑재한 트레이가 제공되는 공급 스테이션; 상기 공급 스테이션에서 반도체 팩키지가 소진된 이후에 비어 있는 트레이가 대기 상태로 제공되는 버퍼링 스테이션; 상기 버퍼링 스테이션으로부터의 트레이가 검사가 끝난 반도체 팩키지의 분류를 위해서 제공되는 제 1 내지 제 4 분류 스테이션; 및, 상기 제 1 내지 제 4 분류 스테이션에 반도체 팩키지를 분류하는 것으로서, 제 1 축과, 제 1 축의 길이 방향으로 이동 가능하며 서로에 대하여 평행하고 상기 제 1 축에 대해서 직각으로 설치된 제 2 축 및, 제 3 축과, 상기 제 2 축 및, 제 3 축에 대하여 길이 방향으로 이동 가능하고 승강 가능하게 각각 설치된 제 1 흡착 노즐 헤드 및, 제 2 흡착 노즐 헤드를 구비한 제 2 로보트;를 구비하는 반도체 팩키 검사용 핸들러 장치가 제공된다.

Description

반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치{Handler for inspecting semiconductor package}

본 발명은 반도체 검사용 핸들러 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체를 검사하여 그 상태에 따라 분류하여 적재하는 핸들러 장치에 관한 것이다.

통상적으로 반도체 제조 공정에서는 반도체 팩키지 제조의 마지막 단계에서 반도체의 조립 상태를 검사하고, 불량 여부에 따라 반도체를 등급별로 분류하는 공정이 구비된다. 반도체 검사는 통상적으로 검사 장치를 통해서 이루어지며, 검사장치를 통해 판단된 반도체 팩키지의 상태에 따라 다양한 등급으로 분류된다.

종래에는 반도체 팩키지 검사 및, 분류를 수행하는 장치에 있어서 반도체 팩키지를 흡착하거나 이동시키는 장치들의 속도가 상대적으로 느려서 신속하고 정확한 검사 과정이 이루어지지 않았다. 즉, 반도체 팩키지는 히터 블록에서 가열된 이후에 검사 스테이션에서 소정의 검사를 하고, 그 검사 결과에 따라서 각각의 등급별 트레이로 분류되어야 하는데, 각 단계 별로 이동하는 거리가 길고, 그러한 거리를 극복하기 위한 이송 장치들의 속도가 느려서 효율적인 작업 수행이 곤란하다는 문제점이 있었다.

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 보다 생산적인 작업이 수행될 수 있는 반도체 검사용 핸들러 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 반도체 팩키지를 가열하고, 검사를 수행하며, 검사 결과에 따라서 분류 작업이 효율적으로 이루어질 수 있는 반도체 검사용 핸들러 장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치에 대한 전체적인 구성을 도시하는 블록도이다.

도 2는 본 발명에 구비되는 제 1 로보트에 대한 사시도이다.

도 3은 도 2 의 로보트에 대한 평면도이다.

도 4는 도 2 의 로보트에 대한 정면도이다.

도 5 는 도 2 의 로보트에 구비되는 흡착 노즐 헤드에 대한 사시도이다.

도 6 은 도 5 에 도시된 흡착 노즐 헤드에 대한 측면도이다.

도 7 은 본 발명에 구비되는 로딩 셔틀에 대한 사시도이다.

도 8a 는 본 발명에 구비되는 회전 흡착 노즐 장치에 대한 사시도이다.

도 8b 는 도 8a 의 회전 흡착 노즐 장치에 구비되는 링크들에 대한 평면도이다.

도 9 는 도 8a 의 회전 흡착 노즐 장치에 대한 정면도이다.

도 10 은 도 8a 의 회전 흡착 노즐 장치에 대한 저면도이다.

도 11 은 본 발명에 구비되는 언로딩 셔틀에 대한 사시도이다.

도 12 는 본 발명에 구비되는 제 2 로보트에 대한 사시도이다.

도 13 은 도 12의 저면도이다.

도 14 는 본 발명에 구비되는, 트레이의 공급, 버퍼링 및, 분류 스테이션을 나타내는 사시도이다.

도 15 는 상기 각 스테이션에 구비되는 엘리베이터 장치를 도시하는 측면도이다.

도 16 은 본 발명에 구비되는 제 3 로보트에 대한 사시도이다.

< 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 >

1.2.3.4. 분류 스테이션 11. 제 1 로보트

12. 공급 스테이션 13. 히터 블록

14. 로딩 셔틀 15. 대기 스테이지

16. 검사 스테이지 17. 언로딩 셔틀

18. 제 2 로보트 19. 버퍼링 스테이션

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 검사가 필요한 반도체 팩키지를 탑재한 트레이가 제공되는 공급 스테이션; 상기 공급 스테이션에서 반도체 팩키지가 소진된 이후에 비어 있는 트레이가 대기 상태로 제공되는 버퍼링 스테이션; 상기 버퍼링 스테이션으로부터의 트레이가 검사가 끝난 반도체 팩키지의 분류를 위해서 제공되는 다수의 분류 스테이션; 및, 상기 분류 스테이션에 반도체 팩키지를 분류하는 것으로서, 제 1 축과, 제 1 축의 길이 방향으로 이동 가능하며 서로에 대하여 평행하고 상기 제 1 축에 대해서 직각으로 설치된 제 2 축 및, 제 3 축과, 상기 제 2 축 및, 제 3 축에 대하여 길이 방향으로 이동 가능하고 승강 가능하게 각각 설치된 제 1 흡착 노즐 헤드 및, 제 2 흡착 노즐 헤드를 구비한 제 2 로보트;를 구비하는 반도체 팩키 검사용 핸들러 장치가 제공된다.

본 발명의 일 특징에 따르면, 상기 공급 스테이션의 반도체 팩키지를 흡착하여 공급하는 것으로, 제 1 축과, 제 1 축의 길이 방향으로 이동 가능하며 서로에 대하여 평행하고 상기 제 1 축에 대해서 직각으로 설치된 제 2 축 및, 제 3 축과, 상기 제 2 축 및, 제 3 축에 대하여 길이 방향으로 이동 가능하고 승강 가능하게 각각 설치된 제 1 흡착 노즐 헤드 및, 제 2 흡착 노즐 헤드를 구비한 제 1 로보트; 상기 제 1 로보트의 제 1 흡착 노즐 헤드 또는 제 2 흡착 노즐 헤드가 반도체 팩키지를 그 위에 내려놓거나 또는 그로부터 집어올리는 히터 블록; 상기 히터 블록으로부터 집어올린 반도체 팩키지를 적치대에 올려놓은 상태로 대기 스테이지로 이동시키는 로딩 셔틀; 상기 로딩 셔틀로부터 반도체 팩키지를 흡착하여 검사 스테이지로 이전시킬 수 있도록 다수의 흡착 노즐을 구비한 제 1 흡착 노즐군과 제 2 흡착 노즐군을 구비하며, 상기 제 1 흡착 노즐군과 상기 제 2 흡착 노즐군이 상호 자리 바꿈을 할 수 있는 회전 흡착 노즐 장치; 상기 검사 스테이지에서 검사를 수행할 수 있도록 구비되는 검사 장치; 상기 검사가 종료된 이후에 상기 회전 흡착 노즐 장치에 의해서 집어올린 반도체 팩키지를 적치대에 올려 놓은 상태로 이동시키는언로딩 셔틀; 상기 공급 스테이션, 상기 분류 스테이션 및, 상기 제 1 내지 제 3 분류 스테이션 사이에서 트레이를 이동하도록, 트레이를 흡착할 수 있으며 승강 가능하게 설치된 흡착 노즐을 구비한 트레이 운반기;를 더 구비한다.

본 발명의 일 특징에 따르면, 상기 제 1 흡착 노즐 헤드 및, 상기 제 2 흡착 노즐 헤드는 그게 구비된 각 흡착 노즐의 간격을 조절할 수 있도록, 풀리에 의해서 주행 가능하게 유지되게끔 상하로 배치된 한쌍의 벨트와, 상기 벨트에 대하여 일측이 연결된 상태로 상기 흡착 노즐이 설치된 노즐 장착부와, 상기 벨트를 주행시키는 구동 모터를 구비한다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 로딩 장치 및, 언로딩 장치는, 그 각각에 구비된 적치대들을 왕복 이동시키도록, 상기 적치대에 대하여 일측이 고정된 벨트와, 상기 벨트를 주행 가능하게 유지시키는 풀리들과, 상기 풀리를 회전 구동시키는 구동 모터를 구비한다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 회전 흡착 노즐 장치는, 회전 구동 모터와; 상기 회전 구동 모터에 의해서 회전 구동되는 풀리와; 상기 풀리의 축에 중심이 고정된 제 1 링크와; 상기 제 1 링크의 양 단부에 회전 가능하게 연결된 제 2 링크 및, 제 3 링크와; 상기 제 2 링크 및, 제 3 링크 각각의 길이 방향에서의 직선 운동을 안내하도록 그 각각에 구비되는 한쌍의 가이드 레일과; 상기 한쌍의 가이드 레일을 상기 제 2 링크 및, 제 3 링크들의 길이 방향에 직각인 각각의 방향에서 진선 운동을 안내하도록 그 각각 구비된 한쌍의 가이드 레일과; 상기 제 2 링크 및, 상기 제 3 링크의 하부에 대하여 각각 고정된 승강 구동 모터와; 상기 승강 구동 모터의 동력을 풀리 및, 벨트로 전달받아서 회전되는 볼 스크류와; 상기 볼 스크류에 결합되고 상기 제 1 흡착 노즐군과 상기 제 2 흡착 노즐군에 각각 연결된 너트;를 구비한다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 공급 스테이션, 상기 버퍼링 스테이션, 상기 제 1 내지 제 4 분류 스테이션은, 상기 트레이가 그 위에 올려지는 적층부; 상기 적층부에 연결된 너트; 상기 너트와 결합된 볼 스크류; 상기 볼 스크류를 회전 구동시키는 구동 모터; 상기 적층부에 적층된 트레이들을 전달 받을 수 있는 적층판; 및, 상기 적층판을 수평 이동시키는 로드리스 실린더;를 구비한다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 적층부와 상기 적층부는 평면에서 보았을때 상호 간섭되지 않는 형상을 가짐으로써, 상기 적층부가 상기 적층판 보다 낮은 높이로 하강하면 상기 적층부에 적층된 트레이가 상기 적층판으로 이전될 수 있고, 상기 적층부가 상기 적층판 보다 낮은 높이로 하강하였다가 다시 상승하면 상기 적층판에 적층된 트레이가 상기 적층부로 이전될 수 있다.

이하 본 발명을 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 1 에 도시된 것은 본 발명에 따른 반도체 검사용 핸들러 장치의 전체적인 시스템을 도시하는 설명도이다.

도면을 참조하면, 핸들러 장치에는 제 1 로보트(11)가 구비된다. 상기 제 1 로보트(11)는 상호간의 간격 조절이 가능한 한쌍의 제 1 및, 제 2 흡착 노즐 헤드가 구비된다. 한쌍의 흡착 노즐 헤드는 평면상에서 상호 직교하는 2 축 운동 및,승강 운동을 할 수 있다. 제 1 로보트(11)의 제 1 흡착 노즐 헤드는 제 1 공급 스테이션(12)에 공급된 트레이로부터 반도체를 흡착하여 히터 블록(13)으로 가져가게 되며, 제 1 로보트(11)의 제 2 흡착 노즐 헤드는 상기 히터 블록(13)에서 소정 온도로 가열된 반도체 팩키지를 로딩 셔틀(14)로 가져가게 된다. 로딩 셔틀(13)은 반도체 팩키지를 다시 검사를 위하여 대기 스테이지(15)로 가져가게 된다. 대기 스테이지(15)에 배치된 반도체 팩키지는 회전 흡착 노즐 장치(미도시)에 의해서 흡착되어, 다시 검사 스테이지(14)로 이동된다. 검사 스테이지(14)에서는 검사 장치에 의해서 반도체 팩키지에 대한 검사가 수행된다. 이러한 검사는 소켓에 반도체 팩키지를 끼운 상태에서 행해진다.

검사가 종료된 반도체 팩키지는 언로딩 셔틀(17)에 의해서 검사 스테이지(16)로부터 제 2 로보트(18)를 향해 이동된다. 언로딩 셔틀(17)에 의해 검사 스테이지(16)로부터 이동되어온 반도체 팩키지들은 제 2 로보트(18)에 의해서 제 1 내지 제 4 의 분류 스테이션(1,2,3,4)으로 각각 분류된다. 이때, 분류의 기준은 핸들러 장치의 사용자가 임의로 정할 수 있다. 또한, 분류 기준에 따라서 제 2 로보트(18)는 제 1 내지 제 4 적치대(6,7,8,9)에 놓여있는 트레이로 옮겨지게 된다.

한편으로, 제 1 내지 제 4 의 분류 스테이션(1,2,3,4)은 각각 트레이를 승강시킬 수 있는 엘리베이터 장치가 설치되어 있다. 이러한 엘리베이터(미도시)는 분류된 반도체 팩키지가 각 스테이션의 트레이에 다 채워지게 되면, 트레이를 하강시킴으로써 다음의 빈 트레이가 그 위에 적층될 수 있게 한다. 각 분류스테이션(1,2,34)에서는 트레이가 소정 갯수 이상 적층되면 트레이들을 모두 수평 이동시켜서 외부로 배출시킨다.

다른 한편으로, 공급 스테이션(12)에서는 아직 분류가 이루어지지 않은 반도체 팩키지를 적재한 트레이가 공급된다. 공급 스테이션(12)에 공급된 트레이에 적재된 반도체 팩키지는 제 1 로보트(11)의 헤드에 의해서 집어올려져서 히터 블록(13)으로 공급되는 것이다.

공급 스테이션(12)에서 트레이에 적재된 반도체 팩키지가 모두 공급되고 빈 트레이가 되면, 그러한 트레이는 버퍼링 스테이션(19)으로 이동한다. 버퍼링 스테이션(19)은 빈 트레이를 각 분류 스테이션(1,2,3,4)으로 이동시키기 위한 대기 장소이다. 상기 공급 스테이션(12)과 버퍼링 스테이션(19)에도 트레이를 승강시킬 수 있는 엘리베이터 장치와 적층된 트레이를 수평 이동시키기 위한 장치가 구비된다.

공급 스테이션(12), 버퍼링 스테이션(19) 및, 각 분류 스테이션(1,2,3,4) 사이에서 빈 트레이를 이동시키기 위하여 제 3 로보트(10)가 구비된다. 제 3 로보트(10)는 수평 방향의 1 축 왕복 운동 및, 수직 방향의 승강 운동을 하는 흡착 노즐 헤드를 통해서 트레이를 진공 흡착하고, 그것을 각 스테이션들 사이에서 운반하게 된다. 도 1 을 통하여 설명된 각 장치 및, 기구들은 이후에 보다 상세하게 설명된다.

도 2 에 도시된 것은 제 1 로보트(11)에 대한 개략적인 사시도이다.

도면을 참조하면, 제 1 로보트(11)는 제 1 축(21)과, 상기 제 1 축(21)을 따라서 직각 방향으로 연장되게 설치되어 제 1 축(21)의 길이 방향으로 운동하는 제2 축(22) 및, 제 3 축(23)을 구비한다. 상기 제 2 축(22) 및, 제 3 축(23)에는 그것의 길이 방향을 따라서 운동하는 헤드(미도시)들이 각각 설치되어 있다.

도 2 에서, 제 1 축(21)을 따라서 제 2 축(22)이 운동할 수 있도록 제 2 축 구동 모터(24)가 상기 제 1 축(21)에 설치되고, 상기 구동 모터(24)의 구동력은 벨트(26)를 통해서 풀리(27)로 전달된다. 한편, 제 1 축(21)을 따라서 제 3 축(23)이 운동할 수 있도록 제 3 축 구동 모터(31)가 구비되며, 상기 구동 모터(31)의 구동력은 다른 벨트 및, 풀리(미도시)를 통해서 전달된다.

또한 제 2 축(22)을 따라서 제 1 헤드(미도시)를 이동시키기 위하여 제 1 헤드 구동 모터(28)가 구비되며, 상기 구동 모터(28)의 구동력은 벨트(30)와 풀리(28)를 통해서 전달된다. 더욱이, 제 3 축(23)을 따라서 제 2 헤드(미도시)를 이동시키기 위하여 제 2 헤드 구동 모터(25)가 구비되며, 상기 구동 모터(25)의 구동력도 벨트와 풀리 기구를 통해서 전달된다.

도 3 에는 도 2 에 도시된 제 1 로보트의 평면도로서, 이것은 상부 덮개를 제거한 상태로 도시된 것이다.

도면을 참조하면, 제 2 축 구동 모터(24)의 회전 구동축은 벨트(26)를 통해서 풀리(27)로 전달되며, 다시 상기 풀리(27)와 동축선상에 설치된 다른 풀리(39)를 통해서 벨트(34)로 전달된다. 벨트(34)는 풀리(39)와 다른 풀리(39')의 사이에 주행 가능하게 설치된다. 도면 번호 35 로 표시된 것은 제 2 축(22)이 고정되는 부분이다. 따라서, 제 2 축 구동 모터(24)가 회전하게 되면, 그에 의해서 벨트(34)가 주행하게 되고, 따라서 제 2 축 고정부(35)를 통해서 제 2 축(22)이 제 1 축(21)의길이 방향으로 운동할 수 있다.

마찬가지로, 제 3 축(23)의 운동도 제 3 축 구동 모터(36)의 회전 구동력을 풀리(38,38')에 주행 가능하게 설치된 벨트(33)를 통해서 전달함으로써 가능해진다. 도면 번호 36 으로 표시된 것은 제 3 축(23)이 고정되는 부분이다.

제 2 축(22)과 제 3 축(23)은 제 1 축(21)을 따른 왕복 운동에 있어서 가이드(32,32')에 의한 안내를 받는다. 즉, 제 2 축(22)과 제 3 축(23)은 가이드(32,32')를 공유하여 안내되는 것이다.

도 4 에 도시된 것은 도 2 에 도시된 제 1 로보트의 정면도이다.

도면을 참조하면, 제 1 헤드(41)가 제 2 축(22)의 하부에 설치되어 있고, 제 2 헤드(42)가 제 2 축(23)의 하부에 설치되어 있는 것을 이해할 수 있다. 상기 제 1 헤드(41)는 제 2 축(22)의 길이 방향을 따라서 왕복 운동할 수 있고, 그러한 왕복 운동에 필요한 구동력은 헤드 구동 모터(28)에 의해서 제공된다. 마찬가지로, 제 2 헤드(42)는 제 3 축(23)의 길이 방향을 따라서 왕복 운동할 수 있고, 그러한 왕복 운동에 필요한 구동력은 다른 헤드 구동 모터(25)에 의해서 제공된다. 헤드 구동 모터(28,25)들이 제 1 및, 제 2 헤드(41,42)들에 구동력을 전달하는 방식은 도 3 을 참고하여 설명된, 제 2 축 구동 모터(24) 및, 제 3 축 구동 모터(25)가 제 2 축 및, 제 3 축(22,23)에게 각각 구동력을 전달하는 방식과 유사하며, 이러한 전동 방식은 당업자들에게 공지된 것이므로 더 이상의 설명은 생략하기로 한다.

도 5 에 도시된 것은 도 4 에 도시된 제 1 헤드 및, 제 2 헤드에 대한 사시도이다.

도면을 참조하면, 헤드(41,42)는 장착부(44)를 통해서 제 2 축(22) 및, 제 3 축(23)에 대하여 그것의 길이 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 즉, 도 4 에서 헤드 구동 모터(28,25)에 의해서 구동되며 상기 제 2 축(22) 및, 제 3 축(23)내에서 주행 가능하도록 설치된 벨트에 대하여 장착부(44)가 결합됨으로써, 헤드 구동 모터(28,25)의 구동에 의해서 헤드(41,42)의 이동이 이루어지는 것이다.

장착부(44)의 하부에는 승강 구동 모터 설치부(45)가 연장된다. 승강 구동 모터 설치부(45)에는 이후에 설명될 승강 구동 모터가 설치되며, 그것의 회전 구동력은 풀리(47)를 회전 구동시킨다. 풀리(47)는 볼 스크류(미도시)의 단부에 설치된 것이다. 상기 볼 스크류(미도시)는 플레이트(46)에 연결된 너트(미도시)에 결합됨으로써, 플레이트(46)는 볼 스크류의 회전에 의해 승강될 수 있다. 플레이트(46)의 승강 메카니즘에 대해서는 이후에 보다 상세하게 설명될 것이다.

플레이트(46)의 전면에는 제 1 내지 제 4 의 흡착 노즐(54a,54b,54c,54d)이 수평 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 상기 흡착 노즐들은 각각 노즐 장착부(55)에 장착되며, 각 노즐 장착부(55)는 가이드(58)를 통하여 수평 이동 가이드 레일(57)을 따라서 수평 방향으로 안내된다.

한편, 플레이트(46)의 전면에는 제 1 벨트(51)와 제 2 벨트(53)가 상하로 구분되어 설치된다. 제 1 벨트(51)는 플레이트(46)의 전면에 회전 가능하게 설치된 풀리(50a,50b)를 통해서 주행 가능하게 설치되며, 제 2 벨트(53)도 풀리(52a,52b)를 통해서 주행 가능하게 설치된다. 상기 제 1 벨트(51)와 제 2 벨트(53)는 플레이트(46)의 배면에 설치된 구동 모터(48)에 의해서 구동력을 받아서 주행된다. 즉,구동 모터(48)의 구동력은, 구동 모터의 구동 풀리(미도시)와 플레이트(46)의 배면에 설치된 풀리(49)를 벨트로 연결함으로써 전달되며, 다시 풀리(49)와 동축선상으로 연결된 풀리(50a)를 통해서 제 1 벨트(51)를 전달시킨다. 또한 마찬가지의 방식으로 구동 모터(48)의 구동력이 풀리(52a)를 통해서 제 2 벨트(53)를 회전시킬 수 있다.

노즐 장착부(55)는 가이드 레일(57)을 따라서 안내되는 한편으로, 그 상부가 제 1 벨트(51) 또는 제 2 벨트(53)에 각각 연결된다. 즉, 도면에서 알 수 있는 바와 같이, 제 1 흡착 노즐(54a)의 장착부(55)의 상단부는 연결부(56)를 통해서 제 1 벨트(51)의 하부에 연결된다. 또한 제 2 흡착 노즐(54b)은 제 2 벨트(53)의 하부에, 제 3 흡착 노즐(54c)은 제 1 벨트(51)의 상부에, 제 4 흡착 노즐(54d)은 제 2 벨트(53)의 상부에 연결된다.

도 5 를 참고하여 설명된 메카니즘을 이용하여, 구동 모터(48)의 회전에 의해 제 1 내지 제 4 흡착 노즐(54a,54b,54c,54d) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 예를 들면, 도 5 에서 제 1 벨트(51)가 시계 반대 방향으로 회전하면, 제 1 흡착 노즐(54a)은 우측으로 이동하고, 제 3 흡착 노즐(54c)은 좌측으로 이동할 것이다. 또한 제 2 벨트(53)가 시계 반대 방향으로 회전하면, 제 2 흡착 노즐(54b)은 우측으로 이동하고, 제 4 흡착 노즐(54d)은 좌측으로 이동할 것이다. 따라서 전체적으로 흡착 노즐들 사이의 간격은 좁혀질 것이다. 이와 같은 방식으로 흡착 노즐들 사이의 간격을 좁히거나 넓히는 등의 간격 조절이 가능해진다.

도 6 에 도시된 것은 도 5 의 우측면도를 도시한 것이다. 도 6 을 통해서 흡착 노즐의 승강 구조를 이해할 수 있다.

도면을 참조하면, 승강 구동 모터(61)는 설치부(45)에 설치되어 있으며, 승강 구동 모터(61)의 회전축에 설치된 풀리(62)는 볼 스크류(64)의 단부에 설치된 풀리(47)와 벨트(63)를 통해서 연결되어 있다. 볼 스크류(64)는 모터 설치부(45)의 전면에 고정된 베어링(66)에 의해 지지됨과 동시에, 플레이트(46)에 설치된 너트(미도시)에 결합되어 있다. 또한 플레이트(46)는 승강 가이드 레일(65)에 의한 안내 작용을 받게 된다.

승강 구동 모터(61)가 회전 구동하면, 풀리(62), 벨트(63) 및, 다른 풀리(47)를 통해서 볼 스크류(64)가 회전하게 된다. 볼 스크류(64)의 회전은 플레이트(46)에 고정된 너트(미도시)가 볼 스크류(64)의 길이 방향으로 상승하거나 하강하게 하며, 그에 따라서 플레이트(46)의 승강이 이루어질 수 있다. 따라서 플레이트(46)의 전면에 설치된 제 1 내지 제 4 흡착 노즐(54a,54b,54c,54d)의 승강이 이루어질 수 있다.

도 2 내지 도 6 을 참고하여 설명된 것은 도 1 의 제 1 로보트(11)의 주요 구성에 관한 것이다. 실제의 작용에 있어서, 제 1 로보트(11)의 제 1 헤드(41)는 공급 스테이션(12)에 있는 반도체 팩키지를 집어 올려서 히터 블록(13)의 위에 내려 놓으며, 제 1 로보트(11)의 제 2 헤드(42)는 히터 블록(13)의 위에 있는 가열된 반도체 팩키지를 집어 올려서, 이후에 설명될 로딩 셔틀(14)의 적치부(78)에 올려놓게 된다.

도 7 에 도시된 것은 도 1 을 참고하여 설명된 로딩 셔틀(14)에 대한 개략적인 사시도이다.

도면을 참조하면, 로딩 셔틀(14)은 구동 모터(71)의 구동에 의해서 왕복 이동하는 적치부(78)를 구비한다. 구동 모터(71)의 회전 구동력은 벨트(72)와 풀리(73)를 통해서 다른 벨트(74)로 전달된다. 상기 다른 벨트(74)의 일측은 풀리(75)에 의해서 주행 가능하게 설치된다. 적치부(78)로부터 연장된 연결 프레임(77)은 벨트 연결부(76)를 통해서 벨트(74)에 연결된다. 가이드(79b)는 연결 프레임(77)의 하부에 고정되어서 가이드 레일(79a)을 따라서 안내되도록 설치된다.

구동 모터(71)가 회전하면, 벨트(72) 및, 다른 벨트(74)가 주행하게 된다. 그에 따라서, 벨트 연결부(76)를 통하여 상기 다른 벨트(74)에 연결된 연결 프레임(77)과 적치부(78)는 가이드 레일(79a)을 따라서 이동할 수 있다.

적치부(78)는 반도체 팩키지가 그 위에 올려지는 것이다. 도면 번호 80 으로 표시된 것은 반도체 팩키지가 안착되는 위치를 나타낸다. 위에서 설명된 바와 같이, 제 1 로보트(11)의 제 2 헤드(42)에 구비된 흡착 노즐들이 반도체 팩키지를 히터 블록(13)으로부터 집어올려서, 상기 로딩 셔틀(14)의 적치부(78)상에 내려놓게 되는 것이다. 적치부(78)상에 반도체 팩키지가 올려지면 적치부(78)가 가이드 레일(79)을 따라서 주행함으로써 거리상의 차이를 극복하게 되며, 도 1 에 도시된 대기 스테이지(15)에 도달하게 된다.

도 8a 에 도시된 것은 회전 흡착 노즐 장치에 대한 개략적인 사시도이다. 회전 흡착 노즐 장치는 상기 로딩 셔틀(14)의 적치부(78)상에 놓여진 반도체 팩키지를 흡착하여 도 1 에 도시된 검사 스테이지(16)로 이동시키는 기능을 가진다. 검사스테이지(16)에서는 장치에 의한 반도체 팩키지의 검사가 수행된다.

도면을 참조하면, 회전 흡착 노즐 장치(81)는 제 1 흡착 노즐군(92)과 제 2 흡착 노즐군(93)을 구비하며, 상기 흡착 노즐군(92,93)들은 각각 4 개의 흡착 노즐들을 구비한다. 제 1 흡착 노즐군(92)과 제 2 흡착 노즐군(93)은 상호 위치를 변경할 수 있으며, 그러한 위치 변경은 회전 구동 모터(89)로부터 제공되는 회전력에 의해서 이루어진다. 또한 각 흡착 노즐군(92,93)은 각각에 제공된 제 1 및, 제 2 승강 모터(94,94')에 의해서 승강될 수 있다.

회전 구동 모터(89)의 구동축에 설치된 구동 풀리(85)는 벨트(87)를 통해서 상부 플레이트(82)와 하부 플레이트(86) 사이에 설치된 다른 풀리(미도시)에 회전 구동력을 제공한다. 상하부 플레이트(82,86) 사이에 설치된 풀리(미도시)의 회전축은 도 9 에 도시된 바와 같이 하부 플레이트(86)의 저면을 관통하여 연장되며, 하부 플레이트(86)의 저면에 설치된 제 1 링크(90)의 중심에 연결된다. 제 1 링크(90)의 양 단부에는 제 2 링크(91)와 제 3 링크(98, 도 8b, 도 9)가 회전 가능하게 연결된다.

도 8b 에는 상기 제 1 내지 제 3 링크(90,91,98)들이 개략적인 평면도로 발췌 도시되어 있다.

도면을 참조하면, 제 1 링크(90)가 연장되고, 상기 제 1 링크(90)의 양 단부에 제 2 링크(91)와 제 3 링크(98)가 회전 가능하게 연결된다. 제 1 링크(90)의 중심부에 형성된 회전축 고정부(83)에는 상기 상하부 플레이트(82,86)로 한정된 내부 공간에 회전 가능하게 설치된 풀리(미도시)의 회전축이 고정된다. 따라서, 회전 구동 모터(89)의 회전력은 벨트(87) 및, 풀리를 통해서 제 1 링크(90)를 회전시키게 되며, 그에 의해서 제 2 링크(91)와 제 3 링크(98)도 소정의 작용을 받게 된다.

도 9 에는 도 8a 에 도시된 회전 흡착 노즐 장치에 대한 정면도가 도시되어 있다.

도면을 참조하면, 도 8a 및, 도 8b 를 참조하여 설명된 제 2 링크(91)의 하부에 모터 설치부(96)가 고정되고, 제 3 링크(98)의 하부에 모터 설치부(96')가 고정된다. 제 2 링크(91)는 플레이트(105)의 하부에 고정된 가이드 레일(97)을 따라서 왕복 운동할 수 있다. 마찬가지로 제 3 링크(98)도 플레이트(105')의 하부에 고정된 가이드 레일(97')을 따라서 왕복 운동할 수 있다.

한편, 각 플레이트(105,105')는 각 블록(95,95')에 고정되며, 상기 블록(95,95')들은 각 가이드 레일(89,89')을 통해서 하부 플레이트(86)에 대하여 이동 가능하게 설치된다. 이전에 언급된 가이드 레일(97,97')과 상기 가이드 레일(89,89')의 연장 방향은 상호 직각 방향이다.

위에 설명된 구성에 의해서 제 1 흡착 노즐군(92)과 제 2 흡착 노즐군(93)이 서로 자리를 바꿀 수 있는 메카니즘이 이루어진다. 즉, 구동 모터(89)가 회전하면, 그러한 회전력은 벨트(87)를 통해서 풀리의 회전축(88)을 회전시킨다. 회전축(88)은 도 8b 에 도시된 제 1 링크(90)에 고정되어 있으므로, 제 1 링크(90)가 회전하게 된다. 제 1 링크(90)의 회전은 제 2 링크(91)와 제 3 링크(98)에 각각 힘을 가하게 되는데, 그러한 힘은 제 2 링크(91)가 가이드 레일(97)을 따라서 제 1 방향으로 이동시킴과 동시에, 상기 가이드 레일(97)의 설치부(105)가 다른 가이드레일(89)을 따라서 상기 제 1 방향에 직각인 제 2 방향으로 이동하게 한다.

마찬가지로, 제 3 링크(93)에 가해지는 힘은 제 3 링크(98)가 가이드 레일(97')을 따라서 이동하게 함과 동시에, 상기 가이드 레일(97')의 설치부(105')가 다른 가이드 레일(89')을 따라서 직각의 방향으로 이동하게 한다. 위와 같이 상호 직각으로 연장된 가이드 레일(97,89; 97',89')을 따른 운동에 의해서 제 1 흡착 노즐군(92)과 제 2 흡착 노즐군(93)은 서로 자리 바꿈을 하게 되는 것이다.

한편, 상기 제 1 흡착 노즐군(92)과 제 2 흡착 노즐군(93)은 각각 승강될 수 있다. 이러한 승각 작용은 제 2 링크(91)와 제 3 링크(98)의 하부의 승강 모터 설치부(96)에 설치되어 있는 제 1 승강 모터(94) 및, 제 2 승강 모터(94')로부터 제공되는 동력에 의해서 이루어진다.

제 1 승강 모터(94)의 회전축에 결합된 구동 풀리(107)의 설치된 벨트(106)는 볼스크류(100)의 상단부에 설치된 풀리(99)와 연결된다. 상기 볼스크류(100)는 노즐 장착부(102)에 고정된 너트(101)에 결합된다. 노즐 장착부(102)의 하부에는 노즐(103)들이 설치됨으로써 제 1 흡착 노즐군(92)을 형성한다.

제 1 승강 모터(94')가 회전하게 되면, 그러한 회전력은 벨트(107)를 통해서 볼 스크류(100)를 회전시킨다. 그에 따라서 볼 스크류(100)에 결합된 너트(101)는 승강될 수 있으며, 너트(101)와 연결된 노즐 장착부(102) 및, 그에 설치된 노즐(103)들이 함께 승강될 수 있다. 이와 동일한 방식으로, 제 2 승강 모터(94')는 제 2 흡착 노즐군(93)을 승강시킬 수 있다.

도 10 에 도시된 것은 도 9 의 저면도이며, 도 10 으로부터 제 1 링크(90)가연장되는 방향 및, 가이드 레일(89,89')의 연장 방향을 알 수 있다.

도 11 에 도시된 것은 도 1 의 언로딩 셔틀(17)에 대한 개략적인 사시도이다. 언로딩 셔틀(17)은 검사 스테이지(16)에서의 소정의 검사가 종료된 반도체 팩키지를 상기의 회전 흡착 노즐 장치로 전달 받아서 제 2 로보트(18)의 흡착 노즐 헤드가 작동할 수 있는 범위로 이동시키는 장치이다.

도면을 참조하면, 언로딩 셔틀(17)은 구동 모터(111)와, 상기 구동 모터(111)의 구동력에 의해서 왕복 이동되는 적치부(118)를 구비한다. 구동 모터(111)의 구동력은 벨트(112)를 통해서 풀리(113)를 회전시키며, 상기 풀리(113)에 설치된 다른 벨트(114)도 함께 주행시킨다. 상기 다른 벨트(114)는 풀리(117)에 의해 주행 가능하게 유지된다. 벨트(114)는 연결부(115a)를 통해서 연결 프레임(115)에 연결된다. 따라서 벨트(114)의 주행은 연결 프레임(115)과, 상기 연결 프레임(115)의 일측에 고정된 적치부(118)를 함께 왕복 운동시킬 수 있다. 적치부(118)의 왕복 운동은 가이드 레일(116)에 의해서 안내된다.

도 12 에 도시된 것은 도 1 의 제 2 로보트(18)에 대한 개략적인 사시도이다. 제 2 로보트(18)는 도 11 을 통하여 설명된 언로딩 셔틀(17)의 적치부(118)에 놓여진 반도체 팩키지를 흡착 노즐 헤드로 집어올려서 제 1 내지 제 4 분류 스테이션(1,2,3,4)이나 또는 제 1 내지 제 4 적치대(6,7,8,9)로 분류하는 작업을 수행한다.

도면을 참조하면, 제 2 로보트(18)의 기본적인 구성은 도 2 내지 도 4 를 참조하여 설명된 제 1 로보트(11)의 구성과 유사하다. 즉, 제 1 축(121)과, 상기 제1 축(121)에 대하여 직각으로 연장되도록 설치되며 상기 제 1 축(121)의 길이 방향으로 따라서 왕복 이송될 수 있는 제 2 축(122) 및, 제 3 축(123)을 구비한다. 제 2 축(122)과 제 3 축(123)은 서로 평행하게 연장되며, 독립적으로 구동된다. 도 12 에서는 제 2 축 구동 모터(124), 풀리(128) 및, 벨트(미도시)에 의해서 제 2 축(122)의 제 1 축(121) 방향 운동이 가능하다. 마찬가지로, 제 3 축 구동 모터(125)와 도시되지 아니한 풀리 및, 벨트에 의해서 제 3 축(123)의 제 1 축(121) 방향 운동이 가능하다.

한편, 제 2 축(122)의 하부에는 제 1 흡착 노즐 헤드(131)가 상기 제 2 축(122)의 길이 방향을 따라서 이동 가능하도록 설치된다. 제 1 흡착 노즐 헤드(131)는 제 2 축(122)의 상부에 설치된 헤드 구동 모터(126)와 풀리(127) 및, 도시되지 아니한 벨트에 의해서 왕복 이동될 수 있다. 마찬가지로 제 3 축(123)의 하부에는 제 2 흡착 노즐 헤드(미도시)가 도시되는데, 이것은 제 3 축(123)의 상부에 설치된 헤드 구동 모터(129), 풀리(130) 및, 벨트(미도시)에 의해서 이동될 수 있다.

제 1 흡착 노즐 헤드(131) 및, 제 2 흡착 노즐 헤드(미도시)는 승강될 수 있으며, 그러한 승강 운동을 가능하게 하는 구조는 도 5 를 참고하여 설명된 메카니즘과 동일하다. 한편, 제 2 로보트(18)에 구비된 제 1 흡착 노즐 헤드(131)와 제 2 흡착 노즐 헤드(미도시)에는 각각 흡착 노즐이 2 개씩 제공되며, 이들은 서로간의 간격이 조절될 수 없는 고정된 구조인 것이 바람직스럽다. 즉, 도 5 를 참조하여 설명된 흡착 노즐들 사이의 간격 조절 메카니즘이 결여된 것이다.

도 13 에 도시된 것은 도 12 에 도시된 제 2 로보트(18)의 저면을 도시한 것으로서, 제 2 축(122)의 하부에 제 1 흡착 노즐 헤드(131)가, 제 3 축(123)의 하부에 제 2 흡착 노즐 헤드(132)가 설치된 것을 알 수 있다.

도 14 에 도시된 것은 도 1 의 제 1 내지 제 4 분류 스테이션(1,2,3,4)과, 공급 스테이션(12) 및, 버퍼링 스테이션(19)과, 제 1 내지 제 4 적치대(6,7,8,9)를 도시한 사시도이다.

도면을 참조하면, 각 스테이션들(1-4, 12,19)은 상부층 프레임(141)에 형성된 관통부에 대응하여 설치된다. 또한 적치대(6-9)들도 상부층 프레임(141)의 소정 위치에 형성된다. 상기 각 스테이션들은 상부층 프레임(141)과 하부층 프레임(142)으로 형성되는 이층 구조로 되어 있다. 실제에 있어서, 상기 도 2 내지 도 13 에 도시된 모든 장치들은 상부층 프레임(141)을 베이스로 형성되는 바람직스럽다. 이와 같이 전체 시스템을 이층 구조로 형성한 것은 공간을 집약적으로 이용하고, 반도체 팩키지가 탑재된 트레이를 공급하고 배출시키는 작용을 용이하게 하기 위함이다.

각 스테이션들에는 상부층 프레임(141)과 하부층 프레임(142)의 높이 차이를 극복하기 위한 엘리베이터(미도시)가 설치된다. 엘리베이터는 트레이를 그 위에 올려놓은 상태로 상승하거나 하강함으로써, 반도체 팩키지에 대한 다른 장치들의 작동을 보조하는 역할을 한다. 또한 하부층 프레임(142)상에는 각 스테이션마다 로드리스 실린더(143)가 제공됨으로써, 적층된 트레이를 외부로 배출하거나 또는 공급하는 작용을 한다.

도 15 에 도시된 것은 도 14 를 통하여 설명된 엘리베이터 구조에 대한 개략적인 구성도이다.

도면을 참조하면, 각 스테이션(1,2,3,4,12,19)에 대응하여 설치되는 엘리베이터는 트레이를 그 위에 적층시킬 수 있는 적층부(149)와, 상기 적층부(149)를 승강 구동시키기 위하여 구비되는 모터(144), 볼 스크류-너트 기구(146)를 구비한다. 모터(144)의 회전 구동력은 벨트(150)를 통하여 볼 스크류를 회전시키며, 적층부(149)에 고정된 너트가 상기 볼 스크류에 결합되어 있으므로 볼 스크류의 회전이 적층부(149)를 승강시킬 수 있다.

한편, 로드리스 실린더(143)는 적층판(148)을 수평 방향으로 이동시킨다. 적층판(148)과 적층부(149)는 평면에서 보았을때 서로 간섭하지 않게 형성된다. 예를 들면, 적층판(148)과 적층부(149)는 평면에서 보았을때 서로 엇갈리게 배치된 갈퀴의 형상을 가질 수 있다. 따라서, 적층부(149)의 상부 표면이 적층판(148)의 높이 보다 낮게 하강하게 되면, 적층부(149)상에 적층된 트레이들은 적층판(148) 위로 완전하게 이전될 수 있다. 적층판(148)의 상부로 전달된 트레이는 적층판(148)상에 실려 있는 상태에서 상기 적층판(148)을 수평 이동시키는 로드리스 실린더(143)에 의해서 각 스테이션의 하부로부터 외부로 배출될 수 있다. 이러한 작용은 제 1 내지 제 4 분류 스테이션(1,2,3,4)에서 이루어질 수 있는데, 예를 들면 처음에 적층부(149)는 상승된 상태에서 그 위에 단지 하나만의 트레이가 올려져 있다. 다음에 트레이에 검사가 종료된 부품이 채워지면, 적층부(149)는 약간 하강하게 되고, 그 위에 다시 빈 트레이가 트레이 운반기(161, 도 16)에 의해서 버퍼링 스테이션(19)으로부터 이동되어 적층된다. 이러한 방식으로 트레이들이 계속 쌓이게 되면, 적층부(149)는 점점 하강하게 되고, 마지막에는 적층판(148)의 아래로 하강하게 된다. 따라서 적층된 트레이들은 적층판(148)에 이전되고, 로드리스 실린더(143)의 작용으로 외부로 배출된다.

다른 한편, 반대의 작용도 성립된다. 예를 들어서, 공급 스테이션(12)에서는 부품들로 채워진 트레이들이 제공되며, 트레이들은 부품의 소진에 따라서 적층부(149)에 실려서 상승하여야 한다. 처음에 적층된 트레이를 공급할때는 적층부(149)가 적층판(148)의 아래로 하강한다. 다음에 적층판(148)에 탑재된 트레이들은 로드리스 실린더(143)의 작용으로 적층부(149)의 상부로 이동한다. 다음에 적층부(149)가 상승하게 되면 트레이들은 적층판(148)으로부터 적층부(149)로 완전하게 이전될 수 있다.

다시 도 14 를 참조하면, 상부층 프레임(141)에는 트레이 운반기 설치부(145)가 형성된다. 트레이 운반기 설치부(145)는 상기 각 스테이션들에 걸쳐서 형성된 홈으로서, 그 홈을 통해 돌출한 트레이 운반기가 각 스테이션에 있는 트레이들을 다른 스테이션으로 이동시킨다. 예를 들면, 검사가 종료되지 아니한 반도체 팩키지를 탑재한 트레이는 공급 스테이션(12)에서 엘리베이터를 타고 상승함으로써 제 1 로보트(11)에 의해 히터 블록(13)으로 이동될 수 있다. 다음에, 반도체 팩키지가 소진된 트레이는 이후에 설명될 트레이 운반기에 의해서 버퍼링 스테이션(19)으로 이동되어 그곳의 적층부(149)에 쌓이게 되다. 제 1 내지 제 4 분류 스테이션(1-4)에 있는 트레이에 검사가 종료된 반도체 팩키지가 다 적재되면,버퍼링 스테이션(19)에 있는 빈 트레이는 다시 트레이 운반기에 의해서 각 분류 스테이션(1,4)으로 이동하게 되는 것이다.

도 16 에 도시된 것은 트레이 운반기에 대한 개략적인 사시도이다.

도면을 참조하면, 트레이 운반기는 승강판(173)에 설치된 4 개의 흡착 노즐(174)을 구비한다. 승강판(173)은 연결 프레임(170)에 대하여 승강 가능하게 설치되어 있으며, 승강 슬린더(172)에 의해서 승강 구동될 수 있다. 연결 프레임(170)은 구동 모터(162)에 의해서 직선 방향으로 왕복 운동할 수 있다. 구동 모터(163)의 회전축에 설치된 풀리(163)와 다른 풀리(165)는 벨트(164)로 연결되고, 상기 풀리(164)와 동축선상에 설치된 풀리에는 벨트(167)가 설치되어 있다. 벨트(167)는 또한 풀리(168)에 의해 지지된다. 상기 연결 프레임(170)으로부터 연장된 벨트 연결부(169)는 벨트(167)에 고정됨으로써, 상기 벨트(167)의 주행에 따라서 길이 방향으로 이동될 수 있다.

흡착 노즐(174)의 하단부는 승강판(173)을 관통하여 연장된다. 따라서 승강판(173)의 하부에 놓인 트레이를 진공의 힘으로 흡착할 수 있다. 승강판(173)은 구동 모터(162)에 의해서 각 스테이션(1-4,12,19)에 놓인 트레이들의 위로 이동할 수 있다. 또한 승강 실린더(172)의 작동에 의해서 승강됨으로써 그 아래에 놓인 트레이에 접근할 수 있으며, 흡착 노즐(174)들이 트레이의 표면을 흡착함으로써 트레이를 다른 스테이션으로 이동시킬 수 있다.

본 발명에 따른 반도체 팩키지 검사 장치는 검사를 수행함에 있어서 각 단계별로 신속하게 반도체 팩키지를 이동시킬 수 있는 장점이 있다. 또한 공간의 활용이 집약적으로 이루어지므로, 생산성이 향상될 수 있다는 장점이 있다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예지적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

1. 검사가 필요한 반도체 팩키지를 탑재한 트레이가 제공되는 공급 스테이션;

   상기 공급 스테이션에서 반도체 팩키지가 소진된 이후에 비어 있는 트레이가 대기 상태로 제공되는 버퍼링 스테이션;

   상기 버퍼링 스테이션으로부터의 트레이가 검사가 끝난 반도체 팩키지의 분류를 위해서 제공되는 다수의 분류 스테이션; 및,

   상기 분류 스테이션에 반도체 팩키지를 분류하는 것으로서, 제 1 축과, 제 1 축의 길이 방향으로 이동 가능하며 서로에 대하여 평행하고 상기 제 1 축에 대해서 직각으로 설치된 제 2 축 및, 제 3 축과, 상기 제 2 축 및, 제 3 축에 대하여 길이 방향으로 이동 가능하고 승강 가능하게 각각 설치된 제 1 흡착 노즐 헤드 및, 제 2 흡착 노즐 헤드를 구비한 제 2 로보트;를 구비하는 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 공급 스테이션의 반도체 팩키지를 흡착하여 공급하는 것으로, 제 1 축과, 제 1 축의 길이 방향으로 이동 가능하며 서로에 대하여 평행하고 상기 제 1 축에 대해서 직각으로 설치된 제 2 축 및, 제 3 축과, 상기 제 2 축 및, 제 3 축에 대하여 길이 방향으로 이동 가능하고 승강 가능하게 각각 설치된 제 1 흡착 노즐 헤드 및, 제 2 흡착 노즐 헤드를 구비한 제 1 로보트;

   상기 제 1 로보트의 제 1 흡착 노즐 헤드 또는 제 2 흡착 노즐 헤드가 반도체 팩키지를 그 위에 내려놓거나 또는 그로부터 집어올리는 히터 블록;

   상기 히터 블록으로부터 집어올린 반도체 팩키지를 적치대에 올려놓은 상태로 대기 스테이지로 이동시키는 로딩 셔틀;

   상기 로딩 셔틀로부터 반도체 팩키지를 흡착하여 검사 스테이지로 이전시킬 수 있도록 다수의 흡착 노즐을 구비한 제 1 흡착 노즐군과 제 2 흡착 노즐군을 구비하며, 상기 제 1 흡착 노즐군과 상기 제 2 흡착 노즐군이 상호 자리 바꿈을 할 수 있는 회전 흡착 노즐 장치;

   상기 검사 스테이지에서 검사를 수행할 수 있도록 구비하는 검사 장치;

   상기 검사가 종료된 이후에 상기 회전 흡착 노즐 장치에 의해서 집어올린 반도체 팩키지를 적치대에 올려 놓은 상태로 이동시키는 언로딩 셔틀;

   상기 공급 스테이션, 상기 분류 스테이션 및, 상기 분류 스테이션 사이에서 트레이를 이동하도록, 트레이를 흡착할 수 있으며 승강 가능하게 설치된 흡착 노즐을 구비한 트레이 운반기;를 더 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 제 1 흡착 노즐 헤드 및, 상기 제 2 흡착 노즐 헤드는 그게 구비된 각 흡착 노즐의 간격을 조절할 수 있도록, 풀리에 의해서 주행 가능하게 유지되게끔 상하로 배치된 한쌍의 벨트와, 상기 벨트에 대하여 일측이 연결된 상태로 상기 흡착 노즐이 설치된 노즐 장착부와, 상기 벨트를 주행시키는 구동 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 로딩 장치 및, 언로딩 장치는, 그 각각에 구비된 적치대들을 왕복 이동시키도록, 상기 적치대에 대하여 일측이 고정된 벨트와, 상기 벨트를 주행 가능하게 유지시키는 풀리들과, 상기 풀리를 회전 구동시키는 구동 모터를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치.
5. 제 2 항에 있어서,

   상기 회전 흡착 노즐 장치는, 회전 구동 모터와; 상기 회전 구동 모터에 의해서 회전 구동되는 풀리와; 상기 풀리의 축에 중심이 고정된 제 1 링크와; 상기 제 1 링크의 양 단부에 회전 가능하게 연결된 제 2 링크 및, 제 3 링크와; 상기 제2 링크 및, 제 3 링크 각각의 길이 방향에서의 직선 운동을 안내하도록 그 각각에 구비되는 한쌍의 가이드 레일과; 상기 한쌍의 가이드 레일을 상기 제 2 링크 및, 제 3 링크들의 길이 방향에 직각인 각각의 방향에서 진선 운동을 안내하도록 그 각각 구비된 한쌍의 가이드 레일과; 상기 제 2 링크 및, 상기 제 3 링크의 하부에 대하여 각각 고정된 승강 구동 모터와; 상기 승강 구동 모터의 동력을 풀리 및, 벨트로 전달받아서 회전되는 볼 스크류와; 상기 볼 스크류에 결합되고 상기 제 1 흡착 노즐군과 상기 제 2 흡착 노즐군에 각각 연결된 너트;를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치.
6. 제 2 항에 있어서,

   상기 공급 스테이션, 상기 버퍼링 스테이션, 상기 제 1 내지 제 4 분류 스테이션은, 상기 트레이가 그 위에 올려지는 적층부; 상기 적층부에 연결된 너트; 상기 너트와 결합된 볼 스크류; 상기 볼 스크류를 회전 구동시키는 구동 모터; 상기 적층부에 적층된 트레이들을 전달 받을 수 있는 적층판; 및, 상기 적층판을 수평 이동시키는 로드리스 실린더;를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치.
7. 제 2 항에 있어서,

   상기 적층부와 상기 적층부는 평면에서 보았을때 상호 간섭되지 않는 형상을 가짐으로써, 상기 적층부가 상기 적층판 보다 낮은 높이로 하강하면 상기 적층부에적층된 트레이가 상기 적층판으로 이전될 수 있고, 상기 적층부가 상기 적층판 보다 낮은 높이로 하강하였다가 다시 상승하면 상기 적층판에 적층된 트레이가 상기 적층부로 이전될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 팩키지 검사용 핸들러 장치.