KR20020092722A - 액정표시소자의 어레이 기판 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 기판과,상기 기판 상에 스캐닝신호가 공급되는 게이트배선과,상기 게이트배선과 연결되는 게이트전극과,상기 게이트배선 및 게이트전극을 덮는 게이트절연막과,상기 게이트절연막을 사이에 두고 상기 게이트전극과 중첩되는 활성층과,상기 활성층 상에 형성되어 소정의 채널크기에 대응하는 홀을 갖는 오믹접촉층과,상기 오믹접촉층과 동일한 형태로 상기 오믹접촉층 상에 형성되는 배리어금속층과,상기 배리어금속층을 덮는 소스전극 및 드레인전극과,상기 데이터배선, 소스전극 및 드레인전극을 덮는 보호층과,상기 배리어금속층, 드레인전극 및 보호층을 관통하는 접촉홀과,상기 접촉홀을 통해 상기 드레인전극과 전기적으로 측면 접촉되는 화소전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 접촉홀은상기 드레인전극을 관통하는 제1 드레인접촉홀과,상기 제1 드레인접촉홀과 대향되게 상기 보호층을 관통하는 제2 드레인접촉홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판.
- 제 2 항에 있어서,상기 제2 드레인접촉홀은 상기 제1 드레인접촉홀의 폭보다 같거나 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 데이터배선의 일단에 형성되는 데이터패드부는상기 게이트절연막을 상에 형성되는 반도체층과,상기 반도체층 상에 상기 반도체층과 동일한 형태로 형성되는 배리어금속층과,상기 배리어금속층을 덮는 데이터패드와,상기 데이터패드를 덮는 보호층과,상기 데이터패드 및 보호층을 관통하는 접촉홀과,상기 접촉홀을 통해 상기 데이터패드와 전기적으로 측면 접촉되는 데이터패드단자전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판용 어레이기판.
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 배리어금속층은 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 탄탈(Ta), 텅스텐(W), 티타늄(Ti) 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판.
- 제 1 항 또는 4 항에 있어서,상기 소스전극, 드레인전극 및 데이터패드는 주금속층인 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판.
- 제 4 항에 있어서,상기 접촉홀은상기 오믹접촉층 및 데이터패드를 관통하는 제1 데이터접촉홀과,상기 제1 데이터접촉홀과 대향되게 상기 보호층을 관통하는 제2 데이터접촉홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판.
- 제 7 항에 있어서,상기 제2 데이터접촉홀은 상기 제1 데이터접촉홀의 폭보다 같거나 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판.
- 기판 상에 게이트배선 및 게이트전극을 형성하는 단계와,상기 기판 상에 게이트절연막을 형성하는 단계와,상기 게이트절연막 상에 반도체물질 및 배리어금속물질을 증착한 후 동일패턴으로 동시에 패터닝하여 반도체층과 배리어금속층을 형성하는 단계와,상기 게이트절연막 상에 주금속물질을 증착한 후 패터닝하여 데이터배선, 소스 및 드레인전극을 형성함과 아울러 상기 드레인전극을 관통하는 제1 드레인접촉홀을 형성하는 단계와,상기 게이트절연막 상에 보호막을 증착한 후 패터닝하여 상기 제1 드레인접촉홀과 대향되게 제2 드레인접촉홀을 형성하는 단계와,상기 제1 및 제2 드레인접촉홀을 통해 상기 드레인전극과 전기적으로 측면 접촉되는 화소전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 제2 드레인접촉홀은 상기 제1 드레인접촉홀의 폭보다 같거나 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 소스 및 드레인전극과 동시에 데이터배선의 일단에 데이터패드를 형성함과 아울러 상기 데이터패드에 제1 데이터접촉홀을 형성하는 단계와,상기 게이트절연막 상에 보호막을 증착한 후 패터닝하여 상기 제1 데이터접촉홀을 중심으로 제2 데이터접촉홀을 형성하는 단계와,상기 제1 및 제2 데이터접촉홀을 통해 상기 데이터패드와 전기적으로 측면 접촉되는 데이터패드단자전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판 제조방법.
- 제 9 항 또는 제11 항에 있어서,상기 배리어금속층은 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 탄탈(Ta), 텅스텐(W), 티타늄(Ti) 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판의 제조방법.
- 제 9 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 소스전극, 드레인전극 및 데이터패드는 주금속층인 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판의 제조방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 제2 데이터접촉홀은 상기 제1 데이터접촉홀의 폭보다 같거나 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자용 어레이기판의 제조방법.
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