KR20020082566A - 디지털 엑스레이 장치 - Google Patents

Abstract

흉부 X선 촬영, 두부 X선 촬영, 그리고 치과나 구강외과 분야에서 이용되는 X선 촬영 등에 있어서, 한번의 촬영에 의하여 각 장기 등을 명료하게 촬영할 수 있도록 구성된 증감수단을 구비하는 디지털 엑스레이장치가 개시되어 있다. 본 발명의 디지털 엑스레이장치는 투명지지층, 상기 투명지지층 상부에 설치되고 일정한 간격으로 반복적으로 형성된 다수의 미세공에 섬광체를 충진시킨 매트릭스층, 상기 매트릭스층 상부에 설치되어 상기 매트릭스층으로부터 상부로 퍼지는 빛을 다시 하부로 반사시키는 반사코팅층, 및 상기 반사코팅층 상부에 설치된 방습코팅층을 구비하는 증감수단; 상기 증감수단의 투명지지층의 하부에 설치되어 매트릭스층의 미세공을 통과한 가시광선을 수신하는 광다이오드; 상기 광다이오드로부터 신호를 수신하는 픽셀 디텍터; 및 상기 픽셀 디텍터의 신호를 처리하고 이를 영상으로 변환하는 데이터 처리부 및 영상 처리부를 포함한다.

Description

디지털 엑스레이 장치{Digital X-ray Device}

본 발명은 의료진단에 사용되는 디지털 엑스레이장치에 관한 것으로서, 특히 흉부 X선 촬영, 두부 X선 촬영, 그리고 치과나 구강외과 분야에서 이용되는 X선 촬영 등에 있어서, 한번의 촬영에 의하여 각 장기(臟器)등을 명료하게 촬영할 수 있도록 구성된 증감수단을 구비하는 디지털 엑스레이장치에 관한 것이다.

의료분야에서 쓰이는 엑스선 촬영장치는 엑스선 발생장치에서 엑스선을 발생시키고 환자를 투과한 엑스선은 필름을 현상하여 환자 내부의 구조를 관찰하게 된다. 여기서 필름만을 사용할 때는 엑스선에 의해 현상되는 정도가 작아 낮은 대조도 분해능(contrast resolution)을 얻게 된다. 그 이유는 엑스선이 필름의 물질과반응하는 정도가 낮기 때문이다.

이러한 문제점을 해결하기 위해서, 실제 엑스선 사진 촬영시 엑스선을 필름과 반응성이 좋은 가시광선으로 바꾸어 주는 증감지(Image Intensifier Screen)를 필름의 앞뒤에 밀착시켜서 엑스선을 가시광선으로 바꾸어 그 가시 광선으로 필름을 현상시켜 보다 우수한 대조도분해능(contrast resolution)을 갖는 엑스선 이미지를 얻게 된다.

다시 말하여 일반적으로 의료진단에 사용되는 X선 촬영 등의 방사선 촬영 시에는 감광성 필름과 증감지를 조합하여 사용하게 되며, 이러한 증감지로서는 종이나 플라스틱 등으로 된 지지체상에, X선을 조사했을 때 발광되는 형광체층과, 그 형광체층을 보호해주는 얇은 보호막을 차례로 형성시켜서 된 것이 일반적이며, X선 촬영 시에는 이와 같은 증감지 2장 사이에 X선 필름을 끼우고, 이를 카셋트내에 지지시켜서 사용하게 된다.

도 1은 이러한 종래 기술을 나타낸 것으로서, 증감지(1,1')의 사이에 필름(2)을 위치시키고 엑스선을 조사하여 엑스선사진을 얻을 경우 증감지에서 엑스선이 가시광선으로 바뀌어 직진할 때에는 가시광선이 사방으로, 특히 수평 방향으로 퍼지는 경향이 있기 때문에 실제 엑스선 이미지보다 경계가 모호해져 선명하지 못한 영상이 나타나는 현상이 발생한다. 이러한 현상을 도 2를 참조하여 자세히 설명하면, 뼈와 근육의 영역을 통과한 엑스선 이미지의 경우 뼈와 근육의 경계에서 엑스선의 농도가 급격히 변하여 선의 선명도가 좋을 것이다. 그러나 이것을 가시광선으로 바꾸게 되면 뼈와 근육의 경계에서 빛의 퍼짐 현상으로 경계를 벗어날수록경계의 영상에 대한 선명도가 낮아지게 된다.

이러한 퍼짐 현상을 억제하면서 적은 엑스선 조사량으로 선명한 영상을 얻기 위해서는 고밀도이면서 빛의 퍼짐을 적게할 수 있는 얇은 증감지를 사용하거나, 다양한 두께의 증감지를 사용하고 있다.

이러한 증감지의 예를 들어보면 다음과 같다.

(1) 보통크기의 증감지와 고감도를 필요로 하는 부분의 형상을 갖는 증감지를 조합시켜서 된 증감지 세트.

(2) 보통의 증감지와 그 증감지에서 나오는 빛을 부분적으로 흡수, 또는 반사하는 시트를 조합시켜서 된 증감지 세트

(3) 형광체층내에다, 그 형광체층에서 나오는 빛을 부분적으로 흡수, 또는 반사하는 패턴을 형성시켜서 된 증감지

(4) 형광체층과 보호층과의 사이에다, 그 형광체층에서 나오는 빛을 부분적으로 흡수, 또는 반사하는 패턴층을 형성시켜서 된 증감지

그러나, 상기 (1)과 같은 증감지에서는 고감도부분과 다른 부분과의 경계부분에서 그 감도가 불연속적으로 되어 버리기 때문에 X선 사진에 그 경계부가 줄무늬 형태로 찍혀 나오는 문제점이 있었다.

또한, 상기(2) 내지 (4)에서와 같이, 형광체층에서 나오는 빛의 일부가 흡수, 또는 반사되도록 하는 방법에서는 형광체에서 나오는 빛을 흡수하는 안료 등을 그 패턴에 따라 필름상이나 형광체층상에 직접 인쇄하게되는 바, 이러한 방법에서는 착색부와 비착색부의 경계나 X선 사진에 찍혀 나오지 않도록 하기 위해서 다음과 같이 해야 한다.

즉, 감도보상 패턴에 따라 서로 다른 농도로 착색한 복수개의 필름을 광투과부로부터 광흡수부쪽으로 향하여 그 농도가 차례로 엷어지도록 계속 겹쳐서 촬영하여 사진 제판용 원판을 제작하고, 이것을 이용하여 인쇄용 원판을 제작한 다음, 그라비아 인쇄 등에 의해서 광흡수층을 형성하고, 광흡수부에서 광투과부쪽으로의 농도를 조화롭게 변화시켜야 한다.

그러나, 이와 같은 방법에서는 그 농도변화의 경계가 인쇄단계에서는 육안으로 식별되지 않을 정도로 조화롭게 변화시킬 수 있다하더라도, 실제로 X선 촬영을 실시해 놓고 보면 경계선이 줄무늬형태로 찍혀 나오게 된다.

실제로 이러한 증감지를 사용하는 개폐식 필름 카세트의 구조는 빛을 차단하는 카세트의 안쪽 양면에 증감지를 붙이고 그 사이에 현상할 필름을 위치시킨다. 이렇게 하고 엑스선을 발생시킨 후 현상된 필름을 일반적인 화학적 현상 방법으로 현상하면 환자의 엑스선 투시 영상을 얻게 된다.

이러한 종래의 기술은 일반적인 엑스선 투시 촬영장치에서 필름의 현상 정도를 향상시키기 위해서 필름의 양쪽에 증감지를 위치시켜서 엑스선을 증감지에서 가시광선으로 변환하고 그 변환된 가시광선이 필름을 현상하는 방식으로 엑스선 투시를 기록하였다.

이러한 종래 기술의 문제점으로서 일반적인 카세트 방식의 엑스선 영상 필름 촬영방식에서는 엑스선 신호가 증감지에서 가시광선으로 변환될 때 가시광선이 모든 방향으로 방사하기 때문에 고유의 엑스선의 위치에 따른 농도정보가 주위로 흩어지는 결과가 발생한다.

이것을 자세히 설명하면 뼈와 근육의 영역을 통과한 엑스선 이미지의 경우 경계에서 엑스선의 농도가 급격히 변하여 선의 선명도가 좋을 것이다. 그러나 이것을 가시광선으로 바꾸게 되면 증감지에서 빛의 퍼짐 현상으로 선의 선명도가 낮아지게 된다. 이렇게 되면 공간적으로 선명해야할 엑스선 투시 영상의 경계들이 전반적으로 흐려지고(Blur) 임계 이하의 크기를 갖는 영상 정보들의 손실을 가져오게 된다.

이렇게 공간적으로 선을 분간할 수 있는 능력을 공간 분해능이라고 표현하고 그 단위는 mm당 구분 가능한 line pair로 측정한다. 결국 이러한 공간 분해능 값이 떨어지고 더욱이 진하고 선명한 영상을 얻기 위해서 증감지의 두께를 두껍게 할수록 증감지에서의 빛의 퍼짐현상은 심화되어 공간 분해능 값은 더욱 떨어지게 된다. 이렇게 공간 분해능과 증감지에서 발생되는 필름을 현상시키기 위하여 발생되는 가시광선의 양 사이에는 서로 반비례 관계가 있다. 이것은 증감지에서 발생하는 빛의 퍼짐을 억제하는 특별한 방법을 강구하지 않는 한 제거할 수 없는 것이 종래로부터의 문제점으로 지적되어 왔다.

본 발명의 목적은 디지털 방사선사진법(Digital radiography)의 평면형 디텍터(flat panel detector)의 광 변환용 검출기 또는 감마 카메라의 섬광체 광 검출용 디텍터, 엑스레이 마이크로피(x-ray microscopy)의 광 검출기 등에서 엑스선용 증감지에서 가시광선이 수평 방향으로 퍼져서 엑스선 이미지의 경계부분의 선명함이 저해되는 현상을 제거하기 위한 것으로서, 엑스선을 가시광선으로 바꾸는 증감수단을 미세공 구조로 만들고 미세공 안에 섬광체를 주입함으로써 변환된 가시광선이 미세공 밖으로 빠져나가지 못하도록 하고, 증감수단 하부의 광 다이오드로 인도되게 하여 엑스레이(x-ray) 영상의 경계가 모호해지고 흐려지는 현상이 나타나지 않도록 하는 증감수단을 구비하는 디지털 엑스레이장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래 엑스선과 증감지에서의 빛의 산란을 보인 도면.

도 2는 종래 증감지에서 변환된 가시광선이 필름에 상을 맺을 때 가시광선의 산란에 따른 분포를 나타낸 도면.

도 3은 본 발명에 따른 증감수단의 구성을 나타낸 사시도.

도 4는 본 발명에 따른 증감수단의 구성을 나타낸 평면 단면도.

도 5는 본 발명에 따른 증감수단의 이용 시에 가시광선이 집중되는 현상을 설명하는 도면.

도 6a는 본 발명의 일실시예에 따른 증감수단의 구성을 확대하여 나타낸 단면도.

도 6b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증감수단의 구성을 확대하여 나타낸 단면도.

도 7은 본 발명의 매트릭스 층에 형성된 미세공의 평행한 구조를 나타낸 단면도.

도 8은 본 발명의 매트릭스 층에 형성된 미세공이 한 점의 중심을 향하여 경사지게 형성된 구조를 나타낸 단면도.

도 9는 본 발명의 매트릭스 층이 가장자리로 갈수록 두껍게 형성된 구조를 나타낸 단면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

3 : 방습코팅층4 : 반사코팅층

5 : 매트릭스층6 : 미세공

7 : 섬광체8 : 투명지지층

9 : 광다이오드10 : 2차원 실리콘 픽셀 디텍터

11 : 데이터 처리부 및 영상부

상기 목적들을 달성하기 위하여 본 발명에 일 실시예에 따른 디지털 엑스레이장치는 투명지지층, 상기 투명지지층 상부에 설치되고 일정한 간격으로 반복적으로 형성된 다수의 미세공에 섬광체를 충진시킨 매트릭스층, 상기 매트릭스층 상부에 설치되어 상기 매트릭스층으로부터 상부로 퍼지는 빛을 다시 하부로 반사시키는 반사코팅층, 및 상기 반사코팅층 상부에 설치된 방습코팅층을 구비하는 증감수단; 상기 증감수단의 투명지지층의 하부에 설치되어 매트릭스층의 미세공을 통과한 가시광선을 수신하는 광다이오드; 상기 광다이오드로부터 신호를 수신하는 픽셀 디텍터; 및 상기 픽셀 디텍터의 신호를 처리하고 이를 영상으로 변환하는 데이터 처리부 및 영상 처리부를 포함한다.

이하 본 발명의 디지털 엑스레이장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

종래의 증감지(Non-structured intensifying screen)는 가시광선의 변환율은 클 수 있지만 증감지에서 빛이 수평 방향으로 전진하여 최종적 사진의 공간 분해능은 결과적으로 나빠졌다. 이러한 증감지의 구조를 개선하여 빛이 옆 방향으로 전진하는 것을 막아 이미지의 공간 분해능 저하를 막는 것이 본 발명의 핵심이다.

도면을 참조하여 본 발명의 디지털 엑스레이장치에 따른 증감수단의 구제적인 구성을 설명하면 다음과 같다.

도 3에서 보듯이 본 발명의 증감수단의 구성을 살펴보면, 그 상부에 방습 코팅층(3)을 위치시키고, 상기 방습 코팅층(3)의 하부에 반사 코팅층(4: antireflection coating)을 위치시키고, 금속, 실리콘, 및 세라믹 등과 같이 빛을 투과시키지 않거나 유리 등과 같이 빛을 투과시킬 수는 있지만 표면에 반사 코팅층(4)을 증착한 재료를 매트릭스층(5)으로 선택하고, 화학 에칭법이나 레이저 에칭법으로 미세한 모양의 미세공(6)을 수십㎛ ∼ 수백㎛정도의 일정한 간격으로 반복적으로 뚫게 된다.

상기와 같이 구성된 미세공(6)에 엑스선을 가시광선으로 바꾸어 주는 섬광체 재료를 삽입하여 압착시킨 후 고온에서 소결시켜 미세공(6) 안에 하나의 섬광체(7) (Scintillator crystal)를 만든다. 한편, 상기와 같이 구성된 미세공(6)에 엑스선을 가시광선으로 바꾸어 주는 섬광체 재료를 파우더 상태에서 적당한 바인더와 같이 슬러리 상태로 만들어 미세공(6)에 압력으로 주입하여 소결 공정 없이 제조하는 방법도 가능하다. 상기의 각층을 지지하는 투명지지층(8)이 상기의 각층을 지지하여 증감수단을 형성하게 된다.

상기와 같이 구성된 증감수단은 엑스선이 조사되었을 때 발생하는 엑스선을 가시광선으로 변환할 경우 수평 방향으로 퍼지지 못하고 아래나 위 방향으로만 퍼지게 된다. 이 때 위로 퍼지는 가시광선은 손실되는 것이기 때문에 매트릭스층의 상부에 다시 반사 코팅층(4)을 위치시킴으로서 위로 반사되는 빛의 손실을 막도록 구성되어 있다.

상기와 같이 형성된 증감수단의 구조에서 발생한 가시광선은 상기 증감수단 하부의 광다이오드(9)를 거쳐 2차원 실리콘 픽셀디텍터(10)에 의해 영상을 만드는 영상장치(11)와 연결되어 엑스레이의 촬영화면이 얻어지는 것이다.

도 4는 상기의 증감수단과 픽셀디텍터와 연결된 구성을 나타낸 것으로서 광다이오드(9)에 전달된 가시광선은 2차원 실리콘 픽셀 디텍터(10)를 통하여 데이터화하며 상기의 데이터를 재구성하는 데이터 처리부와 처리된 데이터를 기초로 영상을 만드는 영상장치(11)에 연결되어 원하는 부위의 엑스선 조사 시에 있어서 선명한 영상을 얻을 수 있도록 한 것이다.

상기와 같이 구성된 증감수단의 구성에 의해 가시광선의 퍼짐현상을 방지하는 현상을 도 5 내지 도 7에 의하여 상세히 설명한다.

도 6a에 도시된 바와 같이, 방습 코팅층(3)의 하부에 반사 코팅층(4)이 위치하여 있고, 투명 지지층(8)의 사이에 본 발명의 요부인 매트릭스층(5)이 놓여져 있다. 상기 매트릭스층(5)은 화학적 방법이나 레이저 가공 등에 의한 미세공(6)이 뚫려져 있으며, 이 구멍에 섬광체(7)를 삽입하여 고착시킨다. 그리고 매트릭스층(5)의 하부와 투명 지지층(8)사이에는 섬광체에서 발생한 가시광선이 투명 지지층(8)에서 반사되지 않도록 주름모양(12)의 형태를 설치할 수도 있다. 상기와 같이 구성된 증감수단의 하부에는 가시광선의 광 다이오드(8)를 위치시켜 가시광선을 받아영상 및 자료처리부(11)로 이송한다.

환자의 환부를 촬영판에 위치시키고 엑스선을 조사하면 엑시선은 증감수단에서 가시광선으로 변하게 되지만, 종래기술인 도 2에서 보듯 가시광선은 필름의 조사영역에서 수평방향으로 퍼짐현상이 발생하는 것이 일반적인 문제점이었으나, 도 5에서 보듯이 본 발명의 기술을 도입하면 가시광선이 매트릭스체의 미세공을 통과할 경우에 미세공에 삽입 고착된 섬광체(7)에 의해 미세공 내에서 반사를 일으키며, 이러한 반사를 일으키는 가시광선은 도면에서 보듯이 필름으로 가시광선을 반사시켜 가시광선의 경계를 선명하게 만드는 것이다.

이때 반사되는 가시광선은 상방으로 반사가 일어날 경우도 있으며 이러한 상방의 반사된 가시광선을 하방으로 되돌리기 위하여 반사코팅층(4)을 두어 상방으로 반사되는 가시광선을 하방으로 되돌리게 되어 조사되는 가시광선을 광다이오드로 집중시키게 되는 것이다. 매트릭스층(5)에 형성된 미세공(6)은 도 6b에서 보듯 반사되는 가시광선을 하방으로 집중시키기 위하여 하방으로 확대되는 테이퍼형상의 구멍으로 형성되어 미세공에 들어온 가시광선을 하방으로 집중시킬 수 있는 것이다. 이렇게 집중되어 조사된 가시광선은 광다이오드(9)를 통하여 데이터 처리부 및 영상장치(11)를 통해 영상으로 나타나게 되는 것이다.

본 발명은 2차원 a-Si 광 다이오드 어레이와 결합하여 엑스선 신호를 직접 디지털 영상으로 변환하는 디지털 엑스레이 방사선사진기(Digital X-ray radiography)의 검출기를 만들 수 있다. 본 발명의 매트릭스층(5)은 여기서 엑스선을 가시광선으로 바꾸어 주는 증감지의 역할을 함과 동시에, 광변환 섬광체 미세공의 구조에서 미세공(6) 안을 채우는 섬광체의 종류로는 광 변환율과 지연시간(decay time)에 따라서 실제 사용처에 적합한 재료를 선정하여 사용될 수 있다. 미세공에 채워지는 섬광체의 종류로는 CsI:Tl CaF₂:Eu, BaF₂, CdWO₄, ZnWO₄, Bi₄Ge₃O₁₂, (Y,Gd)O₃:E₆, Gd₂O₂S:Pr,Ce,F, Gd₂O₂S:Tb, LSO,YAG:Ce, YAP:Ce, GSO:Ce등이 사용될 수 있다. 예를 들어, 디지털 엑스레이 방사선사진기에는 광 변환율이 크고 아몰퍼스 실리콘과 좋은 스펙트럼 매칭(spectral matching)이 되는 CsI(Tl)이 적합하다.

또한 매트릭스의 재료도 사용되는 곳에 따라 재료를 선정해야 한다. 엑스선의 차단(blocking)이 중요할 때에는 원자번호가 놓은 재료로 선정해야 하므로 납과 같은 종류의 금속이 적당하며, 일반적으로는 SUS, 실리콘 등의 재료로 쓸 수 있다. 또한 상기 구조의 사용처는 미세공의 크기를 수㎛ 정도로 하면 투시상을 확대하여야 하며 이와 같은 경우 옵티컬 마이크로스코피(optical microscopy)와 같이 X-ray 영상을 확대하여 보는 엑스레이 마이크로스코피(X-ray microscopy)와 같은 용도의 기구에 적용이 가능하고, 미세공의 직경은 엑스선 검출기의 효율, 빛을 받는 광다이오드의 피치와 픽셀의 크기에 따라, 또한 원하는 공간 분해능에 따라 수백㎛ ~ 수십㎛범위에서 정해질 수 있는 것이다.

아울러, 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 매트릭스층(5)의 미세공(6)은 평행한 형상으로 형성되거나, 가장자리 해상도를 향상시키기 위하여 엑스선 튜브의 초점의 위치를 고려하여 동일한 중심을 향하도록 형성되는 것이 바람직하다. 또한,상기 매트릭스층(5)은 가장자리로 갈수록 층의 두께를 두껍게 하여 실제로 엑스선을 받는 미세공의 투사 면적이 작아지는 효과를 상쇄시킬 수 있다.

종래 섬광체 증감지는 증감지 내부에서 엑스선이 빛으로 바뀌는 과정에서 빛이 사방으로 퍼지면서 그 위치에서의 엑스선 농도 정보를 잃어버리는 것을 없앨 수 없었다.

하지만 같은 기능을 하는 증감수단을 만드는데 있어서 미세공 배열의 구조로 매트릭스층을 만들고 미세공 안에 섬광체를 채우면 하나의 미세공 안에서 발생한 빛은 이웃하는 미세공으로 퍼지지 않고 그대로 1대1 대응되어 설치되어 있는 광 다이오드로 측정되기 때문에 엑스선 신호가 공간적으로 흐트러짐이 없이 그대로 광 변환시킬 수 있다.

또한 미세공 구조의 두께를 발생한 엑스선을 충분히 흡수 할만큼의 두께로 만들 수 있으며, 이렇게 보다 두껍게 만들지라도 이전의 증감지에서와 같이 빛의 퍼짐이 더욱 심해지는 효과를 제거할 수 있어서 광 발생량과 공간분해능을 독립적으로 제어할 수 있는 기능을 가진다.

또한 미세공의 크기를 원하는 대로 제작할 수 있고 증감수단에서 빛의 퍼짐 현상이 없기 때문에 원하는 공간 분해능을 얻을 수 있다.

Claims (10)

1. 투명지지층, 상기 투명지지층 상부에 설치되고 일정한 간격으로 반복적으로 형성된 다수의 미세공에 섬광체를 충진시킨 매트릭스층, 상기 매트릭스층 상부에 설치되어 상기 매트릭스층으로부터 상부로 퍼지는 빛을 다시 하부로 반사시키는 반사코팅층, 및 상기 반사코팅층 상부에 설치된 방습코팅층을 구비하는 증감수단;

   상기 증감수단의 투명지지층의 하부에 설치되어 매트릭스층의 미세공을 통과한 가시광선을 수신하는 광다이오드;

   상기 광다이오드로부터 신호를 수신하는 픽셀 디텍터; 및

   상기 픽셀 디텍터의 신호를 처리하고 이를 영상으로 변환하는 데이터 처리부 및 영상 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 매트릭스층의 재질은 SUS, 납과 같은 금속계, 세라믹계, 및 유리계 중 어느 하나를 이용할 수 있는 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 매트릭스층에 형성된 미세공은 원형, 타원형, 사각형 중 어느 하나의 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.
4. 제 3항에 있어서, 상기 매트릭스층에 형성된 미세공은 상단부에서 하단부로갈수록 단면적이 확대되도록 형성된 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.
5. 제 1항에 있어서, 상기 매트릭스층의 미세공에 채워지는 섬광체는 CsI:Tl CaF₂:Eu, BaF₂, CdWO₄, ZnWO₄, Bi₄Ge₃O₁₂, (Y,Gd)O₃:E₆, Gd₂O₂S:Pr,Ce,F, Gd₂O₂S:Tb, LSO,YAG:Ce, YAP:Ce, GSO:Ce 중 어느 하나 인 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.
6. 제 1항에 있어서, 상기 매트릭스층의 미세공에 대향하는 상기 투명지지층의 형상은 상방으로의 가시광선의 반사를 방지하기 위해 주름모양의 층으로 형성된 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.
7. 제 1항에 있어서, 상기 매트릭스층에 형성된 미세공은 엑스선의 효율, 광다이오드의 피치 및 픽셀이 크기에 따라, 또한 원하는 공간 분해능에 따라 수백㎛에서 수십㎛의 범위에서 정해지는 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.
8. 제 1항에 있어서, 상기 매트릭스층에 형성된 미세공은 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.
9. 제 1항에 있어서, 상기 매트릭스층에 형성된 미세공은 동일중심을 향하도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.
10. 제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 매트릭스층은 가장자리로 갈수록 층의 두께를 두껍게 형성하는 것을 특징으로 하는 디지털 엑스레이 장치.