KR20020074787A - Lcd 셀의 접합 공정용 가압 장치 - Google Patents
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Abstract
LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치에 관하여 개시한다. 본 발명의 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치는, 홈을 가지며 자신의 상부에 하부 셀이 위치되는 하판과; 자신에 의하여 자신의 상부에 하부 셀이 처짐없이 고정되도록 하판의 홈에 설치되는 하부 정전기척과; 홈을 가지며 자신의 하부에 상부 셀이 위치되는 상판과; 자신에 의하여 자신의 하부에 상부 셀이 처짐없이 고정되도록 상판의 홈에 설치되는 상부 정전기척과; 자신의 내부가 진공 분위기로 형성되며, 하판, 하부 정전기척, 상판, 및 상부 정전기척이 자신의 내부에 설치되는 챔버를 구비하는 것을 틱징으로 한다. 본 발명의 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치에 의하면, 정전기력에 의하여 LCD 셀의 일면이 정전기척 및 정전기척이 설치된 판에 처짐없이 고정되게 되므로 LCD 셀의 처짐현상이 방지되게 되고, 기계적 또는 전자적인 구동장치에 의하여 일단 상부 셀과 하부 셀을 접합한 후에 가스의 압력을 이용하여 상부 셀과 하부 셀을 미세 가압함으로써 상부 셀과 하부 셀 사이의 간격을 원하는 간격으로 형성할 수 있다.
Description
본 발명은 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치에 관한 것으로서, 특히 LCD 셀을 정전기력으로 고정하며, 유체의 압력으로 셀 사이의 간격을 미세 조정할 수 있는 미세 가압 기구를 구비한 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치에 관한 것이다.
정보 통신 분야의 급속한 발전과 더불어 다량의 정보를 수신자에게 정확하고 효과적으로 전달하기 위한 전달 매체로써의 디스플레이 산업이 매우 중요하게 인식되고 있다.
과거에는 음극선관 (Cathode Ray Tube, 이하 CRT라 한다.)이 디스플레이 시장의 주류를 이루었으나, 최근 들어서는 얇고 가벼운 평판 디스플레이가 디스플레이 산업의 주류를 이루고 있다. 평판 디스플레이는 CRT에 비하여 화질이 떨어지는 단점이 있었으나, 근래에는 기술 개발을 통하여 화질이 매우 향상되는 비약적인 발전을 보이고 있다.
최근 각광받고 있는 평판 디스플레이로는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display, 이하 LCD라 한다.)를 들 수 있다. LCD는 빛의 편광 현상을 이용하여 원하는 정보를 표시하는 것이다.
도 1은 LCD 패널의 일반적인 구조를 설명하기 위한 개략도이다.
도 1을 참조하면, LCD 패널은 상부 셀(Cell)(10), 하부 셀(20), 상부 셀(10)과 하부 셀(20) 사이의 중심 부분에 설치되어 상부 셀(10)과 하부 셀(20) 사이의 간격을 유지시켜주는 스페이서(Spacer)(50), 상부 셀(10)과 하부 셀(20)의 외곽에 도포되어 상부 셀(10)과 하부 셀(20) 사이를 밀봉해주는 밀봉제(Sealant)(40), 및 상부 셀(10)과 하부 셀(20)에 각각 설치되는 편광판(31, 32)으로 이루어진다. 여기서, 셀(10, 20)은 유리판(11, 21)과 유리판(11, 21)의 일면에 도포된 액정(12, 22)으로 이루어진다. 그리고 LCD 패널에는 미도시 되었지만, 전극 등이 더 설치된다.
일반적으로 LCD 패널은 스페이서(40)와 밀봉제(40)를 사이에 두고 상부 셀(10)의 액정(12)과 하부 셀(20)의 액정(22)이 서로 마주보도록 상부 셀(10)과 하부 셀(20)을 위치시킨 다음, 상부 셀(10)과 하부 셀(20)을 가압하여 접합함으로써 제조된다.
이 때, 좋은 화질의 LCD 패널을 구현하기 위해서는 상부 셀 및 하부 셀의 전면(全面)에 걸쳐서 상부 셀과 하부 셀 사이의 간격이 일정해야 한다. 그런데 상부 셀 및 하부 셀을 가압할 때에 상부 셀 및 하부 셀이 평행을 이루지 못하여 상부 셀 및 하부 셀에 가해지는 압력이 부위별로 차이가 나는 경우에는 좋은 화질을 구현할 수 없을 뿐 만 아니라 스페이서 및 유리판이 파손되는 등 심각한 문제들이 발생된다. 따라서, 이러한 문제점들을 해결하기 위해서는 가압 장치에 상부 및 하부 셀의 고정 방법 및 가압 방법의 매우 중요하다.
도 2는 종래의 LCD 셀의 접합 공정에 사용되는 가압 장치를 설명하기 위한개략도이다.
도 2를 참조하면, 종래의 가압장치는 상판(61) 및 하판(62)과, 상판(61)에 상부 셀(10)을 고정시키고 하판(62)에 하부 셀(20)을 고정시키기 위한 각각의 고정핀(71, 72)들로 이루어진다. 여기서, 상판(61) 및 하판(62)은 별도로 구비된 구동장치에 의하여 상하로 이동되게 된다.
이와 같이, 단지 고정핀을 이용하여 상부 셀을 상판에 고정시키는 경우에 상부 셀이 상판에 완전히 밀착되기 어려우므로 상부 셀의 처짐현상이 발생하게 되어 상부 셀과 하부 셀을 정교하게 정렬할 수 없다. 그리고, 별도로 구비된 기계적 또는 전자적인 구동장치에 의하여 상판 및 하판을 상하 이동시킴으로써, 원하는 일정한 간격이 유지하면서 상부 셀과 하부 셀을 접합하기가 어려우므로 고화질의 LCD 패널을 제조하기 어렵다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상부 셀 및 하부 셀을 처짐없이 원하는 간격을 일정하게 유지되도록 가압하여 접합할 수 있는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치를 제공하는 데 있다.
도 1은 LCD 패널의 일반적인 구조를 설명하기 위한 개략도;
도 2는 종래의 LCD 셀의 접합 공정에 사용되는 가압 장치를 설명하기 위한 개략도;
도 3은 본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치를 설명하기 위한 개략도;
도 4a는 본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치에 있어서 상,하판 및 상,하부 정전기척을 설명하기 위한 개략도;
도 4b는 도 4a에 따른 정전기척에 의한 정전기력의 범위를 설명하기 위한 개략도;
도 5는 본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치의 다른 실시예로서, 도 4a에 의한 상,하판 및 상,하부 정전기척에 진공 흡입 및 압력 공급관이 더 형성된 것을 나타낸 개략도;
도 6a 내지 도 6c는 하부 정전기척의 평탄도를 유지하기 위한 또는 하판과 하부 정전기척의 상면을 굴곡없는 평평한 하나의 면으로 형성하기 위한 조절 수단을 설명하기 위한 개략도들이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치는, 홈을 가지며 자신의 상부에 하부 셀이 위치되는 하판과; 자신에 의하여자신의 상부에 상기 하부 셀이 처짐없이 고정되도록 상기 하판의 홈에 설치되는 하부 정전기척과; 홈을 가지며 자신의 하부에 상부 셀이 위치되는 상판과; 자신에 의하여 자신의 하부에 상기 상부 셀이 처짐없이 고정되도록 상기 상판의 홈에 설치되는 상부 정전기척과; 자신의 내부가 진공 분위기로 형성되며, 상기 하판, 하부 정전기척, 상판, 및 상부 정전기척이 자신의 내부에 설치되는 챔버를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 상판의 상면에 마련되는 유입구와 상기 상판의 하면에 마련되는 유출구를 가지는 가스 주입관과; 상기 상부 정전기척에 의하여 자신의 하면에 상기 상부 셀이 고정되며, 자신과 상기 상부 정전기척의 하면과 상기 상판의 하면으로 둘러싸이는 소정의 공간을 형성하되 상기 공간이 상기 가스 주입관의 유출구와 연결되도록 상기 상판 하면의 소정영역에 설치되는 신축성 소재를 더 구비하는 것이 바림직하다. 또는 상기 하판의 하면에 마련되는 유입구와 상기 하판의 상면에 마련되는 유출구를 가지는 가스 주입관과; 상기 하부 정전기척에 의하여 자신의 상면에 상기 하부 셀이 고정되며, 자신과 상기 하부 정전기척의 상면과 상기 하판의 상면으로 소정의 공간을 형성하되 상기 공간이 상기 가스 주입관의 유출구와 연결되도록 상기 하판 상면의 소정영역에 설치되는 신축성 소재를 더 구비하는 것이 바람직하다.
나아가, 유입구는 상기 상부 정전기척의 하면에 위치되고, 유출구는 외부에 별도로 마련되는 진공 펌프 또는 압력 공급 펌프와 연결되도록 상기 상판 및 상기 상부 정전기척을 관통하여 설치되는 진공 흡입 및 압력 공급관들을 더 구비하는 것이 바람직하다. 또는 유입구는 상기 하부 정전기척의 상면에 위치되고, 유출구는 외부에 별도로 마련되는 진공 펌프 또는 압력 공급 펌프와 연결되도록 상기 하판 및 상기 하부 정전기척을 관통하여 설치되는 진공 흡입 및 압력 공급관들을 더 구비하는 것이 바람직하다.
더 나아가, 상기 하부 및 상부 정전기척의 평탄도가 유지되도록, 상기 하판의 상면과 상기 하부 정전기척의 상면을 연결하여 형성된 면이 굴곡없는 평평한 면으로 형성되도록, 또는 상기 상판의 하면과 상기 상부 정전기척의 하면을 연결하여 형성된 면이 굴곡없는 평평한 면으로 형성되도록, 상기 상판에 형성된 홈과 상기 상부 정전기척에 의하여 형성된 틈 또는 상기 하판에 형성된 홈과 상기 하부 정전기척에 의하여 형성된 틈에 발포성 수지가 도포되어도 좋다. 또는 상기 하부 및 상부 정전기척의 수평이 유지되도록, 상기 하판의 상면과 상기 하부 정전기척의 상면을 연결하여 형성된 면이 굴곡없는 평평한 면으로 형성되도록, 또는 상기 상판의 하면과 상기 상부 정전기척의 하면을 연결하여 형성된 면이 굴곡없는 평평한 면으로 형성되도록, 상기 상부 및 하부 정전기척을 각각 상하 이동시키는 척의 상하 이동 기구를 더 구비하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3을 참조하면, 홈이 형성된 상판(110) 및 하판(120)과, 상판(110) 및 하판(120)의 홈에 각각 설치된 상부 정전기척(210) 및 하부 정전기척(220)으로 이루어진다. 이 때, 상판(110), 하판(120), 상부 정전기척(210), 및 하부 정전기척(220)은 내부가 진공분위기로 형성된 챔버(300) 내부에 설치된다.
본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치의 상판(110) 및 하판(120) 사이에는, 액정(12, 22) 또는 ITO 막과 일면에 액정(12, 22) 또는 ITO 막이 도포된 유리판(11, 21)으로 이루어진 상부 셀(10) 및 하부 셀(20)이 위치되어 있다. 한편, 미도시 되었지만 상판(110) 및 하판(120)은 외부에 별도로 구비된 구동장치에 의하여 상하 이동되게 된다.
상판(110)의 하면에는 상판(110) 하면의 소정영역 및 상부 정전기척(210)과 함께 내부에 소정의 공간을 형성하는 신축성 소재, 예컨대 마일라(Mylar) 필름(410)이 설치된다. 따라서, 하부 LCD 셀(20)은 하부 정전기척(220)의 정전기력에 의하여 하부 정전기척(220)의 상면에 고정되지만, 상부 LCD 셀(10)은 상부 정전기척(210)의 정전기력에 의하여 마일라 필름(410)의 하면에 고정되게 된다. 이 때, 마일라 필림(410)은 후술되는 가스 주입관(500)을 통하여 가스가 주입될 경우에 가스가 챔버(300) 내부로 유입되지 않도록 오일링(Oil ring)(420)과 오일링 판(430)을 이용하여 상판(110)에 설치된다.
상판(110)의 내부에는 상판(110)을 관통하도록 가스 주입관(500)이 설치된다. 이 때, 가스 주입관(500)의 유출구는, 상판(110)의 하면의 소정영역과 상부 정전기척(210)과 마일라 필름(410)이 형성하는 공간과 연결된다. 상술한 바와 같이 별도로 구비된 기계적 또는 전자적인 구동장치에 의하여 상판(110) 및 하판(120)을상하로 이동시키지만, 상부 셀(10)과 하부 셀(20)이 일단 접합된 후에는 상부 셀(10)과 하부 셀(20) 사이의 간격의 미세 조정이 필요하다. 따라서, 가스 주입관(500)과 마일라 필름(410)이 설치된 이유는 외부에서 가스를 주입하여 마일라 필름(410)을 팽창시킴으로써 마일라 필름(410)의 팽창력으로 상부 셀(10) 및 하부 셀(20)을 가압하기 위해서이다. 이 때, 마일라 필름(410)의 팽창으로 조정되는 상부 셀(10)과 하부 셀(20) 사이의 간격은 0.05∼0.2㎜이다.
한편, 본 실시예에서는 가스 주입관(500) 및 마일라 필름(410)을 상판(110)에 설치하는 것으로 기술하였지만, 가스 주입관(500) 및 마일라 필름(410)을 하판 (120)또는 하판(120) 및 상판(110)에 설치하여도 좋다. 그리고, 본 실시예에서는 가스 주입관(500)을 별도로 설치하는 것으로 기술하였지만, 상판에 관 형상으로 구멍을 형성함으로써 마련하여도 좋다.
도 4a는 본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치에 있어서 상,하판 및 상,하부 정전기척을 설명하기 위한 개략도이고, 도 4b는 도 4a에 따른 정전기척에 의한 정전기력의 범위를 설명하기 위한 개략도로서 화살표가 정전기력을 나타낸다.
상판과 상판에 설치된 상부 정전기척은, 하판과 하판에 설치된 하부 정전기척과 동일한 형상이며, 단지 본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치를 구성할 때에 하부 정전기척과 상부 정전기척이 대향하도록 설치될 뿐이다. 따라서, 본 실시예에서는 하판과 하부 정전기척만을 예로 들어 설명한다.
도 4a를 참조하면, 알루미늄 또는 세라믹으로 이루어지고 단차가 있는하판(120)에 홈을 마련하고 그 홈에 하부 정전기척(220)이 설치되어 있다. 하부 정전기척(220)의 크기는 하부 정전기척(220)의 상면에 위치되게 되는 하부 LCD 셀의 하면, 즉 LCD 셀을 구성하는 유리판 하면의 크기와 같도록 형성하여도 좋고, 유리판의 하면보다 작게 형성하여도 좋다. 단지, 하부 정전기척(220)의 정전기력에 의하여 하부 LCD 셀이 처짐없이 고정되기만 하면 족하다. 그리고, 하부 LCD 셀을 처짐없이 고정할 수 있는 정전기력이 발생되도록 도 4a의 (1)과 같이 크기가 큰 정전기척(220) 하나를 설치하여도 좋고, 도 4a의 (2)와 같이 작은 크기의 정전기척(220)을 복수 개 설치하여도 좋다. 이 때, 하부 LCD 셀을 처짐없이 고정하기 위해서는 하부 정전기척(220) 상면의 크기를 하부 LCD 셀 하면의 크기와 같거나 또는 하부 LCD 셀 하면의 크기보다 크게 하여 LCD 셀의 하면을 하부 정전기척(220)에 완전 밀착시키는 것이 가장 바람직하다.
도 4b를 참조하면, 하부 정전기척(220)의 상면에 유리판(21)과 액정(22) 또는 ITO 막으로 이루어진 하부 LCD 셀이 고정되어 있다. 이 때, 하부 정전기척(220)에서 발생되는 정전기력은 유리판(21) 하면으로부터 유리판(21) 높이의 30∼40% 범위까지만 미치고 있다. 즉, 정전기력이 유리판(21)의 외부까지 투과하지는 않고 있다. 이것은 정전기력에 의하여 액정(22) 또는 ITO 막이 변질 또는 손상되는 것을 방지하기 위해서이다.
도 5는 본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치의 다른 실시예로서, 도 4a에 의한 상,하판 및 상,하부 정전기척에 진공 흡입 및 압력 공급관이 더 형성된 것을 나타낸 개략도이다.
도 5를 참조하면, 하부 정전기척(220)의 상면 또는 하부 정전기척(220)의 상면 및 하판(120)의 상면에 일단이 위치되고, 다른 일단은 외부에 별도로 마련된 펌프와 연결되도록 하부 정전기척(220) 및 하판(120)을 관통하는 진공 흡입 및 압력 공급관(600)들이 설치된다. 이 때, 진공 흡입 및 압력 공급관(600)에 연결되는 펌프는 진공 펌프 및 압력 공급 펌프이다. 이것은 하판(120) 및 하부 정전기척(220)에 하부 LCD 셀을 고정할 때에는 진공 펌프를 가동하여 고정을 용이하게 위함이고, 하부 LCD 셀을 하판(120) 및 하부 정전기척(220)으로부터 분리하고자 하는 경우에는 압력 공급 펌프를 가동하여 압력을 공급함으로써 분리를 용이하게 하기 위해서이다. 본 실시예에서는 진공 흡입 및 압력 공급관(600)을 별도로 설치하는 것으로 기술하였지만, 하판(120) 및 하부 정전기척(220)에 관 형상으로 구멍을 형성함으로써 마련하여도 좋다.
한편, 하부 정전기척 상면의 크기가 유리판의 하면보다 작거나 또는 작은 크기의 정전기척이 복수 개 설치되는 경우에는 하부 LCD 셀이 하부 정전기척에 고정될 시에 하부 LCD 셀의 하면이 하부 정전기척의 상면 및 하판의 상면에 접촉되게 된다. 따라서, 이 경우에는 하판의 상면과 하부 정전기척의 상면을 연결함으로써 형성되는 면이 굴곡없는 평평한 면이 되도록 하부 정전기척을 설치하여야 한다.
뿐 만 아니라, 하부 LCD 셀이 하부 정전기척에만 위치될 정도로 크기가 큰 정전기척이 하판에 설치된 경우에도 하부 정전기척의 평탄도를 유지하는 것은 LCD 셀의 가압 및 접합 공정에서는 필수적이다.
이하에서, 하부 정전기척의 평탄도를 유지하기 위한 또는 하판과 하부 정전기척의 상면을 굴곡없는 평평한 하나의 면으로 형성하기 위한 조절 수단에 대하여 설명한다. 이 때, 정전기척의 크기에 따른 상술한 각각의 경우에 대하여 하부 정전기척의 평탄도를 유지하기 위한 또는 하판과 하부 정전기척의 상면을 굴곡없는 평평한 하나의 면으로 형성하기 위한 조절 수단은 동일하다. 따라서, 하부 정전기척 상면의 크기가 하부 LCD 셀의 하면보다 작은 것이 하판에 설치됨으로써 하부 LCD 셀의 하면이 하부 정전기척의 상면 및 하판의 상면에 접촉되게 되는 경우만을 설명한다.
도 6a 내지 도 6c는 하부 정전기척의 평탄도를 유지하기 위한 또는 하판과 하부 정전기척의 상면을 굴곡없는 평평한 하나의 면으로 형성하기 위한 조절 수단을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 6a를 참조하면, 하판(120)의 홈에 하부 정전기척(220)이 설치되되, 하부 정전기척(220)과 하판(120)의 홈에 의하여 형성되는 틈에 조절 수단으로서 발포성 수지(700)가 도포되어 있다. 즉, 하판(120)의 홈에 발포성 수지(700)를 도포한 후에 하부 정전기척(220)을 설치하였다. 이와 같이, 유동성의 발포성 수지(700)를 이용하여 하부 정전기척(220)을 설치함으로써, 발포성 수지(700)가 고형화되기 전에는 하부 정전기척(220)의 위치를 조정할 수 있으므로 하판(120)의 상면과 하부 정전기척(220)의 상면이 이루는 면을 평평한 하나의 면으로 형성할 수 있다.
도 6b를 참조하면, 기계적인 조절 수단으로서 척의 상하 이동기구(800)인 볼트(810)와 너트(820)가 설치된다. 이 때 볼트(810)의 일단은 하부 정전기척(220)의 하면에 고정되고 다른 일단은 하판(120) 하면의 외측으로 돌출된다. 너트(820)는볼트(810)를 하판(120)의 외측에 고정시켜준다. 따라서, 너트(820)를 회전시키면 하판(120) 외측으로 돌출된 볼트(810)의 길이가 변하게 되고 하부 정전기척(220)이 상하로 이동하게 된다. 이 때, 볼트(810)와 너트(820)를 복수 개로 설치하여 각각의 너트(820)를 따로따로 회전시키게 되면 하부 정전기척(220)의 소정영역만을 상하로 이동시킬 수 있다.
한편 도 6c와 같이, 도 6a에 따른 발포성 수지(700)와 도 6b에 따른 척의 상하 이동기구(800)를 같이 설치하여도 좋다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치에 의하면, 정전기력에 의하여 LCD 셀의 일면이 정전기척 및 정전기척이 설치된 판에 처짐없이 고정되게 되므로 LCD 셀의 처짐현상이 방지되게 된다.
나아가, 기계적 또는 전자적인 구동장치에 의하여 일단 상부 셀과 하부 셀을 접합한 후에 가스의 압력을 이용하여 상부 셀과 하부 셀을 미세 가압함으로써 상부 셀과 하부 셀 사이의 간격을 원하는 간격으로 형성할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예들에만 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 명백하다.
Claims (12)
- 유리판과 유리판의 일면에 도포된 액정 또는 ITO 막으로 각각 이루어진 LCD 상부 셀과 LCD 하부 셀을, 밀봉제 및 스페이서를 사이에 두고, 일정 간격이 유지되도록 가압하여 접합시키는 공정에 사용되는 가압 장치에 있어서,홈을 가지며 자신의 상부에 상기 하부 셀이 위치되는 하판과;자신에 의하여 자신의 상부에 상기 하부 셀이 처짐없이 고정되도록 상기 하판의 홈에 설치되는 하부 정전기척과;홈을 가지며 자신의 하부에 상기 상부 셀이 위치되는 상판과;자신에 의하여 자신의 하부에 상기 상부 셀이 처짐없이 고정되도록 상기 상판의 홈에 설치되는 상부 정전기척과;자신의 내부가 진공 분위기로 형성되며, 상기 하판, 하부 정전기척, 상판, 및 상부 정전기척이 자신의 내부에 설치되는 챔버를 구비하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 상판의 상면에 마련되는 유입구와 상기 상판의 하면에 마련되는 유출구를 가지는 가스 주입관과;상기 상부 정전기척에 의하여 자신의 하면에 상기 상부 셀이 고정되며, 자신과 상기 상부 정전기척의 하면과 상기 상판의 하면으로 둘러싸이는 소정의 공간을 형성하되 상기 공간이 상기 가스 주입관의 유출구와 연결되도록 상기 상판 하면의소정영역에 설치되는 신축성 소재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 하판의 하면에 마련되는 유입구와 상기 하판의 상면에 마련되는 유출구를 가지는 가스 주입관과;상기 하부 정전기척에 의하여 자신의 상면에 상기 하부 셀이 고정되며, 자신과 상기 하부 정전기척의 상면과 상기 하판의 상면으로 소정의 공간을 형성하되 상기 공간이 상기 가스 주입관의 유출구와 연결되도록 상기 하판 상면의 소정영역에 설치되는 신축성 소재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 2항 또는 3항에 있어서, 상기 신축성 소재는 마일라 필름인 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 1항에 있어서, 유입구는 상기 상부 정전기척의 하면에 위치되고, 유출구는 외부에 별도로 마련되는 진공 펌프 또는 압력 공급 펌프와 연결되도록 상기 상판 및 상기 상부 정전기척을 관통하여 설치되는 진공 흡입 및 압력 공급관들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 1항에 있어서, 유입구는 상기 하부 정전기척의 상면에 위치되고, 유출구는 외부에 별도로 마련되는 진공 펌프 또는 압력 공급 펌프와 연결되도록 상기 하판 및 상기 하부 정전기척을 관통하여 설치되는 진공 흡입 및 압력 공급관들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 2항, 3항, 5항, 또는 6항에 있어서, 상기 가스 주입관 또는 상기 진공 흡입 및 압력 공급관들은 상기 상판, 하판, 상부 정전기척, 및 하부 정전기척에 관 형상이 되도록 구멍을 형성함으로써 마련되는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 하부 및 상부 정전기척의 평탄도가 유지되도록, 상기 하판의 상면과 상기 하부 정전기척의 상면을 연결하여 형성된 면이 굴곡없는 평평한 면으로 형성되도록, 또는 상기 상판의 하면과 상기 상부 정전기척의 하면을 연결하여 형성된 면이 굴곡없는 평평한 면으로 형성되도록, 상기 상판에 형성된 홈과 상기 상부 정전기척에 의하여 형성된 틈 또는 상기 하판에 형성된 홈과 상기 하부 정전기척에 의하여 형성된 틈에 발포성 수지가 도포되는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 하부 및 상부 정전기척의 수평이 유지되도록, 상기 하판의 상면과 상기 하부 정전기척의 상면을 연결하여 형성된 면이 굴곡없는 평평한 면으로 형성되도록, 또는 상기 상판의 하면과 상기 상부 정전기척의 하면을 연결하여 형성된 면이 굴곡없는 평평한 면으로 형성되도록, 상기 상부 및 하부 정전기척을 각각 상하 이동시키는 척의 상하 이동 기구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 9항에 있어서, 상기 척의 상하 이동 기구는,일단이 상기 하부 정전기척의 하면에 각각 고정되고 다른 일단은 상기 하판 하면의 외측으로 돌출되도록 또는 일단이 상기 상부 정전기척의 상면에 각각 고정되고 다른 일단은 상기 상판 상면의 외측으로 돌출되도록 설치되는 각각의 볼트와;각각의 상기 볼트를 상기 상판 상면 또는 상기 하판의 하면 외측에 각각 고정시키는 너트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 상판 및 하판은 알루미늄 또는 세라믹으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 상부 및 하부 정전기척은, 상기 상부 및 하부 정전기척의 정전기력이 상기 상부 및 하부 셀을 구성하는 상기 유리 기판을 투과하지 않도록 설치되는 것을 특징으로 하는 LCD 셀의 접합 공정용 가압 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0014787A KR100475726B1 (ko) | 2001-03-22 | 2001-03-22 | Lcd 셀의 접합 공정용 가압 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0014787A KR100475726B1 (ko) | 2001-03-22 | 2001-03-22 | Lcd 셀의 접합 공정용 가압 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20020074787A true KR20020074787A (ko) | 2002-10-04 |
KR100475726B1 KR100475726B1 (ko) | 2005-03-10 |
Family
ID=27698233
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2001-0014787A KR100475726B1 (ko) | 2001-03-22 | 2001-03-22 | Lcd 셀의 접합 공정용 가압 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100475726B1 (ko) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100519369B1 (ko) * | 2002-03-05 | 2005-10-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자용 합착 장치 |
KR100609898B1 (ko) * | 2004-11-23 | 2006-08-08 | 삼성전자주식회사 | 에어클래브장치 |
KR100711148B1 (ko) * | 2004-11-13 | 2007-04-24 | 유원테크 주식회사 | 광학필름 임시 부착용 정전기 발생장치 |
WO2009023225A1 (en) * | 2007-08-16 | 2009-02-19 | Corning Incorporated | Method and apparatus for sealing a glass package |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102619399B1 (ko) * | 2021-09-14 | 2023-12-29 | 이지스코 주식회사 | 투명 플렉시블 정전척 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2925427B2 (ja) * | 1993-05-14 | 1999-07-28 | 信越化学工業株式会社 | 静電チャック |
KR0118481Y1 (ko) * | 1994-01-27 | 1998-07-15 | 김광호 | 액정디스플레이 판넬의 상/하기판 결합장치 |
KR960011992U (ko) * | 1994-09-30 | 1996-04-17 | 엘시디 누름작업용 지그 | |
JP2665319B2 (ja) * | 1994-10-13 | 1997-10-22 | 信越エンジニアリング株式会社 | 液晶表示板用ガラス基板の加熱装置 |
JP3625003B2 (ja) * | 1997-01-20 | 2005-03-02 | シャープ株式会社 | 液晶表示基板 |
JP3818412B2 (ja) * | 1997-11-26 | 2006-09-06 | 日立化成工業株式会社 | 静電チャックによる吸着電極形成絶縁基板の吸着方法 |
JP2000066163A (ja) * | 1998-08-24 | 2000-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子の製造方法および基板貼り合わせ装置 |
JP2000243818A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-09-08 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 静電チャックの製造方法 |
-
2001
- 2001-03-22 KR KR10-2001-0014787A patent/KR100475726B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100519369B1 (ko) * | 2002-03-05 | 2005-10-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자용 합착 장치 |
KR100711148B1 (ko) * | 2004-11-13 | 2007-04-24 | 유원테크 주식회사 | 광학필름 임시 부착용 정전기 발생장치 |
KR100609898B1 (ko) * | 2004-11-23 | 2006-08-08 | 삼성전자주식회사 | 에어클래브장치 |
WO2009023225A1 (en) * | 2007-08-16 | 2009-02-19 | Corning Incorporated | Method and apparatus for sealing a glass package |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100475726B1 (ko) | 2005-03-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
B701 | Decision to grant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
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R401 | Registration of restoration | ||
FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150303 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161206 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171218 Year of fee payment: 14 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |