JP4129871B2 - 液晶表示素子用基板貼り合せ装置 - Google Patents
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Description
従って、液晶表示素子が一般的な画面表示装置として多用途に使用されるためには、軽薄型、低消費電力という特徴を維持しながらも、高精細、高輝度、大面積など、高品位の画像をどれだけ実現できるかが重要な問題とされている。
即ち、従来の基板貼り合わせ装置は、外形をなすフレーム10と、ステージ部21、22と、シール剤排出部(図示せず)及び液晶滴下部30と、チャンバー部31、32と、チャンバー移動手段と、そして、ステージ移動手段とから構成されている。
この状態で前記下部ステージ22を有する下部チャンバーユニット32は、チャンバー移動手段40によって、図1に示すようにシール剤の塗布、及び液晶滴下のための位置S1に移動する。
そして、この状態でシール剤の排出部、及び液晶滴下部30による第2基板へのシール剤の塗布、及び液晶滴下が完了すると、再び前記チャンバー移動手段40によって、図2に示すように、基板間の貼り合わせのための位置S2に移動する。
したがって、液晶表示素子製造工程上の製造時間を短縮することができる。
この際、前記上部チャンバープレート212に形成される任意空間の内部には上部ステージ230が固定される。
この際、前記下部チャンバープレート222に形成される任意空間の内部には下部ステージ240が備えられ、前記下部ステージ240は前記下部ベース221の上面に固定される。
勿論、前記各吸着プレート231,241は、各基板を真空吸着できるように構成するか、或いは前記静電力による吸着、及び真空力による吸着を同時に行うように構成することもある。
この際、前記オーリング250は、各チャンバーユニット210,220間が結合される場合、その内部空間の各ステージ230,240に固定された一対の基板110,120が互いに密着しない程度の厚さを有するように形成される。勿論、上部チャンバーユニットの重さによって前記オーリング250が圧縮される場合には、前記一対の基板110,120が互いに接触可能な程度の厚さを有するように形成されることは当然である。
しかしながら、この場合、前記各固定プレート232,242と、前記各ステージ230、240の各吸着プレート231、241との間に装着された弾性部材300が前記各固定プレート232、242の撓み方向に対して逆方向に向けて復元力を提供するため、各吸着プレート231、241の撓みが最小化される。この状態は図7Bに示す通りである。
即ち、各チャンバーユニット210、220の中央部はその内側空間に向けて撓むようになっても、前記空間の内部に位置し、各基板110,120が取り付けられた各ステージ230,240の吸着プレート231,241の撓みは最小化した状態を維持することができる。
即ち、各基板110,120の間が真空状態であることを考慮すれば、前記各基板110、120の間、及び外部との気圧差によって前記各基板110、120はさらに密着し、完全な貼り合せが行われるのである。
そして、上記のように貼り合せられた基板110,120が搬出されつつ、また他の基板間の貼り合せ工程が繰り返して行われる。
110、120:第1、第2基板
210、220:上部チャンバーユニット、下部チャンバーユニット
230、240:上部ステージ、下部ステージ
211、221:上部ベース、下部ベース
212、222:上部チャンバープレート、下部チャンバープレート
213、224:第1シール部材、第2シール部材
223:支持プレート
225:サポート部
231、241:吸着プレート
231a,241a: 静電チャック
232、242:固定プレート
250:オーリング
300:弾性部材
910:ローダ部
Claims (14)
- 外観をなすベースフレームと、
前記ベースフレームに装着される下部チャンバーユニットと、
前記下部チャンバーユニットと結合する上部チャンバーユニットと、
前記各チャンバーユニットの内側空間にそれぞれ備えられ、一対の基板を固定する上部ステージ及び下部ステージと、
少なくとも一方のチャンバーユニットとステージとの間に備えられた多数の第1弾性部材とを有し、
前記多数の第1弾性部材の各々は、前記上部ステージまたは下部ステージの中央部に位置する少なくとも一つの第1復元部材と、前記中央部以外に位置する少なくとも一つの第2復元部材とを備え、前記第1復元部材は前記第2復元部材よりも高い復元力を有することを特徴とする液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。 - 前記各第1弾性部材には、
前記各チャンバーユニットの撓み方向と反対方向に復元する圧縮スプリング、皿状スプリング、プレートスプリングのうち、少なくとも一つ以上が含まれることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。 - 前記各ステージには、各チャンバーユニットに固定される固定プレートと、各基板が固定される吸着プレートとがそれぞれ含まれることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記第1弾性部材は、前記固定プレートと、前記各チャンバーユニットとの間に備えられることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記第1弾性部材は、前記固定プレートと、前記吸着プレートとの間に備えられることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記各ステージの各固定プレートと、前記各チャンバーユニットとの間に少なくとも一つ以上の第2弾性部材がさらに備えられることを特徴とする請求項5記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記各吸着プレートは、多数の片からなる静電チャックが含まれることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 第1弾性部材は、前記各片の静電チャックが備えられた位置ごとにそれぞれ装着されることを特徴とする請求項7記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記各吸着プレートは、ステンレススチール材を含む材料で形成されることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記各吸着プレートは、アルミニウム合金材を含む材料で形成されることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記各吸着プレートの厚さは少なくとも40mm以上に形成することを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記第1弾性部材は、上部チャンバーユニットと、上部ステージとの間に備えられることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記第1弾性部材は、下部チャンバーユニットと、下部ステージとの間に備えられることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
- 前記第1弾性部材は、上部チャンバーユニットと、上部ステージとの間、及び下部チャンバーユニットと、下部ステージとの間にそれぞれ備えられることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子製造工程用基板貼り合わせ装置。
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