KR20020037758A

KR20020037758A - 반사판, 그 제조방법, 표시소자, 표시장치

Info

Publication number: KR20020037758A
Application number: KR1020027003304A
Authority: KR
Inventors: 와키타나오히데; 니시야마세이지; 카와구리마리코
Original assignee: 모리시타 요이찌; 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤
Priority date: 1999-10-21
Filing date: 2000-10-23
Publication date: 2002-05-22
Also published as: EP1231487A4; EP1231487A1; CN1382263A; WO2001029585A1; US6781759B1

Abstract

요철표면에 반사막을 형성한 반사판에 있어서,

상기 요철이 정점을 가지고, 또 위로 볼록 또는 아래로 볼록하게 형성된 곡면과, 이 곡면의 변극점을 경계로 하여, 상기 곡면을 둘러싸는 골 또는 능선으로 이루어지는 주변부로 이루어짐과 동시에, 상기 곡면이 위로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 골측으로 기우는 한편, 상기 곡면이 아래로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 능선측으로 기울어져 있다.

Description

반사판, 그 제조방법, 표시소자, 표시장치{REFLECTING PLATE, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, DISPLAY ELEMENT, AND DISPLAY DEVICE}

수광형 표시소자의 대표인 액정디스플레이에는, 백라이트를 뒤에 배치한 투과형과, 반사판을 뒤에 배치하여 외광을 조명으로 하는 반사형이 있지만, 액정은 수볼트의 저전압으로 구동된다는 점에서, 상기 반사형의 액정소자는 극히 저소비전력으로 끝낼 수 있다는 이점이 있다. 이 경우, 반사형 액정소자에서는 배면에 알루미늄 또는 은의 산란반사판을 액정층의 배후에 배치하지만, 손목시계 등의 흑백의 반사형 액정에서는, 유리의 외측에 편광판 첨부의 산란반사판을 붙이는 구성이다.

여기서, 특개평 4-243226호 공보에서는, 유리의 내측에 형상을 재현성 좋게 제어할 수 있는 산란반사판을 만들기 위해, 도19에 나타내는 바와 같이, 유리기판(15) 상에 레지스트막(52)을 도포하고, 포토마스크(53)를 통해서 노광을 행하며, 이간한 다수의 오목부(54)를 형성후, 열처리를 행함으로써 오목부의 각을 둥글게 하고, 그 위에 금속반사막(56)을 형성하여 산란반사막으로 하고 있다.

또, 특개평 6-27481호 공보에서는, 상기 특개평 4-243226호 공보의 패턴형성이 없는 평탄부에 의해 간섭색이 생기는 것을 개선하기 위해, 도20에 나타내는 바와 같이, 오목부(60) 상에 고분자수지(61)를 도포하여, 매끄럽게 연속한 요철로 하고 있다.

또, 스키우라들은, 보다 밝고, 시야각 범위가 넓은 산란특성으로서, 어느 각도 범위에서 반사광 강도가 일정하게 되는 창형(窓型) 산란특성을 제안하고 있으며(도21의 실선 62 참조), 이와 같은 산란특성을 실현하는 형상으로서, 도22에 나타내는 바와 같이, 아래로 볼록(63)하고 위로 볼록(64)한 2차함수를 연결한 연속한 곡면(65)을 형성하는 방법을 제안하고 있다(예컨대, AM-LCD '95, Digest of Technical Papers, 153항 ~ 156항, Norio Sugiura and Tatsuo Uchida, 1995년 8월 참조).

그러나, 종래의 이간된 볼록부 상, 혹은 이간된 볼록부를 수지로 고르게 한 연속곡면 상에, 반사막을 설치한 반사판(도20에서 나타낸 것)에서는, 정반사방향이 가장 반사광이 강하고, 또 출사각도 의존이 크므로, 메탈릭한 표시로 보이는 등의, 반사특성에 과제가 생긴다. 이들의 과제에 대해서는, 창형 산란특성이 바람직하지만, 스기우라 들이 제안하고 있는 2차함수로 이루어지는 연속곡면(도22에 나타낸 것)은, 식에서도 알 수 있듯이, 2차원의 정의이며, 산란의 방위가 1방향으로 한정되어 있으므로, 이 방위와 직교하는 방위에서 입사하는 광에 대해서는 산란이 생기지 않으며, 실용적이지 않다. 따라서, 현상태에서는, 방위 의존성이 적은 창형 산란특성은 실현되어 있지 않으며, 이와 같은 특성을 나타내는 요철 반사판의 3차원 형상을 바라는 바이다.

(발명의 개시)

본 발명은, 상기의 점을 감안하여, 반사판을 개량함으로써, 방위 의존성이 적은 창형 산란특성을 발현(發現)할 수 있으며, 이것에 의해, 밝은 표시를 넓은 시야각 범위에서 실현할 수 있고, 또, 메탈릭한 느낌이 없는 페이퍼 화이트 표시를 실현할 수 있는 표시소자, 표시장치를 제안하는 것을 목적으로 하고 있다.

또, 본 발명의 다른 목적은, 상기 반사판, 표시소자, 표시장치를 용이하게 제조할 수 있는 제조방법을 제공하는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 제1의 반사판은 요철표면에 반사막을 형성한 반사판에 있어서, 상기 요철이 정점을 가지고, 또 위로 볼록 또는 아래로 볼록하게 형성된 곡면과, 이 곡면의 변극점을 경계로 하여, 상기 곡면을 둘러싼 골 또는 능선으로 이루어지는 주변부로 이루어짐과 동시에, 상기 곡면이 위로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 골측으로 기우는 한편, 상기 곡면이 아래로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 능선측으로 기울어져 있는 것을 특징으로 한다.

또, 바람직하게는, 상기 곡면의 단면형상을 두께방향을 z, 수평방향을 x로 하여, z = αx^a/2+ β(α, β는 정수)로 근사했을 때, 상기 볼록한 a의 평균치가 2보다 크고 4이하로 규제되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 구성의 반사판을 이용하면, 방위 의존성이 적은 창형 산란특성을 발현할 수 있으며, 밝고 시야각이 넓은 표시를 제공할 수 있다.

또, 이때, 곡면부의 폭이 주변부 폭의 2배 이상인 것이 바람직하다.

또한, 상기 a의 평균치가 2보다 크고 3이하이며, 반사판에서 반사한 반사광 강도가 입사광이 정반사하는 방향에서, 소정의 반사각 방향으로 산란하는 산란 반사광의 쪽이 강도를 강하게 함으로써, 시야각 방향이 정반사 방향보다 밝은, 종래에 없는 밝은 반사특성을 실현할 수 있다.

더하여, 서로 인접하는 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 곡면이 밀접해 있어, 주변부가 실질적으로 없는 경우에는, 더욱 정반사광이 억제되어 보기쉬운 표시를 얻을 수 있다. 그 중에서도, 요철형상이 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 어느 한쪽만으로 구성되어 있어, 서로 인접하는 볼록한 경사면의 기울기의 부호가 상기 오목부 또는 볼록한 경계에서 역전하는 형상을 만들기 쉽다.

본 발명의 제2의 반사판은, 연속한 곡면으로 이루어지는 다수의 요철표면에 반사막을 형성한 반사판으로, 오목부 또는 볼록부의 정점을 기점으로 하는 단면형상을 두께방향을 z, 수평방향을 x로 하여, z = αx^a/2+ β(α, β는 정수)로 근사했을 때, 상기 다수의 요철의 a의 평균치가 2.5보다 크고 3.5보다 작게 되도록 규제되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 제2의 반사판을 이용한 표시소자, 표시장치도 제1의 반사판을 이용한 경우와 마찬가지로, 저소비전력으로 밝고 시야각이 넓은 표시를 제공할 수 있다.

또, 본 발명의 액정표시소자는, 기판상에 정점을 가지는 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 곡면을 다수 구비하며, 상기 볼록곡면 상에 반사막을 구비하여, 상기 볼록곡면을 둘러쌓는 주변부에는 반사막이 없는 기판과, 액정층을 구비하고, 상기 볼록곡면의 정점을 기점으로 하는 단면형상을 두께방향을 z, 수평방향을 x로 하여, z = αx^a/2+ β(α, β는 정수)로 근사했을 때, 상기 다수의 오목 또는 볼록한 a의 평균치가 2보다 크고 4이하인 것을 특징으로 한다. 이것에 의해, 상기 제1 또는 제2의 반사특성을 구비한 반투과형의 액정표시소자를 실현할 수 있다.

여기서, 본 발명의 반사판의 제조방법은, 기판표면에 제1의 오목부 또는 볼록부를 형성하는 스텝과, 상기 제1의 오목부 또는 볼록부가 없는 부분에, 포토마스크를 통한 노광, 현상함으로써 제2의 오목부 또는 볼록부를 형성하는 스텝과, 상기 제2의 오목부 또는 볼록부 상에, 반사막을 성막하는 스텝과, 을 가지는 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 상기 반사판을 제조할 수 있다.

본 발명의 제2의 반사판의 제조방법은, 적어도 화소부의 기판표면에, 서로 떨어진 복수의 곡면모양의 오목부를 형성하는 스텝과, 상기 기판표면을 대략 등방적으로 에칭함으로써, 서로 인접하는 상기 복수의 오목부가 밀접할때까지 상기 복수의 오목부의 지름을 넓히는 스텝과, 을 가지는 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 적은 공정으로, 상기 반사판의 제조가 가능하게 된다.

본 발명의 제3의 반사판의 제조방법은, 적어도 화소부의 기판표면에, 복수의 구멍이 뚫린 포토레지스트막을 포토리소그래피에 의해 형성하는 스텝과, 대략 등방적인 에칭에 의해 기판표면을 에칭하며, 상기 구멍의 하부에 상기 구멍보다 큰 지름의 오목부를 기판표면에 형성하여, 서로 인접하는 복수의 오목부를 밀접시키는 스텝과, 을 가지는 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 상기 반사판을 용이하게 제조할 수 있다.

또, 본 발명의 수지필름은, 다수의 곡면모양의 오목부 또는 볼록부를 표면에 가지는 베이스 필름 상에, 감광성 수지층을 도포한 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 표시소자의 기판 상에의 요철 반사판의 형성을 용이하게 할 수 있다.

상기 요철은, 산란반사판에 적합하도록, 상기 다수의 곡면모양의 오목부 또는 볼록부의 최대 경사각의 평균치가 2°이상, 15°이하이며, 상기 오목부 또는 볼록부에 의해 백색산란이 생기는 것, 더욱 바람직하게는, 상기 최대 경사각의 평균치가 4°이상, 11°이하가 좋다.

또, 상기 오목부 또는 볼록부가, 정점을 가지는 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 곡면과, 상기 곡면의 변극점을 경계로 하여, 상기 곡면을 둘러쌓는 능선 또는 골로 이루어지는 주변부로 이루어짐과 동시에, 상기 곡면이 위로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 골측으로 기우는 한편, 상기 곡면이 아래로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 능선측으로 기울어져 있는 것을 특징으로 하며, 혹은, 상기 오목부 또는 볼록부의 정점을 기점으로 하는 단면형상을 두께방향을 z, 수평방향을 x로 하여, z =αx^a/2+ β(α, β는 정수)로 근사했을 때, 상기 요철의 a의 평균치가 2보다 크고 4보다 작은 것을 특징으로 함으로써, 본 발명의 제1의 반사판의 특성을 재현할 수 있다.

본 발명의 수지필름은, 베이스 필름에, 성형형으로 다수의 곡면모양의 오목부 또는 볼록부를 표면에 성형하는 스텝과, 상기 베이스 필름 상에, 감광성 수지층을 도포하는 스텝과, 을 가지는 방법에 의해 용이하게 제작할 수 있다.

또, 다수의 곡면모양의 오목부 또는 볼록부를 표면에 가지는 베이스 필름 상에, 감광성 수지층을 도포한 수지필름을, 기판 상에 라이네이트하여, 표면에 요철을 가지는 상기 감광성 수지층을 상기 기판 상에 전사함으로써, 상기 감광성 수지층 상에 반사막을 형성한다는 반사판의 제조방법에 의해, 본 발명의 수지필름을 이용하여 간단한 공정으로 반사판을 제조할 수 있으며, 공정 불량에 의한 손실을 저감할 수 있다.

특히, 기판이 TFT소자를 구비하며, 감광성 수지를 전사 후, 상기 감광성 수지의 상기 TFT소자 출력단자 상에 콘택트 홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 반사판의 제조방법에 의해, 손실저감의 효과가 크다.

본 발명은, 반사판, 그 제조방법, 표시소자, 표시장치에 관한 것으로, 특히 수광형 광변조층을 이용한 반사형 표시소자, 반사형 표시장치에 관한 것이다.

도1은 본 발명의 반사판의 평면도이다.

도2는 본 발명의 반사판의 단면도이다.

도3은 종래의 반사판의 평면도이다.

도4는 종래의 반사판의 단면도이다.

도5는 반사판의 산란특성도이다.

도6은 반사판의 형상 모델의 단면도이다.

도7은 시뮬레이션으로 구한 반사판의 특성도이다.

도8의 (a) ~ (e)는 본 발명의 반사판의 제조방법의 공정도이다.

도9의 (a) (b)는 본 발명의 반사판의 제조방법의 공정도이다.

도10은 본 발명의 반사판의 평면도이다.

도11은 본 발명의 반사판의 단면도이다.

도12는 본 발명의 반사판의 평면도이다.

도13은 본 발명의 반사판의 평면도이다.

도14는 본 발명의 제2의 반사판의 평면도이다.

도15는 본 발명의 반사판의 제조방법에서 이용하는 마스크를 나타내는 설명도이다.

도16은 본 발명의 제2의 반사판의 단면도이다.

도17은 본 발명의 반투과형의 액정표시소자의 단면도이다.

도18의 (a) ~ (e)는 본 발명의 수지필름 및 반사판의 제조방법의 공정도이다.

도19의 (a) ~ (e)는 종래의 반사판의 제조방법의 공정도이다.

도20은 종래의 반사판의 단면도이다.

도21은 바람직한 산란반사특성의 특성도이다.

도22는 종래의 반사판의 단면도이다.

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)

(최선의 형태 1)

〔실시예〕

본 발명의 실시형태 1에 대해서, 도1 내지 도5에 의거하여 설명한다. 도1은 본 발명의 반사판 표면의 평면도이며, 복수의 오목부가 밀접한 구조로 되어 있다. 도1에 있어서, 실선은 각 오목부의 경계이며, 점선은 등고선이다. 또, 도1의 일점쇄선으로 나타내는 부위에서의 단면도가 도2이다.

이들의 도면에서, 각 오목부는 원추모양으로 거의 2차 곡면으로 되어 있다. 구체적으로는, 높이방향을 z축으로, 기판면내를 x, y축으로 하여, 원점을 원추모양의 오목부의 저면(정점)으로 취하면, 각 오목부의 표면형상은 하기 식1로 표현된다.

z = α(x²+y²) + β(식1)

또, 그 단면형상(상기 식1에서, y=0으로 한다)은, 하기 식2로 표현된다. 단, 식2에서는, 다수의 오목부에서의 a의 평균치는 4로 되어 있다.

z = αx^a/2+ β(식2)

또한, 상기 식1 및 식2에서, α, β는 정수이며, α는 각각의 오목부의 직경이나 깊이에 따라 다르며, 또 β는 원점인 각 오목부의 저면의 높이를 나타낸다. 여기서, 회절효과에 의한 착색을 회피하고 백색산란을 생기게 하기 위해, 각 오목부의 깊이나 직경, 배치위치는 불규칙하게 되어 있으므로, 정수 α, β는 분산되어 있지만, 차수는 비교적 안정되어 있다. 또한, 차수의 평균치(식2에서의 a/2의 평균치)란, 각 오목부의 단면을 커브휘팅한 값의 평균이다.

또, 오목부의 직경은 화소사이즈보다는 작지 않으면 안되므로, 50㎛ 이하인 것이 바람직하지만, 너무 오목부의 직경을 작게하면, 회절에 의한 착색이 강하게 되거나, 프로세스 마진이 작게 된다는 문제가 있으므로, 3㎛ 이상인 것이 바람직하다.

다음에, 도2에서 명백한 바와 같이, 직경이 큰 중앙의 오목부(1A)는 깊고, 오른쪽의 오목부(1B)는 얕게 하여, 가장 경사가 급한 경계부분에서의 경사각은, 어느 오목부라도 약 11°가 되도록 규제하여, 이것에 의해, 각각의 오목부는 거의 상사형이 되도록 구성했다. 또, 가장 경사가 급한 경계부분에서의 경사각을 상기와 같이 규제함으로써, 예컨대 오목부1A와 1B의 경계에서는, 경사각이 오른쪽 위로 11°에서, 오른쪽 아래로 11°로, 기울기가 불연속하고 또한 기울기의 부호가 역전하도록 되어 있다.

〔비교예〕

비교예를, 상기 종래기술에서 나타낸 특개평 6-27481호 공보를 모방하여 작성했으므로, 그것을 도3 및 도4에 나타낸다. 도3은 평면도이며, 도4는 도3의 일점쇄선 부분에서의 단면도이다. 도4에서 명백한 바와 같이, 비교예의 것에서는, 연속한 곡면으로 되며, 위로 볼록과 아래로 볼록한 2차 함수를 연결하여 합친 형상에 가까운 구조로 되어 있다.

〔실험1〕

도1에 나타낸 본 발명의 경계가 불연속한 2차 곡면과, 도3에 나타낸 종래의 연속한 곡면에, 알루미늄 반사막을 200㎚ 성막하여, 반사판을 작성하고, 대향기판과의 사이에 액정을 사이에 낀 상태에서, 산란반사특성을 측정했으므로, 그 결과를 도5에 나타낸다. 도5는, 기판법선방향에서 -30°기운방향으로 빔광을 입사했을 때의, 반사광의 출사각 의존성을 측정한 것으로, 횡축에 출사각, 종축에 광강도를 취하고 있다.

도5에서 명백한 바와 같이, 본 발명의 반사판의 특성곡선(10)은, 30±약 35°의 범위에서, 거의 일정하게 되는 창형특성을 실현할 수 있었다. 이것은, 각 오목부의 최대 경사각은, 산란반사의 산란각과 대응하고 있으므로, 최대 경사각을 대강 11°로 일치시킴으로써, 산란각이 35°이내의 범위에서 급격하게 밝게 되기 때문이다.

이것에 대해서, 종래의 연속곡면의 특성곡선(9)은, 정반사방향의 강도가 가장 강하고, 30±40°에서 거의 제로가 되는 삼각형 형상의 특성으로 되어 있다. 여기서, 실제로 반사형 패널을 볼때는, 정반사에 가까운 각도는 조명의 비침에 의해, 시인성이 악화되므로, 정반사방향으로 25°에서 35° 정도 각도를 둔 방향에서 본다. 따라서, 도5에 있어서, 출사각이 -5°에서 5° 주변의 패널 정면부근의 강도가 표시의 밝기를 가장 좌우한다. 도5에서도 알 수 있듯이, 본 발명의 반사판 및 반사형 액정표시소자는, 종래보다 넓은 각도범위(출사각이 -5°에서 5°의 범위를 포함한다)에서, 밝은 표시를 할 수 있다는 것을 알았다. 또, 입사광의 방위에도 의존성은 없었다.

여기서, 산란각이 클수록 광은 발산하여 강도가 약해지므로, 경사각이 클수록 면적이 크지 않으면 창형특성은 실현할 수 없다. 그런데, 도3의 종래의 반사판은, 2차 곡면에 가까운 형상으로 되어 있으므로, 경사가 작은 평탄한 부분이 볼록부의 정점뿐 아니라, 볼록부의 주변을 둘러싸는 기슭의 골바닥부분(헤칭부)에 대면적으로 존재하고 있기 때문에, 평탄부의 면적이 경사가 급한 사면보다 많게 되며, 도5의 특성곡선(9)과 같은 정반사에 가까울수록 반사강도가 강하게 된다.

상기의 것을 고려하여, 본 발명자들은, 산란방향으로 방위의존이 없는 창형특성을 실현하기 위해서는, 스기우라들이 제창하는 오목부 또는 볼록부가 2차 곡면인 것만으로는 불충분하여, 오목 또는 볼록한 주변의 기슭 부분의 평탄부를 가능한한 작게 하는 것이 필요하다는 것을 발견했다. 그래서, 2차 곡면으로 이루어지는 오목부 또는 볼록부를 밀접시켜, 예컨대 도1, 2에 나타내는 바와 같이, 경계부에서 경사가 불연속으로 되는 구성으로 했다. 이것에 의해, 시야각이 넓으며 밝은 반사판을 제작할 수 있었다.

또한, 각각의 오목부 또는 복록부는, 회절에 의한 착색을 회피하기 위해서, 크기 또는 위치에 난잡함이 다소 필요하지만, 본 실시형태와 같이, 크기가 달라도 각 오목부 또는 볼록부(2차 곡면)의 최대 경사는 대강 일치되어 있는 것이 보다 창형에 가까운 특성이 되므로 바람직하다.

단, 이것에 의해 차수가 낮은 곡면, 즉, 2차 이하에서 직선이 되는 1차보다 큰 곡면이면, 같은 특성을 얻을 수 있다. 이것을 하기 실험2에서 나타낸다.

〔실험2〕

단면형상이 상기 (식2)에 나타내는 곡선이며, 이와 같은 단면형상의 것을 정점을 중심으로 하여 회전시킨 회전체로 이루어지는 볼록형상에 있어서, (식2)의 차수를 a=2, 3, 4, 6으로 바꾼 경우에 각 볼록형상의 단면형상을 시뮬레이션 했으므로, 그 결과를 도6에 나타낸다. 또한, 도6에 있어서는, a=2, 3, 4, 6으로 바꾼 경우의 각 곡선을 곡선(12a, 12b, 12c, 12d)으로 나타냈다.

또, 이들의 볼록부에 반사막을 형성하고, 상기 실험1과 마찬가지로 30°로 입사시킨 경우의 산란반사특성을 계산한 결과를 정성적으로 나타냈으므로, 그것을 도7의 특성도로 나타낸다. 또한, 도7에 있어서, 상기 곡선(12a, 12b, 12c, 12d)에는 각각 13a, 13b, 13c, 13d가 대응하고 있다.

이들의 도면에서 명백하게 알 수 있듯이, (식2)의 a=4의 경우(즉 2차 곡면의 경우)에는, 실선(13c)과 같은 창형 산란특성이 된다. 또, a=3에서는, 정반사방향에서 산란방향으로의 반사가 강한 파선(13b)과 같은 형상으로 되며, 창형 산란보다 더욱 시야각 방향이 밝게 되는 종래에 없는 특성이 얻어지는 것을 알았다. 그 한편, a=2에서는, 경사면이 직선적인 원추로 되므로, 특정의 극각방향으로만 반사하는 일점쇄선(13a)과 같은 특성이 되며, 또 a=6이 되면, 정반사방향이 강하게 되는 종래형의 산란특성에 가까운 13d와 같은 특성으로 되는 것을 알았다.

또한, 상기 계산결과는, 1개의 볼록형상에서의 반사광을 도출하고 있지만, 다수의 볼록부를 포함하는 반사면의 경우, 개개의 볼록형상의 총합에서 특성은 거의 구해지는 것을 알고 있다(단, 회절효과에 의해 약간의 어긋남은 있다). 따라서,상사형의 다수의 볼록부로 이루어지는 반사면은, 이것과 거의 같은 특성이 얻어지지만, 기울기가 다른 여러가지의 형상이 혼합될때에는 그 특성은 변한다. 예컨대 a=2의 피크모양의 반사특성(13a)이 얻어지는 형상이라면, 다수의 볼록부의 경사각을 창형특성의 범위에서, 경사각이 크게 될수록 수를 증가시키는 분포로 하면, a=4의 경우와 같은 특성을 얻을 수 있다. 또, a=3의 경우라도, 분포제어로 동일한 것이 가능하다. 그 한편, a=6의 차수의 곡면으로 구성했을때는, 차수가 낮은 a=4와 같은 창형특성을 얻는 것은 논리적으로 불가능하다. 따라서, 2차보다 차수가 큰 곡면에서는 종래의 정반사가 강한 산란특성에 가까워져 바람직하지 않으며, 단면의 형상은 상기 (식2)에 있어서, a=2보다 크고, 4 이하인 것이 바람직하다.

또한, 볼록형상은 회전체가 아니라도, 그 단면이 2차 이하의 곡면이면 반드시 이것에 한정하지 않고, 단면이 곡면상의 다각추라도 좋다.

〔반사판의 제조방법〕

상기 도1에 나타내는 반사판을 이하와 같이 하여 제작했으므로, 이것을 도8에 의거하여 설명한다.

먼저, 도8의 (a)에 나타내는 바와 같이, SiNx막(19)을 600㎚ 성막한 기판(20) 상에, 아크릴계의 포지티브 레지스트(21)를 4㎛ 도포한 후, 홀의 바닥에 약 0.5㎛의 잔막(23)을 남기도록, 직경 3 ~ 5㎛의 홀(22)(평균의 간격을 약 3㎛)을 포토리소그래피에 의해 펀칭했다. 다음에, 핫플레이트에서 기판(20)을 130℃로 10분 가열하면, 도8의 (b)에 나타내는 바와 같이, 매끄러운 요철(24)이 형성된다. 이어서, CF₄가 75%, O₂가 25%인 혼합가스를 이용하여, 리액티브 온 에칭을 기판표면에 시행했다. 이 경우, 포지티브 레지스트(21)와 SiNx막(19)과의 에칭레이트가 약 5 : 1 정도로 에칭된다. 그리고, 도8의 (c)에 나타내는 바와 같이, 포지티브 레지스트막(21)이 나머지 반으로 되었을 때, 에칭을 멈춘 후, 포지티브 레지스트(21)를 제거했다. 이것에 의해, 도8의 (d)에 나타내는 바와 같이, 오목부(25)만이 남았다. 그러한 후, SiNx막(19)을 CF₄가 90%, O₂가 10%의 혼합가스로 플라즈마 에칭하면, 등방적으로 에칭되어, 도8의 (e)에 나타내는 바와 같이, 구멍(25)의 직경이 넓어지고, 서로 인접하는 오목부의 가장자리가 접하도록 되었다. 이와 같이 하여, 도1의 평면도에서 나타내는 형상의 것을 제작했다.

또한, 제조방법으로서는 상기의 것에 한정하는 것이 아니라, 예컨대 도9에 나타내는 바와 같은 방법이라도 좋다. 즉, 도9의 (a)에 나타내는 바와 같이, Al막(26)을 600㎚ 성막한 기판(20) 상에, 노볼락계의 통상의 포지티브 레지스트(27)로 포토리소그래피에 의해 직경 2㎛의 홀을 평균 피치 4㎛로 다수 펀칭한 후, 도9의 (b)에 나타내는 바와 같이, 인산과 아세트산과 질산과 물을 섞은 알루미늄의 부식액(28)에 의해 습식 에칭에 의해 알루미늄을 제거하면, 홀 주변의 레지스트 하부에 부식액이 삽입되어 에칭이 진행하며, 서로 인접하는 오목부(29)가 접하는 도1과 같은 형상이 Al막(26)에 형성할 수 있었다. 이 요철막으로도, 같은 창형특성을 실현할 수 있었다. 단, 기판면내에서의 얼룩이 있었다.

〔그외의 사항〕

(1) 상기 제1의 형태에서는, 밀접한 오목부에서 기판표면을 메우고 있지만, 오목부가 아니고, 볼록부만으로 구성해도 좋으며, 오목부와 볼록부가 혼합되어 있어도 좋다. 또, 오목부 또는 볼록부에서 다 메우지 않으면 안되는 것은, 화소부만으로, 화소 주변부나 어레이와의 콘택트 홀부 등은 이것과 같은 구조로 할 필요는 없다.

(2) 상기와 같이, 완전하게 경사가 불연속하게 변화하는 형상이 가장 바람직하지만, 이것에 한정하지 않고, 종래의 연속적인 2차 곡면보다도, 기슭의 경사가 낮은 부분을 작게 한 형상이면, 그 반사특성은 연속적 2차 곡면보다 개선된다. 예컨대, 도10의 등고선도에서 나타내는 바와 같이, 정점을 가지고, 또, 볼록부(도시는 하지않지만, 아래가 볼록부로 되어 있어도 좋다)(14a, 14b, 14c)의 곡면과, 곡면(15)의 변극점을 경계로 하여, 볼록곡면을 둘러싸는 골(능선)으로 이루어지는 주변부(15)로 구성될때, 종래의 연속 2차 곡면에서는 볼록부의 곡면의 폭과 주변부의 폭과는 그 차가 적었지만, 도11에 나타내는 바와 같이, 볼록부(14b, 14c)의 폭(14d, 14e)쪽이 주변부(16)의 폭(16a)보다 넓게 구성하는, 다시말하면, 경계가 되는 변극점이 정점에서 골(능선)측으로 기울도록 구성하면, 종래보다 산란반사의 각도 의존성이 개선된다. 바람직하게는, 볼록부(14b, 14c)의 폭(14d, 14e)이 주변부(16) 폭(16a)의 2배 이상이면, 산란반사 특성곡선은 도5의 산란반사특성에서, 창형특성(10)에 거의 가깝게 되며, 각도의존이 적은 백색감이 높은 표시가 얻어졌다. 이와 같은 반사판을 수광형 표시소자, 예컨대 액정이나 엘렉트로 크로믹 디스플레이 등에 사용하면, 시야각이 넓고, 밝은 백색도가 높은 표시를 실현할 수 있다. 액정의 경우에는, 반사형 액정, 혹은 반투과형 액정으로서, 종래와 마찬가지로 투명전극을 구비하는 대향기판 사이에 끼워 액정패널을 작성함으로써, 표시품위가 높은 표시소자, 표시장치를 실현할 수 있다.

(최선의 형태 2)

도12는, 본 발명의 반사판의 최선의 형태 2의 평면도이다. 이와 같은 반사판을 이하와 같이 하여 제작했다.

먼저, 기판 상에 제1의 아크릴계 포지티브 레지스트막을 포토리소그래피에 의해 패터닝하여, 둥근 볼록부(30)를 남기고, 이것을 열에 의해 용융시켜 정점을 둥글게 한다. 다음에, 제2의 레지스트막을 그 위에 도포하고, 제1의 레지스트막의 네가 포지티브 반사패턴을 형성한 마스크로, 노광/현상하면 둥근 볼록부가 없는 부분에 레지스트가 남는다. 이것을 제1의 막과 마찬가지로, 열로 둥글게 하여 제2의 볼록부(31)를 형성하면, 그 단면도는, 도13에 나타내는 바와 같이, 서로 인접하는 볼록부가 밀접하여 기슭의 평탄부는 거의 없어져, 경계에서 경사각과 방향이 불연속적으로 변하는 형상으로 되었다.

또한, 상기 제1 및 제2의 레지스트막의 두께는, 모두 0.8㎛이며, 둥근 볼록부의 지름은 약 6㎛이다.

〔실험〕

상기 요철에 알루미늄 반사막을 200㎚ 성막하여, 반사판을 작성하고, 산란반사특성을 측정했으므로, 그 결과를 상기 도5에 병행하여 나타낸다. 또한, 실험방법, 측정방법은 상기 최선의 형태 1의 실험 1과 동일하다.

도5에서 명백하게 되는 바와 같이, 본 발명의 반사판의 산란반사 특성은 실선(11)으로 나타나 있지만, 종래의 반사판의 특성곡선(9)에서, 0°부근의 출사광 강도는 강하게 되어, 시야각, 밝기 모두 개선할 수 있다는 것을 알았다.

(최선의 형태 3)

본 발명의 제2의 반사판의 평면도를 도14에 나타낸다. 도14 중에서, 실선(32)은 밭이랑모양의 요철의 능선부이며, 파선(33)은 골부분이다. 도14에 나타내는 바와 같이, 밭이랑모양의 요철은 지문과 같이 곡선이 이쪽저쪽의 방향을 향하고 있으며, 그 능선과 능선과의 간격은 10±1㎛이며, 또, 이 간격은 장소에 의해 조금씩 변하여 간섭색이 나타나는 것을 회피하고 있다.

여기서, 종래기술에 나타낸 스기우라들의 기재에서는, 단면이 2차 곡선으로 된 밭이랑모양의 요철을 1방향으로 형성하고 있었으므로, 1방위로 밖에 산란이 생기지 않았다. 그래서, 본 최선의 형태 3에서는, 밭이랑모양의 요철의 방향을 지문모양으로 구부려, 방향 의존성을 해소했다. 그러나, 종래의 기술에서 나타낸 특개평 6-27481호 공보에서 나타낸 방법으로, 이와 같은 밭이랑모양 패턴을 작성하면, 그 단면형상은 2차 곡선모양으로 되었지만, 반사특성은, 상기 도5의 특성곡선(11)에 닮은 3각형이며, 각도의존이 큰 특성이었다.

〔실험〕

상기의 것을 고려하여, 소용돌이치는 형상의 밭이랑모양 요철의 단면형상을 절삭가공에 의해 조금씩 틀린 형상 모델을 작성하여 반사특성을 검토했다.

그 결과, 단면형상의 볼록부 혹은 오목부의 극치에서, 두께방향을 z, 수평방향을 x로 하며, 또 α, β를 정수로 하여 상기 (식2)의 커브휘팅을 행하면, a=3일 때에, 반사특성이 창형특성이 되는 것을 알았다. a가 3에서 4에 근접함에 따라, 특성은 창형에서 3각형으로 이행해 간다. 또, a=2, 즉, 직선모양의 경사로 하면, 산란각이 상당히 작게 되지만, 그 경사각에 장소에 의한 분포를 지니게 하면, 산란각을 실질적으로 제어할 수 있으므로, 창형에 근접시킬 수 있다. 단, a가 3보다 클때는 분포를 정해도 개선할 수 없다는 것을 알았다.

상기에서, 방위의존이 작은 곡선적으로 구부러진 밭이랑모양의 요철에서는, 단면형상을 근사하면, (식2)의 a가 2에서 3 정도일때에, 바람직한 특성인 창형특성을 실현할 수 있다.

또한, 밭이랑모양 요철과, 상기 최선의 형태 2와 같은 불연속인 원추모양의 오목부 또는 복록부가 혼합된 경우에는, 그 혼합비율에 따라, 밭이랑모양 요철은 3과 4의 사이에 설정하는 것이 좋다.

〔반사판의 제조방법〕

형상검토를 위해, 절삭가공으로 모델을 작성했지만, 실제의 반사판에서는, 양산성을 확보하기 위해, 포토리소그래피에 의한 이하의 방법으로 제작했다.

종래와 같이, 열에 의한 용융에서는, 형상은 2차 곡선형에 가깝게 된다. 그래서, 도15에 나타내는 바와 같이, 밭이랑의 골에 해당하는 부분에 곡선모양의 차광패턴(34)을 형성하여 마스크로, 기판 상에 도포한 두께 0.6㎛의 포지티브 레지스트에 프록시미티 노광을 행했다. 차광패턴의 선폭, 스페이스 모두 3㎛이며, 프록시미티의 캡은 50㎛이다. 이 갭에서는 회절에 의해, 포토리소그래피로 형성할 수 있는 해상도는 약 5㎛가 한계이다. 도15의 차광패턴은, 해상한계 이하이므로, 마스크의 상이 뿌연 결과, 현상하여 된 패턴은, 도16의 실선(35)와 같이 x의 3/2승〔상기 (식2) 참조〕에 가까운 형상이 얻어졌다. 비교를 위해 z=x²의 곡선(36)을 점선으로 예시했지만, 3/2승의 곡선은, 직선과 2승 곡선의 중간적인 형태로 되어 있는 것을 알았다. 이후, 상기 레지스트를 200℃로 중합시키고, 또한 알루미늄막을 성막한 결과, 실시형태 1과 거의 같은 창형특성의 반사판을 작성할 수 있었다.

그리고, 이와 같은, 반사판을 대향기판과 서로 맞붙여 작성한 반사형 액정표시소자는 밝고, 시야각이 넓으며, 종이에 가깝게 보이도록 하는 고품위의 표시가 가능하며, 우수한 표시특성의 표시장치를 실현할 수 있었다.

또한, 상기와 같이, 밭이랑모양의 경우 이외라도, 연속한 곡면으로 이루어지는 상기 도3과 같은 형상이라도, 그 단면형상의 차수가 종래의 2차 곡면에서 3/2승 곡면으로 차수가 내려가고 도16의 실선(35)와 같이 되면, 창형특성이 얻어지는 것이 시뮬레이션으로부터 알았다. 차수는 엄밀하게 3/2이 아니라도, (식2)의 차수로 나타내면, a=2.5에서 3.5이면, 종래보다 창형특성에 가까운 특성이 얻어지는 것이 인정되었다.

(최선의 선택 4)

상기 최선의 형태 1에서 3은 반사형 액정에 관하여 서술했지만, 실시형태 4에서는, 창형 산란특성을 나타내는 반투과형의 액정표시소자에 대해서 설명한다. 도17은 본 발명의 최선의 형태 4의 반투과형의 액정표시소자의 단면도이다. 요철은, 상기 도3에 나타낸 종래의 요철과 같아도 좋다. 이 요철의 정점을 가지는 복록부 곡면(37)에만 반사막(38)을 형성하고, 주변부는 반사막(38)을 제거하여 투명상태로 한다. 그리고, 그 위에 ITO로 이루어지는 투명전극(39)을 형성했다. 반사특성은 반사막이 있는 볼록부만으로, 주변부를 포함하지 않으므로, 그 반사특성은 시야각이 넓은 창형 산란특성에 가까운 것으로 개선할 수 있다. 이 기판을 대향기판(41)과 서로 맞붙여, 액정(40)을 사이에 끼워, 위상차판 첨부의 편광판(42a, 42b)을 앞뒤로 붙여 반투과형 액정패널(43)을 작성했다.

상기의 방법으로 작성한 반투과형의 액정표시소자에서는, 반사막이 없는 부분은, 백라이트(44)로부터의 투과광이 지나므로, 어두운 곳에서의 표시가 가능하게 된다.

또한, 요철형상은, 상기 도3의 종래의 연속 2차 곡면에 한정하는 것이 아니고, 상기 도8, 도9에서 나타낸 바와 같이 주변부가 좁은 구조라도 좋지만, 어느 경우라도, 정점을 포함하는 위 또는 아래로 볼록한 2차 곡면부에만 반사막을 남기고, 다른 부분을 투명부로 할 필요가 있으며, 또, 이와 같은 구성으로 함으로써, 밝고, 시야각이 넓은 산란반사특성을 구비한 반투과형 액정소자를 실현할 수 있다.

(실시형태 5)

실시형태 5는 본 발명의 요철 반사판을 싼 가격으로 제조하는 것을 가능하게 하는 수지필름과 그 제조방법 및 그 수지필름을 이용하여 제작하는 반사판의 제조방법에 관한 것이다. 도18에 본 발명의 수지필름 및 이것을 이용한 반사판의 제조방법의 흐름도를 나타낸다.

먼저, 도18의 (a)에 나타내는 바와 같이, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET)로 이루어지는 베이스 필름(45)(투께 50㎛)의 한쪽의 표면에, 절삭으로 요철을 새긴 롤모양의 금형(46)으로 프레스함으로써 다수의 요철을 형성한다. 이 요철은, 산란반사판에 적합한 요철, 즉, 적당하게 산란반사하는 요철의 경사각은 요철부의 최대 경사각이 2° 이상 15° 이하인 것이 바람직하고, 특히, 4°이상 11°이하인 것이 바람직하다. 또, 산란반사특성을 창형 산란특성이 되도록, 상기 최선의 형태 1에서 4에 기재한 요철을 반전한 형상으로 하는 것이 가장 바람직하다. 또, 산란반사광이 회절효과로 착색하는 것을 회피하기 위해서, 요철의 배치를 불규칙적으로 혹은, 직선적인 규칙성이 없는 배치로 할 필요가 있다.

다음에, 도18의 (b)에 나타내는 바와 같이, 요철을 형성한 베이스 필름 상에 감광성 수지(47)를 슬릿트코더로 두께 수 ㎛ 정도 도포하고, 또 보호시트를 덮은 후에 롤모양으로 말은 수지필름(48)(드라이 필름 레지스트)을 제작했다. 이어서, 도18의 (c)에 나타내는 바와 같이, 상기 수지필름을 TFT소자를 형성한 표시패널용 구동기판(49) 상에 통상의 방법으로 라미네이트 한 후, 반사판에 적합한 요철을 가지는 베이스 필름(45)을 벗기면 감광성 수지층(47)이 구동기판(49)의 표면에 형성된다.

이후, 도18의 (d)에 나타내는 바와 같이, TFT소자 상의 감광성 수지에 포토리소그래피에 의해 콘택트 홀(47h)을 형성하고, 또 도18의 (e)에 나타내는 바와 같이, 알루미늄 함금으로 이루어지는 반사전극(50)을 형성함으로써, TFT와 반사전극을 도통시킨다.

이상과 같이, 본 최선의 형태 5에 의하면, 성형형에 의해, 베이스 필름에 요철을 형성한 수지필름을 라미네이트 하는 것만으로, 반사판에 적합한 요철을 기판 상에 제작할 수 있다.

또, 종래와 같이 표시패널용의 구동기판에의 가공공정이 증가하지 않으므로, 제조 코스트를 비약적으로 저감할 수 있다. 이것은, 구동기판은 다른 많은 공정을 거친 부가가치가 높은 것이며, 구동기판에 대한 반사판용의 요철공정이 없어지면, 수율저하에 의한 손실 등이 감소하기 때문이다.

또한, 수지로서 감광성 수지를 이용하면, 콘택트 홀도 용이하게 형성할 수 있다.

본 발명의 반사판 및 액정표시소자는, 밝은 표시를 넓은 시야각 범위에서 실현할 수 있으며, 또 메탈릭한 느낌이 없는 페이퍼 화이트 표시를 실현할 수 있고, 더욱이 이와 같은 유리한 반사판 및 액정표시소자를 용이하게 제작할 수 있으므로, 산업상의 이용가치는 높다.

Claims

요철표면에 반사막을 형성한 반사판에 있어서,

상기 요철이 정점을 가지고, 또 위로 볼록 또는 아래로 볼록하게 형성된 곡면과, 이 곡면의 변극점을 경계로 하여, 상기 곡면을 둘러싸는 골 또는 능선으로 이루어지는 주변부로 이루어짐과 동시에, 상기 곡면이 위로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 골측으로 기우는 한편, 상기 곡면이 아래로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 능선측으로 기울어져 있는 것을 특징으로 하는 반사판,
제 1 항에 있어서,

상기 곡면의 단면형상을, 두께방향을 z, 수평방향을 x로 하여, z = αx^a/2+ β(α, β는 정수)로 근사했을 때, 상기 볼록한 a의 평균치가 2보다 크고 4 이하로 규제되는 것을 특징으로 하는 반사판.
제 2 항에 있어서,

상기 곡면부의 폭이 상기 주변부 폭의 2배 이상인 것을 특징으로 하는 반사판.
제 3 항에 있어서,

상기 a의 평균치가 2보다 크고 3 이하이며, 반사판으로 반사한 반사광 강도가 입사광이 정반사하는 방향에서, 소정의 반사각 방향으로 산한하는 산란반사광의 쪽이 강도가 강하게 되는 것을 특징으로 하는 반사판.
제 1 항에 있어서,

서로 인접하는 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 곡면이 밀접하여 있어, 주변부가 실질적으로 존재하지 않는 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 반사판.
제 2 항에 있어서,

서로 인접하는 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 곡면이 밀접하여 있어, 주변부가 실질적으로 존재하지 않는 구조로 되어 있는 것을 특징으로 하는 반사판.
제 5 항에 있어서,

상기 요철형상이, 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 어느 한쪽만으로 구성되어 있으며, 서로 인접하는 볼록한 경사면의 기울기의 부호가 상기 오목 또는 볼록한 경계에서 역전하는 것을 특징으로 하는 반사판.
제 6 항에 있어서,

상기 요철형상이, 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 어느 한쪽만으로 구성되어있으며, 서로 인접하는 볼록한 경사면의 기울기의 부호가 상기 오목 또는 볼록한 경계에서 역전하는 것을 특징으로 하는 반사판.
제 1 항 기재의 반사판을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자.
제 2 항 기재의 반사판을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자.
제 9 항에 있어서,

액정층을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자.
제 10 항에 있어서,

액정층을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자.
제 11 항 기재의 표시소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치.
제 12 항 기재의 표시소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치.
연속한 곡면으로 이루어지는 다수의 요철표면에 반사막을 형성한 반사판이며, 오목부 또는 볼록부의 정점을 기점으로 하는 단면형상을 두께방향을 z, 수평방향을 x로 하여, z = αx^a/2+ β(α, β는 정수)로 근사했을 때, 상기 다수의 요철의 a의 평균치가 2.5보다 크고 3.5보다 작게 되도록 규제되는 것을 특징으로 하는 반사판.
제 15 항에 있어서,

요철의 단면형상의 오목부와 볼록부가 대략 대칭인 것을 특징으로 하는 반사판.
제 15 항에 있어서,

요철이 주로 밭이랑모양의 요철로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반사판.
제 15 기재의 반사판을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자.
제 18 항에 있어서,

액정층을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시소자.
제 19 항의 표시소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시장치.
기판상에 정점을 가지는 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 곡면을 다수 구비하고, 또 상기 볼록곡면 상에 반사막을 구비함과 동시에, 상기 볼록곡면을 둘러싸는 주변부에는 반사막이 없는 기판과, 액정층을 구비하는 액정표시소자에 있어서,

상기 볼록곡면의 정점을 기점으로 하는 단면형상을 두께방향을 z, 수평방향을 x로 하여, z = αx^a/2+ β(α, β는 정수)로 근사했을 때, 상기 다수의 오목 또는 볼록한 a의 평균치가 2보다 크고 4 이하인 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
기판표면에 제1의 오목부 또는 볼록부를 형성하는 스텝과,

상기 제1의 오목부 또는 볼록부가 없는 부분에, 포토마스크를 통한 노광, 현상함으로써 제2의 오목부 또는 볼록부를 형성하는 스텝과,

상기 제2의 오목부 또는 볼록부 상에, 반사막을 성막하는 스텝과,

을 가지는 것을 특징으로 하는 반사판의 제조방법.
적어도 화소부의 기판표면에, 서로 떨어진 복수의 곡면모양의 오목부를 형성하는 스텝과,

상기 기판표면을 대략 등방적으로 에칭함으로써, 서로 인접하는 상기 복수의 오목부가 밀접할때까지 상기 복수의 오목부의 지름을 넓히는 스텝과,

을 가지는 것을 특징으로 하는 반사판의 제조방법.
적어도 화소부의 기판표면에, 복수의 홀이 뚫린 포토레지스트막을 포토리소그래피에 의해 형성하는 스텝과,

대략 등방적인 에칭에 의해 기판표면을 에칭하고, 상기 홀의 하부에 상기 홀보다 큰 지름의 오목부를 기판표면에 형성하여, 서로 인접하는 복수의 오목부를 밀접시키는 스텝과,

을 가지는 것을 특징으로 하는 반사판의 제조방법.
다수의 곡면모양의 오목부 또는 볼록부를 표면에 가지는 베이스 필름 상에, 감광성 수지층을 도포한 것을 특징으로 하는 수지필름.
제 25 항에 있어서,

상기 다수의 곡면모양의 오목부 또는 볼록부의 최대 경사각의 평균치가 2°이상, 15°이하에서, 상기 오목부 또는 볼록부에 의해 백색산란이 생기는 것을 특징으로 하는 수지필름.
제 26 항에 있어서,

상기 최대 경사각의 평균치가 4°이상, 11°이하인 것을 특징으로 하는 수지필름.
제 25 항에 있어서,

상기 오목부 또는 볼록부가, 정점을 가지는 위로 볼록 또는 아래로 볼록한 곡면과, 상기 곡면의 변극점을 경계로 하여, 상기 곡면을 둘러싸는 능선 또는 골로 이루어지는 주변부로 이루어짐과 동시에, 상기 곡면이 위로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 골측에 기우는 한편, 상기 곡면이 아래로 볼록한 경우에는, 상기 변극점이 상기 정점과 상기 골의 중앙에서 상기 능선측으로 기울어져 있는 것을 특징으로 하는 수지필름.
제 28 항에 있어서,

상기 오목부 또는 볼록부의 정점을 기점으로 하는 단면형상을 두께방향을 z, 수평방향을 x로 하여, z = αx^a/2+ β(α, β는 정수)로 근사했을 때, 상기 요철의 a의 평균치가 2보다 크고 4보다 작은 것을 특징으로 하는 수지필름.
베이스 필름에, 성형형으로, 다수의 곡면모양의 오목부 또는 볼록부를 표면에 성형하는 스텝과,

상기 베이스 필름 상에, 감광성 수지층을 도포하는 스텝과,

을 가지는 것을 특징으로 하는 수지필름의 제조방법.
제 30 항에 있어서,

상기 다수의 곡면모양의 오목부 또는 볼록부의 최대 경사각의 평균치가 2°이상, 15°이하에서, 상기 오목부 또는 볼록부에 의해 백색산란이 생기는 것을 특징으로 하는 수지필름의 제조방법.
다수의 곡면모양의 오목부 또는 볼록부를 표면에 가지는 베이스 필름 상에, 감광성 수지층을 도포한 수지필름을, 기판상에 라미네이트 하여, 표면에 요철을 가지는 상기 감광성 수지층을 상기 기판상에 전사함으로써, 상기 감광성 수지층 상에 반사막을 형성한 것을 특징으로 하는 반사판의 제조방법.
기판이 TFT소자를 구비하고, 감광성 수지를 전사 후, 상기 감광성 수지의 상기 TFT소자 출력단자 상에 콘택트 홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 반사판의 제조방법.