KR20020022697A - Holder mechanism - Google Patents

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KR20020022697A KR1020017015986A KR20017015986A KR20020022697A KR 20020022697 A KR20020022697 A KR 20020022697A KR 1020017015986 A KR1020017015986 A KR 1020017015986A KR 20017015986 A KR20017015986 A KR 20017015986A KR 20020022697 A KR20020022697 A KR 20020022697A
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기시모토 마사도시
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Abstract

본 발명의 홀더기구는 피홀딩체를 홀딩하는 홀더프레임과, 상기 홀더프레임에 설치되고, 상기 피홀딩체가 압박되는 고정기준부재와, 상기 피홀딩체의 사이즈에 따라서 상기 홀더프레임에 대해 가동하고, 상기 피홀딩체가 압박되는 가동기준부재와, 상기 홀더프레임의 가로방향과 세로방향으로 적어도 1개씩 설치되고, 상기 피홀딩체를 상기 고정기준부재 또는 상기 가동기준부재에 압박하는 압박부재와, 상기 가동기준부재를 구동하는 구동부를 구비하고 있다.The holder mechanism of the present invention is provided with a holder frame for holding a to-be-held body, a fixed reference member which is mounted to the holder frame, to which the to-be-held body is pressed, and movable with respect to the holder frame according to the size of the to-be-held body, A movable reference member to which the holding body is pressed, at least one of which is installed in a horizontal direction and a longitudinal direction of the holder frame, and a pressing member which presses the held body to the fixed reference member or the movable reference member; A driving part for driving the reference member is provided.

Description

홀더기구{HOLDER MECHANISM}Holder mechanism {HOLDER MECHANISM}

LCD에 이용되는 유리기판의 결함검사에서는 매크로관찰이라 부르는 검사와 미크로관찰이라 부르는 검사가 실시되고 있다. 이 가운데 매크로관찰에서는 유리기판의 표면에 조명광을 조사하여 그 반사광 또는 투과광의 광학적 변화를 검사자의 육안에 의해 관찰해서 유리기판의 표면상의 흠 등의 결함을 검출한다.In defect inspection of glass substrates used in LCDs, inspections called macro observations and inspections called micro observations are carried out. In the macro observation, illuminating light is irradiated to the surface of the glass substrate, and the optical change of the reflected or transmitted light is observed by the naked eye to detect defects such as flaws on the surface of the glass substrate.

이 매크로관찰에서는 유리기판을 기판검사장치의 홀더 위에 홀딩하고, 이 상태에서 상기 홀더를 요동시켜 검사자의 육안에 의해 상기 유리기판의 표면을 관찰한다. 또한 계속해서 상기 유리기판의 이면을 관찰하는 경우에는 상기 유리기판을 뒤집어서 상기와 마찬가지로 상기 홀더를 요동시켜 검사자의 육안에 의해 상기 유리기판의 이면을 관찰한다.In this macro observation, the glass substrate is held on the holder of the substrate inspection apparatus, and the holder is swung in this state to observe the surface of the glass substrate by the naked eye of the inspector. In addition, when continually observing the back surface of the glass substrate, the glass substrate is turned over and the holder is swinged as described above to observe the back surface of the glass substrate by the naked eye of the inspector.

상기와 같은 매크로관찰 또는 현미경 등을 이용한 미크로관찰에서는 복수 사이즈의 유리기판에 대한 검사가 실시된다.In the micro observation using the macro observation or the microscope as described above, the inspection of the glass substrates of plural sizes is carried out.

도 14는 종래예에 관련되는 기판검사장치에 이용되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면이다. 기판홀더(1)는 4변형의 프레임상으로 형성된 홀더프레임(2)으로 이루어진다. 이 홀더프레임(2)내에는 PPD의 유리기판을 이면으로부터 지지하기 위한 도시하지 않는 지지바(bar) 또는 지지핀이 소정의 간격으로 균등하게 설치되어 있다. 또 홀더프레임(2)에 있어서의 우측과 하측의 프레임을 따라서 각각 기준핀 (3a, 3b와 3c, 3d)이 고정되어 설치되어 있는 동시에 홀더프레임(2)에 있어서의 상측과 좌측의 프레임을 따라서 각각 압박핀(4a, 4b와 4c, 4d)이 설치되어 있다. 이들 압박핀(4a, 4b와 4c, 4d)은 각각 각 압박방향(f1, f2)으로 탄성 지지하고, 유리기판(8)을 기준핀(3c, 3d와 3a, 3b)에 압박하여 유리기판(8)의 위치결정을 실시한다. 또한 각 압박핀(4a, 4b와 4c, 4d)은 각각 각 가동구멍(5a, 5b와 5c, 5d)내에서 각 압박방향(f1, f2)으로 이동 가능하다.Fig. 14 is a diagram showing the structure of a substrate holder used in the substrate inspection apparatus according to the prior art. The substrate holder 1 consists of a holder frame 2 formed in the shape of a quadrilateral frame. In the holder frame 2, support bars or support pins (not shown) for supporting the glass substrate of the PPD from the back surface are equally provided at predetermined intervals. In addition, the reference pins 3a, 3b, 3c, and 3d are fixedly provided along the right and lower frames of the holder frame 2, and along the upper and left frames of the holder frame 2, respectively. The pressing pins 4a, 4b, 4c, and 4d are respectively provided. These pressing pins 4a, 4b, 4c, and 4d are elastically supported in the pressing directions f1 and f2, respectively, and the glass substrate 8 is pressed against the reference pins 3c, 3d, 3a, and 3b, respectively. Perform positioning of 8). Further, the pressing pins 4a, 4b, 4c, and 4d are movable in the pressing directions f1 and f2 in the movable holes 5a, 5b, 5c, and 5d, respectively.

또 홀더프레임(2)에 있어서의 상측과 하측의 프레임에는 각각 기준핀유니트부착부(7a, 7b)가 형성되어 있다. 이들 기준핀유니트부착부(7a, 7b)에는 사이즈가 다른 유리기판의 기준위치를 설정하기 위한 기준핀유니트(바)(6)가 나사 등에 의해 부착된다. 기준핀유니트(6)는 사이즈가 작은 유리기판의 기준위치를 설정한다. 기준핀유니트(6)에는 2개의 기준핀(6a, 6b)이 고정되어 설치되어 있다.In addition, the upper and lower frames of the holder frame 2 are formed with reference pin unit attaching portions 7a and 7b, respectively. Reference pin unit attachment portions 7a and 7b are attached with reference pin units (bars) 6 for setting reference positions of glass substrates of different sizes by screws or the like. The reference pin unit 6 sets the reference position of the small sized glass substrate. Two reference pins 6a and 6b are fixed to the reference pin unit 6.

도 15는 상기 기판홀더에 대형유리기판을 홀딩한 상태를 나타내는 도면이다. 상기한 기판홀더(1)로 대형유리기판(8)의 매크로관찰(또는 미크로관찰)을 실시할 때는 검사자의 수동작업에 의해 홀더프레임(2)으로부터 기준핀유니트(6)를 떼어낸다. 이 상태에서 홀더프레임(2)에 대형유리기판(8)이 세트되면 압박핀(4a, 4b와 4c, 4d)이 각각 압박방향(f1, f2)으로 밀어 내어져 대형 유리기판(8)의 2변이 각각기준핀(3c, 3d와 3a, 3b)에 눌려 놓아진다. 이에 따라 대형의 유리기판(8)이 위치 결정된다.15 is a view showing a state in which a large glass substrate is held in the substrate holder. When performing macro observation (or micro observation) of the large glass substrate 8 with the substrate holder 1 described above, the reference pin unit 6 is removed from the holder frame 2 by manual inspection by the inspector. In this state, when the large glass substrate 8 is set on the holder frame 2, the pressing pins 4a, 4b, 4c, and 4d are pushed out in the pressing directions f1 and f2, respectively. The sides are pressed into the reference pins 3c and 3d and 3a and 3b, respectively. As a result, the large glass substrate 8 is positioned.

도 16은 상기 기판홀더에 소형의 유리기판을 홀딩한 상태를 나타내는 도면이다. 상기한 기판홀더(1)로 소형의 유리기판(9)의 매크로관찰(또는 미크로관찰)을 실시할 때는 검사자의 수동작업에 의해 홀더프레임(2)에 기준핀유니트(6)을 부착한다. 이 상태에서 홀더프레임(2)에 소형의 유리기판(9)이 세트되면 압박핀(4b와 4c, 4d)이 각각 압박방향(f1, f2)으로 밀어 내어져 소형유리기판(9)의 2변이 각각 기준핀(3d와 6a, 6b)에 눌려 놓아진다. 이에 따라 소형유리기판(9)이 위치 결정된다.16 is a view showing a state in which a small glass substrate is held in the substrate holder. When performing macro observation (or micro observation) of the small glass substrate 9 with the substrate holder 1, the reference pin unit 6 is attached to the holder frame 2 by manual inspection by the inspector. In this state, when the small glass substrate 9 is set in the holder frame 2, the pressing pins 4b, 4c, and 4d are pushed out in the pressing directions f1 and f2, respectively, so that the two sides of the small glass substrate 9 Pressed on the reference pins 3d, 6a, and 6b, respectively. Accordingly, the small glass substrate 9 is positioned.

상기한 기판홀더(1)에서는 예를 들면 대형유리기판(8)의 매크로관찰 후에 소형유리기판(9)의 매크로관찰을 실시하는 경우, 이 소형유리기판(9)의 기준위치를 변경하기 위해 기준핀유니트(6)를 검사자의 수동작업에 의해서 부착하지 않으면 안된다. 이 기준핀유니트(6)는 기준위치가 움직이지 않도록 나사고정 등의 수단에 의해 부착되는데, 이 부착, 떼어냄작업은 매우 번거롭고, 손이 많이 간다. 이로 인해 사이즈가 다른 유리기판이 혼재하는 로트에서는 기준핀유니트(6)의 착탈작업에 시간을 요하고, 검사의 효율화를 꾀하는 것이 곤란하게 된다. 또한 유리기판(8)의 대형화에 동반하는 홀더프레임(2)도 대형인 것으로 된다. 이로 인해 기준핀유니트(6)를 부착할 때에 검사자는 기판홀더(1)의 안쪽으로 손이 미치지 않아 나사고정이 불가능한 경우도 있다. 또한 이 작업에 동반하는 애진(埃塵)에 의해 기판검사장치의 청결도가 저하하는 문제가 발생한다.In the above-mentioned substrate holder 1, for example, when macroscopic observation of the small glass substrate 9 is carried out after macroscopic observation of the large glass substrate 8, in order to change the reference position of the small glass substrate 9, The pin unit 6 must be attached by manual inspection by the inspector. The reference pin unit 6 is attached by means of screw fixing or the like so that the reference position does not move. This attaching and detaching operation is very cumbersome and requires a lot of hands. For this reason, it is difficult for the lot in which glass substrates of different sizes are mixed to take time to attach and detach the reference pin unit 6, and to make inspection more efficient. In addition, the holder frame 2 accompanying the enlargement of the glass substrate 8 also becomes large. For this reason, when the reference pin unit 6 is attached, the inspector may not touch the inside of the substrate holder 1, so that screw fixing may not be possible. Moreover, the problem that the cleanliness of a board | substrate inspection apparatus falls by the dust which accompanies this operation arises.

본 발명의 목적은 사이즈가 다른 유리기판에 대한 기준부재의 변경작업을 간단하게 실시할 수 있는 홀더기구를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a holder mechanism capable of easily changing the reference member for glass substrates of different sizes.

본 발명은 예를 들면 액정디스플레이(LCD) 등의 플랫패널디스플레이(FPD)에 이용되는 유리기판을 검사하여 결함 등을 검출하는 기판검사장치에 적용되는 홀더기구에 관한 것이다.The present invention relates to a holder mechanism applied to, for example, a substrate inspection apparatus for inspecting a glass substrate used for a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD) to detect defects and the like.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치의 구성을 나타내는 사시도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows the structure of the board | substrate inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention.

도 2는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판검사장치에 이용되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면.2 is a diagram showing a configuration of a substrate holder used in a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3a는 본 발명의 실시형태에 관련되는 가동기준핀 기구의 구체적인 구성을 나타내는 도면.3A is a diagram showing a specific configuration of a movable reference pin mechanism according to an embodiment of the present invention.

도 3b는 본 발명의 실시형태에 관련되는 L자형 암의 평면도와 측단면도.3B is a plan view and a side cross-sectional view of an L-shaped arm according to the embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시형태에 관련되는 가동기준핀기구의 구동계의 구성을 나타내는 모식도.4 is a schematic diagram showing a configuration of a drive system of a movable reference pin mechanism according to an embodiment of the present invention.

도 5a는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판홀더로 대형유리기판을 홀딩했을 때의 상태를 나타내는 도면.Fig. 5A is a view showing a state when a large glass substrate is held by the substrate holder according to the embodiment of the present invention.

도 5b는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판홀더로 소형유리기판을 홀딩했을 때의 상태를 나타내는 도면.5B is a view showing a state when the small glass substrate is held by the substrate holder according to the embodiment of the present invention.

도 6a는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판홀더로 대형유리기판을 홀딩했을 때의 상태를 나타내는 도면.Fig. 6A is a view showing a state when a large glass substrate is held by the substrate holder according to the embodiment of the present invention.

도 6b는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판홀더로 소형유리기판을 홀딩했을 때의 상태를 나타내는 도면.Fig. 6B is a view showing a state when the small glass substrate is held by the substrate holder according to the embodiment of the present invention.

도 7a, 도 7b는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면.7A and 7B show the structure of a substrate holder according to an embodiment of the present invention.

도 8a, 도 8b는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면.8A and 8B show the structure of a substrate holder according to an embodiment of the present invention.

도 9a는 본 발명의 실시형태에 관련되는 가동기준판의 구동기구의 구성을 나타내는 모식도.It is a schematic diagram which shows the structure of the drive mechanism of the movable reference plate which concerns on embodiment of this invention.

도 9b는 본 발명의 실시형태에 관련되는 가동기준판의 구동기구의 구성을 나타내는 단면도.9B is a cross-sectional view showing a configuration of a drive mechanism of the movable reference plate according to the embodiment of the present invention.

도 10a, 도 10b는 본 발명의 실시형태에 관련되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면.10A and 10B show the structure of a substrate holder according to an embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 실시형태에 관련되는 가동기준판의 구동기구의 구성을 나타내는 모식도.The schematic diagram which shows the structure of the drive mechanism of the movable reference plate which concerns on embodiment of this invention.

도 12a, 도 12b는 본 발명의 실시형태의 변형예에 관련되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면.12A and 12B show the structure of a substrate holder according to a modification of the embodiment of the present invention.

도 13a, 도 13b는 본 발명의 실시형태의 변형예에 관련되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면.13A and 13B show the structure of a substrate holder according to a modification of the embodiment of the present invention.

도 14는 종래예에 관련되는 기판검사장치에 이용되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면.Fig. 14 is a diagram showing the structure of a substrate holder used in a substrate inspection apparatus according to a conventional example.

도 15는 종래예에 관련되는 기판홀더에 대형유리기판을 홀딩한 상태를 나타내는 도면.Fig. 15 is a view showing a state in which a large glass substrate is held in a substrate holder according to the prior art.

도 16은 종래예에 관련되는 기판홀더에 소형유리기판을 홀딩한 상태를 나타내는 도면이다.Fig. 16 is a view showing a state in which a small glass substrate is held in a substrate holder according to the prior art.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of symbols for main parts of drawing

2: 홀더프레임 2': 공간부2: holder frame 2 ': space part

3a∼3d: 기준핀 4a∼4d: 압박핀3a to 3d: reference pin 4a to 4d: pressure pin

8: 대형유리기판 9: 소형유리기판8: Large Glass Substrate 9: Small Glass Substrate

10, 11: 가동기준핀기구 14, 15: 퇴피용구멍10, 11: movable reference pin mechanism 14, 15: retraction hole

16: 스토퍼 19: 조작부16: Stopper 19: control panel

20: 제 1 소형유리기판 21: 제 2 소형유리기판20: first small glass substrate 21: second small glass substrate

30: 가동기준판 30a, 30b: 가동기준핀30: Operation reference plate 30a, 30b: Operation reference pin

31: 구동부 32: 조작부31: drive unit 32: operation unit

33: 특정사이즈의 유리기판 34: 이송나사33: Glass substrate of specific size 34: Feed screw

35: 레일 36: 모터제어부35: rail 36: motor control unit

37: 모터 40: 가동기준판37: motor 40: operation reference plate

41∼44: 가동기준핀 45: 특정사이즈의 유리기판41 to 44: movable reference pin 45: glass substrate of specific size

46, 47: 링크부재 46a, 46b, 47a, 47b: 회전축46, 47: link members 46a, 46b, 47a, 47b: rotating shaft

101, 111: 가동기준핀 101', 111': 핀101, 111: Operation reference pin 101 ', 111': Pin

102: L자형암 103: 가동핀102: L-shaped arm 103: movable pin

104: 에어실린더 105: 실린더로드104: air cylinder 105: cylinder rod

106: 직선운동·회전운동변환부재 107; 긴구멍106: linear motion / rotational motion converting member 107; Long hole

108: 회전축 121∼124: 가동기준핀108: rotating shaft 121 to 124: movable reference pin

131∼134: 퇴피용구멍 201: 장치본체131 to 134: hole for evacuation 201: device body

202: 가이드레일 203: 관찰유니트지지부202: guide rail 203: observation unit support

204: 관찰유니트 205: 투과라인조명광원204: observation unit 205: transmission line illumination light source

206: 지지부의 뒤판 207: 지표용조명광원206: back plate of support 207: surface illumination light source

208: 미크로관찰유니트 209: 부분매크로조명광원208: micro observation unit 209: partial macro illumination light source

211: 대물렌즈 212: 접안렌즈211: objective lens 212: eyepiece

213: TV카메라 221: 제어부213: TV camera 221: control unit

222: TV모니터 301, 302: 밸브222: TV monitor 301, 302: valve

302, 304: 토출밸브 310, 320: 배관302, 304: discharge valve 310, 320: piping

(1) 본 발명의 홀더기구는 피홀딩체를 홀딩하는 홀더프레임과, 상기 홀더프레임에 설치되고, 상기 피홀딩체가 압박되는 고정기준부재와, 상기 피홀딩체의 사이즈에 따라서 상기 홀더프레임에 대해 가동하고, 상기 피홀딩체가 압박되는 가동기준부재와, 상기 홀더프레임의 가로방향과 세로방향으로 적어도 1개씩 설치되고, 상기 피홀딩체를 상기 고정기준부재 또는 상기 가동기준부재에 압박하는 압박부재와, 상기 가동기준부재를 구동하는 구동부를 구비하고 있다.(1) The holder mechanism of the present invention is provided with respect to the holder frame according to a holder frame for holding the to-be-held body, a fixed reference member mounted to the holder frame, to which the to-be-held body is pressed, and the size of the to-be-held body. A movable reference member which is movable and is pressed against the held body, at least one of which is installed in a horizontal direction and a longitudinal direction of the holder frame and presses the held body against the fixed reference member or the movable reference member; And a driving unit for driving the movable reference member.

(2) 본 발명의 홀더기구는 상기 (1)에 기재한 기구이고, 또한 상기 가동기준부재는 복수의 상기 피홀딩체의 사이즈에 대응하는 위치에 복수조 설치되어 있다.(2) The holder mechanism of the present invention is the mechanism described in (1) above, and the movable reference member is provided in plural sets at positions corresponding to the sizes of the plurality of the to-be-held bodies.

(3) 본 발명의 홀더기구는 상기 (1) 또는 (2)에 기재한 기구이고, 또한 상기 고정기준부재는 상기 피홀딩체가 인접하는 2변이 압박되도록 복수개 설치되어 있다.(3) The holder mechanism of this invention is a mechanism as described in said (1) or (2), and the said fixed reference member is provided in multiple numbers so that the two sides to which the said to-be-held body adjoins can be pressed.

(4) 본 발명의 홀더기구는 상기 (2)에 기재한 기구이고, 또한 상기 구동부는 상기 홀더프레임에 홀딩되는 피홀딩체의 사이즈에 따라서 복수조의 상기 가동기준부재를 선택적으로 구동한다.(4) The holder mechanism of the present invention is the mechanism described in (2) above, and the drive portion selectively drives a plurality of sets of the movable reference members in accordance with the size of the to-be-held body held in the holder frame.

(5) 본 발명의 홀더기구는 상기 (1)에 기재한 기구이고, 또한 상기 가동기준부재는 상기 피홀딩체의 사이즈에 따른 위치로 회전운동 자유롭고, 상기 홀더프레임이 소정사이즈의 피홀딩체를 홀딩할 때에 상기 홀더프레임의 내측방향으로 회전운동하며, 상기 소정사이즈 이외의 피홀딩체를 홀딩할 때에 상기 홀더프레임의 외측방향으로 회전운동한다.(5) The holder mechanism of the present invention is the mechanism described in (1) above, and the movable reference member is free to rotate to a position corresponding to the size of the to-be-held body, and the holder frame is provided with a to-be-held body of a predetermined size. When holding, it rotates inwardly of the holder frame, and when holding a to-be-held body other than the predetermined size, it rotates outwardly of the holder frame.

(6) 본 발명의 홀더기구는 상기 (5)에 기재한 기구이고, 또한 상기 홀더프레임은 상기 가동기준부재가 상기 홀더프레임의 외측방향으로 회전운동했을 때 상기 가동기준부재를 퇴피시키는 퇴피부가 형성되어 있다.(6) The holder mechanism of the present invention is the mechanism described in (5) above, and the holder frame has a retraction portion for retracting the movable reference member when the movable reference member is rotated in an outward direction of the holder frame. Formed.

(7) 본 발명의 홀더기구는 상기 (1)에 기재한 기구이고, 또한 상기 가동기준부재는 상기 홀더프레임의 가로방향과 세로방향의 적어도 한쪽으로 이동 자유롭게 설치된 이동부재에 설치되어 있다.(7) The holder mechanism of the present invention is the mechanism described in (1) above, and the movable reference member is provided on a movable member provided freely movable in at least one of the horizontal and vertical directions of the holder frame.

(8) 본 발명의 홀더기구는 상기 (7)에 기재한 기구이고, 또한 상기 이동부재는 상기 가로방향과 세로방향의 어느 쪽인가 한쪽에 이동 자유로운 I자형상을 이룬다.(8) The holder mechanism of this invention is a mechanism as described in said (7), and the said moving member forms the I-shape which is free to move in either of the said transverse direction and the longitudinal direction.

(9) 본 발명의 홀더기구는 상기 (7)에 기재한 기구이고, 또한 상기 이동부재는 상기 가로방향과 세로방향의 양쪽에 이동 자유로운 L자형상을 이룬다.(9) The holder mechanism of the present invention is the mechanism described in (7) above, and the movable member has an L-shape that is free to move in both the transverse direction and the longitudinal direction.

(10) 본 발명의 홀더기구는 피홀딩체를 홀딩하는 홀더프레임과, 상기 홀더프레임에 설치되고, 상기 피홀딩체가 압박되는 고정기준부재와, 상기 피홀딩체의 사이즈에 따라서 상기 홀더프레임에 대해 가동하고, 상기 피홀딩체를 압박하는 가동부재와, 상기 가동부재를 구동하는 구동부를 구비하고 있다.(10) The holder mechanism of the present invention is provided with respect to the holder frame according to a holder frame for holding the to-be-held body, a fixed reference member mounted to the holder frame, to which the to-be-held body is pressed, and the size of the to-be-held body. It is provided with the movable member which moves and presses the to-be-held body, and the drive part which drives the said movable member.

이하 본 발명의 제 1 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. 또한 각 도면에 있어서 도 14와 동일한 부분에는 동일부호를 붙여서 그 상세한 설명은 생략한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, 1st Embodiment of this invention is described with reference to drawings. In addition, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as FIG. 14, and the detailed description is abbreviate | omitted.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련되는 기판검사장치의 구성을 나타내는 사시도이다. 이 기판검사장치는 액정디스플레이나 플라즈마디스플레이 등의 플랫패널디스플레이(FPD)의 유리기판을 검사한다. 도 1에 있어서 장치본체(201) 위에는 검사대상의 유리기판(8)을 홀딩하는 홀더프레임(2)이 설치되어 있다.1 is a perspective view showing a configuration of a substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention. The substrate inspection apparatus inspects a glass substrate of a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display or a plasma display. In FIG. 1, a holder frame 2 for holding the glass substrate 8 to be inspected is provided on the apparatus main body 201.

홀더프레임(2)은 4각형상의 프레임을 이루고 있고, 그 둘레가장자리부에서 대형유리기판(8)을 흡착 홀딩한다. 홀더프레임(2)에 있어서 그 둘레가장자리부에 둘러싸인 공간부는 4각형상을 이루고, 상기 공간부의 면적은 대형유리기판(8)의 면적보다 약간 작다. 또 홀더프레임(2)의 둘레가장자리부를 따라서 도시하지 않는 복수의 흡착패드가 설치되어 있고, 도시하지 않는 진공펌프에 의해 유리기판(8)의 둘레가장자리부가 홀더프레임(2) 표면에 흡착되는 것으로 유리기판(8)이 홀더프레임 (2) 위에서 탈락하지 않도록 홀딩된다. 또한 홀더프레임(2)의 상세한 구성에대해서는 후술한다.The holder frame 2 constitutes a quadrangular frame, and suction-holds the large glass substrate 8 at its peripheral portion. In the holder frame 2, the space portion surrounded by the circumferential portion forms a quadrangular shape, and the area of the space portion is slightly smaller than that of the large glass substrate 8. In addition, a plurality of suction pads (not shown) are provided along the periphery of the holder frame 2, and the periphery of the glass substrate 8 is attracted to the surface of the holder frame 2 by a vacuum pump (not shown). The substrate 8 is held so as not to fall off on the holder frame 2. In addition, the detailed structure of the holder frame 2 is mentioned later.

도 1에 나타내는 바와 같이 장치본체(201) 위에는 홀더프레임(2)의 양측가장자리를 따라서 Y축방향으로 1쌍의 가이드레일(202, 202)이 평행으로 배치되어 있다. 또 홀더프레임(2)의 위쪽에는 이 홀더프레임(2)을 걸치도록 문기둥형의 관찰유니트지지부(203)가 배치되어 있다. 이 관찰유니트지지부(203)는 가이드레일(202, 202)을 따라서 유리기판(8)의 윗쪽 즉, 수평인 상태로 홀딩된 홀더프레임(2)의 위쪽을 Y축방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.As shown in FIG. 1, a pair of guide rails 202 and 202 are arranged in parallel on the device body 201 in the Y-axis direction along both edges of the holder frame 2. Moreover, above the holder frame 2, the door-shaped observation unit support part 203 is arrange | positioned so that the holder frame 2 may be caught. The observation unit support part 203 is provided along the guide rails 202 and 202 so as to be movable above the glass substrate 8, that is, above the holder frame 2 held in a horizontal state in the Y-axis direction. .

관찰유니트지지부(203)에는 관찰유니트(204)이 관찰유니트지지부(203)의 이동방향 (Y축방향)에 대해 직교하는 방향(X축방향)으로 도시하지 않는 가이드레일을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한 관찰유니트지지부(203)에는 관찰유니트 (204)의 이동라인에 대향하도록 투과라인조명광원(205)이 설치되어 있다. 이 투과라인조명광원(205)은 홀더프레임(2) 아래쪽을 통과하는 지지부(203)의 뒤판(206) 위에 X축방향을 따라서 배치되어 있다. 투과라인조명광원(205)은 유리기판(8)의 아래쪽으로부터 직선상의 투과조명을 실시하는 것으로 관찰유니트지지부(203)와 함께 Y축방향으로 이동 가능하다.The observation unit support part 203 is supported by the observation unit 204 so that it can move along the guide rail which is not shown in the direction (X-axis direction) orthogonal to the movement direction (Y-axis direction) of the observation unit support part 203. have. In addition, the transmission unit illumination light source 205 is provided in the observation unit support 203 so as to face the moving line of the observation unit 204. The transmission line illumination light source 205 is disposed along the X-axis direction on the back plate 206 of the support portion 203 passing below the holder frame 2. The transmission line illumination light source 205 is movable in the Y-axis direction together with the observation unit support 203 by performing linear transmission illumination from the lower side of the glass substrate 8.

관찰유니트(204)는 지표용조명광원(207)을 설치한 미크로관찰유니트(208)와 매크로관찰용의 부분매크로조명광원(209)을 갖고 있다. 지표용조명광원(207)은 유리기판(8) 위의 결함위치를 특정하기 위한 것으로 광학적으로 집광된 스포트광을 유리기판(8) 표면에 투광한다.The observation unit 204 has a micro observation unit 208 provided with the surface illumination light source 207 and a partial macro illumination light source 209 for macro observation. The surface illumination light source 207 is for specifying the defect position on the glass substrate 8 and transmits the optically focused spot light onto the surface of the glass substrate 8.

미크로관찰유니트(208)는 대물렌즈(211), 접안렌즈(212) 및 도시하지 않는낙사(落射)조명광원을 갖는 현미경기능을 구비하고 있고, 검사자는 유리기판(8) 표면의 상(像)을 대물렌즈(211)를 통하여 접안렌즈(212)에 의해 관찰할 수 있다. 또 미크로관찰유니트(208)에는 삼안경통을 통하여 TV카메라(213)가 부착되어 있다. TV카메라(213)는 대물렌즈(211)에 의해 얻어지는 유리기판(8) 표면의 관찰상을 촬상하여 제어부(221)로 보낸다. 제어부(221)는 TV카메라(213)로 촬상된 관찰상을 TV모니터 (222)에 표시한다. 제어부(221)에는 검사자가 동작지시나 데이터입력을 실시하기 위한 입력부(223)가 접속되어 있다.The micro observation unit 208 has a microscope function having an objective lens 211, an eyepiece 212, and a non-illustrated illuminating light source, and the inspector has an image on the surface of the glass substrate 8. This can be observed by the eyepiece 212 through the objective lens 211. The micro observation unit 208 has a TV camera 213 attached through a trinocular tube. The TV camera 213 captures an observation image of the surface of the glass substrate 8 obtained by the objective lens 211 and sends it to the control unit 221. The controller 221 displays the observation image captured by the TV camera 213 on the TV monitor 222. The control unit 221 is connected to an input unit 223 for the operator to perform an operation instruction or data input.

부분매크로조명광원(209)은 매크로관찰에 이용되는 것이고, 수평상태로 홀딩된 홀더프레임(2) 위의 유리기판(8) 표면의 일부분을 매크로조명광으로 조사한다. 또한 도시하지 않는 전체면 매크로조명광원을 이용하여 유리기판(8) 표면 전체의 매크로관찰을 실시하는 경우는 유리기판(8)을 홀딩한 홀더프레임(2)을 요동시키는데, 그 기구에 대해서는 도시를 생략한다.The partial macro illumination light source 209 is used for macro observation and irradiates a part of the surface of the glass substrate 8 on the holder frame 2 held in a horizontal state with macro illumination light. In addition, when performing macro observation of the entire surface of the glass substrate 8 using a whole surface macro illumination light source (not shown), the holder frame 2 holding the glass substrate 8 is rocked. Omit.

도 2는 상기 기판검사장치에 이용되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면이다. 기판홀더(1)는 4각형의 프레임상으로 형성된 홀더프레임(2)으로 이루어진다. 이 홀더프레임(2)에는 1쌍의 가동기준핀기구(10, 11)가 설치되어 있다. 이 1쌍의 가동기준핀기구(10, 11)는 도 14에 나타낸 소형유리기판(피홀딩체)(9)에 대응한 기준위치를 설정한다. 이들 가동기준핀기구(10, 11)는 각각 홀더프레임(2)에 있어서의 검사자에 대해 안쪽측과 앞쪽측의 프레임에 대향하여 배치되어 있다. 가동기준핀기구(10, 11)는 기판사이즈의 전환지시에 따라서 각각 가동기준핀(101, 111)을 퇴피위치 또는 기준위치에 가동 제어하는 기능을 갖는다. 즉, 가동기준핀(101,111)이 상기 기준위치에 가동되는 것으로 소형유리기판(9)에 대한 기준위치가 자동적으로 설정된다. 또 홀더프레임(2)에 있어서의 검사자에 대해 안쪽측과 앞쪽측의 프레임에는 각각 상기 퇴피위치에 상당하는 장소에 U자형의 퇴피용구멍(14, 15)이 형성되어 있다.2 is a diagram showing the configuration of a substrate holder used in the substrate inspection apparatus. The substrate holder 1 is composed of a holder frame 2 formed in a quadrangular frame shape. The holder frame 2 is provided with a pair of movable reference pin mechanisms 10 and 11. The pair of movable reference pin mechanisms 10 and 11 set reference positions corresponding to the small glass substrates (holding bodies) 9 shown in FIG. These movable reference pin mechanisms 10 and 11 are arranged to face the inner and front frames relative to the inspector in the holder frame 2, respectively. The movable reference pin mechanisms 10 and 11 have a function of operatively controlling the movable reference pins 101 and 111 to the retracted position or the reference position, respectively, in accordance with the switching instruction of the substrate size. That is, the reference position with respect to the small glass substrate 9 is automatically set by moving the movable reference pins 101 and 111 to the reference position. In addition, U-shaped evacuation holes 14 and 15 are formed in the inner and front frames of the holder frame 2 at the positions corresponding to the evacuation positions, respectively.

도 3a는 가동기준핀기구(11(10))의 구체적인 구성을 나타내는 도면이고, 도 3b는 L자형암의 평면도와 측단면도이다. 도 3a에서는 홀더프레임(2)의 앞쪽측(검사자측)의 프레임내에 배치된 가동기준핀기구(11)를 나타내고 있다.3A is a view showing a specific configuration of the movable reference pin mechanism 11 (10), and FIG. 3B is a plan view and a side cross-sectional view of the L-shaped arm. In FIG. 3A, the movable reference pin mechanism 11 arrange | positioned in the frame of the front side (inspector side) of the holder frame 2 is shown.

가동기준핀기구(11(10))는 L자형암(102)을 구비하고 있다. 도 3b에 나타내는 바와 같이 L자형암(102)의 자유단부 상면에는 볼베어링의 둘레면에 내마모성수지(예를 들면 폴리이미드, 푸리에테르·케톤 등)를 입힌 가동기준핀(111(101))이 회전 자유롭게 설치되어 있다. L자형암(102)의 기단부 하면에는 가동핀(103)(볼베어링)이 회전 자유롭게 설치되어 있다. 또 홀더프레임(2)내에는 에어실린더(104)가 설치되어 있다.The movable reference pin mechanism 11 (10) is provided with an L-shaped arm 102. As shown in FIG. 3B, the movable reference pin 111 (101) coated with a wear-resistant resin (for example, polyimide, a free ether ketone, etc.) is rotated on the upper surface of the free end of the L-shaped arm 102 as shown in FIG. It is installed freely. On the lower surface of the proximal end of the L-shaped arm 102, a movable pin 103 (ball bearing) is rotatably provided. In the holder frame 2, an air cylinder 104 is provided.

에어실린더(104)는 직선운동 가능한 2개의 실린더로드(105, 105)를 갖고 있다. 실린더로드(105, 105)의 선단부에는 직선운동·회전운동변환부재(106)가 부착되어 있다. 직선운동·회전운동변환부재(106)에는 긴구멍(107)이 설치되어 있고, 이 긴구멍(107)에 가동핀(103)이 삽입되어 있다. L자형암(102)의 굴곡부에는 베어링을 통하여 회전축(108)이 설치되어 있다. L자형암(102)은 회전축(108)을 중심으로 하여 화살표 a방향으로 회전운동 자유롭게 배치되어 있다.The air cylinder 104 has two cylinder rods 105 and 105 capable of linear movement. The linear motion / rotational motion converting member 106 is attached to the distal end of the cylinder rods 105 and 105. A long hole 107 is provided in the linear motion / rotational motion converting member 106, and a movable pin 103 is inserted into the long hole 107. The bent portion of the L-shaped arm 102 is provided with a rotating shaft 108 through a bearing. The L-shaped arm 102 is disposed freely in the rotational direction in the direction of arrow a about the rotational axis 108.

한편, 홀더프레임(2)의 공간부(2')측의 가장자리에는 L자형암(102)이 회전운동했을 때의 가동기준핀(111(101))의 궤적(軌跡) 위에 U자형의 퇴피용구멍(노치라고도 부른다)(15(14))이 형성되어 있다. 또 홀더프레임(2)내에는 L자형암(102)을 걸어 고정시키기 위한 나사로 이루어지는 스토퍼(16)가 배치되어 있다. 검사자가 스토퍼(16)를 회전시켜서 그 선단부를 빼고 넣는 것으로 L자형암(102)의 걸어고정위치를 미조정할 수 있다. 이에 따라 가동기준핀(111(101))이 세트되는 위치의 기준위치에 대한 오차를 조정할 수 있다.On the other hand, at the edge of the space portion 2 'of the holder frame 2, the U-shaped retractor is placed on the trajectory of the movable reference pin 111 (101) when the L-shaped arm 102 rotates. Holes (also called notches) 15 (14) are formed. In the holder frame 2, a stopper 16 made of a screw for fastening and fixing the L-shaped arm 102 is disposed. The examiner can finely adjust the locking position of the L-shaped arm 102 by rotating the stopper 16 and removing and inserting the tip end thereof. Accordingly, the error of the reference position of the position where the movable reference pin 111 (101) is set can be adjusted.

이상과 같은 구성을 이루는 가동기준핀기구(11(10))에서는 가동기준핀 (111(101))은 소정사이즈의 유리기판, 예를 들면 소형유리기판(9)을 홀딩할 때에 홀더프레임(2)의 내측(공간부측)방향으로 회전운동하여 소형유리기판(9)에 대응한 기준위치에 세트된다. 또한 가동기준핀(111(101))은 상기 소정사이즈 이외의 사이즈의 유리기판, 예를 들면 대형유리기판(8)을 홀딩할 때에 홀더프레임(2)의 외측(앞쪽측(안쪽측)방향으로 회전운동하여 퇴피용구멍(15(14))내로 퇴피된다. 또한 가동기준핀기구(10)는 가동기준핀(11)과 설치장소는 다르나, 동일한 구성을 이루고 있기 때문에 그 구성의 설명은 생략한다.In the movable reference pin mechanism 11 (10) having the above-described configuration, the movable reference pin 111 (101) is a holder frame 2 when holding a glass substrate of a predetermined size, for example, a small glass substrate 9. Is rotated in the direction of the inner side (space side) and is set at a reference position corresponding to the small glass substrate 9. In addition, the movable reference pin 111 (101) is directed toward the outer side (front side (inner side)) of the holder frame 2 when holding a glass substrate having a size other than the predetermined size, for example, a large glass substrate 8. It rotates and is retracted into the retraction hole 15 (14). Moreover, since the movable reference pin mechanism 10 is different from the movable reference pin 11 in the installation place, since it has the same structure, description of the structure is abbreviate | omitted. .

이들 가동기준핀(101, 111)은 후술하는 조작부로부터의 유리기판 사이즈의 전환지시에 의해 자동적으로 소형유리기판(9)의 각 기준위치에 세트되던지, 또는 각 퇴피용구멍(14, 15)내로 퇴피된다.These movable reference pins 101 and 111 are automatically set at the respective reference positions of the small glass substrate 9 by the instruction to switch the glass substrate size from the operation unit described later, or the respective evacuation holes 14 and 15. Escaped to

또한 각 압박핀(4a∼4d)도 가동기준핀(101, 111)과 마찬가지로 에어실린더를 이용한 기구에 의해 구동된다.Each of the pressing pins 4a to 4d is also driven by a mechanism using an air cylinder similarly to the movable reference pins 101 and 111.

도 4는 가동기준핀기구(10, 11)의 구동계의 구성을 나타내는 모식도이다.가동기준핀기구(10, 11)의 각 에어실린더(104, 104)에는 배관(310, 320)이 접속되어 있다. 각 배관(310, 320)에는 각각 밸브(301, 303)와 도출밸브(302, 304)가 설치되어 있다. 각 배관(310, 320)에는 압축공기가 유입된다. 구동부(31)는 각 밸브 (301, 303)와 도출밸브(302, 304)의 개폐구동을 실시한다. 구동부(31)에는 조작부 (32)가 접속되어 있다. 각 에어실린더(104, 104)는 압축공기에 의해 각 L자형암 (102)을 통하여 각 가동기준핀(101, 111)을 각 회전축(108) 둘레에 가동시킨다. 검사자는 구동부(31)에 대해 조작부(19)로부터 유리기판 사이즈의 정보를 입력한다.Fig. 4 is a schematic diagram showing the configuration of the drive system of the movable reference pin mechanisms 10 and 11. The pipes 310 and 320 are connected to the air cylinders 104 and 104 of the movable reference pin mechanisms 10 and 11. . Each of the pipes 310 and 320 is provided with valves 301 and 303 and relief valves 302 and 304, respectively. Compressed air flows into each of the pipes 310 and 320. The drive part 31 performs opening / closing drive of each valve 301,303 and the relief valve 302,304. The operation unit 32 is connected to the drive unit 31. Each of the air cylinders 104 and 104 moves each of the movable reference pins 101 and 111 around each of the rotary shafts 108 through the L-shaped arms 102 by compressed air. The inspector inputs the information of the glass substrate size from the operation unit 19 to the drive unit 31.

상기 구동계에서는 각 가동기준핀기구(10, 11)를 각각 에어실린더(104, 104)에 의해 구동시키고 있다. 그러나 이에 한하지 않고 1개의 에어실린더와 각 가동기준핀기구(10, 11)의 사이에 연결기구를 설치하여 각 L자형암(102)을 회전운동시켜도 좋다. 가동기준핀기구(10, 11)에는 에어실린더 이외에 스테핑모터 등의 각종 액추에이터를 적용할 수 있다.In the drive system, the movable reference pin mechanisms 10 and 11 are driven by the air cylinders 104 and 104, respectively. However, the present invention is not limited thereto, and a connecting mechanism may be provided between one air cylinder and each of the movable reference pin mechanisms 10 and 11 to rotate the L-shaped arms 102. Various actuators, such as a stepping motor, can be applied to the movable reference pin mechanisms 10 and 11, in addition to an air cylinder.

상기 구동계의 제어에 의해 각 가동기준핀(101, 111)은 자동적으로 소형유리기판(9)에 대한 각 기준위치에 세트되던지, 또는 각 퇴피용구멍(14, 15)내로 퇴피된다. 그러나 이에 한하지 않고 각 가동기준핀(101, 111)을 검사자의 수작업에 의해 소형유리기판(9)에 대응하는 기준위치에 세트하던지, 또는 각 퇴피용구멍(14, 15)내로 퇴피시켜도 좋다.By the control of the drive system, each of the movable reference pins 101, 111 is automatically set at each reference position with respect to the small glass substrate 9, or is retracted into each of the evacuation holes 14, 15. However, the movable reference pins 101 and 111 may be set at a reference position corresponding to the small glass substrate 9 by manual inspection by the inspector, or may be evacuated into the evacuation holes 14 and 15.

다음으로 상기와 같이 구성된 기판홀더에서의 기판홀딩작용에 대해서 설명한다.Next, the substrate holding action in the substrate holder constructed as described above will be described.

우선 대형유리기판(8)의 매크로(또는 미크로)관찰을 실시하는 경우, 가동기준핀(101, 111)이 소형유리기판(9)에 대응한 기준위치에 세트되어 있는 것이 검지되었다고 하자. 이 경우, 검사자에 의해 조작부(32)로부터 대형유리기판(8) 사이즈의 정보가 입력되면, 대형유리기판(8)의 사이즈를 나타내는 구동제어신호가 구동부 (31)로 보내진다.First, when macro (or micro) observation of the large glass substrate 8 is performed, it is assumed that the movable reference pins 101 and 111 are set at the reference position corresponding to the small glass substrate 9. In this case, when information of the large glass substrate 8 size is input from the operation unit 32 by the inspector, a drive control signal indicating the size of the large glass substrate 8 is sent to the driving unit 31.

구동부(31)는 각 가동기준핀(101, 111)이 각각 퇴피용구멍(14, 15)내로 퇴피하도록 각 에어실린더(104, 104)를 구동한다. 이 때 구동부(31)는 밸브(301, 301)를 열고, 도출밸브(302, 302)를 닫는 동시에, 밸브(303, 303)를 닫고 도출밸브 (304, 304)를 연다. 이에 따라 각 배관(310)으로부터 각 실린더(104, 104)로 유입하는 압축공기에 의해 각 실린더로드(105, 105)와 함께 각 직선운동·회전운동변환부재(106)가 밀어 내어진다. 그러면 긴구멍(107)내의 가동핀(103)이 긴구멍(107)의 측벽을 따라서 홀더프레임(2)의 내측(공간부측)방향으로 이동한다. 이에 동반하는 각 L자형암(102)이 각 회전축(108) 둘레에 회전운동하기 때문에 각 가동기준핀 (101, 111)은 홀더프레임(2)의 외측(앞쪽측(안쪽측))방향으로 이동한다. 동시에 각 가동기준핀(101, 111)은 각각 퇴피용구멍(14, 15)내로 삽입되고, 각 가동핀(103)이 각 긴구멍(107)의 앞벽에 부딪히는 것으로 정지한다. 이에 따라 각 가동기준핀 (101, 111)이 홀더프레임(2)의 공간부(2')로부터 각각 퇴피용구멍(14, 15)에 퇴피하는 것으로 된다.The drive part 31 drives each air cylinder 104 and 104 so that each movable reference pin 101 and 111 may retract into the evacuation hole 14 and 15, respectively. At this time, the driving unit 31 opens the valves 301 and 301, closes the induction valves 302 and 302, closes the valves 303 and 303, and opens the induction valves 304 and 304. As a result, the linear and rotary motion converting members 106 are pushed out together with the cylinder rods 105 and 105 by the compressed air flowing into the cylinders 104 and 104 from the respective pipes 310. Then, the movable pin 103 in the long hole 107 moves to the inside (space side) direction of the holder frame 2 along the side wall of the long hole 107. As shown in FIG. Since each L-shaped arm 102 is rotated around each of the rotary shafts 108, the movable reference pins 101 and 111 move toward the outer side (front side) of the holder frame 2, respectively. do. At the same time, each of the movable reference pins 101 and 111 is inserted into the evacuation holes 14 and 15, respectively, and stops by hitting each movable pin 103 against the front wall of each of the long holes 107. As a result, each of the movable reference pins 101 and 111 retracts from the space 2 'of the holder frame 2 into the retracting holes 14 and 15, respectively.

도 5a는 상기 기판홀더로 대형유리기판(8)을 홀딩했을 때의 상태를 나타내는 도면이다. 각 가동기준핀(101, 111)이 각각 퇴피용구멍(14, 15)내로 퇴피한 상태에서 대형유리기판(8)은 검사자에 의해 도 5a에 나타내는 바와 같이 홀더프레임(2)에 세트되고, 그 2변이 각각 기준핀(3c, 3d와 3a, 3d)에 맞닿는다. 그러면 압박핀(4a, 4b와 4c, 4d)이 각각 압박방향(f1, f2)으로 밀어내어지고, 대형유리기판 (8)의 2변이 각각 기준핀(3c, 3d와 3a, 3d)에 눌러 놓아진다. 이에 따라 대형유리기판(8)은 각 기준핀(3a∼3d)에 압박되어 위치결정된다.Fig. 5A is a diagram showing a state when the large glass substrate 8 is held by the substrate holder. The large glass substrate 8 is set in the holder frame 2 by the inspector as shown in FIG. 5A with the movable reference pins 101 and 111 evacuated into the evacuation holes 14 and 15, respectively. The two sides abut the reference pins 3c and 3d and 3a and 3d, respectively. Then, the pressing pins 4a, 4b, 4c, and 4d are pushed out in the pressing directions f1 and f2, respectively, and the two sides of the large glass substrate 8 are pressed against the reference pins 3c, 3d, 3a, and 3d, respectively. Lose. Thereby, the large glass substrate 8 is pressed by each reference pin 3a-3d, and is positioned.

다음으로 소형유리기판(9)의 매크로관찰을 실시하는 경우, 검사자에 의해 조작부(32)로부터 소형유리기판(9) 사이즈의 정보가 입력되면, 소형유리기판(9)의 사이즈를 나타내는 구동제어신호가 구동부(31)로 보내진다.Next, in the case of performing macro observation of the small glass substrate 9, when the information of the small glass substrate 9 size is input from the operation unit 32 by the inspector, a drive control signal indicating the size of the small glass substrate 9 is obtained. Is sent to the drive unit 31.

구동부(31)는 각 가동기준핀(101, 111)이 각각 퇴피용구멍(14, 15)내로부터 나와 홀더프레임(2)의 내측(공간부측)의 소형유리기판(9)에 대응한 기준위치에 세트되도록 각 실리더(104, 104)를 구동한다. 이 때 구동부(31)는 밸브(301, 301)를 닫고 도출밸브(302, 302)를 여는 동시에, 밸브(303, 303)를 열고 도출밸브(304, 304)를 닫는다. 이에 따라 각 배관(320)으로부터 각 실린더(104, 104)로 유입하는 압축공기에 의해 각 실린더로드(105, 105)와 함께 각 직선운동·회전운동변환부재(106)가 제자리로 돌아간다. 그러면 긴구멍(107)내의 가동핀(103)이 긴구멍(107)의 측벽을 따라서 홀더프레임(2)의 외측(앞쪽측(안쪽측))방향으로 이동한다. 이에 동반하는 각 L자형암(102)이 각 회전축(108) 둘레에 회전운동하기 때문에 각 가동기준핀 (101, 111)은 홀더프레임(2)의 내측(공간부측)방향으로 회전운동한다. 동시에 각 가동기준핀(101, 111)은 각각 퇴피용구멍(14, 15)내로부터 나와 각 L자형암(102)이 스토퍼(16)에 부딪히는 것으로 정지한다. 이에 따라 각 가동기준핀(101, 111)이 각각 퇴피용구멍(14, 15)으로부터 나와 소형유리기판(9)에 대응한 기준위치에 세트되는 것으로 된다.The driving unit 31 has a reference position corresponding to the small glass substrate 9 on the inner side (the space side) of the holder frame 2 with the movable reference pins 101 and 111 coming out of the evacuation holes 14 and 15, respectively. Each cylinder 104, 104 is driven to be set to. At this time, the driving unit 31 closes the valves 301 and 301 and opens the induction valves 302 and 302, simultaneously opens the valves 303 and 303 and closes the induction valves 304 and 304. As a result, the compressed air flowing into the cylinders 104 and 104 from the pipes 320 returns the linear and rotary motion converting members 106 together with the cylinder rods 105 and 105. Then, the movable pin 103 in the long hole 107 moves to the outer side (front side (inner side)) direction of the holder frame 2 along the side wall of the long hole 107. As shown in FIG. Since each of the accompanying L-shaped arm 102 is rotated around each of the rotary shaft 108, each movable reference pin (101, 111) is rotated in the inner (space side) direction of the holder frame (2). At the same time, each of the movable reference pins 101 and 111 exits from the evacuation holes 14 and 15, respectively, and stops by hitting the stopper 16 with each L-shaped arm 102. As shown in FIG. As a result, each of the movable reference pins 101 and 111 comes out of the evacuation holes 14 and 15, respectively, and is set at the reference position corresponding to the small glass substrate 9, respectively.

도 5b는 상기 기판홀더로 소형유리기판을 홀딩했을 때의 상태를 나타내는 도면이다. 각 가동기준핀(101, 111)이 각각 홀더프레임(2)의 내측(공간부측)의 소형유리기판(9)에 대응하는 기준위치에 세트된 상태에서 소형유리기판(9)이 도 5b에 나타내는 바와 같이 홀더프레임(2)에 세트되고, 그 2변이 각각 기준핀(3d)과 각 가동기준핀(101, 111)에 맞닿는다. 그러면 압박핀(4b와 4c, 4d)이 각각 압박방향(f1, f2)으로 밀어내어지고, 소형유리기판(9)의 2변이 각각 기준핀(3d)과 각 가동기준핀 (101, 111)에 눌러 놓아진다. 이에 따라 소형유리기판(9)은 기준핀(3d)과 각 가동기준핀(101, 111)에 압박되어 위치결정된다.5B is a view showing a state when the small glass substrate is held by the substrate holder. The small glass substrate 9 is shown in Fig. 5B in a state where each of the movable reference pins 101, 111 is set at a reference position corresponding to the small glass substrate 9 on the inner side (space side) of the holder frame 2, respectively. As set in the holder frame 2, the two sides abut against the reference pin 3d and the movable reference pins 101 and 111, respectively. Then, the pressing pins 4b, 4c, and 4d are pushed out in the pressing directions f1 and f2, respectively, and two sides of the small glass substrate 9 are attached to the reference pins 3d and the movable reference pins 101, 111, respectively. Is released. Accordingly, the small glass substrate 9 is pressed by the reference pins 3d and the movable reference pins 101 and 111 to be positioned.

또한 도 6a, 6b에 나타내는 바와 같이 가동기준핀과 압박핀을 겸용하는 핀(101'. 111')을 설치해도 좋다. 이들 핀(101', 111')은 소형유리기판이 압박되는 가동기준핀 또는 소형유리기판을 압박하는 압박핀으로서 기판사이즈에 대응하여 선택적으로 동작된다. 핀(101', 111')은 대형유리기판(8)의 관찰을 실시하는 경우, 도 6a에 나타내는 바와 같이 각각 퇴피용구멍(14, 15)으로 퇴피된다. 또 핀(101', 111')은 소형유리기판(9)의 관찰을 실시하는 경우, 도 6b에 나타내는 바와 같이 각각 퇴피용구멍(14, 15)으로부터 나와 소형유리기판(9)을 각 기준핀(3a, 3b)에 압박하는 것이 가능하다.As shown in Figs. 6A and 6B, the pins 101 'and 111' may be provided which combine the movable reference pin and the pressing pin. These pins 101 'and 111' are selectively operated according to the substrate size as the movable reference pins on which the small glass substrate is pressed or the pressing pins for pressing the small glass substrate. The fins 101 'and 111' are evacuated to the evacuation holes 14 and 15, respectively, when the large glass substrate 8 is observed. When the pins 101 'and 111' are observed on the small glass substrate 9, as shown in Fig. 6B, the pins 101 'and 111' respectively exit from the retracting holes 14 and 15, and the small glass substrates 9 are each reference pins. It is possible to press on 3a and 3b.

이상과 같이 본 제 1 실시형태에서는 소형유리기판(9)을 홀딩할 때에 가동기준핀(101, 111)을 홀더프레임(2)의 내측으로 회전운동하여 소형유리기판(9)에 대응한 기준위치에 세트하고, 또한 대형유리기판(8)을 홀딩할 때에 가동기준핀(101, 111)을 홀더프레임(2)의 외측으로 회전운동하여 퇴피용구멍(14)내로 퇴피시키는 기구를 설치했다. 이에 따라 관찰대상이 대형유리기판(8) 또는 소형유리기판(9)으로 변경되어도 각 가동기준핀(101, 111)을 회전운동시켜서 해당하는 사이즈의 유리기판에 대한 기준핀을 자동적으로 설정하고, 대형유리기판(8) 또는 소형유리기판(9)에 대응하는 기준위치에 정렬 배치할 수 있다. 게다가 기준핀의 자동적인 설정에 의해 관찰에 걸리는 시간도 단축할 수 있고, 검사자가 수작업을 할 필요가 없기 때문에 먼지나 티끌이 나오지 않는다.As described above, in the first embodiment, when the small glass substrate 9 is held, the movable reference pins 101 and 111 are rotated to the inside of the holder frame 2 so as to correspond to the small glass substrate 9. And the movable reference pins 101 and 111 are rotated to the outside of the holder frame 2 when the large glass substrate 8 is held, and a mechanism for evacuating into the evacuation hole 14 is provided. Accordingly, even if the observation target is changed to the large glass substrate 8 or the small glass substrate 9, the movable pins 101 and 111 are rotated to automatically set the reference pin for the glass substrate of the corresponding size. It can be arranged in a reference position corresponding to the large glass substrate 8 or the small glass substrate 9. In addition, the automatic setting of the reference pins can shorten the time required for observation, and no dust or dirt is generated since the inspector does not need to perform manual work.

또한 각 가동기준핀(101, 111)을 검사자의 수작업에 의해 설정하는 것도 가능하고, 각 가동기준핀(101, 111)을 회전운동시키는 것 뿐이므로 손이 많이 가지 않고, 간단한 작업으로 설정할 수 있다.In addition, it is also possible to set each of the movable reference pins 101 and 111 by manual inspection by the inspector, and it is possible to set the movable reference pins 101 and 111 simply by rotating the motion so that it does not take much hands and can be set in a simple operation. .

또 본 제 1 실시형태에서는 유리기판 사이즈의 조작입력을 받아서 자동적으로 대형유리기판(8) 또는 소형유리기판(9)에 따른 기준핀을 설정하고 있다. 이에 따라 관찰의 대상이 대형유리기판(8) 또는 소형유리기판(9)으로 변경되어도 이들 유리기판(8, 9)에 대응한 위치의 기준핀이 틀림없이 설정된다.In the first embodiment, a reference pin corresponding to the large glass substrate 8 or the small glass substrate 9 is automatically set in response to the operation input of the glass substrate size. Accordingly, even if the object of observation is changed to the large glass substrate 8 or the small glass substrate 9, the reference pins at the positions corresponding to these glass substrates 8 and 9 are surely set.

또 대형유리기판(8)을 투과광으로 관찰하는 경우에는 가동기준핀(101, 111)을 각각 홀더프레임(2)의 외측으로 회전운동하여 퇴피용구멍(14, 15)내로 퇴피시키고 있다. 이에 따라 가동기준핀(101, 111)이 대형유리기판(8)의 투과광관찰을 방해하는 일은 없다.In the case of observing the large glass substrate 8 with transmitted light, the movable reference pins 101 and 111 are rotated to the outside of the holder frame 2, respectively, and are evacuated into the evacuation holes 14 and 15. Accordingly, the movable reference pins 101 and 111 do not disturb the transmission light observation of the large glass substrate 8.

다음으로 본 발명의 제 2 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. 또한 각도면에 있어서 도 2와 동일한 부분에는 동일부호를 붙여서 그 상세한 설명은 생략한다.Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the part same as FIG. 2 in an angle surface, The detailed description is abbreviate | omitted.

도 7a, 도 7b는 본 발명의 제 2 실시형태에 관련되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면이다. 홀더프레임(2)에는 복수쌍(두쌍)의 가동기준핀기구(10, 11)가 설치되고, 복수조(2조)의 가동기준핀(121, 122와 123, 124)이 설치되어 있다. 이들 가동기준핀(121, 122와 123, 124)은 각각 제 1 소형유리기판(20)과 제 2 소형유리기판 (21)의 각 기준위치를 설정한다.7A and 7B are views showing the structure of a substrate holder according to the second embodiment of the present invention. The holder frame 2 is provided with a plurality of pairs (two pairs) of the movable reference pin mechanisms 10 and 11, and a plurality of pairs (two sets) of the movable reference pins 121, 122, 123, and 124. These movable reference pins 121, 122, 123, and 124 set respective reference positions of the first small glass substrate 20 and the second small glass substrate 21, respectively.

1쌍의 가동기준핀(121, 122)은 제 1 소형유리기판(20)의 기준위치를 설정한다. 다른 1쌍의 가동기준핀(123, 124)은 제 1 소형유리기판(20)의 사이즈보다도 큰 사이즈의 제 2 소형유리기판(21)의 기준위치를 설정한다. 이들 가동기준핀(121∼124)과 그 구동기구는 상기 제 1 실시형태에서 나타낸 가동기준핀(101, 111)의 경우와 같은 구성이고, 그 상세한 설명은 생략한다.The pair of movable reference pins 121 and 122 set the reference position of the first small glass substrate 20. The other pair of movable reference pins 123 and 124 set the reference position of the second small glass substrate 21 having a size larger than that of the first small glass substrate 20. These movable reference pins 121 to 124 and their driving mechanisms are the same as those of the movable reference pins 101 and 111 shown in the first embodiment, and their detailed description is omitted.

이들 가동기준핀(121, 122와 123, 124)은 각각 소정사이즈의 소형유리기판 (20, 21)을 홀딩할 때에 홀더프레임(2)의 내측방향으로 회전운동하여 기준위치에 세트된다. 또한 가동기준핀(121∼124)은 소정사이즈 이외의 사이즈의 유리기판, 즉 대형유리기판(8)을 홀딩할 때에 홀더프레임(2)의 외측으로 회전운동하여 각 퇴피용구멍(131, 132, 133, 134)내로 퇴피한다.These movable reference pins 121, 122, 123, and 124 are set at reference positions by rotating inwardly of the holder frame 2 when holding the small glass substrates 20, 21 of predetermined sizes, respectively. In addition, the movable reference pins 121 to 124 are rotated to the outside of the holder frame 2 when holding the glass substrate having a size other than the predetermined size, that is, the large glass substrate 8, and the respective evacuation holes 131, 132, 133, 134).

또 이들 가동기준핀(121∼124)은 상기 제 1 실시형태에 나타낸 바와 같이 실린더 등으로 이루어지는 구동기구에 의해 구동된다. 즉, 구동부(31)가 검사자에 의해 조작부(32)로부터 입력된 유리기판 사이즈의 정보를 받아서 실린더(104)를 구동하고, L자형암(102)을 통하여 가동기준핀(121∼124)을 자동적으로 회전운동한다.These movable reference pins 121 to 124 are driven by a drive mechanism made of a cylinder or the like as shown in the first embodiment. That is, the drive unit 31 receives the information of the glass substrate size input from the operation unit 32 by the inspector, drives the cylinder 104, and automatically moves the movable reference pins 121 to 124 through the L-shaped arm 102. Rotate to

다음으로 상기와 같이 구성된 홀더기구에서의 기판홀딩작용에 대해서 설명한다.Next, the substrate holding action in the holder mechanism constructed as described above will be described.

우선, 대형유리기판(8)의 관찰을 실시하는 경우, 검사자에 의해서 조작부 (32)로부터 대형유리기판(8) 사이즈의 정보가 입력된다. 그리고 상기 제 1 실시형태와 마찬가지로 각 가동기준핀(121, 122와 123, 124)은 각 실린더(104)에 의해 각 L자형암(102)이 각 회전축(108) 주위에 회전운동함으로써 각각 퇴피용구멍(131, 132, 133, 134)내로 퇴피한다.First, when observing the large glass substrate 8, information of the large glass substrate 8 size is input from the operation unit 32 by the inspector. As in the first embodiment, each of the movable reference pins 121, 122, 123, and 124 is used for evacuation by rotating each L-shaped arm 102 around each of the rotary shafts 108 by the respective cylinders 104. Retract into holes 131, 132, 133, and 134.

이 상태에서 대형유리기판(8)은 도 5a, 도 6a에 나타낸 것과 마찬가지로 홀더프레임(2)에 세트되고, 그 2변이 각각 기준핀(3c, 3d와 3a, 3d)에 맞닿아지는 동시에 각 압박핀(4a, 4b와 4c, 4d)에 의한 각 압박방향(f1, f2)의 압박력에 의해 각 기준핀(3c, 3d와 3a, 3d)에 압박된다.In this state, the large glass substrate 8 is set on the holder frame 2 as shown in Figs. 5A and 6A, and the two sides are brought into contact with the reference pins 3c, 3d, 3a, and 3d, respectively, and each pressing The pressing force in each pressing direction f1 and f2 by the pins 4a, 4b and 4c and 4d is pressed against the respective reference pins 3c, 3d and 3a and 3d.

다음으로 제 1 소형유리기판(20)의 관찰을 실시하는 경우, 검사자에 의해서 조작부(32)로부터 제 1 소형유리기판(20) 사이즈의 정보가 입력되면 제 1 소형유리기판(20)의 사이즈를 나타내는 구동제어신호가 구동부(31)로 보내진다.Next, in the case of observing the first small glass substrate 20, when the size information of the first small glass substrate 20 is input from the operation unit 32 by the inspector, the size of the first small glass substrate 20 is determined. The drive control signal shown is sent to the drive unit 31.

구동부(31)는 도 7a에 나타내는 바와 같이 각 가동기준핀(121, 122)이 각각 퇴피용구멍(131, 132)내로부터 나와 홀더프레임(2) 내측의 제 1 소형유리기판(20)에 대응한 기준위치에 세트되도록 각 실린더(104, 104)를 구동한다. 이에 따라 각 가동기준핀(121, 122)이 각 실린더(104)에 의해 각 L자형암(102)이 각 회전축(108) 주위에 회전운동함으로써 각각 퇴피용구멍(131, 132)으로부터 나와지고, 제 1 소형유리기판(20)에 대응한 기준위치에 세트된다. 이 때 다른 각 가동기준핀(123, 124)은 각각의 퇴피용구멍(133, 134)내로 퇴피하고 있다.As shown in FIG. 7A, the driving unit 31 corresponds to the first small glass substrate 20 inside the holder frame 2 by each of the movable reference pins 121 and 122 coming out of the evacuation holes 131 and 132, respectively. Each cylinder 104, 104 is driven to be set at one reference position. Accordingly, each of the movable reference pins 121 and 122 is released from the evacuation holes 131 and 132 by rotating the L-shaped arms 102 around the rotary shaft 108 by the cylinders 104, respectively. It is set at a reference position corresponding to the first small glass substrate 20. At this time, the other movable reference pins 123 and 124 are evacuated into respective evacuation holes 133 and 134.

이 상태에서 제 1 소형유리기판(20)은 도 7a에 나타내는 바와 같이 홀더프레임(2)에 세트되고, 그 2변이 각각 기준핀(3d)과 각 가동기준핀(121, 122)에 맞닿아지는 동시에 각 압박핀(4b와 4c, 4d)에 의한 각 압박방향(f1, f2)의 압박력에 의해 기준핀(3d)과 각 가동기준핀(121, 122)에 압박된다.In this state, the first small glass substrate 20 is set in the holder frame 2 as shown in Fig. 7A, and the two sides thereof come into contact with the reference pins 3d and the movable reference pins 121 and 122, respectively. At the same time, pressure is applied to the reference pins 3d and the movable reference pins 121 and 122 by the pressing force in the pressing directions f1 and f2 by the pressing pins 4b, 4c, and 4d.

다음으로 제 2 소형유리기판(21)의 관찰을 실시하는 경우, 검사자에 의해 조작부(32)로부터 제 2 소형유리기판(21) 사이즈의 정보가 입력되면 제 2 소형유리기판(21)의 사이즈를 나타내는 구동제어신호가 구동부(31)로 보내진다.Next, in the case of observing the second small glass substrate 21, if the size information of the second small glass substrate 21 is inputted from the operation unit 32 by the inspector, the size of the second small glass substrate 21 is determined. The drive control signal shown is sent to the drive unit 31.

구동부(31)는 도 7b에 나타내는 바와 같이 각 가동기준핀(123, 124)이 각각 퇴피용구멍(133, 134)내로부터 나와 홀더프레임(2) 내측의 제 2 소형유리기판(21)에 대응한 기준위치에 세트되도록 각 실린더(104, 104)를 구동한다. 이에 따라 각 가동기준핀(123, 124)이 각 실린더(104)에 의해 각 L자형암(102)이 각 회전축(108) 주위에 회전운동함으로써 각각 퇴피용구명(133, 134)으로 부터 나와 제 2 소형유리기판(21)에 대응한 기준위치에 세트된다. 이 때 다른 각 가동기준핀(121, 122)은 각각의 퇴피용구멍(131, 132)내로 퇴피하고 있다.As shown in FIG. 7B, the driving unit 31 corresponds to the second small glass substrate 21 inside the holder frame 2 by each of the movable reference pins 123 and 124 coming out of the evacuation holes 133 and 134, respectively. Each cylinder 104, 104 is driven to be set at one reference position. Accordingly, each of the movable reference pins 123 and 124 is moved out of the evacuation tool names 133 and 134 by rotating the L-shaped arms 102 around the rotary shaft 108 by the respective cylinders 104. 2 is set at a reference position corresponding to the small glass substrate 21. At this time, the other movable reference pins 121 and 122 are evacuated into the respective evacuation holes 131 and 132.

이 상태에서 제 2 소형유리기판(21)은 도 7b에 나타내는 바와 같이 홀더프레임(2)에 세트되고, 그 2변이 각각 기준핀(3d)과 각 가동기준핀(123, 124)에 맞닿아지는 동시에 각 압박핀(4b와 4c, 4d)에 의한 각 압박방향(f1, f2)의 압박력에 의해 기준핀(3d)과 각 가동기준핀(123, 124)에 압박된다.In this state, the second small glass substrate 21 is set in the holder frame 2 as shown in Fig. 7B, and the two sides thereof come into contact with the reference pins 3d and the movable reference pins 123 and 124, respectively. At the same time, pressure is applied to the reference pin 3d and the movable reference pins 123 and 124 by the pressing force in each pressing direction f1 and f2 by the pressing pins 4b, 4c, and 4d.

이상과 같이 본 제 2 실시형태에서는 대형유리기판(8) 외에 복수 사이즈의 유리기판, 예를 들면 제 1 소형유리기판(20) 및 제 2 소형유리기판(21)의 기준위치를 설정하기 위한 각 가동기준핀(121∼124)을 설치했다. 이에 따라 복수 사이즈의 유리기판에 대응하는 기준핀을 틀림없이 또한 자동적으로 설정할 수 있다. 게다가 기준핀의 자동적인 설정에 의해 관찰에 걸리는 시간도 단축할 수 있고, 검사자가 수작업을 할 필요가 없기 때문에 먼지나 티끌이 나오지 않는다.As described above, in the second embodiment, the angles for setting the reference positions of the plurality of glass substrates, for example, the first small glass substrate 20 and the second small glass substrate 21, in addition to the large glass substrate 8 are different. The movable reference pins 121-124 were provided. Thereby, the reference pins corresponding to the glass substrates of the plurality of sizes can be surely and automatically set. In addition, the automatic setting of the reference pins can shorten the time required for observation, and no dust or dirt is generated since the inspector does not need to perform manual work.

다음으로 본 발명의 제 3 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 8a, 도 8b는 본 발명의 제 3 실시형태에 관련되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면이다. 홀더프레임(2)에는 I자형상의 가동기준판(30)이 가로방향(X방향)으로 이동 자유롭게 설치되어 있다. 이 가동기준판(30)에는 예를 들면 2개의 가동기준핀(30a, 30b)이 소정간격으로 설치되어 있다. 이 가동기준판(30)은 가로방향으로 이동함으로써 도 8b에 나타내는 바와 같이 소정사이즈의 유리기판(33)의 기준위치를 설정한다. 또한 도 8a에 나타내는 바와 같이 가동기준판(30)을 도면상 맨우측으로 이동시키면 각 가동기준핀(30a, 30b)이 대형유리기판(8)의 기준위치에 세트된다.8A and 8B show the structure of a substrate holder according to a third embodiment of the present invention. The holder frame 2 is provided with an I-shaped movable reference plate 30 freely movable in the horizontal direction (X direction). The movable reference plate 30 is provided with two movable reference pins 30a and 30b at predetermined intervals, for example. The movable reference plate 30 moves in the horizontal direction to set the reference position of the glass substrate 33 of a predetermined size as shown in Fig. 8B. As shown in Fig. 8A, when the movable reference plate 30 is moved to the far right side in the drawing, each movable reference pin 30a, 30b is set at the reference position of the large glass substrate 8.

도 9a는 가동기준판(30)의 구동기구의 구성을 나타내는 모식도이고, 도 9b는 그 측단면도이다. 가동기준판(30)의 일단부는 이송나사(34)에 나사 결합하고, 양단부근의 각부(脚部)(301, 301)가 각각 베어링 등을 통하여 레일(35, 35) 위에 얹어 있다. 이들 이송나사(34)와 레일(35)은 홀더프레임(2)내에 수납되어 있다. 이송나사(34)는 모터(스테핑모더)(37)의 회전축에 연결되어 있다. 모터(37)는 모터제어부 (36)에 의해 구동된다. 모터제어부(36)에는 조작부(38)가 접속되어 있다.9A is a schematic diagram showing the configuration of a drive mechanism of the movable reference plate 30, and FIG. 9B is a side cross-sectional view thereof. One end of the movable reference plate 30 is screwed to the feed screw 34, and the respective parts 301 and 301 near both ends are mounted on the rails 35 and 35 via bearings and the like, respectively. These transfer screws 34 and rails 35 are housed in the holder frame 2. The feed screw 34 is connected to the rotating shaft of the motor (stepping moder) 37. The motor 37 is driven by the motor control unit 36. The operation unit 38 is connected to the motor control unit 36.

조작부(38)에는 검사자에 의해서 유리기판의 사이즈가 조작 입력된다. 모터제어부(36)는 조작부(38)로부터 조작 입력된 유리기판의 사이즈에 따라서 모터(37)의 구동시간을 제어하고, 가동기준판(30)을 이동시키며, 각 가동기준핀(30a, 30b)을 해당 유리기판의 기준위치에 세트한다.The size of the glass substrate is operationally input to the operation unit 38 by the inspector. The motor control unit 36 controls the driving time of the motor 37 according to the size of the glass substrate operated and input from the operation unit 38, moves the movable reference plate 30, and each of the movable reference pins 30a and 30b. Is set at the reference position of the glass substrate.

또한 가동기준판(30)을 전동(電動)으로 이동시키는 이외에 부설(敷設)된 2개의 레일에 가동기준판(30)의 각부(301, 301)를 올려 놓고 검사자의 수작업에 의해 가동기준판(30)을 이동하여 각 가동기준핀(30a, 30b)을 해당 유리기판의 기준위치에 설정하도록 해도 좋다.In addition to moving the movable reference plate 30 by electric movement, the respective parts 301 and 301 of the movable reference plate 30 are placed on two rails which are installed, and the movable reference plate 30 30) may be moved to set each of the movable reference pins 30a and 30b at a reference position of the glass substrate.

다음으로 상기와 같이 구성된 기판홀더에서의 기판홀딩작용에 대해서 설명한다.Next, the substrate holding action in the substrate holder constructed as described above will be described.

검사자에 의해 조작부(38)로부터 특정사이즈의 유리기판(33) 사이즈의 정보가 입력되면, 특정사이즈의 유리기판(33) 사이즈를 나타내는 구동제어신호가 모터제어부(36)로 보내진다. 모터제어부(36)는 입력된 유리기판(33)의 사이즈에 따라서 모터(37)를 제어하고, 이송나사(34)를 회전시킴으로써 가동기준판(30)을 이동시키며, 각 가동기준핀(30a, 30b)을 해당 유리기판의 기준위치에 세트한다.When information of the size of the glass substrate 33 of the specific size is input from the operation unit 38 by the inspector, a drive control signal indicating the size of the glass substrate 33 of the specific size is sent to the motor control unit 36. The motor control unit 36 controls the motor 37 according to the size of the input glass substrate 33, moves the movable reference plate 30 by rotating the feed screw 34, and each movable reference pin 30a,. 30b) is set at the reference position of the glass substrate.

이 상태에서 특정사이즈의 유리기판(33)은 도 8b에 나타내는 바와 같이 검사자에 의해 홀더프레임(2)에 세트되고, 그 2변이 각각 기준핀(3c, 3d)과 가동기준판 (30)의 각 가동기준핀(30a, 30b)에 맞닿아지는 동시에 각 압박핀(4a, 4b와 4c, 4d)에 의한 각 압박방향(f1, f2)의 압박력에 의해 기준핀(3c, 3d)과 각 가동기준핀(30a, 30b)에 압박된다.In this state, the glass substrate 33 of a specific size is set on the holder frame 2 by the inspector as shown in Fig. 8B, and the two sides thereof are each of the reference pins 3c and 3d and the movable reference plate 30, respectively. The reference pins 3c and 3d and the movable standards are brought into contact with the movable reference pins 30a and 30b and at the same time by the pressing force in each pressing direction f1 and f2 by the pressing pins 4a, 4b and 4c and 4d. It is pressed against the pins 30a and 30b.

이상과 같이 본 제 3 실시형태에서는 홀더프레임(2)에 예를 들면 2개의 가동기준핀(30a, 30b)을 설치한 가동기준판(30)을 가로방향(X방향)으로 이동 자유롭게 설치했다. 이에 따라 대형유리기판(8), 소형유리기판(9)뿐만 아니라 특정한 사이즈의 유리기판(33)의 기준위치를 자동적으로 설정할 수 있다. 게다가 기준핀의 자동적인 설정에 의해 관찰에 걸리는 시간도 단축할 수 있고, 검사자가 수작업을 할 필요가 없기 때문에 먼지나 티끌이 나오지 않는다.As described above, in the third embodiment, the movable reference plate 30 provided with, for example, two movable reference pins 30a and 30b on the holder frame 2 is installed freely in the horizontal direction (X direction). Thereby, the reference position of the glass substrate 33 of a specific size as well as the large glass substrate 8 and the small glass substrate 9 can be set automatically. In addition, the automatic setting of the reference pins can shorten the time required for observation, and no dust or dirt is generated since the inspector does not need to perform manual work.

또한 각 가동기준핀(30a, 30b)을 검사자의 수작업에 의해 설정하는 경우에도 가동기준판(30)을 이동시키는 것뿐이므로 손이 많이 가지 않고 간단한 작업으로 설정할 수 있다.In addition, even when setting the movable reference pins (30a, 30b) by the inspector's manual work only because the movable reference plate 30 is moved, it can be set in a simple operation without a lot of hands.

다음으로 본 발명의 제 4 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 또한 각 도면에 있어서 도 2와 동일한 부분에는 동일부호를 붙여서 그 상세한 설명은 생략한다.Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, in each figure, the same code | symbol is attached | subjected to the same part as FIG. 2, and the detailed description is abbreviate | omitted.

도 10a, 도 10b는 본 발명의 제 4 실시형태에 관련되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면이다. 홀더프레임(2)에는 L자형상의 가동기준판(40)이 가로세로방향 (XY방향)으로 이동 자유롭게 설치되어 있다. 이 가동기준판(40)에는 예를 들면 가로세로방향으로 각각 가동기준핀(41, 42와 43, 44)이 소정간격으로 설치되어 있다. 이 가동기준판(40)은 가로세로방향으로 이동함으로써 도 10b에 나타내는 바와 같이 특정사이즈의 유리기판(45)의 기준위치를 설정한다. 또한 도 10a에 나타내는 바와 같이 가동기준판(40)을 도면상 맨우측 하측으로 이동시키면 각 가동기준핀(41∼44)이 대형유리기판(8)의 기준위치에 세트된다.10A and 10B show the structure of a substrate holder according to a fourth embodiment of the present invention. The holder frame 2 is provided with an L-shaped movable reference plate 40 freely movable in the horizontal and vertical directions (XY directions). The movable reference plate 40 is provided with movable reference pins 41, 42, 43, 44 at predetermined intervals in the horizontal and vertical directions, for example. The movable reference plate 40 moves in the horizontal and vertical direction to set the reference position of the glass substrate 45 of a specific size as shown in Fig. 10B. As shown in Fig. 10A, when the movable reference plate 40 is moved to the lower right side in the drawing, the movable reference pins 41 to 44 are set at the reference positions of the large glass substrate 8. As shown in Figs.

도 11은 가동기준판(40)의 구동기구의 구성을 나타내는 모식도이다. 가동기준판(40)은 홀더프레임(2)에 대해 복수개 예를 들면 2개의 링크부재(46, 47)에 의해 연결되어 있다. 이들 링크부재(46, 47)는 홀더프레임(2)과 가동기준판(40)에 대해 각각 각 회전축(46b, 46a와 47b, 47a)에 의해 회전운동 자유롭게 설치되어 있다. 또 각 회전축(46a, 46b, 47a, 47b) 중의 어느 것인가 1개에 도시하지 않는 모터의 회전축이 연결되어 있다. 이 모터를 구동함으로써 가동기준판(40)이 홀더프레임 (2)에 대해 가로세로방향(XY방향)으로 이동한다. 이에 따라 특정사이즈의 유리기판 (45)의 기준위치를 자동적으로 설정할 수 있다.FIG. 11: is a schematic diagram which shows the structure of the drive mechanism of the movable reference plate 40. As shown in FIG. The movable reference plate 40 is connected to the holder frame 2 by a plurality of link members 46 and 47, for example. These link members 46 and 47 are provided freely in rotational motion with respect to the holder frame 2 and the movable reference plate 40 by respective rotation shafts 46b, 46a, 47b, 47a. Moreover, the rotation shaft of the motor which is not shown in figure is connected to any one of each rotation shaft 46a, 46b, 47a, 47b. By driving this motor, the movable reference plate 40 moves in the horizontal and vertical direction (XY direction) with respect to the holder frame 2. Thereby, the reference position of the glass substrate 45 of a specific size can be set automatically.

다음으로 상기와 같이 구성된 기판홀더에서의 기판홀딩작용에 대해서 설명한다.Next, the substrate holding action in the substrate holder constructed as described above will be described.

상기 기판홀더로 특정사이즈의 유리기판(45)을 홀딩하는 경우, 도시하지 않는 모터에 의해 각 링크부재(46, 47)가 동일방향으로 회전운동함으로써 가동기준판 (40)은 가로세로방향(XY방향)으로 이동된다. 이에 따라 각 가동기준핀(41∼44)이 해당 유리기판(45)의 기준위치에 세트된다.When holding the glass substrate 45 of a specific size with the substrate holder, the movable reference plate 40 is rotated in the horizontal and vertical directions by rotating the link members 46 and 47 in the same direction by a motor (not shown). Direction). As a result, each of the movable reference pins 41 to 44 is set at the reference position of the glass substrate 45.

이 상태에서 특정사이즈의 유리기판(45)은 도 10b에 나타내는 바와 같이 검사자에 의해 홀더프레임(2)에 세트되고, 그 2변이 각각 가동기준핀(43, 44와 41, 42)에 맞닿아지는 동시에 각 압박핀(4a, 4b와 4c, 4d)에 의해 각 압박방향(f1, f2)의 압박력에 의해 가동기준핀(43, 44와 41, 42)에 압박된다.In this state, the glass substrate 45 of a particular size is set on the holder frame 2 by the inspector as shown in Fig. 10B, and the two sides thereof come into contact with the movable reference pins 43, 44, 41, and 42, respectively. At the same time, the pressing pins 4a, 4b and 4c, 4d are pressed against the movable reference pins 43, 44, 41, 42 by the pressing force in each pressing direction f1, f2.

이상과 같이 상기 제 4 실시형태에서는 홀더프레임(2)에 4개의 가동기준핀41∼44)을 설치한 가동기준판(40)을 가로세로방향(XY방향)으로 이동 자유롭게 설치했다. 이에 따라 대형유리기판(8)뿐만 아니라 특정한 사이즈의 유리기판(45)의 기준위치를 자동적으로 설정할 수 있다. 게다가 기준핀의 자동적인 설정에 의해 매크로관찰에 걸리는 시간도 단축할 수 있고, 검사자가 수작업을 할 필요가 없기 때문에 먼지나 티끌이 나오지 않는다.As described above, in the fourth embodiment, the movable reference plate 40 provided with the four movable reference pins 41 to 44 on the holder frame 2 is provided freely in the horizontal and vertical direction (XY direction). Thereby, the reference position of the glass substrate 45 of a specific size as well as the large glass substrate 8 can be set automatically. In addition, the automatic setting of the reference pins can shorten the time required for macro observation, and there is no dust or dirt because the inspector does not need to perform manual work.

또한 각 가동기준핀(41∼44)을 검사자의 수작업에 의해 설정하는 경우에도 가동기준판(40)을 이동시키는 것뿐이므로 손이 많이 가지 않고 간단한 작업으로 설정할 수 있다.In addition, even when the movable reference pins 41 to 44 are set by the inspector's manual work, only the movable reference plate 40 is moved.

도 12a, 도 12b는 상기 제 4 실시형태의 변형예에 관련되는 기판홀더의 구성을 나타내는 도면이다. 상기 제 4 실시형태에서는 가로세로방향(XY방향)으로 이동 자유로운 L자형상의 가동기준판(40)을 설치했는데, 도 12a, 도 12b에 나타내는 바와 같이 XY방향으로 각각 독립하여 이동하는 가동기준판(48, 49)을 설치해도 좋다. 가동기준판(48, 49)에는 각각 기준핀본체(50, 51과 52, 53)가 설치되어 있다. 가동기준판(48, 49)은 개별로 설치된 각종 액추에이터나 모터(스테핑모터)에 의해 구동된다. 가동기준판(48, 49)은 XY방향으로의 이동에 대해서 서로 간섭하지 않도록 배치되어 있다. 이에 따라 홀더프레임(2)의 두께를 증가시키지 않고 완료한다.12A and 12B are views showing the structure of a substrate holder according to a modification of the fourth embodiment. In the fourth embodiment, an L-shaped movable reference plate 40 which is free to move in the horizontal and vertical directions (XY directions) is provided. As shown in FIGS. 12A and 12B, the movable reference plates that independently move in the XY directions ( 48 and 49) may be provided. The reference pin bodies 50, 51, 52, and 53 are provided on the movable reference plates 48 and 49, respectively. The movable reference plates 48 and 49 are driven by various actuators or motors (stepping motors) provided separately. The movable reference plates 48 and 49 are arranged so as not to interfere with each other in the movement in the XY direction. This completes without increasing the thickness of the holder frame 2.

이하 상기 제 1∼제 4 실시형태의 변형예에 대해서 설명한다.Hereinafter, modified examples of the first to fourth embodiments will be described.

상기 제 1 실시형태에서는 가동기준핀이 회전운동하여 기준위치에 세트되어 유리기판을 해당 가동기준핀에 압박하는 구성이었는데, 이에 한하는 것은 아니다. 사이즈가 다른 기판 예를 들면 사이즈가 작은 소형유리기판의 기준위치를 확보하도록 하는 것이면 가동기준핀에 상당하는 부재를 직선적인 이동으로 홀더프레임의 내측(공간부측)에 세트할 수 있도록 한다. 그리고 소형유리기판 이외의 유리기판, 즉 대형유리기판을 관찰하는 경우, 상기 가동기준핀에 상당하는 부재가 직선적인 이동으로 홀더프레임의 퇴피용구멍내로 퇴피되도록 한다.In the first embodiment, the movable reference pin is rotated and set at the reference position to press the glass substrate onto the movable reference pin, but the present invention is not limited thereto. In order to secure a reference position of a substrate having a different size, for example, a small glass substrate having a small size, a member corresponding to the movable reference pin can be set inside the holder frame (space side) by linear movement. When observing a glass substrate other than a small glass substrate, that is, a large glass substrate, the member corresponding to the movable reference pin is evacuated into the retreating hole of the holder frame by linear movement.

도 13a, 도 13b는 도 6a, 도 6b에 나타낸 구성의 변형예를 나타내는 도면이다. 도 6a, 도 6b의 구성에서는 가동기준핀을 압박핀으로서도 작용시키는 경우에 그 핀을 회전운동시켰다. 도 13a, 도 13b의 구성에서는 홀더프레임(2)에 대해 비스듬한 방향으로 퇴피용구멍(62, 63)을 유리기판에 대해 각도를 붙인 상태에서 직선적으로 이동시킨다.13A and 13B are diagrams showing modifications of the configuration shown in FIGS. 6A and 6B. 6A and 6B, when the movable reference pin also acts as a pressing pin, the pin was rotated. 13A and 13B, the evacuation holes 62 and 63 are linearly moved in an oblique direction with respect to the glass substrate in an oblique direction with respect to the holder frame 2.

부재(62, 63)는 대형유리기판(8)의 매크로관찰을 실시하는 경우, 도 13a에 나타내는 바와 같이 각각 퇴피용구멍(60, 61)에 퇴피된다. 또 부재(62, 63)는 소형유리기판(9)의 관찰을 실시하는 경우, 도 13b에 나타내는 바와 같이 각각 퇴피용구멍 (14, 15)으로부터 나와 소형유리기판(9)을 비스듬한 방향에서 압박한다. 또한 부재 (62, 63)는 개별로 설치된 각종 액추에이터나 모터(스테핑모터)에 의해 구동된다.When the macroscopic observation of the large glass substrate 8 is carried out, the members 62 and 63 are evacuated to the evacuation holes 60 and 61, respectively, as shown in Fig. 13A. In the case where the small glass substrate 9 is observed, the members 62 and 63 come out of the retreating holes 14 and 15, respectively, and press the small glass substrate 9 in an oblique direction as shown in Fig. 13B. . In addition, the members 62 and 63 are driven by various actuators and motors (stepping motors) provided separately.

또 상기 제 3 실시형태에서는 검사자가 조작부에 유리기판의 사이즈를 조작 입력하고, 입력된 유리기판의 사이즈에 따라서 가동기준판의 가동기준핀이 해당 유리기판의 기준위치에 설정되도록 제어하고 있었다. 그러나 이와 같은 실시형태에 한하지 않고, 예를 들면 홀더프레임(2)의 복수장소에 유리기판의 사이즈를 검지하기 위한 센서를 배치해도 좋다. 이 경우, 홀더프레임(2) 위에 유리기판이 재치되면 검지한 유리기판의 사이즈에 따라서 가동기준판을 이동시키고, 가동기준핀을 해당 유리기판의 기준위치에 세트하도록 제어한다.In the third embodiment, the inspector manipulates and inputs the size of the glass substrate to the operation unit, and controls the movable reference pin of the movable reference plate to be set at the reference position of the glass substrate in accordance with the size of the input glass substrate. However, the present invention is not limited to this embodiment. For example, a sensor for detecting the size of the glass substrate may be disposed in a plurality of places of the holder frame 2. In this case, when the glass substrate is placed on the holder frame 2, the movable reference plate is moved in accordance with the size of the detected glass substrate, and the movable reference pin is controlled to be set at the reference position of the glass substrate.

또 상기 제 3 실시형태에서는 조작부로부터 조작 입력된 유리기판의 사이즈에 따라서 가동기준판의 이동을 모터의 구동시간으로 제어하고, 가동기준판의 가동기준핀이 해당 유리기판의 기준위치에 세트되도록 했는데, 이와 같은 실시형태에 한하는 것은 아니다.In the third embodiment, the movement of the movable reference plate is controlled by the driving time of the motor in accordance with the size of the glass substrate operated and input from the operation unit, and the movable reference pin of the movable reference plate is set at the reference position of the glass substrate. It is not limited to such embodiment.

도 6a, 도 6b와 도 13a, 도 13b의 구성에서는 가동기준핀을 압박핀으로서 작용시켰다. 이들의 예 이외에 예를 들면 가동기준핀을 구비한 가동기준판을 관찰대상의 유리기판의 사이즈에 따라서 가로세로방향(XY방향)으로 이동시키고, 해당 가동기준핀으로 해당 유리기판을 홀더프레임의 각 기준핀에 압박하도록 해도 좋다.In the configurations of FIGS. 6A, 6B, 13A, and 13B, the movable reference pin acts as a pressing pin. In addition to these examples, for example, the movable reference plate having the movable reference pin is moved in the horizontal and vertical direction (XY direction) according to the size of the glass substrate to be observed, and the movable reference pin is used to move the glass substrate to the holder frame. The reference pin may be pressed.

본 발명은 상기 각 실시형태에만 한정되지 않고, 요지를 변경하지 않는 범위에서 적시(適時) 변형하여 실시할 수 있다.This invention is not limited only to each said embodiment, It can implement by changing timely in the range which does not change a summary.

본 발명에 따르면, 사이즈가 다른 유리기판에 대한 기준부재의 변경 작업을 간단하게 실시할 수 있는 홀더기구를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a holder mechanism capable of easily changing a reference member for a glass substrate having a different size.

Claims (10)

피홀딩체를 홀딩하는 홀더프레임과,Holder frame for holding the body to be held, 상기 홀더프레임에 설치되고, 상기 피홀딩체가 압박되는 고정기준부재와,A fixed reference member installed on the holder frame and to which the holding body is pressed; 상기 피홀딩체의 사이즈에 따라서 상기 홀더프레임에 대해 가동하고, 상기 피홀딩체가 압박되는 가동기준부재와,A movable reference member which moves relative to the holder frame according to the size of the to-be-held body and is pressed against the to-be-held body; 상기 홀더프레임의 가로방향과 세로방향으로 적어도 1개씩 설치되고, 상기 피홀딩체를 상기 고정기준부재 또는 상기 가동기준부재에 압박하는 압박부재와,At least one press member installed in a horizontal direction and a vertical direction of the holder frame, for pressing the held member against the fixed reference member or the movable reference member; 상기 가동기준부재를 구동하는 구동부를 구비한 것을 특징으로 하는 홀더기구.And a drive unit for driving the movable reference member. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가동기준부재는 복수의 상기 피홀딩체의 사이즈에 대응하는 위치에 복수조 설치된 것을 특징으로 하는 홀더기구.The movable reference member is a holder mechanism, characterized in that a plurality of sets are installed in a position corresponding to the size of the plurality of the holding body. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 고정기준부재는 상기 피홀딩체가 인접하는 2변이 압박되도록 복수개 설치된 것을 특징으로 하는 홀더기구.The fixed reference member is a holder mechanism, characterized in that a plurality is installed so that the two sides adjacent to the holding body is pressed. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 구동부는 상기 홀더프레임에 홀딩되는 피홀딩체의 사이즈에 따라서 복수조의 상기 가동기준부재를 선택적으로 구동하는 것을 특징으로 하는 홀더기구.And the drive unit selectively drives a plurality of sets of the movable reference member according to the size of the to-be-held body held in the holder frame. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가동기준부재는 상기 피홀딩체의 사이즈에 따른 위치로 회전운동 자유롭고, 상기 홀더프레임이 소정사이즈의 피홀딩체를 홀딩할 때에 상기 홀더프레임의 내측방향으로 회전운동하며, 상기 소정사이즈 이외의 피홀딩체를 홀딩할 때에 상기 홀더프레임의 외측방향으로 회전운동하는 것을 특징으로 하는 홀더기구.The movable reference member is free to rotate to a position according to the size of the to-be-held body, and when the holder frame holds the to-be-held body of a predetermined size, the movable reference member is to rotate inwardly of the holder frame, The holder mechanism, characterized in that the rotating movement in the outward direction of the holder frame when holding the holding body. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 홀더프레임은 상기 가동기준부재가 상기 홀더프레임의 외측방향으로 회전운동했을 때 상기 가동기준부재를 퇴피시키는 퇴피부가 형성된 것을 특징으로 하는 홀더기구.The holder frame is a holder mechanism, characterized in that the retracted portion for retracting the movable reference member when the movable reference member is rotated in the outward direction of the holder frame. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가동기준부재는 상기 홀더프레임의 가로방향과 세로방향의 적어도 한쪽으로 이동 자유롭게 설치된 이동부재에 설치된 것을 특징으로 하는 홀더기구.The movable reference member is a holder mechanism, characterized in that installed on the moving member freely installed in at least one of the transverse direction and the longitudinal direction of the holder frame. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 이동부재는 상기 가로방향과 세로방향의 어느 쪽인가 한쪽에 이동 자유로운 I자형상을 이루는 것을 특징으로 하는 홀더기구.The movable member is a holder mechanism, characterized in that the I-shape to move freely on either side of the transverse direction and the longitudinal direction. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 이동부재는 상기 가로방향과 세로방향의 양쪽에 이동 자유로운 L자형상을 이루는 것을 특징으로 하는 홀더기구.The movable member is a holder mechanism, characterized in that the L-shaped movable freely in both the transverse direction and the longitudinal direction. 피홀딩체를 홀딩하는 홀더프레임과,Holder frame for holding the body to be held, 상기 홀더프레임에 설치되고, 상기 피홀딩체가 압박되는 고정기준부재와,A fixed reference member installed on the holder frame and to which the holding body is pressed; 상기 피홀딩체의 사이즈에 따라서 상기 홀더프레임에 대해 가동하고, 상기 피홀딩체를 압박하는 가동부재와,A movable member which moves relative to the holder frame according to the size of the to-be-held body and presses the to-be-held body; 상기 가동부재를 구동하는 구동부를 구비한 것을 특징으로 하는 홀더기구.And a driving unit for driving the movable member.
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