KR20020010636A - 웨이퍼 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 적어도 하나의 클린룸(3) 내에서 웨이퍼를 처리하기 위한 장치에 관한 것이다. 상기 장치는 각각의 생산 단계를 수행하기 위한 하나의 생산 유닛 및 상기 생산 단계를 체크하기 위한 측정 유닛(8, 9)을 포함한다. 상기 생산 유닛 및 측정 유닛은 웨이퍼의 공급 및 수송을 위해 수송 장치에 의해 연결된다. 적어도 하나의 측정 유닛(8, 9)은 수송 장치에 웨이퍼를 내려놓기 위한 언로딩 스테이션과 함께 측정 스테이션(2)을 형성하며, 상기 측정 스테이션(2)으로부터 완벽하게 처리된 웨이퍼가 나머지 웨이퍼들과 분리되어 배출될 수 있다.

Description

웨이퍼 처리 장치{DEVICE FOR TREATING WAFERS}
상기 방식의 장치는 웨이퍼 처리를 위한 여러 가지 제조 단계를 수행하는 다수의 제조 유닛을 포함한다. 상기 제조 단계로는 특히 에칭 프로세스, 습식화학 공정, 확산 프로세스 및 예컨대 CMP(Chemical Mechanical Polishing)-공정과 같은 다양한 세척 공정이 있다. 각각의 해당 제조 단계를 위해 하나 이상의 제조 유닛이 제공된다. 또한 웨이퍼 처리 품질을 조절할 수 있는 측정 유닛들이 제공된다. 바람직하게는 상기 측정 유닛에 의해 제조 유닛 내에서 수행되는 모든 제조 단계가 제어될 수 있다.
전체 제조 프로세스는 엄격한 청결 조건을 요하기 때문에, 제조 유닛 및 측정 유닛은 클린룸 또는 클린룸 시스템 내에 배치된다.
웨이퍼는 미리 정해진 로트 크기(lot size)로 수송 시스템을 통해 각각의 제조 유닛 및 측정 유닛에 공급된다. 이를 위해 웨이퍼는 예컨대 카세트 형태로 형성된 수송 용기에 담겨 수송되고, 이 때 상기 수송 용기들은 각각 동일 개수의 웨이퍼를 수용한다. 또한 제조 유닛 및 측정 유닛 내에서 웨이퍼가 처리된 후 상기 웨이퍼가 방출되는 것도 수송 장치에 의해 실시되며, 이 때 상기 웨이퍼는 동일한수송 용기에 넣어진다.
상기 수송 장치는 예컨대 롤링 컨베이어의 형태로 형성된 컨베이어 장치를 갖추고 있다. 또한 상기 수송 장치는 웨이퍼가 들어있는 수송 용기를 보관하기 위한 다수의 보관기로 구성된 보관 장치를 포함한다. 바람직하게는 상기 보관기가 스토커(밀폐 용기)로서 형성된다. 상기와 같은 스토커는 웨이퍼가 클린룸 조건에서 보관되는 보관 장치이다.
공지된 웨이퍼 처리 장치에서는 수송 용기 내에 집결된 웨이퍼 로트가 수송 장치를 통해 웨이퍼 처리 장치의 전체 제조 유닛 및 측정 유닛으로 공급된다. 이 때 Bindung des Loses는 각각의 수송 용기에 남겨진다. 이는 상이한 로트의 웨이퍼가 서로 섞이지 않는다는 것을 의미한다.
웨이퍼의 처리를 위해 각각 1 로트를 포함하는 수송 용기가 로딩 스테이션 및 언로딩 스테이션을 통해 제조 유닛에 공급된다. 제조 유닛 내에서 웨이퍼가 처리된 후 상기 로트는 로딩- 및 언로딩 스테이션을 통해 다시 동일한 수송 용기에 담겨져서 수송 장치로 배출된다.
그런 다음 제조 유닛에서 수행된 제조 단계의 검사를 위해 상기 수송 용기가 마찬가지로 로딩- 및 언로딩 스테이션을 포함하는 측정 유닛에 전달된다.
측정 유닛에서는 각각의 웨이퍼 로트가 올바르게 처리되었는지의 여부가 검사된다. 상기 검사에서는 통상 결함이 없는 웨이퍼, 제거될 수 없는 결함을 가진 불량 웨이퍼, 및 후처리를 통해 다시 요구되는 품질을 충족시키는, 후처리될 웨이퍼로의 분류가 실시된다.
더 이상 사용이 불가능한 불량 웨이퍼는 제조 프로세스로부터 제외되는 반면, 후처리될 웨이퍼 및 무결함 웨이퍼는 다시 수송 용기에 넣어져서 언로딩 스테이션을 통해 배출된다. 상기 몇 몇 웨이퍼 로트는 품질이 낮은 제품으로 분류되기 때문에, 수송 용기 내에 빈 자리가 남게 된다.
상기 방식의 장치의 경우 일부 웨이퍼로 채워진 수송 용기만 순환된다는 단점이 있다. 이는 수송 능력이 충분히 활용되지 못한다는 것을 의미할 뿐만 아니라, 웨이퍼가 장치를 순환하는 시간이 오래 걸린다는 것을 의미한다. 이 경우 특히 불리한 점은 다수의 로트가 집결되는 후속 제조 프로세스에서 최상의 활용도가 달성되지 않는다는 것이다. 후속 프로세스에는 특히 오븐에서 수행되는 산화 프로세스가 속한다. 상기 프로세스에서는 수송 로트 내 빈 자리가 생기는 것을 막기 위해 웨이퍼의 개수가 원래 로트 크기와 일치할 때까지 상기 수송 로트가 소위 더미-웨이퍼로 채워진다. 상기 더미-웨이퍼는 수송 로트 내에서, 오븐 내부의 균일한 온도 분포를 보증하는 더미 기능 외에는 추가의 기능을 갖지 않으며, 특히 장치 내에서 실시되는 다른 제조 프로세스의 경우에는 사용될 수 없다.
이로써 추후 적절한 시점에 후처리될 웨이퍼의 후처리를 수행할 수 있는 제조 유닛에 수송 용기를 공급하기 위해, 별도의 보관 장치 내에 상기 수송 용기가 임시 보관되어야 한다. 마찬가지로 수송 용기내에 배치된 무결함 웨이퍼는 수송 용기의 로트에 담겨져서 함께 운반된다. 이는 무결함 웨이퍼의 대기 시간이 매우 길다는 것을 의미한다.
De 37 35 449 A1에는 교환 가능한 다수의 수송 모듈, 프로세스 모듈 및 제어모듈로 구성된 웨이퍼 제조 장치가 공지되어있다. 모든 프로세스 모듈은 각각 적어도 하나의 프로세스 스테이션, 트레이(tray) 및 조작기를 포함한다.
웨이퍼는 제 1 카세트에 넣어져서 수송 모듈을 통해 전달된다. 조작기는 제 1 카세트로부터 웨이퍼를 집어올려 프로세스 스테이션 및 트레이에 전달한다. 제어 모듈에서는 쓸모없는 웨이퍼를 검출하고, 경우에 따라 제 2 카세트에 모은다. 제 2 카세트는 쓸모없는 웨이퍼를 임시 저장하는데 사용될 수 있다. 대안으로 쓸모없는 웨이퍼가 제어 모듈로부터 제거된다. 무결함 웨이퍼는 카세트에 집결되어 다시 수송 모듈에 배출된다.
195 14 037 A1은 기판 운반용 수송 장치에 관한 것이다. 상기 수송 장치는 일정한 클럭 주파수에서 구동되는 회전판으로서 형성되어있다. 기판은 회전판 외부에 제공된 프로세스 스테이션에 회전할 수 있게 설치된 기판 집게에 의해 운반될 수 있다.
DE 195 23 969 A1에는 트레이형 보관함 또는 막대형 보관함과 함께 구동될 수 있는 IC-수송 장치가 기술되어있다. IC-검사 조작기 내에서 소자들을 반복 테스트하기 위한 방법을 통해 보관함에 보관된 소자가 조작자의 관여없이 반복적으로 검사되고, 상기 소자는 테스트 결과에 따라 분류되어 보관함 내에 보관된다.
JP 08268512 A는 기판 보관용 보관 유닛에 관한 것이다. 상기 보관 유닛은 분류 유닛을 포함하며, 상기 분류 유닛에 의해 기판이 자동 분류되고 보관 유닛 내 카세트에 보관되거나 또는 카세트로부터 배출된다.
본 발명은 청구항 제 1항의 전제부에 따른 웨이퍼 처리 장치에 관한 것이다.
도 1은 다수의 제조 유닛 및 측정 유닛을 갖춘 웨이퍼 처리 장치의 개략도이고,
도 2는 도 1에 따른 측정 스테이션의 개략도이다.
본 발명의 목적은 웨이퍼의 가능한 한 효과적인 재료 흐름을 보증하는, 도입부에 언급한 방식의 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은 청구항 제 1항의 특징부에 의해 달성된다. 본 발명의 바람직한 실시예 및 효과적인 개선예는 종속항에 기술되어있다.
본 발명에 따라 웨이퍼 처리 장치 내에는 각각 하나 이상의 측정 유닛 및 수송 장치에 웨이퍼를 내려놓기 위한 적어도 하나의 언로딩 스테이션을 포함하는 측정 스테이션이 제공된다.
측정 스테이션에서는 제 1 수송 용기가 측정 스테이션의 측정 유닛(들)에서 성공적으로 검사를 거친 결함없는 웨이퍼로 채워진다. 결함이 있는 나머지 웨이 퍼들은 다른 제 2 수송 용기에 채워진다. 이 때 바람직하게는 후처리될 웨이퍼가 제 2 수송 용기에 채워진다. 마지막으로 제 3 수송 용기는 더이상 후처리될 수 없는 불량 웨이퍼로 채워진다.
상이한 수송 용기는 측정 스테이션의 언로딩 스테이션을 통해 서로 별도로 수송 장치에 배출될 수 있다. 이 때 제 1, 제 2 및 경우에 따라서 제 3 수송 용기가 서로 상이하게, 바람직하게는 상이한 색상으로 표시되고, 바람직하게는 그에 상응하는 방식으로 표시된, 언로딩 스테이션의 여러 개의 언로딩 포트를 통해 상기 수송 용기들이 공급된다.
본 발명에 따른 장치의 중요한 장점은, 결함이 없는 웨이퍼로 완전히 채워지는 제 1 수송 용기가 측정 스테이션을 통해 배출된다는 것이다. 상기 웨이퍼만이 본 장치에서 제조 프로세스에 남겨짐에 따라 수송 용기의 최적의 활용도가 달성되며, 이로써 웨이퍼가 장치를 순환하는 시간이 현저하게 단축된다. 불량 웨이퍼는 측정 스테이션의 출구에서 제조 프로세스로부터 완전히 제외된다. 후처리될 웨이퍼로 채워진 제 2 수송 용기는 경우에 따라 임시 보관된 후, 후처리 프로세스를 수행하기 위한 제조 유닛에 전달된다. 이 경우 특히 상기 제 2 수송 용기가 결함없는 웨이퍼를 더 이상 포함하지 않음에 따라, 결함없는 웨이퍼를 위한 불필요한 대기 시간이 발생하지 않는다는 장점이 있다. 또한 그로 인해 후처리 프로세스 자체가 더욱 효율적이게 되는데, 이는 관련 제조 유닛에 후처리될 웨이퍼만 존재하는 제 2 수송 용기만 전달되기 때문이다. 따라서 상응하는 분류 과정도 생략된다.
결국 제 1, 제 2 및 제 3 수송 용기를 상이하게 표시함으로써 각각의 제조 유닛 및 측정 유닛에 상이한 수송 용기들을 올바르고 간단하게 정렬시킬 수 있다는 장점이 있다.
본 발명은 도면을 참고로 하기에 더 자세히 설명된다.
도 1은 웨이퍼 처리 장치의 한 실시예를 나타낸다. 상기 장치는 웨이퍼 처리에 필요한 제조 단계를 수행하기 위한 다수의 제조 유닛(1)을 포함한다. 상기 제조 단계는 에칭 프로세스, 습식화학 공정, 확산 프로세스 및 세척 공정에서의 처리 과정을 포함한다. 상기 제조 단계를 위해 각각 하나 이상의 제조 유닛(1)이 제공될 수 있다.
또한 상기 장치는 개별 제조 단계의 결과가 검사되는 다수의 측정 스테이션(2)을 포함한다.
제조 유닛(1) 및 측정 스테이션(2)은 클린룸(3) 내에 배치된다. 대안으로는 상기 장치가 클린룸(3) 시스템에 의해 분할될 수 있다.
제조 유닛 및 측정 스테이션(2)은 수송 장치에 의해 서로 연결된다. 수송 장치는 컨베이어 장치(4) 및 보관 장치를 포함한다. 컨베이어 장치(4)는 예컨대 롤링 컨베이어(12) 장치로 형성될 수 있다. 보관 장치의 보관기(5)는 바람직하게는 스토커로서 형성된다.
상기 컨베이어 장치(4)를 통해 수송 용기(6a, 6b, 6c)에 담긴 웨이퍼가 수송된다. 수송 용기(6a, 6b, 6c)는 카세트 또는 그와 유사한 것의 형태로 형성될 수 있다.
제조 유닛(1), 측정 스테이션(2) 및 보관기(5)는 공급 및 수송을 위해 각각 적어도 하나의 로딩- 및 언로딩 스테이션(7)을 갖추고 있다.
바람직하게는 웨이퍼가 정해진 로트 크기로 각각 하나의 수송 용기(6a)에 넣어져서 각각의 제조 유닛(1)에 공급된다. 제조 유닛(1)에서 웨이퍼가 처리된 후 상기 웨이퍼는 동일한 수송 용기(6a)에 넣어져서 수송 장치에 제공되어, 제조 유닛(1)에서의 처리 품질의 검사를 위해 상기 수송 장치를 통해 측정 스테이션(2)에 전달된다.
상기 측정 스테이션(2)의 구조는 도 2에 예로서 도시되어있다. 측정 스테이션(2)은 상이한 제어 기능이 구현될 수 있는 2 개의 측정 유닛(8, 9)을 포함한다. 예컨대 측정 스테이션(2)은 다수의 제조 유닛(1)에서 수행된 리소그래피-프로세스의 제조 단계를 제어하기 위해 제공될 수 있다. 이 경우 측정 유닛(8)은 통상 내부에 웨이퍼를 포함하고 있는 다중 구조가 서로 올바르게 적층되어 배치되었는지의 여부를 검사하는 제어 장치로서 형성될 수 있다. 제 2 측정 유닛(9)은 웨이퍼상의 결함을 검출하기 위한 광학 제어 기기로서 형성될 수 있다.
측정 스테이션(2)은, 웨이퍼가 들어있는 수송 용기(6a, 6b, 6c)를 전달하고 상기 수송 용기를 상기 측정 스테이션(2)으로부터 수송 장치로 공급하는 로딩- 및 언로딩 스테이션(7)을 포함한다. 로딩- 및 언로딩 스테이션(7)은 공간적으로 서로 분리되어 배치된 로딩 스테이션과 언로딩 스테이션으로 구성된다. 본 실시예에서는 로딩 스테이션으로서 2 개의 로딩 포트(10)가 제공된다. 언로딩 스테이션은 다수의 언로딩 포트(11a, 11b, 11c)를 포함한다. 로딩 포트(10) 및 언로딩 포트(11a, 11b, 11c)로부터 롤링 컨베이어(12)가 측정 유닛(8, 9)으로 통한다. 롤링 컨베이어(12)에서는 측정 유닛(8, 9)의 영역에 로봇 또는 그와 유사한 것으로 형성될 수 있는 조작기(13)가 설치된다. 바람직하게는 웨이퍼가 측정 스테이션(2) 내로 들어온 직후에 분류된다. 분류는 조작자에 의해 또는 도시되지 않은 집게에 의해 수행될 수 있다. 이 때 각각의 웨이퍼들이 수송 용기(6a)로부터 꺼내어져서 롤링 컨베이어(12)를 통해 측정 유닛(8, 9)에 전달된다. 상기 조작기(13)에 의해 웨이퍼가 측정 유닛(8, 9)에 개별적으로 공급되고, 측정 유닛(8, 9)으로부터 개별적으로 제거된다. 따라서 전체 측정 스테이션(2)에서는 개별 웨이퍼 처리가 수송 용기(6a, 6b, 6c)의 용량에 의해 미리 정해진 로트 크기와 분리되어 실시된다. 개별 웨이퍼의 식별이 보증되기 위해서는 각각의 웨이퍼 상에 도시되지 않은 검출 장치에 의해 해독될 수 있는 마크가 제공되어야 한다. 예컨대 웨이퍼 상에서 제조 프로세스의 종료시 웨이퍼의 유효 표면으로부터 폐기물로서 분리되는 지점에 바코드를 부착할 수 있고, 이 경우 검출 장치는 바코드 판독기로 형성된다.
본 발명에 따르면 개별 웨이퍼들은 측정 유닛(8, 9)에서 검사된 후 각각의 처리 품질에 상응하게 상이한 수송 용기(6a, 6b, 6c)에 채워진다. 이러한 웨이퍼 충전은 조작기(13)에 의해 이루어진다. 대안으로는 조작자에 의해 또는 도시되지 않은, 측정 스테이션(2)의 출구에 설치된 집게에 의해 실시될 수 있다. 측정 유닛(8, 9)에서 성공적으로 검사 과정을 거친 결함없는 웨이퍼는 제 1 수송 용기(6a)에 넣어진다. 적절한 후처리 프로세스를 통해 제거될 수 있는 미미한 결함을 가진 후처리될 웨이퍼는 제 2 수송 용기(6b)에 넣어진다. 마지막으로 더 이상 제거될 수 없는 심각한 결함을 가진 불량 웨이퍼는 제 3 수송 용기(6c)에 넣어진다.
도 2에 따른 측정 스테이션(2)에서는 리소그래피-프로세스의 제어를 위해 측정 유닛(8, 9)이 활용된다. 상기 프로세스에서는 통상 후처리될 웨이퍼가 생겨난다. 예컨대 산화 프로세스와 같은 다른 제조 프로세스에서는 통상 무결함 웨이퍼나 불량 웨이퍼만 발생하는데, 그 이유는 웨이퍼가 잘못 처리되는 경우 웨이퍼의 결함은 후처리가 불가능할 정도로 심각하기 때문이다. 이러한 경우 측정스테이션(2)에서는 수송 용기가 2개(6a, 6b)로만 분류되면 된다.
도 2에 따른 실시예에서는 제 1, 제 2 및 제 3 수송 용기(6a, 6b, 6c)가 측정 스테이션(2)으로부터 상이한 언로딩 포트(11a, 11b, 11c)를 통해 분리되어 제공된다.
혼동을 막기 위해 제 1, 제 2 및 제 3 수송 용기(6a, 6b, 6c)를 상이하게 표시하였다. 결함이 없는 웨이퍼가 들어있는 제 1 수송 용기(6a)는 녹색으로, 후처리될 웨이퍼가 들어있는 제 2 수송 용기(6b)는 노란색으로, 그리고 마지막으로 불량 웨이퍼가 들어있는 제 3 수송 용기(6c)는 빨간색으로 표시하였다.
상이한 수송 용기(6a, 6b, 6c)가 공급되는 언로딩 포트(11a, 11b, 11c)는 상응하는 색으로 표시하였다. 본 실시예에서 녹색으로 표시된 언로딩 포트(11a)는 녹색으로 표시된 제 1 수송 용기(6a)의 공급을 위해 제공된다. 또한 각각 노란색 및 빨간색으로 표시된 언로딩 포트(11b, 11c)는 역시 노란색 및 빨간색으로 표시된 수송 용기(6b, 6c)의 공급을 위해 제공된다.
녹색으로 표시된 수송 용기(6a)는 완전히 결함없는 웨이퍼로 채워지고, 측정 스테이션(2)으로부터 배출된 후 처리되기 위해 또 다른 제조 유닛(1) 및 측정 스테이션(2)으로 전달된다.
그럼으로써 바람직하게는 녹색으로 표시된 수송 용기(6a)에 넣어진 결함없는 웨이퍼만 처리 장치에서 순환된다.
본 발명의 또 다른 바람직한 실시예에서는 측정 스테이션에서 웨이퍼 전체가 검사되지는 않는다. 웨이퍼의 미리 정해진 부분만이 검사된다. 이러한 경우 녹색수송 용기에 들어있는 웨이퍼의 일부만이 결함 여부에 대해 검사된다.
빨간색으로 표시된 수송 용기(6c)에 넣어진 불량 웨이퍼는 각 측정 스테이션(2)의 출구에서 즉각 분류된다. 이러한 프로세스는 바람직하게는 수작업으로 실시된다.
노란색으로 표시된 수송 용기(6b)에 담긴 후처리될 웨이퍼는 바람직하게는 보관기(5) 내에 임시 보관된 다음 적절한 시점에 후처리를 위해 제조 유닛(1)에 전달된다.
이러한 배출- 및 전달 프로세스는 특히 수작업으로 수행될 수 있으며, 그로 인해 컨베이어 시스템(4)에서 순환되는 무결함 웨이퍼로부터 후처리될 웨이퍼가 분리된다.

Claims (12)

  1. 웨이퍼의 공급 및 수송을 위해 수송 장치에 의해 연결된, 각각의 생산 단계를 수행하기 위한 생산 유닛 및 상기 생산 단계를 체크하기 위한 측정 유닛으로 구성된 장치를 갖춘 적어도 하나의 클린룸 내에서 웨이퍼를 처리하기 위한 장치에 있어서,
    웨이퍼를 수송 장치에 배출하기 위한 언로딩 스테이션을 갖춘 적어도 하나의 측정 유닛(8)이 측정 스테이션(2)을 형성하고, 상기 측정 스테이션(2)에서 제 1 수송 용기(6a)는 상기 측정 유닛(8)에서 성공적으로 검사를 거친 결함없는 웨이퍼로 채워지고, 적어도 제 2 수송 용기(6b)는 나머지 웨이퍼로 채워지며, 상기 제 1 및 제 2 수송 용기는 상이하게 표시되어, 측정 유닛(2)으로부터 언로딩 스테이션을 통해 서로 분리되어 배출될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    측정 유닛(8)에서 성공적으로 검사를 거치지 않은 웨이퍼는 후처리될 웨이퍼 및 불량 웨이퍼로 분류되고, 후처리될 웨이퍼로 채워진 제 2 수송 용기(6b) 및 불량 웨이퍼로 채워진 제 3 수송 용기(6c)가 서로 분리되어 측정 유닛(2)으로부터 언로딩 스테이션을 통해 배출될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제 1항 또는 2항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 및 제 3 수송 용기(6a, 6b, 6c)가 언로딩 스테이션의 따로 분리된 언로딩 포트(11a, 11b, 11c)를 통해 배출될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제 1항 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 및 제 3 수송 용기(6a, 6b, 6c)가 서로 상이한 색상으로 표시되는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 1 수송 용기(6a)는 녹색으로, 제 2 수송 용기(6b)는 노란색으로, 그리고 제 3 수송 용기(6c)는 빨간색으로 표시되는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제 4항 또는 5항에 있어서,
    상기 언로딩 포트(11a, 11b, 11c)는 상기 언로딩 포트(11a, 11b, 11c)에 할당된 수송 용기(6a, 6b, 6c)의 색상으로 표시되는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제 2항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 2 및/또는 제 3 수송 용기(6b, 6c)의 임시 보관을 위한 보관 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제 2 및 제 3 수송 용기(6b, 6c)가 상기 보관 장치의 따로 분리된 보관기(5)에 임시 보관되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제 7항 또는 8항에 있어서,
    상기 제 2 수송 용기(6b)에 들어있는 후처리될 웨이퍼 및/또는 상기 제 3 수송 용기(6c)에 들어있는 불량 웨이퍼가 언로딩 스테이션의 언로딩 포트(11b, 11c)에서 수작업으로 꺼내어지는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 1항 내지 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 웨이퍼들에는 이들을 식별하기 위한 마크가 표시되어있는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    미리 정해진 로트 크기로 측정 스테이션(2)에 전달된 웨이퍼가 상기 측정 스테이션(2)에서 분류되는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    다수의 측정 유닛(8, 9)을 포함하는 하나의 측정 스테이션(2)에서 웨이퍼가 개별적으로 처리되는 것을 특징으로 하는 장치.
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