JP2019023140A - 回転ソータの自動化 - Google Patents
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Abstract
Description
しかし、手動の取り出しおよび取り替えにはいくつかの欠点がある。たとえば、満杯のビンが時間内に取り出されなかった場合、分類ユニットがビンに過度に積み込んだり、またはビンに過度に積み込もうとしたりして、その結果、基板の損傷をもたらす可能性がある。加えて、代わりのビンが分類された基板を受け取るために時間内に位置決めされなかった場合、分類された基板の損傷が生じる可能性もある。基板の損傷なくビンの取り出しおよび取り替えを可能にするために回転ソータが一時停止されることのある従来の動作では、スループットが低下する。
別の例では、検査システムは、積み込みユニットと、1つまたは複数の計測ステーションを含むモジュラユニットと、分類ユニットとを備える。分類ユニットは、分類システムと、分類システムによって基板が分類される複数のビンと、ビンハンドラとを含む。ビンハンドラは、複数のビンのうちの1つのビンを受け取る第1のエンドエフェクタと、受け取ったビンの以前の位置に空のビンを配置する第2のエンドエフェクタとを有する。
一例では、分類ユニットを動作させる方法が、検査基準に基づいて複数のビンのうちのそれぞれのビン内へ複数の基板を分類するステップと、複数のビンのうちの1つのビンが満杯またはほぼ満杯の状態にあると判定するステップとを含む。この判定に応答して、ビンハンドラの第1のエンドエフェクタに空のビンが係合され、空のビンを有するビンハンドラは、満杯またはほぼ満杯のビンの近傍に動かされる。満杯またはほぼ満杯のビンは、ビンハンドラの第2のエンドエフェクタに係合され、満杯またはほぼ満杯のビンは、空のビンと取り替えられる。
本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、態様を参照することによって、上記で簡単に要約した本開示のより具体的な説明を得ることができる。態様のいくつかを、添付の図面に示す。しかし、本開示は他の等しく有効な態様も許容することができるため、添付の図面は例示的な態様のみを示し、したがって範囲を限定すると見なされるべきでないことに留意されたい。
一例では、分類ユニットが、分類システムと、分類システムによって基板が分類される複数のビンとを含む。分類ユニットはまた、ビンハンドラを含み、ビンハンドラは、複数のビンのうちの1つのビンを受け取る第1のエンドエフェクタと、受け取ったビンの以前の位置に空のビンを配置する第2のエンドエフェクタとを有する。一例では、分類ユニットを動作させる方法が、検査基準に基づいて複数のビンのうちのそれぞれのビン内へ複数の基板を分類するステップと、複数のビンのうちの1つのビンが満杯またはほぼ満杯の状態にあると判定するステップとを含む。この判定に応答して、ビンハンドラの第1のエンドエフェクタに空のビンが係合され、空のビンを有するビンハンドラは、満杯またはほぼ満杯のビンの近傍に動かされる。満杯またはほぼ満杯のビンは、ビンハンドラの第2のエンドエフェクタに係合され、満杯またはほぼ満杯のビンは、空のビンと取り替えられる。
検査システム100は、前端102、モジュラユニット104、および分類ユニット106を含む。前端102は、たとえば、積み込みユニットとすることができる。前端102は、ロボット108を介して積み込みカセット112からモジュラユニット104へ基板110を移送することを容易にする。ロボット108は、コンベヤシステム114上に基板110を位置決めし、コンベヤシステム114は、モジュラユニット104を通って分類ユニット106へ基板を移送する。
別の例では、ビン140は、エンドエフェクタ154によって係合されるときにエンドエフェクタ154の真下に配置されるのではなく、エンドエフェクタ154によって係合されるときにエンドエフェクタ154から半径方向内方に位置決めされる。一例では、特定の分類ビン140が満杯になり、または取り出された場合でも、基板110の分類は継続する。したがって、分類を行いながら、各分類ビン140を空にしまたは取り替えることができ、したがって分類ユニット106のダウンタイムを防止する。別の例では、大量の基板110が分類されるビン140は、複製または予備の分類ビン140を含むことができ、それにより、1次ビン140が取り出されると、基板は2次ビン140内へ分類される。そのような例では、1次および2次ビン140はそれぞれ、同じ指定の検査基準を有する基板を保持することができるが、一度に一方のビン140のみに積み込むことができる。本明細書に開示する態様によれば、1次または2次ビン140の一方のみが一度に積み込まれるため、1次または2次ビン140の他方を取り出して取り替えることができる。その際、ビンの取り出し/取り替え動作中に基板110がビンの場所へ分類される可能性が軽減され、したがって基板の損傷の可能性が低減される。
本明細書の態様について、回転ソータに関して説明したが、本明細書の態様は、線形ソータにも適用できることが企図される。
100 システム
102 前端
104 モジュラユニット
106 分類ユニット
108 ロボット
110 把持された基板
110 検査された基板
110 新しい基板
110 分類された基板
110 次の基板
110 基板
110 基板(複数)
112 積み込みカセット
114 コンベヤシステム
116A 5つの計測ステーション
116A 計測ステーション
120 回転分類システム
122 回転可能な支持体
124 アーム
124 アーム(複数)
124 少なくとも12本のアーム
126 第1の端部
128 第2の端部
130 少なくとも1つのグリッパ
130 グリッパ
130 グリッパ(複数)
140 適当な分類ビン
140 少なくとも10個の分類ビン
140 予備の分類ビン
140 ビン
140 ビン(複数)
140 空のビン
140 満杯のビン
140 満杯のビン(複数)
140 1つのビン
140 先に動かされた満杯のビン
140 先に取り出されたビン
140 1次ビン
140 2次ビン
140 2次ビン(複数)
140 分類ビン
140 分類ビン(複数)
140 指定の分類ビン
150 ビンハンドラ
151 回転アクチュエータ
152 クロスバー
152 水平クロスバー
153 結合部材
154 エンドエフェクタ
154 エンドエフェクタ(複数)
154 第1のエンドエフェクタ
154 第2のエンドエフェクタ
155 任意選択のアクチュエータ
160 フレーム部材
190 コントローラ
191 コネクタ
200a 検査システム
200a 検査システム(複数)
270 交換コンベヤ
271 供給源
272 コンベヤ
273 コンベヤ
281 第1の端部
281 端部
282 残りの端部
282 端部
283 残りの端部
283 端部
290 製造工場
Claims (15)
- 分類システムと、
前記分類システムによって基板が分類される複数のビンと、
ビンハンドラとを備え、前記ビンハンドラが、前記複数のビンのうちの1つのビンを受け取る第1のエンドエフェクタと、前記受け取ったビンの以前の位置に空のビンを配置する第2のエンドエフェクタとを有する、
分類ユニット。 - 前記複数のビンが、円形の構成で配置され、前記ビンハンドラが、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタを弧状の経路内で動かす、請求項1に記載の分類ユニット。
- 前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタの前記弧状の経路が、前記複数のビンの前記円形の構成から半径方向外方に位置する、請求項2に記載の分類ユニット。
- 前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタが、前記弧状の経路の周りを同時に動く、請求項3に記載の分類ユニット。
- 前記ビンハンドラが、回転する水平クロスバーと、前記水平クロスバーから延びる垂直結合部材とを含み、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタが、前記垂直結合部材の遠位端に結合される、請求項1に記載の分類ユニット。
- 前記分類システムが、回転可能な支持体を備え、前記回転可能な支持体が、前記回転可能な支持体に結合された複数の基板グリッパを有し、前記基板グリッパが、前記複数のビンの真上に位置決めされる、請求項5に記載の分類ユニット。
- 前記回転可能な支持体の下に位置決めされた線形コンベヤをさらに備える、請求項6に記載の分類ユニット。
- 積み込みユニットと、
1つまたは複数の計測ステーションを含むモジュラユニットと、
分類ユニットとを備え、前記分類ユニットが、
分類システムと、
前記分類システムによって基板が分類される複数のビンと、
ビンハンドラとを備え、前記ビンハンドラが、前記複数のビンのうちの1つのビンを受け取る第1のエンドエフェクタと、前記受け取ったビンの以前の位置に空のビンを配置する第2のエンドエフェクタとを有する、
検査システム。 - 前記積み込みユニットから前記モジュラユニットを通って前記分類ユニットへ延びる線形コンベヤをさらに備える、請求項8に記載の検査システム。
- 前記複数のビンが、円形の構成で配置され、前記ビンハンドラが、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタを弧状の経路内で動かし、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタの前記弧状の経路が、前記複数のビンの前記円形の構成から半径方向外方に位置し、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタが、前記弧状の経路の周りを同時に動く、請求項8に記載の検査システム。
- 前記ビンハンドラが、回転する水平クロスバーと、前記水平クロスバーから延びる垂直結合部材とを含み、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタが、前記垂直結合部材の遠位端に結合され、前記分類システムが、回転可能な支持体を備え、前記回転可能な支持体が、前記回転可能な支持体に結合された複数の基板グリッパを有し、前記基板グリッパが、前記複数のビンの真上に位置決めされる、請求項8に記載の検査システム。
- 分類ユニットを動作させる方法であって、
検査基準に基づいて複数のビンのうちのそれぞれのビン内へ複数の基板を分類するステップと、
前記複数のビンのうちの1つのビンが満杯またはほぼ満杯の状態にあると判定するステップと、
前記判定に応答して、ビンハンドラの第1のエンドエフェクタに空のビンを係合させ、前記空のビンを有する前記ビンハンドラを前記満杯またはほぼ満杯のビンの近傍に動かすステップと、
前記満杯またはほぼ満杯のビンを前記ビンハンドラの第2のエンドエフェクタに係合させるステップと、
前記満杯またはほぼ満杯のビンを前記空のビンと取り替えるステップとを含む方法。 - 前記満杯またはほぼ満杯のビンをコンベヤ上に位置決めするステップをさらに含み、前記空のビンを係合させる前記ステップが、前記空のビンを前記コンベヤから取り出すことを含む、請求項12に記載の方法。
- 前記満杯またはほぼ満杯のビンを係合させる前に、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタを回転させるステップをさらに含む、請求項12に記載の方法。
- 前記満杯またはほぼ満杯のビンが、円形の構成で配置された複数のビンの1つであり、前記ビンハンドラが、回転する水平クロスバーと、前記水平クロスバーから延びる垂直結合部材とを含み、前記第1のエンドエフェクタおよび前記第2のエンドエフェクタが、前記垂直結合部材の遠位端に結合される、請求項12に記載の方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762535270P | 2017-07-21 | 2017-07-21 | |
US62/535,270 | 2017-07-21 | ||
US15/708,943 | 2017-09-19 | ||
US15/708,943 US10406562B2 (en) | 2017-07-21 | 2017-09-19 | Automation for rotary sorters |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019023140A true JP2019023140A (ja) | 2019-02-14 |
JP2019023140A5 JP2019023140A5 (ja) | 2020-11-12 |
JP7120748B2 JP7120748B2 (ja) | 2022-08-17 |
Family
ID=59955441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017194125A Active JP7120748B2 (ja) | 2017-07-21 | 2017-10-04 | 回転ソータの自動化 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10406562B2 (ja) |
EP (1) | EP3431194B1 (ja) |
JP (1) | JP7120748B2 (ja) |
KR (1) | KR102246810B1 (ja) |
CN (3) | CN115483134A (ja) |
TW (2) | TWI775779B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10406562B2 (en) * | 2017-07-21 | 2019-09-10 | Applied Materials, Inc. | Automation for rotary sorters |
CN112005356B (zh) * | 2018-05-03 | 2024-06-14 | 应用材料公司 | 高速旋转分类器中的基板倾斜控制 |
MX2021002716A (es) * | 2018-09-06 | 2021-08-11 | Tompkins Robotics Inc | Sistema y metodo de ordenamiento de paquetes y articulos con eliminacion de contenedores de destino. |
WO2021066984A1 (en) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | Applied Materials, Inc. | Conveyor inspection system, substrate rotator, and test system having the same |
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- 2017-09-29 KR KR1020170128220A patent/KR102246810B1/ko active IP Right Grant
- 2017-10-04 JP JP2017194125A patent/JP7120748B2/ja active Active
- 2017-10-05 TW TW106134318A patent/TWI775779B/zh active
- 2017-10-05 TW TW106214778U patent/TWM568493U/zh unknown
- 2017-10-24 CN CN202210975097.2A patent/CN115483134A/zh active Pending
- 2017-10-24 CN CN201721409560.8U patent/CN207641886U/zh active Active
- 2017-10-24 CN CN201711001029.1A patent/CN109285796A/zh active Pending
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EP3431194B1 (en) | 2021-12-29 |
KR102246810B1 (ko) | 2021-04-29 |
US10406562B2 (en) | 2019-09-10 |
US20190022705A1 (en) | 2019-01-24 |
JP7120748B2 (ja) | 2022-08-17 |
CN207641886U (zh) | 2018-07-24 |
KR20190010384A (ko) | 2019-01-30 |
CN115483134A (zh) | 2022-12-16 |
EP3431194A1 (en) | 2019-01-23 |
TWM568493U (zh) | 2018-10-11 |
TWI775779B (zh) | 2022-09-01 |
CN109285796A (zh) | 2019-01-29 |
TW201908022A (zh) | 2019-03-01 |
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