DE10038168C2 - Handhabungs-und/oder Bearbeitungszentrum für Mikrosysteme - Google Patents
Handhabungs-und/oder Bearbeitungszentrum für MikrosystemeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Handhabungs- und/oder Bearbeitungs
zentrum für Mikrosysteme gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 2.
Im Bereich der Mikrosystemtechnik sind, beispielsweise in der
Halbleiterindustrie, auf hohe Stückzahlen und häufig auf das
Arbeiten unter Reinraumbedingungen ausgerichtete Sondermaschi
nen gebräuchlich, die einen entsprechend hohen Investitionsauf
wand erforderlich machen. Daneben besteht, insbesondere für
kleinere und mittlere Unternehmen, ein erheblicher Bedarf an
Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentren, die aus einigen
Grundbaumustern variabel zusammenzusetzen sind und so die Vor
aussetzung dafür bieten, eine wirtschaftliche Fertigung auch
noch bei niedrigeren Stückzahlen zu ermöglichen, insbesondere
aber bei vertretbarem Aufwand an die jeweiligen Erfordernisse
angepasst werden zu können.
Zu berücksichtigen ist auch die Vielzahl und Unterschiedlich
keit der zur Herstellung gelangenden mikrosystemtechnischen
Komponenten, denen gemeinsam ist, dass sie zumindest für die
Bearbeitung als scheibenförmige Elemente in Form planarer Sub
strate vorliegen, die entsprechenden Bearbeitungsschritten, wie
Beschichten, Ätzen usw. unterworfen werden, und/oder als Teile
träger. Als Teileträger sind auch Kombinationen erfasst, wie
sie in der DE 199 53 965 C1 beschrieben sind, bestehend aus ei
ner Bauteile tragenden Palette und einem Werkstück, wobei die
Palette beispielsweise eine randgeschlossene, scheibenförmige
Aufnahme für das mittig einzusetzende scheibenförmige Werkstück
bildet. Hierdurch wird die Möglichkeit geboten, das scheiben
förmige, einen Teileträger bildende Element im Bereich seiner
Palettenfläche als Bevorratungsstation, z. B. für Bauteile, zu
verwenden, von der im Rahmen der Bestückung die jeweiligen Bau
teile auf das Werkstück umgesetzt werden können. Teileträger
können auch insgesamt als Paletten ausgebildet sein, die glei
che oder unterschiedliche Bauteile tragen, die ihrerseits in
den entsprechenden Bearbeitungsstationen sortiert, umgesetzt,
auf entsprechende spezielle Einsatzzwecke hin vorbereitet
und/oder auf Werkstücken appliziert werden.
Der geforderten Flexibilität wird dadurch Rechnung getragen,
dass entsprechende Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentren in
Clusterbauweise aufgebaut werden, d. h. aus einzelnen Modulen
zusammengesetzt werden, wobei ein bevorzugter Aufbau darin be
steht, eine zentrale Versorgungseinheit vorzusehen, die als
Eingabe- und Ausgabestation für die Zu- und Abführung der
scheibenförmigen Elemente zum bzw. vom Handhabungs- und/oder
Bearbeitungszentrum dient und von der aus die jeweiligen Pro
zessmodule des jeweiligen Handhabungs- und/oder Bearbeitungs
zentrums versorgt werden können.
In solchen Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentren, wie sie
beispielsweise aus der DE 198 31 032 A1 bekannt sind, bildet
die zentrale Versorgungseinheit ein Kernstück, über das die
Handhabung der einzelnen scheibenförmigen Elemente prozessab
hängig individuell gestaltet werden kann, und zwar bei hoher
Arbeitsgeschwindigkeit und bei Gestaltung der Transportwerkzeu
ge im Hinblick auf eine lagegenaue und eng tolerierte Positio
nierung der jeweiligen Elemente.
Als Transportwerkzeuge kommen dabei Handhabungsgeräte mit pad
delartigen Greiferarmen zur Verwendung, auf denen die jeweils
zu transportierenden Elemente, gegebenenfalls verspannt, auf
liegen und die bei drehbarer Anordnung radial ausfahrbar und
höhenverstellbar sind, so dass sie relativ komplexe mechanische
Einheiten darstellen, die im Hinblick auf die geforderten hohen
Arbeitsgeschwindigkeiten, engen Tolerierungen der Bewegungswege
und die auftretenden hohen Beschleunigungen steif und schwingungsunempfindlich
ausgebildet sind. Damit können über derarti
ge, paddelartige Greiferarme scheibenförmige, Werkstücke
und/oder Teileträger bildende Elemente zwischen an die zentrale
Versorgungseinheit angedockten Prozessmodulen verlagert und
auch in Magazine eingelegt oder aus diesen entnommen werden, in
denen die scheibenförmigen Elemente bei geringst möglichem Hö
henabstand magaziniert übereinander abgelegt sind, so bei
spielsweise in sogenannten SMIF-Boxen, die standardisiert als
Transportbehälter eingesetzt und zum Be- und Entladen mit der
jeweiligen zentralen Versorgungseinheit verkuppelt werden.
Bei einem weiteren bekannten, in Clusterbauweise aufgebauten
Handhabungs- und Bearbeitungszentrum für scheibenförmige Ele
mente, insbesondere CD's (DE 195 14 037 C2) sind um einen Dreh
tisch neben einer Ein- und eine Ausgabestation eine Reihe von
Prozessmodulen vorgesehen. Zur Verlagerung der scheibenförmigen
Elemente zwischen den Stationen und Modulen und dem Drehtisch
sind zwei- oder dreiarmige, um zur Achse des Drehtisches paral
lele Achsen drehbare und gegebenenfalls höhenverstellbare Grei
fereinheiten jeweils zwischen Drehtisch und zugehörigen Statio
nen und Modulen angeordnet. Bei in Umfangsrichtung des Drehti
sches aufeinanderfolgend zu durchlaufenden Stationen bedingt
ein solcher Aufbau bezüglich der Taktzeit die Ausrichtung auf
die Arbeitsstation, in der sich die längste Verweilzeit ergibt.
Um diesbezüglich zu größerer Freiheit und damit zu insgesamt
schnelleren Durchlaufzeiten zu kommen ist vorgesehen, Prozess
schritte, die längere Verweilzeiten bedingen, in parallel ar
beitenden Arbeitsmodulen durchzuführen und gegebenenfalls Park
stationen vorzusehen, um durch Pufferung Verweilzeitunterschie
de ausgleichen und dadurch den Durchlaufprozess insgesamt be
schleunigen zu können.
Dieser wird auch dadurch beeinflusst, dass arbeitsbedingt in
den einzelnen Prozessmodulen, gegebenenfalls auch in der zen
tralen Versorgungseinheit sowie in der Zuführung auf diese bzw.
in der Abführung von dieser kontrollierte Umgebungsbedingungen,
insbesondere Reinraumbedingungen aufrechtzuerhalten sind, was
für den Transport durch die Verwendung sogenannter SMIF-Boxen
als Transportboxen sichergestellt wird, die über eine Förder
station als Ein- und Ausgabestation der zentralen Versorgungs
einheit zugeführt werden. Eine solche Förderstation ist aus der
DE 197 26 305 A1 bekannt und weist nebeneinander liegende Auf
nahmen für zwei SMIF-Boxen auf. Die SMIF-Boxen werden an einer
Förderstation in einem Bereich aufgesetzt, der Umgebungsbedin
gungen ausgesetzt ist, und aus diesem Bereich über Hubwerke be
züglich ihrer die zu bearbeitenden scheibenförmigen Elemente
tragenden Magazine in Bereiche der Förderstation abgesenkt, in
denen kontrollierte Umweltbedingungen, insbesondere Reinraumbe
dingungen herrschen und von denen aus über der Förderstation
zugeordnete Handhabungseinrichtungen die in den Magazinen der
SMIF-Boxen abgelegten scheibenförmigen Elemente in Richtung auf
die zentrale Versorgungseinheit weiter gegeben werden.
Die Weitergabe muß abgestimmt auf die Kapazität der zentralen
Versorgungseinheit erfolgen, wie auch umgekehrt eine Rückfüh
rung auf die Förderstation nur unter entsprechend abgestimmten
Gegebenheiten möglich ist, so dass die jeweils ungünstigeren
Gegebenheiten seitens der Versorgungseinheit oder seitens der
Förderstation den Durchsatz bestimmen.
Bezogen auf ein in Clusterbauweise aufgebautes Handhabungs-
und/oder Bearbeitungszentrum für Mikrosysteme liegt der Erfin
dung die Aufgabe zugrunde, die den Durchsatz beeinträchtigenden
wechselseitigen Abhängigkeiten zwischen verschiedenen Elementen
des Clusters zu reduzieren.
Erreicht wird dies bei einem Handhabungs- und/oder Bearbei
tungszentrum für Mikrosysteme durch eine Gestaltung gemäß dem
Anspruch 1 oder 2. Durch den Einsatz eines anspruchsgemäß auf
gebauten und in den Cluster integrierten Speichermodules lässt
sich die Durchsatzkapazität des Handhabungs- und/oder Bearbei
tungszentrums in mehrfacher Weise vorteilhaft beeinflussen. So
lässt sich über den Drehtisch für das im Speichermodul jeweils
auf diesem plazierte Element eine Drehwinkelausrichtung vornehmen,
die für einen nachfolgenden Arbeitsschritt wünschenswert
und zweckmäßig ist, so beispielsweise um einen bezüglich seiner
Winkellage vorgegebenen Arbeits- bzw. Bearbeitungsschritt am
bzw. mit dem jeweiligen scheibenförmigen Element in einer nach
folgenden Station unmittelbar aufgrund der bereits erfolgten
Winkelausrichtung vornehmen zu können. In Verbindung mit einer
derartigen Drehwinkelpositionierung, aber auch unabhängig hier
von bietet das Speichermodul die Möglichkeit der Zwischenspei
cherung, die es ermöglicht, unterschiedliche Zeitabläufe in den
einzelnen Transport- und/oder Bearbeitungsabläufen zu nutzen
bzw. auszugleichen. Die erfindungsgemäße Ausbildung des Spei
chermodules macht es zudem bei grundsätzlich gleichem Aufbau
möglich, dieses in Verbindung mit höhenverstellbarer oder hö
henfest arbeitendem Handhabungsgeräten einzusetzen und die Hö
henverstellbarkeit des Magazins gegebenenfalls zu nutzen, um
das jeweilige scheibenförmige Element von einem höhenfesten
Greifarm abzuheben.
Weitere Vorteile bietet das erfindungsgemäße Speichermodul in
Handhabungs- und Bearbeitungszentren, in denen unter den er
schwerenden Bedingungen der Reinraumtechnik gearbeitet werden
muß, gegebenenfalls mit abgestuften Reinheitsgraden, wobei
Übergänge zwischen atmosphärischen Bedingungen bis hin zum Ul
tra-Hochvakuum zu beherrschen sind. Hierbei eignet sich das er
findungsgemäße Modul im verfahrensmäßigen Arbeitsablauf auch
als Zwischenstufe, in der ein verhältnismäßig kleines Volumen
gegeben ist, so dass zur Verstärkung des Vakuums nur kurze Ab
pumpzeiten erforderlich sind, ungeachtet einer gleichzeitig ge
gebenen Speicherfunktion.
Im Hinblick auf die erfindungsgemäße Nutzung des Moduls in Ver
bindung mit herkömmlichen, zentralen Versorgungseinheiten mit
ebenen Anschlussflächen für die anzudockenden Module erweist es
sich als zweckmäßig, das erfindungsgemäße, als Zwischenspeicher
einsetzbare Modul ebenfalls mehreckig, bevorzugt dreiecksförmig
auszubilden und an zumindest einer seiner ebenen Seiten mit ei
ner Beschickungsöffnung zu versehen, die gegebenenfalls über
eine Schleuse gegen das jeweils angrenzende Modul absperrbar
ist, so dass im Speichermodul jeweils gewünschte, eigenständige
Reinraumbedingungen realisiert werden können.
In einem derartigen, bevorzugt dreiecksförmig ausgebildeten Mo
dul erweist es sich als zweckmäßig, das Magazin durch im Be
reich der Modulecken kammartig übereinanderliegende Auflagen zu
bilden und bevorzugt einem höhenverstellbaren Innenkäfig zuzu
ordnen, der über ein bevorzugt bodenseitig vorgesehenes Hubwerk
in seiner Lage zur jeweiligen, die Beschickungsöffnung durch
setzenden Ebene zu verändern ist.
Das Hubwerk ist bevorzugt aussermittig, also versetzt zum Zen
trum des Moduls vorgesehen, und zwar bodenseitig bei zentraler
Anordnung des höhenfest vorgesehenen Drehtisches.
Das erfindungsgemäße Modul bildet bevorzugt ein Verbindungsmo
dul zwischen Förder-, Verteiler- und/oder Speicherstationen,
insbesondere der zentralen Versorgungseinheit, wobei eine er
findungsgemäß besonders zweckmäßige Gesamtanordnung einer zen
tralen Versorgungseinheit ein Speicherkarussell mit integrier
tem Handhabungsgerät umfasst, das über ein, bevorzugt zwei Mo
dule der erfindungsgemäßen, als Zwischenspeicher ausgebildeten
Art mit einer Förderstation verbunden ist, die ihrerseits die
Andockstation für Transportboxen bildet, wobei bevorzugt An
schlüsse für zwei Transportboxen vorgesehen sind, so dass im
Zusammenspiel eine besonders gute Nutzung der jeweiligen Trans
port- und Speicherkapazitäten möglich ist und bei erforderli
cher Drehpositionierung über die zwischengeschalteten erfin
dungsgemäßen Module gleichzeitig auch die Arbeitskapazität des
Speicherkarussells und der nachgeordneten Prozess- und/oder Ar
beitsmodule besser genutzt werden kann.
Im Hinblick auf die Automatisierung der Abläufe sowie eine be
vorratete Beschickung der zentralen Versorgungseinheit erweist
es sich als zweckmäßig, die als SMIF-Boxen ausgebildeten Trans
portboxen Hubwerken zuzuordnen, die aus einem Förder- und/oder
Speichersystem automatisiert beschickt werden können, wobei
dieses Förder- und/oder Speichersystem bevorzugt durch einen
Umlaufförderer gebildet ist, der sich über der zentralen Ver
sorgungseinheit befindet, wobei die zentrale Versorgungsein
heit, bei im Umriss sechseckiger Kontur des Speicherkarussells
und einer entsprechenden, aber fünfeckigen Kontur der Förder
station mit auf der vom Speicherkarussell abgelegenen Seite ab
geflachter Anschlussseite, in Verbindung mit der Anordnung der
erfindungsgemäßen Speichermodule zwischen Förderstation und
Speicherkarussell einen im wesentlichen in sich geschlossenen,
rechteckigen Umriss aufweist, so dass sich eine sehr gedrängte,
platzsparende Gesamtkonfiguration ergibt, die durch den Verlauf
und die Anordnung des Förder- und Speichersystemes oberhalb der
zentralen Versorgungseinheit in zweckmäßiger Weise ergänzt
wird.
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich
aus den Ansprüchen. Ferner wird die Erfindung nachstehend an
hand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung der zentralen Ver
sorgungseinheit mit in Clusterbauweise aufgebauten
Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentren für Mikro
systeme, bestehend aus einer als Karussell mit inte
griertem Handhabungsgerät ausgebildeten Speicher- und
Transporteinheit als Basismodul, einer Förderstation
als Ein- und Ausgabeeinheit für anzudockende Trans
portboxen und im Übergang zwischen Karussell und För
derstation angeordneten und als Zwischenspeicher die
nenden Modulen,
Fig. 2 eine der Fig. 1 entsprechende Darstellung, in der
der Aufbau des Speicherkarussells mit Handhabungsge
rät durch Explosionsdarstellung verdeutlicht ist,
Fig. 3 eine Draufsicht auf das als Zwischenspeicher dienende
Übergangsmodul, in vereinfachter Darstellung,
Fig. 4 eine Ansicht des Modules gemäß Fig. 3 in Richtung
des Pfeiles IV,
Fig. 5 eine weitere Ansicht des Modules gemäß Fig. 3 in
Richtung des Pfeiles V,
Fig. 6 eine vereinfachte Schnittdarstellung des Modules ge
mäß Fig. 3 in einer Schnittführung gemäß Linie VI-VI
in Fig. 3,
Fig. 7 in einer Schnittführung gemäß Linie VII-VII in Fig.
3 eine weitere Darstellung des Modules gemäß Fig. 3,
Fig. 8 in perspektivischer Darstellung die zentrale Versor
gungseinheit als Provider für ausgehend vom Karussell
versorgte und an dieses anzuschließende, nicht darge
stellte Module, wobei der Versorgungseinheit überla
gert ein Förder- und Speichersystem für Transportbe
hälter bevorzugt in SMIF-Bauweise zugeordnet ist,
Fig. 9 eine Ausschnittsvergrößerung IX aus Fig. 8, die die
Einrichtung zum Umsetzen der Transportboxen zwischen
dem Förder- und Speichersystem und den Anschlüssen an
die Förderstationen der zentralen Versorgungseinheit
zeigt,
Fig. 10 in Draufsicht eine der Fig. 8 entsprechende, etwas
vereinfachte Darstellung, und
Fig. 11 eine vergrößerte Darstellung des Ausschnittes XI in
Fig. 10, ebenfalls in Draufsicht.
In den Figuren ist mit 1 die zentrale Versorgungseinheit eines
in Clusterbauweise aufgebauten Handhabungs- und/oder Bearbei
tungszentrums für Mikrosysteme und Komponenten von Mikrosyste
men gezeigt, die als scheibenförmige Elemente beispielsweise
selbst der Bearbeitung unterzogen werden und/oder ganz oder
teilweise als Teileträger für Bauteile dienen oder mit Bautei
len bestückt werden. Eine solche zentrale Versorgungseinheit 1
umfasst im Ausführungsbeispiel als Basismodul 2 in Zusammenfas
sung ein Speicherkarussell 3 mit in Umfangsrichtung angeordne
ten Speicherplätzen, in Fig. 2 allgemein mit 3 bezeichnet, und
höhenversetzt hierzu ein Handhabungsgerät 4, das unterhalb des
Speicherkarussells 3 liegt und das zentral drehbar gelagert und
angetrieben einen paddelartigen Greifer 5 als Träger für die zu
transportierenden scheibenförmigen Elemente 6 aufweist, die
über den Greifer 5 zwischen dem Karussell 3 und mit dem Basis
modul 2 verdockten, nicht gezeigten weiteren Modulen oder auch,
unter Umgehung des Karussells 3, unmittelbar zwischen derarti
gen angedockten Modulen umgesetzt werden können. Das Handha
bungsgerät 4 umfasst für den Greifer 5 eine Geradführung, die
in nicht näher dargestellter Weise als Parallelogrammführung
oder auch in Scara-Bauweise, analog zum menschlichen Arm ausge
bildet sein kann und über die der Greifer 5 zur Drehachse des
Handhabungsgerätes 4 radial verfahrbar ist, wobei das Handha
bungsgerät 4 im Ausführungsbeispiel auch höhenverstellbar ist.
Ein Basismodul 2 der beschriebenen Art ist mit weiteren kon
struktiven Details der DE 198 31 032 A1 zu entnehmen, auf die
insoweit Bezug genommen wird, und wird insbesondere zur Ferti
gung und Bearbeitung von Mikrosystemen unter Reinraumbedingun
gen eingesetzt, wobei die Andockung der entsprechenden Bearbei
tungsstationen oder dergleichen als Module an den entsprechen
den, Übergabeöffnungen 7 aufweisenden Flanken des Basismoduls 2
unter Zwischenschaltung von Schleusen und dergleichen erfolgen
kann.
Im Ausführungsbeispiel ist das Basismodul 2 verdockt mit zwei
Speichermodulen 8 und 9, die als Zwischenspeicher die Verbin
dung zu einer Förderstation 10 herstellen, die mit einem Hand
habungsgerät 11 versehen ist und die ihrerseits die Funktion
einer Ein- und Ausgabeeinheit für über Transportboxen 12 bzw.
13 zu- und/oder abzutransportierende scheibenförmige Elemente
wahrnimmt. Das Handhabungsgerät 11 kann analog zum Handhabungs
gerät 4 ausgebildet sein, oder auch durch ein anderweitiges
Handhabungsgerät gebildet sein, über das die den Transportboxen
12 bzw. 13 zu-, bzw. aus diesen abzuführenden scheibenförmigen
Elemente zwischen den Speichermodulen 8 bzw. 9 und den Trans
portboxen 12 bzw. 13 umgesetzt werden können. Insbesondere im
Übergang von der Förderstation 10 auf die Speichermodule 8 bzw.
9 können Schleusen, wie bei 14 in Fig. 1 angedeutet vorgesehen
sein, so dass die einzelnen Stationen bzw. Module unter unter
schiedlichen Reinraumbedingungen betrieben werden können, wobei
die im Volumen gegenüber der Förderstation wesentlich kleineren
Speichermodule 8 bzw. 9 zusätzlich den Vorteil bieten, bei ver
tretbarer Pumpenleistung in kurzer Zeit entsprechende Unter
drücke aufzubauen. Hierzu kann es erfindungsgemäß auch von Vor
teil sein die Zwischenspeicher gegebenenfalls wechselweise so
zu nutzen, dass sich möglichst kurze Anschlußzeiten zum jeweils
unter schlechteren Reinraumbedingungen arbeitenden Modul erge
ben.
Das Handhabungsgerät 4 des Basismoduls 2, das mit dem Speicher
karussell 3 zusammenarbeitet, ist im Hinblick auf die Entnahme
und Ablage von scheibenförmigen Elementen 6 aus dem bzw. im
Speicherkarussell 3 höhenverstellbar und hebt die jeweiligen
scheibenförmigen Elemente 6 von unten aus ihren karussellseiti
gen Auflagen nach oben heraus. Diese Höhenverstellbarkeit des
Handhabungsgerätes 4 kann auch bei der Entnahme aus bzw. bei
der Ablage im Speichermodul 8 bzw. 9 genutzt werden.
Ist das Handhabungsgerät, wie hier beispielshalber für das
Handhabungsgerät 11 der Förderstation 10 unterstellt, nicht hö
henverstellbar, so kann die Höhenverstellbarkeit des Magazin
des Speichermoduls 8 bzw. 9, auf dessen Aufbau nachstehend noch
näher eingegangen wird, genutzt werden, um über das Handha
bungsgerät 11 zu fördernde scheibenförmige Elemente vom Magazin
auf das Handhabungsgerät zu übergeben, oder umgekehrt. Das
Speichermodul 8 bzw. 9 in erfindungsgemäßer Ausgestaltung ist
dementsprechend auch geeignet, mit Handhabungsgeräten verschie
dener Funktionalität, insbesondere bezüglich deren Höhenver
stellbarkeit zusammenzuarbeiten und so die Variabilität bezüg
lich des Aufbaus der zentralen Versorgungseinheit 1 und der an
diese angeschlossenen weiteren Stationen zu verbessern.
Darstellungen der untereinander gleich aufgebauten Speichermo
dule 8 und 9 zeigen zunächst die Fig. 3 bis 5, wobei diese
eine dreiecksförmige Kontur aufweisen, so dass sie, wie aus
Fig. 1 und 2 ersichtlich, als angepasstes Übergangselement
zwischen dem Basismodul 2 und der Förderstation 10 einzufügen
sind. Zum Basismodul 2 bzw. zur Förderstation 10 bestehen je
weils Übergabeöffnungen, die bezüglich der Module 8, 9 mit 15
und 16 bezeichnet sind. Ferner umfasst das jeweilige Speicher
modul 8 bzw. 9 ein Magazin zur gestapelten, untereinander beab
standeten Ablage von scheibenförmigen Elementen 6, wobei das
Magazin 17 den jeweiligen Modulecken zugeordnet kammartig über
einander liegende, zueinander beabstandete Auflagen 18 aufweist
und einem höhenverstellbaren Innenkäfig 19 des Modules 8, 9 zu
geordnet ist, der bodenseitig gegen ein Hubwerk 20 abgestützt
ist, das aussermittig und seitlich versetzt zum Zentrum 21 des
Magazines 17 liegt.
Im Zentrum liegt im Ausführungsbeispiel höhenfest der Drehtel
ler 22 eines Drehtisches 23, dessen Antrieb 35 wie das Hubwerk
20 unterhalb des Speichermoduls 8 bzw. 9 liegt, das über eine
Abdeckung 24 zu verschließen ist. Wie in Fig. 1 durch die
Schleuse 14 veranschaulicht können auch den anderen Übergabe
öffnungen jeweils solche Schleusen zugeordnet sein, in Abhän
gigkeit davon, welche Umgebungsbedingungen, insbesondere Rein
raumbedingungen für das jeweilige Modul aufrechtzuerhalten
sind.
Fig. 6 und 7 zeigen Schnittdarstellungen durch ein jeweili
ges Speichermodul 8, 9, wobei in Fig. 6 der das Magazin 17
tragende Innenkäfig 19 zur Tischebene 25 des Drehtellers 22 ei
ne Höhenlage einnimmt, in der die oberste Magazinauflage 26 des
ausgehend von seiner unteren Anfangsbeschickungsstellung gegen
die obere Endbeschickungsstellung verstellbaren und zu beladen
den Magazines in der Tischebene 25 liegt, so dass bei geringfü
gigem Versatz des Magazines 17 nach unten der Drehteller 22 die
Abstützung für ein nicht dargestelltes scheibenförmiges Element
bildet und dieses somit über den Drehteller 22 in die jeweils
gewünschte Drehwinkellage gebracht werden kann, während mit ei
nem geringfügigen Anheben des Magazines 17 gegenüber der Ebene
25 das jeweilige scheibenförmige Element vom Drehteller 22 ab
gehoben ist.
Die nach unten abgesetzte Stellung des Magazines 17 zeigt Fig.
7, wobei in Fig. 7 ergänzend auch noch die Transferebene 27
eingetragen ist, in der durch eine Übergabeöffnung der Trans
port des jeweiligen scheibenförmigen Elementes über ein Handha
bungsgerät 4 bzw. 11 erfolgt. Der Abstand zwischen der Trans
ferebene 27 und der Tischebene 25 ist minimal so groß, dass der
jeweils paddelförmige, das scheibenförmige Element tragende
Greifer ebenenparallel zwischen diesen Ebenen hindurchgeführt
werden kann, so dass, durch wechselseitigen Höhenversatz zwi
schen Magazin 17 und Greifer bzw. Handhabungsgerät die Übergabe
vom Magazin 17 auf den Greifer oder umgekehrt erfolgen kann.
Der Höhenversatz kann daher grundsätzlich durch Höhenverstel
lung des Magazins und/oder des Handhabungsgerätes erfolgen.
Ist das Magazin 17 bis nahezu auf die Transferebene 27 mit der
jeweiligen Auflage herangefahren, so kann durch Höhenversatz
des Greifers die Übergabe erfolgen. Umgekehrt kann bei höhenfe
ster Lage des Greifers durch Anheben des Magazins 17 soweit,
dass die jeweils in Frage kommende Auflage die Transferebene 27
durchstösst, die Übergabe auf das Magazin 17 erfolgen, Umge
kehrte, aber entsprechende verfahrensmäßige Abläufe ergeben
sich bei der Entnahme aus dem Magazin 17.
Durch Absenken des Magazins 17 mit der jeweiligen Auflage auf
die Tischebene 25 ist für das jeweils unterste Element der im
Magazin 17 gestapelten Elemente die jeweilige Drehwinkellage
einstellbar, wobei das Magazin von oben nach unten befüllt und
von unten nach oben entleert wird.
Die erfindungsgemäße Ausbildung eines jeweiligen Speichermoduls
macht es möglich, allein mit der Höhenverstellung des Magazins
zu arbeiten, so dass eine Höhenverstellung für den Drehtisch
nicht erforderlich ist. Eine zusätzliche Höhenverstellung des
Drehtisches ist im Rahmen der Erfindung aber durchaus möglich
und ermöglicht im Rahmen der Umsetzung zwischen Handhabungsge
rät und Magazin weitere Variationen.
Wie die vorstehenden Schilderungen und insbesondere die Dar
stellungen gemäß Fig. 1 und 2 erkennen lassen, ergibt sich
bei der erfindungsgemäßen Lösung eine zentrale Versorgungsein
heit 1, die sich durch große Variabilität bei kompakter Bauwei
se sowie durch hohe Durchsatzkapazität und günstige Vorausset
zungen zur Arbeit unter gegebenenfalls gestuften Reinraumbedin
gungen auszeichnet, wobei die durch die erfindungsgemäßen Spei
chermodule 8, 9 erreichte Möglichkeit der Drehwinkelorientie
rung zusätzlich zur Beschleunigung der Abläufe und zur Verein
fachung jeweils nachgeordneter Arbeitsschritte beiträgt.
Die Möglichkeit der Zwischenspeicherung bietet darüber hinaus
Vorteile im Hinblick auf gegebenenfalls angestrebte Sortier
funktionen, wobei es sich als besonders vorteilhaft erweist,
wenn mehreren Speichermodulen auch mehrere jeweils angeschlos
sene Transportboxen, wie durch die Transportboxen 12, 13 veran
schaulicht, zugeordnet sind.
Hohe Durchsatzkapazitäten, die erfindungsgemäß erreichbar sind,
werden im Rahmen der Erfindung durch ein Förder- und Speicher
system 28 begünstigt, wie es in den Fig. 8 bis 11 veran
schaulicht ist, wobei die Fig. 8 und 9 den Grundaufbau ver
deutlichen, der dadurch gekennzeichnet ist, dass das Förder-
und Speichersystem 28 über der Grundfläche der zentralen Ver
sorgungseinheit 1, und diese überdeckend, angeordnet ist, so
dass der Raumbedarf für das Gesamtsystem klein bleibt und ins
besondere eine gute Zugänglichkeit zu mit dem Basismodul 2 ver
dockten, hier nicht dargestellten Arbeitsstationen erhalten
bleibt.
Das Förder- und Speichersystem 28 ist als Umlaufförderer ausge
bildet und hat im Ausführungsbeispiel eine Aufnahmekapazität
für sechs Transportboxen aufweist, von denen die angedockten
entsprechend den vorhergehenden Ausführungsbeispielen mit 12
und 13 bezeichnet sind und die in der Vorratsposition befindli
chen, einer umlaufenden Tragführung 30 zugeordneten mit 29. Von
der Tragführung 30 können die jeweiligen Transportboxen über
Hubwerke 31, 32 zwischen ihrer angedockten Stellung-Trans
portboxen 12, 13 - und ihrer an der Tragführung 30 befestigten
Stellung-Transportboxen 29 - umgesetzt werden, wobei den Hub
werken 31, 32 Tragarme, wie für das Hubwerk 31 mit 33 bezeich
net, zugeordnet sind, die Kupplungsvorrichtungen 34 tragen,
über die die jeweiligen Transportboxen automatisiert zwischen
ihrer angedockten Stellung und ihrer Halterung an der Tragfüh
rung 30 umgesetzt werden können, wobei die Tragführung 30, wie
insbesondere Fig. 10 und 11 erkennen läßt, derartig ver
läuft, dass die Transportboxen 29 im Einlauf in die jeweiligen
Umlenkbögen 36 der Tragführung in die jeweilige Kupplungsvor
richtung 34 einfahren. In Ausgestaltung der Erfindung können
die Hubwerke 31, 32 mit den zugeordneten Kupplungsvorrichtungen
34 auch genutzt werden, um den notwendigen Wechsel von Trans
portboxen in das oder aus dem Förder-Speichersystem 28 vorzu
nehmen. Entsprechend der quaderförmig langestreckten Grundform
der zentralen Versorgungseinheit weist auch die Tragführung 30
zueinander parallele, den Längsseiten der Versorgungseinheit
zugeordneten Längsseiten 37 auf, die über die Umlenkbögen 36
verbunden sind.
Das erfindungsgemäße Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum
bietet insgesamt bezüglich des Ablaufes wie der Gestaltung der
reinraumtechnischen Arbeitsbedingungen vielfältige Variationen
im Verfahrensablauf bei im wesentlichen gleichem Grundaufbau,
und es lassen sich vielfältige Gestaltungsmöglichkeiten mit nur
wenigen Grundelementen realisieren. Insbesondere bestehen auch
günstige Arbeitsvoraussetzungen bei im Durchmesser großen
scheibenförmigen Elementen in Form von planaren Substraten
und/oder Teileträgern.
Claims (21)
1. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum für Mikrosysteme,
das in Clusterbauweise aufgebaut ist und als Speichermodul (8,
9) für die beabstandete Stapelung scheibenförmiger Elemente (6)
ein höhenverstellbares Magazin (17) mit in Höhenrichtung ver
setzten Auflagen (18) aufweist, welches zentral zu den Auflagen
(18) mit einem, insbesondere höhenfesten Drehtisch (23) verse
hen ist, dessen Tischebene (25) unterhalb einer eine Beschic
kungsöffnung (15, 16) des Modules (8, 9) schneidenden Trans
ferebene (27) für die zu magazinierenden Elemente (6) liegt,
wobei das Magazin (17) zwischen einer unteren Anfangsbeschic
kungsstellung für die oberste Magazinauflage und einer oberen
Endbeschickungsstellung für die unterste Magazinauflage ver
stellbar ist und für jede Beschickungsstellung mit der jeweili
gen, eine Übernahmeebene bestimmenden Magazinauflage (18) zwi
schen Transferebene (27) und Tischebene (25) liegt sowie aus
dieser Lage zur Übergabe auf den Drehtisch (23) jeweils in eine
unter der Tischebene (25) liegende Stellung absenkbar ist.
2. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum für Mikrosysteme,
das in Clusterbauweise aufgebaut ist und als Speichermodul (8,
9) für die beabstandete Stapelung scheibenförmiger Elemente (6)
ein höhenverstellbares Magazin (17) mit in Höhenrichtung ver
setzten Auflagen (18) aufweist, welches zentral zu den Auflagen
(18) mit einem, insbesondere höhenfesten, Drehtisch (23) verse
hen ist, dessen Tischebene (25) unterhalb einer eine Beschic
kungsöffnung (15, 16) des Modules (8, 9) schneidenden Trans
ferebene (27) für die zu magazinierenden Elemente (6) liegt,
wobei das Magazin (17) zwischen einer unteren Anfangsbeschic
kungsstellung für die oberste Magazinauflage und einer oberen
Endbeschickungsstellung für die unterste Magazinauflage ver
stellbar ist und bei unterhalb der Transferebene (27) liegen
der, eine Übernahmeebene bestimmender Tischebene (25) für jede
Beschickungsstellung bezüglich der jeweiligen, zugeordneten Ma
gazinauflage (18) in eine über der Transferebene (27) liegende
Stellung anhebbar ist.
3. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 1
oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Modul (8, 9) mehreckig ausgebildet und in zumindest
einer Seite mit einer Beschickungsöffnung (15, 16) versehen
ist.
4. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Modul (8, 9) dreiecksförmig ausgebildet ist.
5. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 3
oder 4,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Magazin (17) im Bereich der Modulecken kammartig
übereinanderliegende Auflagen (18) aufweist.
6. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Magazin (17) einem höhenverstellbaren Innenkäfig (19)
des Moduls zugeordnet ist.
7. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach einem der
vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Hubantrieb (Hubwerk 20) für das Magazin (17) zum zen
tral liegenden Antrieb (35) des Drehtisches (23) radial ver
setzt liegt und am Boden des Innenkäfigs (19) angreift.
8. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach einem der
vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Modul (8, 9) als Zwischenmodul zwischen Förder-, Ver
teiler- und/oder Speicherstationen (Basismodul 2; Förderstation
10) liegt.
9. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
dass eine Förderstation (10) Anschlüsse für die scheibenarti
gen Elemente aufnehmende Transportboxen (12, 13) aufweist und
ein Handhabungsgerät (11) zum Umsetzen der scheibenartigen Ele
mente (6) zwischen Transportboxen (13, 14) und/oder Verbin
dungsmodulen (8, 9) umfasst.
10. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Förderstation (10) Anschlüsse für zwei Verbindungsmo
dule (12, 13) aufweist.
11. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach einem der
Ansprüche 8 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
dass eine Speicher- und Verteilerstation (Basismodul 2) als
Speicherkarussell (3) mit Anschlüssen für weitere Module und
einem integrierten Handhabungsgerät (4) ausgebildet ist.
12. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Speicherkarussell (3) mit integriertem Handhabungsge
rät (4) über zwei Zwischenmodule (8, 9) mit der Förderstation
(10) verbunden ist.
13. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 11
oder 12,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Speicherkarussell (3) und die Förderstation (10) je
weils unter gleichem Winkel zueinander stehende Anschlussflä
chen für die passend dazwischen einführbaren Verbindungsmodule
(8, 9) aufweisen.
14. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach einem der
vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Anschlussfläche für die Transportboxen (12, 13) der
zum Basismodul (2) gegenüberliegenden Seite der Förderstation
(10) zugeordnet ist.
15. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach einem der
vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Basismodul (2) sechseckig ausgebildet ist.
16. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach einem der
vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Förderstation (10) fünfeckig ausgebildet ist und dass
die vom Basismodul (2) abgewandte Seite der Förderstation (10)
als Flachseite ausgebildet ist, die die Anschlüsse für die
Transportboxen zugeordnet sind.
17. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach einem der
vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass Basismodul (2), Zwischenmodule (8, 9) und Förderstation
(10) seitlich zueinander fluchtend aneinander anschließen.
18. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 17,
dadurch gekennzeichnet,
dass die durch Basismodul (2), Zwischenmodule (8, 9) und För
derstation (10) gebildete zentrale Versorgungseinheit (1) von
einem nach oben abgesetzten Förder- und Speichersystem (28)
überlagert ist.
19. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Förder- und Speichersystem (28) eine umlaufende Trag
führung (30) aufweist, längs auf der die Transportboxen (29)
gespeichert und verfahrbar sind.
20. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 19,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Tragführung (30) mit ihren Längsseiten auf Hubwerke
(31, 32) für die Transportboxen (12, 13) ausläuft.
21. Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrum nach Anspruch 20,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Hubwerke (31, 32) der Förderstation (10) zugeordnet
sind.
Priority Applications (1)
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DE2000138168 DE10038168C2 (de) | 2000-08-04 | 2000-08-04 | Handhabungs-und/oder Bearbeitungszentrum für Mikrosysteme |
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DE10038168A1 DE10038168A1 (de) | 2002-02-21 |
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ID=7651376
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DE (1) | DE10038168C2 (de) |
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DE10038168A1 (de) | 2002-02-21 |
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