CN112005356B - 高速旋转分类器中的基板倾斜控制 - Google Patents

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Abstract

公开了一种用于分类多个基板的设备和方法。该设备包括分类单元、可旋转支撑件、多个夹持器及空气喷嘴，分类单元能够支撑多个箱，可旋转支撑件设置在分类单元内，可旋转支撑件绕旋转轴是可旋转的，多个夹持器在相对于旋转轴的共同半径上耦接到可旋转支撑件，夹持器经被定位为当该可旋转支撑件旋转时沿着这些箱上方的路径行进，该空气喷嘴经配置以当被分类的基板由这些夹持器中的一个夹持器释放到多个箱中的一个箱中时相对于该箱中的堆叠的基板重新定向该被分类的基板。

Description

高速旋转分类器中的基板倾斜控制
技术领域
本公开内容的实施方式一般涉及太阳能基板检查设备。更具体言之，本文所公开的实施方式涉及用于基板的高速分类的系统和方法。
背景技术
基板(如太阳能基板)在处理期间在独立的检查站被常规检查，以确保符合预定的品质控制标准。不同的检查技术提供有关产品和工艺的综合数据。然而，由于所需检查站的数量以及在其间移动基板所导致的传送时间，综合检查可能是耗时的，从而降低了产量。因此，设备制造商经常面临在具有繁琐检查/传送时间的彻底检查或者放弃某些检查处理之间作选择的决定。
随着检查处理的成检查步骤的时间的持续减少，需要能够跟上更快分类的分类设备以增加产量。然而，在这些更快的分类系统中处置(handling)基板有时会产生问题。例如，通常在分类期间拾取基板并将其堆叠在箱中，且堆叠处理可包括使基板下落(drop)一小段距离。若该下落的基板以不同于该下落的基板所要堆叠在其上的另一基板(如，“堆叠的基板(stacked substrate)”)的定向倾斜，则当下落的基板与堆叠的基板接触时可能发生裂缝或破裂。
如前所述，需要一种改良的基板检查系统，用于以提高的速度对检查过的(inspected)基板进行分类并允许更高的产量。因此，本领域需要一种控制被分类的(sorted)基板的倾斜角度的高速旋转分类器。
发明内容
本文公开了一种用于分类多个基板的设备和方法。在一个实施方式中，该设备包括分类单元，设置在分类单元内的可旋转支撑件，可旋转支撑件可绕旋转轴旋转。多个夹持器在相对于旋转轴的共同半径上耦接到该可旋转支撑件，多个箱定位在分类单元内并位于当可旋转支撑件旋转时该些夹持器所沿着行进的路径下方。空气喷嘴设置在夹持器与多个箱中的每个箱之间，当被分类的基板由该些夹持器中的一个夹持器释放到该多个箱中的一个箱中时，该空气喷嘴经配置以相对于堆叠的基板重新定向该被分类的基板。
在另一个实施方式中，公开了一种适于对基板分类的设备，其包括分类单元。分类单元包括支撑结构、至少一个夹持器与多个单独可移除式分类箱，该支撑结构从旋转轴径向向外延伸，至少一个夹持器耦接到支撑结构以用于支撑基板，该多个单独可移除式分类箱定位于分类单元内并且位于当至少一个夹持器旋转时该至少一个夹持器所沿着行进的路径下方。多个单独可移除式分类箱中的每一个包括单一空气喷嘴，以用于在基板从该至少一个夹持器释放之后重新定向该基板的平面定向。
在又一个实施方式中，公开了一种操作用于对外壳中的多个基板分类的设备的方法。该方法包括以下步骤：用旋转的分类单元上的至少一个夹持器来保持检查过的基板。围绕分类单元的中心轴将由至少一个夹持器所保持的检查过的基板旋转到分配给检查过的基板的分类箱上方的位置，其中该分类箱包含底板，该底板具有在非水平平面上成角度的平面。该方法包括以下步骤：将该检查过的基板以水平的平面定向从该至少一个夹持器释放到所分配的分类箱中，以及在该检查过的基板将要静置于所分配的分类箱内之前，重新定向检查过的基板的平面定向。
附图说明
作为本公开内容的上述特征可被详细理解的方式，可通过参考实施方式来获得已简要概述于前的公开内容的更详尽的描述，实施方式的一些绘示于附图中。然而，值得注意的是，附图仅绘示了本公开内容的示例实施方式，并且因此不应视为对本公开内容的范围的限制，因为本公开内容可允许其他等效的实施方式。
图1绘示了根据一个实施方式的检查系统的俯视图。
图2绘示了根据一个实施方式的图1的检查系统的高速旋转分类器的俯视图。
图3是图2的分类箱的一者的等距侧视图。
图4是与最上面堆叠的基板实质平行的被分类的基板的等距视图。
为便于理解，尽可能使用相同的附图标记指代附图中相同的元件。可以预期的是，一个实施方式中的元件与特征可有利地用于其他实施方式中而无需赘述。
具体实施方式
本公开内容的实施方式一般涉及基板处置系统。基板处置系统适用于分类系统，如在基板检查系统中使用的分类系统。检查系统包括多个测量单元，这些测量单元适于分析基板的一个或多个特征，包括(仅举例来说)厚度、电阻率、锯痕、几何形状、污迹、碎片(chips)、微裂纹和晶体片段(crystal fraction)。检查系统可用于识别基板上的缺陷并在处理基板之前估计电池效率。基板可经传送通过检查系统和/或在轨道或输送机系统上的测量单元之间传送，随后基于检查数据而经由与高速旋转分类设备耦接的夹持器分类到相应的箱中。分类设备保持每小时至少5400个基板的分类能力。每个箱包括倾斜控制装置，用于当基板从旋转分类设备落入相应的箱中时控制基板的倾角或平面定向。
图1绘示了根据一个实施方式的检查系统100的俯视图。检查系统100包括装载模块102、模块化单元104和分类单元106。
装载模块102可以是例如装载机器人或其他将基板装载到检查系统100中的基板搬运机(handler)。模块化单元104可以是例如检查基板的测量单元。仅作为示例，装载模块102、模块化单元104和分类单元106可相对于彼此线性地设置。装载模块102包括传送机器人108，传送机器人108具有支撑元件109(如抽吸元件)、端效器与夹持器夹具，夹持器夹具用于夹持和传送基板110。传送机器人108适于将基板110从位于装载模块102内的一个或多个匣112传送到输送机系统114。输送机系统114可以是马达驱动的输送机系统，且可包括一个或多个输送机，例如由致动器通过滚轮和/或驱动齿轮驱动的输送带或轨道。输送机系统114可以线性布置方式设置，以将从传送机器人108所接收的基板传送通过模块化单元104。如此一来，输送机系统114设置在模块化单元104内，并利于传送基板110通过模块化单元104。额外的模块化单元可定位在装载模块102和模块化单元104之间，和/或定位在模块化单元104和分类单元106之间，和/或定位在分类单元106之后，以利于检查系统100的扩展。
装载模块102接收一个或多个匣112。每个匣112可包含以堆叠配置的基板110。基板可以例如水平或垂直的方式堆叠。例如，每个匣112可在其中包括多个槽，且每个槽经配置以保持基板110。通过连续的示例，匣112可经定位使得基板110一个被定位在另一个之上。基板110经由传送机器人108从匣112传送到输送机系统114，以用于传送通过系统100。装载模块102与具有图形使用者界面的计算机(所示为控制器190)图形，该图形使用者界面适于呈现与装载模块102中发生的操作有关的信息，其包括处理度量、批号等。在一个示例中，计算机可包括触控屏幕界面。
模块化单元104可包括一个或多个测量站。在图1的实施方式中，模块化单元104包括五个测量站116A-116E。可以预期，在空间允许时，也可通过向模块化单元104增加或减少测量站来修改检查系统100，而不是增加第二模块化单元，从而增加产量和/或执行的测量处理的数量。
仅作为示例，测量站116A-116E可包括以下单元中的任一者：微裂纹检查单元、厚度测量单元、电阻率测量单元、光致发光单元、几何检查单元、锯痕检测单元、污迹检测单元、碎片检测单元和/或晶体片段检测单元。仅作为示例，微裂纹检查单元可经配置以检查基板的裂缝，以及可选地确定基板的晶体片段。仅作为示例，几何检查单元可经配置以分析基板的表面特性。仅作为示例，锯痕检测单元可经配置以识别基板上的锯痕，包括凹槽、阶部和双阶部标记的。测量站也可包括上面所列之外的其他示例。
在一个示例中且仅出于说明的目的，测量站116A可以是如上所述的微裂纹检查单元。通过进一步的示例且仅出于说明的目的，测量站116B可以是适于测量基板厚度的厚度测量单元。测量站116B也可以或替代地测量基板110的电阻率。测量站116B接收在测量站116A中检查之后沿输送机系统114传送的基板110，测量站116B可以是任何类型的测量站。测量站116B在测量站116A的位置下游沿着由输送机系统114所界定的基板110的在线(in-line)路径设置。测量站116B在基板110上执行一个或多个检查处理。在测量站116B处发生的检查处理可在基板移动时执行；然而，可以预期的是，可停止基板110的移动，以利于提高检查的准确性。
通过进一步的示例且仅出于说明的目的，测量站116C可以是经配置以检测缺陷和/或执行杂质测量的光致发光单元，并且测量站116D可以是经配置以分析基板110的几何和表面特性的几何检测单元。
测量站116C接收在测量站116B中检查之后沿着输送机系统114传送的基板110。测量站116D接收在测量站116C中检查之后沿着输送机系统114传送的基板110。测量站116E接收在测量站116D中检查之后沿输送机系统114传送的基板110，以及若在如图所示的线性路径中使用额外的测量单元，则以此类推。另外，在一些实施方式中，可使用非线性路径检查。如此一来，基板110可以非线性方式在测量站116A-116E之间传送，例如以圆形方式或以弧形方式传送。
输送机系统114将检查过的基板110从模块化单元104朝向分类单元106输送。输送机系统114可将检查过的基板110传送到分类单元106中，并传送到基板搬运机触及的范围内的位置，如与分类单元106一起容置的旋转分类系统120。另外，输送机系统114可继续通过分类单元106而到达连接器150。如此一来，若分类单元106没有对基板110进行分类，则检查过的基板110可绕过分类单元106的旋转分类系统120并传到连接器150。此外，若旋转分类系统120没有拾取检查过的基板110，则基板可继续沿着输送机系统114朝向连接器150。在某些实施方式中，没有被旋转分类系统120拾取的基板可继续沿输送系统114，这可能将基板引导至未分类的基板箱。在某些实施方式中，分类单元106可经由连接器150进一步耦接至附加单元，如仅作为示例，附加的检查系统、附加的分类单元、附加的测量单元等。连接器150也可进一步允许输送机系统114与附加单元(如仅作为示例，附加的检查系统、附加的分类单元、附加的测量单元等)的输送机系统对准。
检查系统100也可包括控制器190。控制器利于系统100的控制和自动化。控制器190可与以下各者中的一个或多个耦接或通信：输送机系统114、装载模块102、模块化单元104、分类单元106、传送机器人108和/或测量站116A-116E。检查系统100可向控制器190提供关于基板移动、基板传送、基板分类和/或执行的测量的信息。
控制器190可包括中央处理单元(CPU)(未图示)、存储器(未图示)和支援电路系统(或I/O)(未图示)。CPU可以是在工业设置中用于控制各种处理和硬件(如，模式产生器、马达和其他硬件)并监控处理(例如，处理时间和基板定位或位置)的任何形式的计算机处理器之一。存储器(未图示)连接到CPU，且可以是一个或多个容易取得的存储器，如随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、软碟、硬盘或数字存储的任何其他形式，本地的或是远程的。软件指令和数据可以经编码并储存在存储器中以指示CPU。支援电路系统(未图示)也连接到CPU，以用于以常规方式支援处理器。支援电路可包括常规的高速缓存、电源供应、时钟电路、输入/输出电路系统、子系统以及类似者。控制器190可读的程序(或计算机指令)决定哪些任务可在基板上执行。该些程序可以是控制器190可读的软件，且可包括用于监控和控制例如检查系统100内的处理时间和基板定位或位置的代码。
图2绘示容置在分类单元106内的图1的旋转分类系统120的俯视图。旋转分类系统120包括可旋转支撑件122，可旋转支撑件122被包含于旋转分类系统120内。可旋转支撑件122具有旋转轴R。可旋转支撑件122可以是转盘、圆形支撑件、管状结构或用于有效分类基板110的任何其他形状。可旋转支撑件122包括多个臂124。每个臂124具有第一端126和第二端128。每个臂124的第一端126经由合适的连接(例如，焊接连接、销连接、紧固连接等)耦接到可旋转支撑件122。每个臂124的第二端128相对于旋转轴R径向向外延伸。每个臂124设置在与旋转分类系统120的基部155成实质法线角度处。基部155定位于底面(floor)160上，底面160可以是制造设施的底面。在一个实施方式中，可旋转支撑件122可包括至少十二个臂124，如十四个臂或十六个臂；然而，可以预期的是，可使用任何数量的臂124，如，仅举例来说，十个或更多个臂124。每个臂124也可包括沿实质平行于旋转轴R的方向延伸的垂直定向的支撑构件(未图示)。
至少一个夹持器130耦接到每个臂124的第二端128，或者夹持器130可耦接到垂直定向的支撑构件，垂直定向的支撑构件耦接到臂124。每个夹持器130可设置在每个臂124的底侧或端部上，使得一旦检查过的基板110到达分类单元106，每个夹持器130可拾取基板110。仅举例来说，每个夹持器130可以是抽吸夹持器、爪夹持器、磁性夹持器或拾取器。在一个实施方式中，每个夹持器130是伯努利拾取器。夹持器130以水平定向从输送机系统114拾取基板，且当夹持器130沿旋转轴R旋转时，基板保持在水平定向上。在一个示例中，夹持器130被垂直地固定，使得每个夹持器130不在平行于旋转轴R的方向上移动。每个夹持器130所保持的基板从由输送机系统114所拾取到从旋转分类系统120释放保持共面。
一个或多个分类箱140以共同半径从旋转轴R径向向外设置。在一个实施方式中，仅作为示例，使用至少十个分类箱140；然而，可以预期的是，可以使用任何数量的分类箱140，例如六个、八个或十二个分类箱140。当可旋转支撑件122旋转多个臂124时，分类箱140可直接定位在夹持器130所采用的路径下方。在一个操作模式中，旋转分类系统120可以以步进方式绕旋转轴R旋转，使得以当每个基板110进入分类单元106时旋转分类系统120停止而从输送机系统114抓取(即，拾取)基板110。分类箱140定位在基部155上，以从旋转分类系统120接收基板110。响应于在测量站116A-116E中执行的一个或多个检查处理期间确定的一个或多个基板特性，可将基板110分类到分类箱140中。旋转分类系统120将基板110定位在被分配来接收具有至少一个预定基板特性的基板的分类箱140。随后将基板110从相应的夹持器130释放到适当的分类箱140中。分类箱140可储存夹持器130所释放的被分类的基板110。每个夹持器130经配置以将基板110从输送机系统114传送到相应的分类箱140，使得基板110的主表面实质平行于基部155和/或正交于旋转轴R。释放基板110使得基板110在静置于相应分类箱140中的另一基板的表面上之前自由下落一小段距离，如下面将详细描述的。
分类箱140可各自可从分类单元106单独地移除。每个分类箱140可与分类单元106可移除式地连接，例如，仅作为示例，通过单独可移除式的抽屉(drawer)或容器、滑出式器皿或拉出式抽屉或容器。作为连续示例，每个分类箱140可从分类单元106外部接取(access)，使得可在不需要技术人员进入分类单元106的情况下，每个分类箱140可从分类单元106移除。可通过例如将分类箱140拉出分类单元106而从分类单元106移除装满的(full)分类箱140。每个分类箱140可从分类单元106移除，同时分类单元106继续分类基板110。如此一来，即使特定的分类箱140已满或已被移除，基板110的分类也可继续。因此，在进行分类时，每个分类箱140可被清空或更换。另外，经由使用计数器(未图示)，控制器190可对每个分类箱140内的基板110的数量进行计数。如此一来，当特定的分类箱140装满或不在适当位置时，分类单元106跳过装满的或被移除的分类箱140，直到装满的或被移除的分类箱140被清空或更换为止。一旦在分类单元106内更换了空的分类箱140，则计数器可以针对该特定分类箱140重置。每次更换或清空分类箱140时，计数器可自动重置。装满的分类箱140可由操作员清空或更换。如此一来，分类单元106可继续旋转基板110，直到所分配的分类箱140可用。若没有可用的分类箱140，则分类单元106可警告操作者并继续旋转基板110直到适当的分类箱140变得可用。一旦控制器190确定特定分类箱140正在接近容量(capacity)或已达到容量，控制器190可通过发出警报和/或显示警报来警告操作员。
尽管未图示，但是可以预期的是，额外的分类箱140可定位在分类单元106内以接收可能无预期性地从分类中被省略的基板110，从而防止对此种基板的损坏。此外，废弃箱(rejection bin)144可定位于分类单元106内以抓取已经被模块化单元104的一个或多个测量站116A-116E所剔除的基板110。如此一来，旋转分类系统120可将损坏的基板输送到废弃箱144。
旋转分类系统120也可包括可由一个或多个访问面板所访问的产量分析服务器146。产量分析服务器146耦接到装载模块102和测量站116A-116E中的一个或多个，且适于接收、收集、分析、储存和/或报告从装载模块102和一个或多个测量站116A-116E所接收的关于穿过其中的每个基板110的数据。
可旋转支撑件122可与旋转致动器(未图示)耦接，如气缸或步进马达。旋转致动器可使可旋转支撑件122旋转，例如以索引(indexing)方式旋转。在可旋转支撑件122的每个索引步进时，新的基板110经由输送机系统114从模块化单元104接收，并经由每个夹持器130接收到旋转分类系统120上。此外，且如下文进一步论述的，可旋转支撑件122可在相应的分类箱140上和/或在废弃箱144上索引多个臂124中的每一个，使得基板110可被释放到分类箱140中或者废弃箱144。通过连续移动或索引步进，可从输送机系统114连续地移除基板110，从而立即为下一个基板110空出输送机系统114上的空间。如此一来，旋转运动允许每个夹持器130与每个分类箱140对接，使得在夹持器130旋转回到接收另一个基板110的位置之前，由夹持器130保持的基板将被释放到分类箱140中的一个中。旋转分类系统120将继续移动直到所有基板110已被分类。
在一些实施方式中，旋转分类系统120可以每秒2/3个的速率拾取来自模块化单元104经由输送机系统114输送的基板110。在此种实施方式中，旋转分类系统120可有利地每小时分类至少5400个基板，这是对常规分类系统的显著改进。
图3是图2的分类箱140中的一个的等距侧视图。分类箱140包括侧壁300，且侧壁300的一部分被部分切除，以表示沉积在分类箱140内的多个堆叠的基板302。分类箱140经配置以接收被分类的基板305，被分类的基板305由夹持器130中的一个(如图2中所示及所述)悬挂在分类箱140上方。被分类的基板305具有切除部分以示出最上面的堆叠基板306。最上面的堆叠的基板306通过夹持器130预先沉积到分类箱140中，且被分类的基板305在从夹持器130释放之后沉积到最上面的堆叠的基板306上。附图标记308所指的箭头表示夹持器130的行进方向，如图2所示。
分类箱140经构造和/或定向，使得每个堆叠的基板302的角落310至少在Z方向上在分类箱140的角落315处对齐。此外，堆叠的基板302在分类箱140内对齐，使得相邻的侧边312A和312B在Z方向上对齐。通过分类箱140的构造和/或定向提供堆叠的基板302的角落310和/或相邻侧312A和312B的对齐。例如，分类箱140可相对于X、Y和Z方向中的一个或其组合倾斜，使得堆叠的基板302的角落310和/或相邻侧边312A和312B分别抵靠角落315和/或侧壁300静置。在另一个实例中，支撑堆叠的基板302的底板317可相对于X、Y和Z方向中的一者或其组合倾斜，使得堆叠的基板302的角落310和/或相邻侧边312A和312B分别抵靠角落315和/或侧壁300静置。
底板317可相对于分类箱140垂直(Z方向)移动，使得被分类的基板305的自由下落距离减小。在一个实例中，底板317可耦接到使底板317垂直移动的马达或者使底板317垂直移动的弹簧。如此一来，随着更多的堆叠基板302被添加到分类箱140中，即使当底板317降低时，最上面的堆叠的基板306也可保持更靠近分类箱140的顶部。
如上所讨论，一旦从夹持器释放被分类的基板305，直到与最上面的堆叠基板306接触之前，被分类的基板305自由下落距离320。如图3清楚所示，被分类的基板305在刚从夹持器释放时的倾角或平面定向相对于支撑分类箱140的基部155是实质水平的。例如，被分类的基板305包括具有以线325A和325B所表示的平面的主表面350A，其实质不平行于最上面的堆叠的基板306的如线330A和330B所示的平面的主表面350B。
当被分类的基板305从夹持器130下落且下降距离320时，被分类的基板305的倾角和/或平面定向在接触最上面的堆叠的基板306之前没有显著改变。因此，被分类的基板305的侧335A、侧335B和角落340中的一个或多个与最上面的堆叠的基板306接触，这可能导致对被分类的基板305和最上面的堆叠的基板306中的一个或两个的损坏。例如，被分类的基板305的侧边335A、侧边335B和角落340中的一个或全部可与最上面的堆叠的基板306的相邻侧边312C和312D与角落345中的一个或全部接触，这可能使被分类的基板305和最上面的堆叠基板306中的一者或两者破裂或碎裂。
尽管一些常规的分类系统使用朝向被分类的基板的两个或更多个侧边引导的压缩空气，以有效地减慢被分类的基板从夹持器释放时的下落速率，但是如本文所述的旋转分类系统100的至少一个实施方式可不使用。反之，如本文所述的旋转分类系统120的至少一个实施方式依赖于从夹持器130落下的被分类的基板305与最上面的堆叠的基板306的主表面之间的环境空气和/或环境/大气压力。当被分类的基板和堆叠的基板的主表面实质平行时，利用环境空气和/或环境/大气压的气垫效应最为有效。然而，被分类的基板305和最上面的堆叠基板306的主表面不平行，如图3所示。
如此一来，被分类的基板305的主表面350A经重新定向而与最上面的堆叠的基板306的主表面350B实质平行。利用空气喷嘴355重新定向被分类的基板305。空气喷嘴355被支撑在分类箱140附近和/或在被分类的基板305下方。例如，空气喷嘴355经定位以当被分类的基板305下降距离320时将加压空气导向被分类的基板305的主表面350A。空气喷嘴355可经定位以将加压空气引导于角落处(如角落340)或侧边处(如侧边335A)，使得下落的基板(即，被分类的基板305)的倾角从水平定向移动到与分类箱140中的堆叠的基板302的角度实质匹配的一角度(即，与分类箱140的角度或倾角相同的角度或倾角)。空气喷嘴355可经定位以将加压空气引导到角落340和侧边335A之间的位置。在一些实施方式中，空气喷嘴355在被分类的基板305下方以当被分类的基板305下降距离320时用于被分类的基板305的至少一部分。例如，在行进方向308上行进的夹持器130在这种行进期间释放被分类的基板305。如此一来，由于被分类的基板305所保持的动量，当被分类的基板305下降距离320时，被分类的基板305在X/Y平面上行进。在这种行进期间，空气喷嘴355可在被分类的基板305下方。在这种情况下，空气喷嘴355可被定时以在侧边335A从其上通过的时刻或此时刻附近提供加压空气。在任何情况下，来自空气喷嘴355的加压空气将被分类的基板305的主表面350A进行重新定向，以使得基板305的主表面350A实质平行于最上面堆叠的基板306的主表面350B，如图4所示。
图4是实质平行于最上面的堆叠的基板306的被分类的基板305的等距视图。具体言之，被分类的基板305的主表面350A的平面(线325A和325B)实质等于最上面的堆叠的基板306的主表面350B的平面(线330A和330B)。被分类的基板305的倾角的这种重新定向提供了被分类的基板305的主表面350A的平面(线325A和325B)与最上面的堆叠的基板306的主表面350B的平面(线330A和330B)之间的实质平行的关系。这里使用的实质平行被定义为被分类的基板305的主表面350A的平面(线325A和325B)与最上面的堆叠的基板306的主表面350B的平面(线330A和330B)之间的差异至多为约10度。在被分类的基板305从夹持器释放之后和/或在被分类的基板305与最上面的堆叠的基板306之间接触之前，被分类的基板305相对于最上面的堆叠的基板306的重新定向提供了自然产生的气垫，其使得被分类的基板305下降略微减慢。被分类的基板305相对于最上面的堆叠的基板306的重新定向也防止被分类的基板305的单一角落免于首先撞击分类箱140内的最上面的堆叠的基板306。因此，重新定向和/或气垫降低了碎裂的可能性，这防止了对被分类的基板305和/或最上面的堆叠的基板306中的任一者或两者的损坏。
再次参考图3，空气喷嘴355的角度α是可调整的。例如，角度α可相对于被分类的基板305的主表面350A的平面(线325A和325B)从约0度调整到约45度。在一个实例中，角度α与参考平面成约5度至约15度。参考平面包括X-Y平面(基于图3的方向插图)以及在旋转分类系统120变水平之后，旋转分类系统120(图2和图3中所示)的基部155的水平表面的平面中的一者或两者。
本领域技术人员将会理解到，前述的示例为示例性的而不是限制性的。在阅读说明书和研究附图之后，对于本领域技术人员而言显而易见的置换、改进、等效物和改良皆包含于本公开内容的真实精神和范围内。因此，随附的权利要求书的范围旨在包括落入这些教导的真实精神和范围内的所有这些修改、置换和等效物。

Claims (21)

1.一种用于分类多个基板的设备，该设备包含：
分类单元，该分类单元能够支撑多个分类箱；
可旋转支撑件，该可旋转支撑件设置在该分类单元内，该可旋转支撑件围绕旋转轴是可旋转的；
多个夹持器，该多个夹持器在相对于该旋转轴的共同半径上耦接到该可旋转支撑件，该些夹持器经定位以当该可旋转支撑件旋转时沿着该些分类箱上方的路径行进；及
空气喷嘴，该空气喷嘴经定位以朝向被分类的基板引导加压气体，该空气喷嘴经配置以当该被分类的基板由该些夹持器中的一个夹持器释放、该被分类的基板从该夹持器落入到该多个分类箱中的一个分类箱中的同时相对于该分类箱中的堆叠的基板重新定向该被分类的基板的平面，使得该被分类的基板的该平面与该分类箱中的最上面的堆叠的基板的主表面实质平行。
2.根据权利要求1所述的设备，其中该空气喷嘴经定位以朝向该被分类的基板的角落引导加压气体。
3.根据权利要求1所述的设备，其中该些夹持器中的每一者是非接触式夹持器。
4.根据权利要求1所述的设备，其中该些夹持器中的每一者是伯努利拾取器。
5.根据权利要求1所述的设备，进一步包括装载单元，该装载单元与测量单元耦接，其中该测量单元与该分类单元耦接。
6.根据权利要求1所述的设备，其中该多个分类箱相对于该些夹持器是可垂直移动的。
7.根据权利要求1所述的设备，其中该多个分类箱能够从该分类单元的外部单独地移除，并且其中该多个分类箱在进行分类时可被单独地移除。
8.根据权利要求1所述的设备，进一步包括储存指令的计算机可读介质，当处理器执行该些指令时，该些指令使该设备通过以下步骤对该多个基板进行分类：
使用该分类单元的至少一个夹持器保持该基板；
围绕该旋转轴旋转将由该至少一个夹持器所保持的该基板旋转到分配给该基板的该分类箱上方的位置；
将该基板从该至少一个夹持器释放到所分配的该分类箱中；及
在该基板将要静置在该分类箱中之前，用流体射流改变从该至少一个夹持器释放的该基板的倾角。
9.一种适于分类基板的设备，包括：
分类单元，该分类单元能够支撑多个单独可移除式分类箱，其中该分类单元包含：
支撑结构，该支撑结构从旋转轴径向向外延伸；
至少一个夹持器，该至少一个夹持器耦接到该支撑结构，以用于支撑一基板，该至少一个夹持器经定位以当该至少一个夹持器旋转时沿着该些单独可移除式分类箱上方的圆形路径行进；及
空气喷嘴，该空气喷嘴经定位以在被分类的基板的角落处引导加压气体，以用于在该基板从该至少一个夹持器释放之后并在该基板从该至少一个夹持器下落时重新定向该基板的平面定向，使得该基板的该平面定向与该可移除式分类箱中的最上面的堆叠的基板的主表面实质平行。
10.根据权利要求9所述的设备，进一步包括储存指令的计算机可读介质，当处理器执行该些指令时，该些指令使该设备通过以下步骤对该些基板分类：
用该分类单元的至少一个夹持器保持该基板；
围绕该旋转轴将由该至少一个夹持器所保持的该基板旋转到分配给该基板的该分类箱上方的位置；
将该基板从该至少一个夹持器释放到所分配的该分类箱中；及
在该基板将要静置在该分类箱中之前，用流体射流改变从该至少一个夹持器释放的该基板的倾角。
11.根据权利要求9所述的设备，其中该至少一个夹持器是伯努利拾取器。
12.根据权利要求9所述的设备，其中该至少一个夹持器是非接触式夹持器。
13.根据权利要求9所述的设备，其中每个单独可移除式分类箱包括多个气体出口，该多个气体出口是可操作的，以在该些单独可移除式分类箱内产生加压气体支撑垫。
14.一种操作用于对外壳中的多个基板进行分类的设备的方法，该方法包括以下步骤：
用旋转的分类单元上的至少一个夹持器来保持检查过的基板；
围绕该分类单元的中心轴将由该至少一个夹持器所保持的该检查过的基板旋转到分配给该检查过的基板的分类箱上方的位置，其中该分类箱包含底板，该底板具有在非水平平面上成角度的平面；
将该检查过的基板以水平的平面定向从该至少一个夹持器释放到所分配的该分类箱中；及
在该检查过的基板从该至少一个夹持器释放之后并在该检查过的基板将要静置于所分配的该分类箱内之前，重新定向该检查过的基板的该平面定向，使得该检查过的基板的该平面定向与所分配的该分类箱中的最上面的堆叠的基板的主表面实质平行，以防止对该检查过的基板的损坏。
15.根据权利要求14所述的方法，其中该重新定向的步骤包括以下步骤：将该检查过的基板的该平面定向定位成实质平行于该底板的该非水平平面。
16.根据权利要求14所述的方法，其中该重新定向的步骤包括以下步骤：在该检查过的基板从该至少一个夹持器释放之后，对着(against)该检查过的基板的角落引导加压气体。
17.根据权利要求16所述的方法，其中对着该检查过的基板引导加压气体以在该检查过的基板自由落入所分配的该分类箱中的期间重新定向该检查过的基板的平面。
18.根据权利要求14所述的方法，其中对着该检查过的基板的角落引导加压气体以在该检查过的基板自由落入所分配的该分类箱中的期间重新定向该检查过的基板的平面。
19.根据权利要求18所述的方法，其中该重新定向的步骤包括以下步骤：将该基板的该平面重新定位成实质平行于设置在所分配的该分类箱中的一个或多个堆叠的基板。
20.根据权利要求19所述的方法，其中该至少一个夹持器被垂直固定，并且该底板相对于该至少一个夹持器是可垂直移动的。
21.根据权利要求14所述的方法，其中所分配的该分类箱在该分类箱旋转期间是可移除的。
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