KR200187015Y1

KR200187015Y1 - 인라인형 양면 노광장치

Info

Publication number: KR200187015Y1
Application number: KR2019970042179U
Authority: KR
Inventors: 이상균
Original assignee: 유무성; 삼성항공산업주식회사
Priority date: 1997-12-29
Filing date: 1997-12-29
Publication date: 2000-08-01
Also published as: KR19990029514U

Abstract

소재의 양면을 동시에 노광할 수 있도록 된 인라인형 양면 노광장치가 개시되어 있다.

이 인라인형 양면 노광장치는 박판의 소재가 감긴 공급릴과; 공급릴에서 공급되는 소재의 양면 각각에 연속적으로 감광막을 부착하는 감광막부착수단과; 감광막 부착수단을 통과한 감광막이 부착된 소재의 장력 조절에 의해 공급타이밍을 조절하는 타이밍 조절수단과; 제2프로파일과, 제2프로파일 내부의 상,하부에 각각 설치된 자외선램프와, 소재와 두 자외선램프 사이에 각각 개폐 가능하게 위치되어 두 자외선램프에서 조사된 광을 투과 또는 차단시키는 브라인더와, 소재의 양면에 각각 밀착되며 소정 패턴을 갖는 한쌍의 마스크와, 마스크를 가동하는 마스크 가동수단을 포함하는 노광수단과; 노광수단에 의해 노광이 완료된 소재를 이송하는 이송수단과; 이송수단을 통과한 소재가 감기는 수용릴;을 구비하여 된 것을 특징으로 한다.

Description

인라인형 양면 노광장치

본 고안은 소재의 양면을 동시에 노광할 수 있도록 된 양면 노광장치에 관한 것으로서, 상세하게는 감광성 드라이 필름 부착 및 노광공정을 인라인(in-line) 작업으로 수행할 수 있도록 된 인라인형 양면 노광장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 리드프레임은 반도체 칩과 함께 반도체 패키지를 이루는 핵심 구성요소로서, 반도체 패키지의 내부와 외부를 연결해 주는 도선(lead)의 역할과 반도체 칩을 지지해는 지지체의 역할을 한다.

이 반도체 리드프레임은 통상 스탬핑(stamping)공정 또는 식각고정에 의해 제조되는데, 상기한 스탬핑공정은 프레스 금형장치를 이용하여 순차적으로 이송되는 박판의 소재를 소정 형상으로 타발하여 제품을 형성하는 제조방법이다. 반면, 상기 식각공정은 화학약품을 이용하여 원하는 부분을 부식시키는 화학적방법에 의해 제품을 형성하는 제조방법이다.

최근 반도체 리드프레임은 반도체 칩의 고집적화와 박형화 추세에 따라 소형이면서 미세 피치를 갖는 제품이 요구되고 있다. 이러한 제품은 미세 피치의 형성등을 위한 정밀도가 요구되므로, 주로 상기한 식각고정에의해 제조되는 추세이다. 상기 식각공정의 일예에 의하면, 박판의 소재 표면에 포터레지스트(photoresist)를 코팅하고, 그 위에 소정 패턴을 갖는 마스크를 고정시킨 후 빛을 조사하는 노광공정과, 화학약품에 의해 노광된 부분 혹은 노광되지 않은 부분을 제거하므로써 소정 패턴을 갖는 리드프레임이 제조된다.

상기한 식각고정에 의해 리드프레임 제조시, 소재의 일면에 마스크를 위치시킨 후 노광 및 식각하는 경우, 다른 면에서의 패턴 정밀도가 떨어지므로, 미세 피치의 장애요소가 된다. 이러한 점을 고려하여, 소재의 양면을 동시에 노광하는 공정이 개시된 바 있다.

도 1은 종래의 리드프레임 제조용 노광장치를 보인 개략적인 단면도이다. 이를 참조하면, 종래의 노광장치는 케이스(10)와, 소재(1)의 이송을 가이드하는 가이드대(미도시)와, 상기 케이스(10) 내부의 상,하부에 각각 대칭적으로 설치된 자외선램프(20)(30)와, 상기 소재(1)와 상기 두 자외선램프(20)(30) 사이에 각각 위치되어 상기 자외선램프(20)(30)에서 조사된 광을 투과 또는 차단시키는 브라인더(blinder)(21)(31)와, 상기 소재(1)의 양면에 각각 밀착되며 소정 패턴을 갖는 한쌍의 마스크(41)(43)와, 상기 한쌍의 마스크(41)(43)가 각각 탑재되며 이를 유동시키는 마스크 가동수단(40)으로 구성된다.

상기 소재(1)는 상기 케이스(10)의 외부에 위치된 한쌍의 릴(미도시) 각각에 감기며, 소정 피치씩 연속하여 상기 케이스(10) 내부로 공급된다. 상기 케이스(10) 내로 공급되는 소재의 양면에는 노광시 감광될 수 있도록 드라이필름이 도포된다.

상기 한쌍의 마스크(41)(43) 각각은 서로 대칭적인 피치 패턴을 가지며, 상기 소재(10)의 공급시 그 양면 각각에 위치된 피치 패턴은 서로 매치되어야 한다. 이를 위하여 상기 마스크 가동수단(40)은 두 마스크(41)(43)를 상기 소재(10)의 양면에 접촉시킨 후, 진공흡착을 통해 밀착시킨다. 이후, 카메라를 이용하여 촬상하고, 이를 모니터링하면서, 상기 마스크 가동수단(10)을 미세 이동시켜 상기 두 마스크(41)(43)를 일치시킨다. 이후, 상기 자외선램프(20)(30)가 점등됨과 동시에 상기 블라이더(21)(31)가 개구되어 상기 자외선램프(20)(30)로부터 상기 마스크(41)(43)로 광이 조사된다. 상기 마스크(41)(43)의 패턴에 따라 상기 드라이필름은 감광된다. 이후, 상기 블라이더(21)(31)가 닫히고, 상기 자외선램프(20)(30)는 점멸된다. 그리고, 상기 마스크가동수단(40)이 상기 마스크(41)(43)를 상기 소재(1)로부터 일탈 시키며, 상기 소재(1)가 상기 가이드대(미도시)를 통해 소정 피치 이송하며, 후공정을 걸쳐 리드프레임이 제조된다.

상기한 바와 같은, 종래의 노광장치는 연속공정 즉, 인라인(in-line)공정으로 리드프레임을 제조할 수 있는 잇점이 있으나, 상기한 마스크 가동장치를 채용하여 상기 마스크를 얼라인 하므로 매 공정마다 마스크의 위치를 모니터링하고 이를 통해 얼라인 하여야 하므로, 리드프레임의 제조공정 시간이 오래 걸리는 단점이 있다.

따라서, 본 고안은 상기한 바와 같은 단점을 극복하기 위하여 안출된 것으로서, 미리 마스크를 얼라인하고, 두 마스크를 소재에 공압에 의해 하드 접촉시킬 수 있도록 하여 노광시간을 대폭 단축할 수 있도록 된 인라인형 양면 노광장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 리드프레임 제조용 노광장치를 보인 개략적인 단면도.

도 2는 본 고안의 실시예에 따른 인라인형 양면 노광장치를 보인 개략적인 단면도.

도 3은 본 고안에 따른 감광막부착수단을 보인 개략적인 단면도.

도 4는 도 3의 평면도.

도 5는 본 고안에 따른 마스크 가동수단을 보인 개략적인 분리사시도.

도 6은 본 고안에 따른 마스크 가동수단을 보인 개략적인 단면도.

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞

1...리드프레임 소재 3...감광막 3...테이프

50...공급릴 60...수용릴 100...감광막 부착수단

110...제1프로파일 120...예열수단

121,122...제1예열용 로울러부재 123,124...제2예열용 로울러부재

130...압착로울러부재 131,132...제1압착로울러부재

133,134...제2압착로울러부재 140,141...공급로울러부재

145,146...감기로울러부재 150...구동원 155,156,157...동력전달부

160...타이밍 조절수단 161...아암 163...회전부재

165...탄성부재 200...노광수단 210...제2프로파일

220,230...자외선램프 221,223...브라인드 301...제1고정부재

310...제1개구부 320...제1마스크 401...제2고정부재

410...제2개구부 420...몸체부 430...플랜지부

440...제2마스크 450...승강부재 460...설치홈

500...승강수단 510...가이드 포스트 511...가이드부재

513...가이드홈 520...공압실린더 521...실린더몸체

523...로드 600...위치조정수단

610...위치조정나사 611...회동부 613...가동부

613,621...로울러 620...탄성바이어스부재 700...이송수단

710...제3프로파일 711...가이드레일 720...제1스토퍼

730...제2스토퍼 740...그리퍼

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 인라인형 양면 노광장치는, 박판의 소재가 감긴 공급릴과; 상기 소재가 출입할 수 있도록 된 입구와 출구를 갖는 제1프로파일과, 상기 제1프로파일 내에 위치된 예열수단과, 상기 소재의 상하와 마주하도록 형성되어 감광막을 부착시키는 압착로울러부재와, 압착로울러부재 각각에 감광막을 공급하는 공급로울러부재와, 상기 압착로울러부재와 공급로울러부재를 구동하는 구동원과, 상기 구동원의 동력을 전달하는 동력전달부를 포함하여 상기 공급릴에서 공급되는 소재의 양면 각각에 연속적으로 감광막을 부착하는 감광막부착수단과; 상기 제1프로파일에 힌지 결합된 아암과, 상기 아암의 단부에 회전 가능하게 설치되며 상기 소재와 접촉되는 회전부재 및, 상기 아암의 힌지 주변에 설치되어 상기 아암의 일방향으로 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하여, 상기 감광막 부착수단을 통과한 감광막이 부착된 소재의 장력 조절에 의해 공급타이밍을 조절하는 타이밍 조절수단과; 제2프로파일과, 상기 제2프로파일 내부의 상,하부에 각각 설치된 자외선램프와, 상기 소재와 상기 두 자외선램프 사이에 각각 개폐 가능하게 위치되어 상기 두 자외선램프에서 조사된 광을 투과 또는 차단시키는 브라인더와, 상기 소재의 양면에 각각 밀착되며 소정 패턴을 갖는 한쌍의 마스크와, 상기 마스크를 가동하는 마스크 가동수단을 포함하는 노광수단과; 상기 노광수단에 의해 노광이 완료된 소재를 이송하는 이송수단과; 상기 이송수단을 통과한 소재가 감기는 수용릴;을 구비하여 된 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 고안의 실시예에 따른 인라인형 양면 노광장치를 상세히 설명한다.

도 2는 본 고안의 실시예에 따른 인라인형 양면 노광장치를 보인 개략도이다.

도시된 바와 같이, 노광 대상 소재(1) 예컨대, 리드프레임 소재는 공급릴(50)과 수용릴(60)에 감긴채로 연속으로 이송되면서, 감광막(3)의 부착 및 노광이 행해진다. 이를 위하여 인라인형 양면 노광장치는 공급릴(50)과 수용릴(60) 사이에는 순차로 상기 공급릴(50)에서 공급되는 소재(1)의 양면 각각에 연속적으로 감광막(3)을 부착하는 감광막 부착수단(100)과, 상기 감광막 부착수단(100)을 통과한 감광막이 부착된 소재(1)의 장력 조절에 의해 공급 타이밍을 조절하는 타이밍 조절수단(160)과, 감광막(3)이 도포된 양면 각각에 소정 패턴의 마스크를 위치시킨 후 자외선 광을 조사하여 노광하는 노광수단(200)과, 상기 노광수단(200)을 통과한 노광이 완료된 소재(1)를 이송하는 이송수단(700)을 포함하여 구성된다.

상기한 바와 같이, 구성된 인라인형 양면 노광장치는 상기한 소재(1)의 흐름에 있어서, 상기 공급릴(50)과 상기 감광막 부착수단(100)을 통과하는 경우 연속적으로 진행된다. 반면, 상기 노광수단(200)에서는 정지에 의해 소재(1)의 양면에 노광을 행하고, 다시 진행하는 방식으로 노광공정이 수행되므로 단속적으로 소재(1)가 이송된다. 즉, 노광공정시 상기 노광수단(200)에서의 상기한 소재(1)는 정지하며, 상기 공급릴(50)에서는 연속적으로 공급된다. 이때, 상기한 타이밍 조절수단(160)은 공급되는 소재(1)가 느슨해지는 것을 방지한다. 상기 이송수단(700)은 상기 노광수단(200)의 노광 타이밍에 맞추어 동작되며, 소재(1)의 이동시 상기 소재(1)를 잡아당긴다. 상기 수용릴(60)은 구동모터에 의해 감기는 방향으로 힘을 받으며, 상기 노광수단(200) 및 이송수단(700)에 의해 소재(1)의 이송이 정지시 클러치(미도시)에 의해 멈추게 된다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 노광막 부착수단(100), 타이밍 조절수단(160), 노광수단(200) 및 이송수단(700) 각각의 구조 및 동작을 상세히 설명한다.

도 3은 본 고안의 실시예에 따른 노광막 부착수단(100) 및 타이밍 조절수단(160)을 보인 개략적인 단면도이고, 도 4는 도 3의 평면도이다.

도시된 바와 같이, 노광막 부착수단(100)은 소재(1)가 출입할 수 있도록 된 입구(111)와 출구(112)를 갖는 제1프로파일(110)과, 상기 제1프로파일(110) 내에 위치된 예열수단(120)과, 소재(1)의 상하에 마주하도록 쌍으로 형성된 두쌍의 압착로울러부재(130)와, 압착로울러부재(130) 각각에 감광막(3)을 공급하는 공급로울러부재(140)(141)와, 상기 공급로울러부재(140)(141)에 감겨있던 감광막(3) 이외의 테이프(4)를 감는 감기로울러부재(142)(143)와, 상기 압착로울러부재(130)를 통과한 감광막이 부착된 소재(1)의 이송을 가이드하는 가이드로울러부재(145)(146)와, 상기 예열수단(120)과 압착로울러부재(130)와 상기 가이드로울러부재(145)(146)를 구동하는 구동원(150) 및, 상기 구동원(150)의 동력을 전달하는 동력전달부(155)(156)(157)를 포함하여 구성된다.

상기 예열수단(120)은, 도시된 바와 같이, 상기 소재(1)의 상,하면을 각각 열압착하여 그 이송방향으로 진행시킬 수 있도록 상기 제1프로파일(110) 내에 회전 가능하게 설치되는 한쌍의 제1예열용 로울러부재(121)(122) 및 이와 나란하게 설치되는 한쌍의 제2예열욜 로울러부재(123)(124)를 포함하여 구성된다. 한편, 상기 예열수단(120)은 도시되어 있지는 않으나, 통상의 히터 또는 히터와 연결되는 송풍기를 포함하여 구성할 수 있다.

상기 압착로울러부재(130)는 상기 소재(1)의 상,하면을 각각 열압착하여 그 이송방향으로 진행 시킬 수 있도록 상하 한쌍으로 이루어진 제1압착로울러부재(131)(132)와, 상기 제1압착로울러부재(131)(132)와 이웃되게 위치되며 상하 한쌍으로 이루어진 제2압착로울러부재(133)(134)로 구성된다. 상기 로울러부재(130)는 상기 구동부(150)에서 제공되고, 상기 동력전달부(155)를 통해 전달된 회전력에 의해 회전되며, 그 사이를 통과하는 소재(1)의 상,하면 각각에 열압착에 의해 감광막(3)을 부착한다. 상기 한쌍의 공급로울러부재(140)(141) 각각은 제1압착로울러부재(131)(132)에 감광막(3)을 제공하는 부재로, 외부면에 테이프(4)가 부착된 채로 감광막이 감겨져 있다. 즉, 상기 공급로울러부재(140)(141)에서 제공되는 감광막(3)은 상기 제1압착로울러부재(131)(132)로 전달되고, 상기 테이프(4)는 상기 감기로울러부재(142)(143)로 전달된다. 상기 가이드로울러부재(145)(146)는 상기 제2압착로울러부재(133)(134)와 상기 제1프로파일(110)의 출구(112) 사이의 상기 감광막(3)이 부착된 소재(1)가 통과하는 경로 상에 위치되며, 상기 소재(1)의 이송을 가이드한다. 상기한 바와 같이, 구성된 본 고안의 감광막 부착수단(100)은 상기 공급릴(50)에서 연속적으로 공급되는 소재(1)의 상,하면 각각을 예열 및 열압착하여 양면에 감광막(3)을 부착할 수 있도록 한다.

상기 타이밍 조절수단(160)은 상기 제1프로파일(110)의 출구(112) 주변에 설치되며, 상기 출구(112)를 통해 나온 소재(1)를 탄성 가압하여 장력을 조절한다. 즉, 상기 타이밍 조절수단(160)은 상기 제1프로파일(110)에 힌지 결합된 아암(161)과, 상기 아암(161)의 단부에 회전 가능하게 설치되며 상기 소재(1)와 접촉되는 회전부재(163) 및 상기 아암(161)의 힌지 주변에 설치되어 상기 아암의 일방향으로 탄성력을 제공하는 탄성부재(165)로 구성된다. 상기 탄성부재(165)는 일방향으로 복원력을 갖는 통상의 부재로, 코일스프링 등으로 구현할 수 있다.

그러므로, 상기 타이밍 조절수단(160)는 상기 아암(161)의 회동에 따라 상기 소재(1)의 느슨해짐 정도를 조절함으로써, 상기 공급릴(50)에서 연속적으로 소재(1)를 공급함과 아울러 후술하는 노광수단(200)에서 단속적인 작업이 가능하도록 할 수 있다.

상기 노광수단(200)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 타이밍 조절수단(160)과 상기 이송수단(700) 사이에 설치되며, 소재(1)의 양면에 마스크를 밀착시킨 채로 광을 조사하여 노광을 행한다. 이를 위하여, 상기 노광수단(200)은 소재(1)가 출입할 수 있는 입구(211)와 출구(212)를 갖는 제2프로파일(210)과, 상기 제2프로파일(210) 내부의 상,하부에 각각 대칭적으로 설치된 자외선램프(220)(230)와, 상기 소재(1)와 상기 두 자외선램프(220)(230) 사이에 각각 위치되어 상기 자외선램프(220)(230)에서 조사된 광을 투과 또는 차단시키는 브라인더(blinder)(221)(231)와, 상기 소재(1)의 양면에 각각 밀착되며 소정 패턴을 갖는 한쌍의 마스크(320)(440)와, 상기 한쌍의 마스크(320)(440)가 각각 탑재되며 이를 유동시키는 마스크 가동수단(300)을 포함하여 구성된다. 여기서, 상기 자외선램프(220)(230), 브라인더(221)(231) 및 마스크(320)(440)는 널리 알려진 바와 같으므로, 그 자세한 설명은 생략한다.

상기한 양면 노광용 마스크 가동수단(300)을 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한다. 도 5는 마스크 가동수단의 개략적인 분리사시도이고, 도 6은 도 5의 단면도이다.

도시된 바와 같이, 양면 노광용 마스크 가동수단(300)은 제1고정부재(301)와, 상기 제2고정부재(401)와, 상기 제2고정부재(401)가 움직임 가능하게 끼워지는 설치홈(460)을 가지며 상기 제1고정부재(301)에 승강 가능하게 설치된 승강부재(450)와, 상기 승강부재(450)를 승강시키는 승강수단(500)과, 상기 승강부재(450) 상에 위치되어 상기 제2고정부재(401)의 위치를 조정하는 위치조정수단(600)을 포함하여 구성된다.

상기 제1고정부재(301)는 양면에 포토레지스트가 도포된 채로 공급되는 소재(1)의 저면에 제1마스크(320)를 밀착시키기 위한 것으로, 노광용 광이 투과될 수 있는 제1개구부(310)를 가지며, 그 제1개구부(310) 상에는 제1마스크(320)가 결합된다. 상기 제2고정부재(401)는 상기 소재(1)의 상부면에 제2마스크(440)를 밀착시키기 위한 것으로, 노광용 광이 투과될 수 있는 제2개구부(410)를 가지며, 그 하부에 상기 제2마스크(440)가 결합된다. 상기 두 마스크(320)(440)는 서로 대응되는 패턴을 가지며, 상기 위치조정수단(600)에 의해 상기 제2고정부재(401)를 좌,우로 유동시킴에 의해 그 위치가 얼라인된다. 상기 제2고정부재(401)는 그 하부면에 상기 제2마스크(440)가 결합되며, 상기 설치홈(460)에 자유롭게 끼워질 수 있는 몸체부(420)와, 상기 설치홈(460) 상에 위치되며 상기 위치조정수단(600)과 접촉되도록 돌출된 플랜지부(430)를 포함한다.

상기 승강수단(500)은 다수의 가이드 포스트(510)와, 상기 승강부재(450)와 결합되며 상기 가이드 포스트(510)가 슬라이딩 가능하게 끼워지는 가이드홈(513)을 갖는 가이드부재(511)와, 상기 승강부재(450)를 승강 구동하는 공압실린더(520)로 구성된다. 상기 가이드 포스트(510)는 그 일단이 상기 제1고정부재(301)에 체결되며, 상기 제1고정부재(301)에 수직하게 배치된다. 상기 가이드부재(511)는 상기 승강부재(450)가 좌,우로 유동되지 않도록 지지하며, 그 가이드홈(513)이 상기 가이드 포스트(510)에 끼워져 상기 가이드 포스트(510)의 길이방향으로 슬라이딩된다. 상기 가이드부재(511)는 상기 승강부재(450)와 일체로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 승강부재(450)와 별도로 구비되고, 통상의 체결수단에 의해 상기 승강부재(450)에 결합되어도 무방하다. 상기 공압실린더(520)는 상기 승강부재(450)에 체결된 실린더몸체(521)와, 상기 실린더몸체(521)에 직선왕복운동 가능하게 설치되며, 그 단부가 상기 제1고정부재(301)에 체결된 로드(rod)(523)로 구성되며, 상기 제1고정부재(301)에 대해 상기 승강부재(450)를 승강시킨다. 여기서, 상기 공압실린더(520)는 상기 실린더몸체(521)와 상기 로드(523)의 체결위치가 서로 바뀌어도 무방하다.

상기 위치조정수단(600)은 상기 제2마스크(440)를 상기 제1마스크(320)와 얼라인하기 위하여 상기 제2고정부재(401)를 수평방향으로 유동시킨다. 이를 위하여 상기 위치조정수단(600)은 상기 제2고정부재(401)의 상기 플랜지부(430)의 외측면과 접촉되어 상기 제2고정부재(401)를 밀어주는 다수의 위치조정나사(610)와, 상기 위치조정나사(610) 각각에 접촉되는 상기 플랜지부(430)의 측면과 대향되는 다른 측면에 접촉되어 상기 제2고정부재(401)를 탄성 가압하는 탄성바이어스부재(620)로 구성된다. 상기 위치조정나사(610)는 상기 승강부재(450)에 결합된 회동부(611)와, 상기 회동부(611)의 회전에 의해 상기 제2고정부재(401)의 일측면에 접촉된 채로 직선이송되는 가동부(613)로 구성된다.

상기 탄성바이어스부재(620)는 상기 플랜지부(430)와 접촉되어 상기 제2고정부재(401)를 일방향으로 밀어주며, 상기 위치조정나사(610)와 짝을 이루어 상기 제2마스크(440)의 위치를 조정한다.

상기 위치조정나사(610)와 상기 탄성바이어스부재(620) 각각의 상기 제2고정부재(401)와 접촉되는 단부에는 회전가능하게 설치된 로울러(615)(621)가 더 구비될 수 있다. 상기 로울러(615)(621)는 상기 제2고정부재(401)와의 접촉부분에서 상기 접촉부분의 접선방향으로의 힘이 작용하는 경우, 회전되어 상기 제2고정부재(401), 상기 위치조정나사(610) 및 탄성바이어스부재(620)의 손상을 방지한다.

이하, 본 고안에 따른 양면 노광용 마스크 가동장치의 동작을 설명한다.

본 고안의 마스크 가동장치는 상기한 소재(1)에 노광하기 전에, 별도의 마이크로 셋팅장치를 이용하여, 제1마스크(320)와 제2마스크(440)의 패턴이 일치하는지 측정하면서, 상기 위치조정수단(600) 즉, 상기 위치조정나사(610)를 이용하여 제2마스크(440)를 얼라인한다.

이후, 공압실린더(520)를 동작하여, 공급된 리드프레임 소재(1)의 양면에 상기 두 마스크(320)(440)를 밀착시킨다. 이후, 후공정에 의해 상기 리드프레임 소재(1)를 노광하고, 상기 공압실린더(520)가 상기 제2마스크(440)가 멀어지는 방향으로 동작한다. 이와 같은, 동작에 의해 연속적으로 공급되는 소재(1)의 일부분을 노광하며, 이후, 상기 소재(1)가 소정 피치만큼 이송된 후, 상기 얼라인 동작은 재차 수행하지 않고, 바로, 상기 승강부재(450)의 동작에 의해 마스크(320)(440)를 소재(1)에 밀착시킨다. 이는 상기 승강부재(450)가 상기 가이드 포스트(510)에 가이드되어 승강되어 초기 두 마스크(320)(440)간의 얼라인이 유지되는 것에 근거한 것이다.

상기한 이송수단(700)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 노광수단(200)과 수용릴(60) 사이에 위치되어 상기 소재(1)를 이송시킨다. 이를 위하여 상기 이송수단(700)은 제3프로파일(710)과, 상기 제3프로파일(710) 상에 상호 이격되게 설치된 제1 및 제2스토퍼(720)(730)와, 상기 제1스토퍼(720)와 제2스토퍼(730) 사이에 설치된 그리퍼(740)를 포함하여 구성된다. 상기 그리퍼(740)는 슬라이딩 가능하도록 상기 제3프로파일(710) 상에 구비된 가이드레일(711) 상에 설치된다. 즉, 통상의 구동원(미도시)에 의해 상기 가이드레일(711)을 따라 이송되는 그리퍼몸체(741)와, 상기 그리퍼몸체(741)에 설치되며 상기 소재(1)를 잡을 수 있도록 된 아암(743)을 포함한다. 상기 아암(743)은 상기 그리퍼몸체(741)에 고정된 실린더 로드(745)에 연결되어 상기 소재(1)를 선택적으로 잡아준다.

상기 제1스토퍼(720)와 제2스토퍼(730)는 동일 구조로 되어 있으며, 상기 그리퍼(740)의 동작에 따라 상기 소재(1)를 선택적으로 잡아준다. 이를 위하여 상기 두 스토퍼(720)(730)는 상기 제3프로파일(710) 상에 설치된 실린더의 로드(721)(731)의 단부에 결합된 스토퍼몸체(723)(733)로 구성된다.

상기한 바와 같이, 구성된 이송수단(700)의 동작을 설명한다. 상기 노광수단(200)에 의해 상기 소재(1)의 양면에 노광시, 상기 스토퍼몸체(723)(733)은 상기 소재(1)를 고정시켜, 상기 수용릴(60)에 의해 소재(1)에 스트레스가 가해지는 것을 방지한다. 이후, 소재(1)의 일부분에 노광이 완료되면, 상기 스토퍼몸체(723)(733)가 상승하여 상기 소재(1)가 자유롭게 움직이도록 함과 아울러, 상기 그리퍼(740)가 상기 소재(1)를 잡은채로 상기 가이드레일(711)을 따라 이동하면서 상기 소재(1)를 이송시킨다. 이후, 상기 스토퍼몸체(723)(733)가 하강하여 상기 소재(1)를 고정하고, 상기 그리퍼(740)가 원위치 즉, 상기 노광수단(200)쪽에 위치한다. 이와 같은, 동작을 반복하면서, 단속적으로 상기 소재(1)를 상기 수용릴(60)쪽으로 이송시킨다.

상기한 바와 같이, 구비된 본 고안에 따른 인라인형 양면 노광장치는 상기 마스크고정수단에 의해 선 얼라인 후, 두 마스크(320)(440) 밀착 및 해제 동작을 반복적으로 수행함으로써, 노광시간을 대폭 줄일 수 있다. 또한, 공급릴(50)에 감긴 소재(1)의 양면에 감광막 부착공정과, 노광공정을 연속적으로 수행함으로써 작업속도를 크게 향상시킬 수 있다.

Claims

박판의 소재가 감긴 공급릴과;

공급릴에서 공급되는 소재의 양면 각각에 연속적으로 감광막을 부착하는 감광막부착수단과;

감광막 부착수단을 통과한 감광막이 부착된 소재의 장력 조절에 의해 공급타이밍을 조절하는 타이밍 조절수단과;

제2프로파일과, 상기 제2프로파일 내부의 상,하부에 각각 설치된 자외선램프와, 상기 소재와 상기 두 자외선램프 사이에 각각 개폐 가능하게 위치되어 상기 두 자외선램프에서 조사된 광을 투과 또는 차단시키는 브라인더와, 상기 소재의 양면에 각각 밀착되며 소정 패턴을 갖는 한쌍의 마스크와, 상기 마스크를 가동하는 마스크 가동수단을 포함하는 노광수단과;

상기 노광수단에 의해 노광이 완료된 소재를 이송하는 이송수단과;

상기 이송수단을 통과한 소재가 감기는 수용릴;을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 인라인형 양면 노광장치.
제1항에 있어서, 상기 감광막부착수단은,

상기 소재가 출입할 수 있도록 된 입구와 출구를 갖는 제1프로파일과, 상기 제1프로파일 내에 위치된 예열수단과, 상기 소재의 상하와 마주하도록 형성되어 감광막을 부착시키는 압착로울러부재와, 압착로울러부재 각각에 감광막을 공급하는 공급로울러부재와, 상기 압착로울러부재와 공급로울러부재를 구동하는 구동원과, 상기 구동원의 동력을 전달하는 동력전달부를 포함하여 된 것을 특징으로하는 인라인형 양면 노광장치.
제2항에 있어서, 상기 예열수단은 상기 소재의 상하면을 각각 열압착하여 그 이송방향으로 진행시킬 수 있도록 상기 제1프로파일에 회전가능하게 설치되는 적어도 한쌍의 예열용 로울러부재를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 인라인형 양면 노광장치.
제1항에 있어서, 상기 타이밍 조절수단은,

상기 제1프로파일에 힌지 결합된 아암과, 상기 아암의 단부에 회전 가능하게 설치되며 상기 소재와 접촉되는 회전부재 및, 상기 아암의 힌지 주변에 설치되어 상기 아암의 일방향으로 탄성력을 제공하는 탄성부재를 포함하여 된 것을 특징으로하는 인라인형 양면 노광장치.
제1항에 있어서, 상기 마스크 가동수단은,

일 마스크가 거치되며, 노광용 광이 투과될 수 있는 제1개구부를 갖는 제1고정부재와;

다른 마스크가 거치되며, 노광용 광이 투과될 수 있는 제2개구부를 갖는 제2고정부재와;

내부에 상기 제2고정부재가 여유있게 끼워질 수 있는 설치홈을 가지며, 상기 제1고정부재에 승강 가능하게 설치되는 승강부재와;

상기 제1고정부재에 대해 상기 승강부재를 승강시키는 승강수단과;

상기 승강부재 상에 설치되어 상기 제2고정부재의 위치를 조정할 수 있도록 된 위치조정수단;을 포함하여,

상기 위치조정수단에 의해 상기 한쌍의 마스크가 얼라인된 상태로 상기 승강부재의 승강에 의해 상기 소재의 양면에 마스크를 밀착시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 인라인형 양면 노광장치.
제5항에 있어서, 상기 승강수단은 일단이 상기 제1고정부재 상에 고정된 다수의 가이드포스트와; 상기 승강부재에 설치되며, 내부에 상기 가이드포스트가 슬라이딩 가능하게 끼워지는 가이드홈을 갖는 가이드부재와; 상기 승강부재와 제1고정부재 사이에 설치되어 상기 승강부재를 승강시키도록 된 적어도 하나의 공압실린더;를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 인라인형 양면 노광장치.
제5항에 있어서, 상기 위치조정수단은 상기 승강부재에 결합된 몸체부와, 상기 제2고정부재의 일측면에 접촉된 채로 상기 몸체부의 회전에 의해 직선이송되는 단부를 포함하는 다수의 위치조정나사와; 상기 위치조정나사 각각에 접촉되는 상기 제2고정부재의 측면과 대향되는 다른 측면에 접촉되며, 상기 제2고정부재를 탄성 가압하는 탄성바이어스부재를 구비한 것을 특징으로 하는 인라인형 양면 노광장치.
제7항에 있어서, 상기 위치조정나사와 상기 탄성바이어스부재 각각의 상기 제2고정부재와 접촉되는 부분에 회전가능하게 설치된 로울러를 더 구비한 것을 특징으로 하는 인라인형 양면 노광장치.
제1항에 있어서, 상기 이송수단은,

상기 노광수단과 상기 수용릴 사이에 위치된 제3프로파일과;

상기 제3프로파일 상에 상호 이격되게 설치되며 선택적으로 상기 소재를 고정하는 제1 및 제2스토퍼와;

상기 제1 및 제2스토퍼 사이의 상기 제3프로파일 상에 설치된 가이드레일과;

상기 가이드레일 상에 슬라이딩 가능하게 설치되며, 상기 소재를 잡아 상기 제1스토퍼 쪽에서 상기 제2스토퍼 쪽으로 이송시키는 그리퍼와;

상기 그리퍼를 구동하는 구동원;을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 인라인형 양면 노광장치.