KR20000067388A - 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 섀도우 마스크를 제작하기 위한 섀도우 마스크용 워킹 패턴에 관한 것으로서, 특히 상하 두 개의 글래스로 이루어지는 워킹 패턴을 정렬하는 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치에 관한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 두 개의 섀도우 마스크용 워킹 패턴 글래스가 공급되어 상하로 정렬되는 챔버와, 상기 챔버를 지지하는 프레임과, 상기 글래스의 하판 글래스가 안착되고 복수개의 스러스트 베어링에 의해 챔버의 바닥에 놓여진 하부 흡착 플레이트와, 상기 하부 흡착 플레이트를 평면상에서 앞뒤좌우로 이송시키는 하부 흡착 플레이트 구동부와, 상기 글래스의 상판 글래스의 상부에서 상하 이송되면서 상기 상판 글래스를 흡착하는 상부 흡착 플레이트와, 상기 글래스에 각각 새겨진 정렬마크를 확인하는 복수개의 카메라와, 상기 상부 흡착 플레이트를 상하부로 이송시키는 상부 흡착 플레이트 구동부와, 두 개의 상기 섀도우 마스크용 워킹 패턴 글래스를 결합시키기 위하여 자외선 광을 조사하는 자외선 조사램프를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 섀도우 마스크를 제작하기 위한 섀도우 마스크용 워킹 패턴에 관한 것으로서, 특히 상하 두 개의 글래스로 이루어지는 워킹 패턴을 정렬하는 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치에 관한 것이다.
일반적으로, 섀도우 마스크용 워킹 패턴은 섀도우 마스크를 제작하기 위한 것으로서, 도 1에 도시된 바와 같이 섀도우 마스크용 워킹 패턴(1)은 상하부의 글래스(1a, 1b)로 이루어지는데, 상기 상하부의 글래스(1a, 1b)에는 섀도우 마스크(2a)를 형성하기 위한 패턴이 형성되어 있다.
그리고, 상기한 섀도우 마스크용 워킹 패턴(1)으로 섀도우 마스크(2a)를 제작하게 되는데, 포토레지스트(photoresist)가 입혀진 재료(2)를 상기 섀도우 마스크용 워킹 패턴(1)의 상하부 글래스(11, 1b) 사이에 투입한 다음, 상기 섀도우 마스크용 워킹 패턴(1)의 상하부에서 자외선 조사램프(3)로 자외선을 조사하고, 상기 섀도우 마스크용 워킹 패턴(1) 사이로부터 빼낸 후 절단함으로써 섀도우 마스크(2a)를 완성하게 된다.
여기서, 고품질의 섀도우 마스크(2a)를 얻기 위해서는 상기 섀도우 마스크용 워킹 패턴(1)의 상하부 글래스(1a, 1b)의 정렬이 필수적인데, 종래에 상기 상하부 글래스(1a, 1b)의 정렬은 작업자가 현미경을 보면서 손으로 쳐서 정렬시키는 방법을 사용하고 있다.
그러나, 종래의 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬방법은 작업자의 감각에 의존하게 되므로 작업자의 컨디션에 따라 정확도가 좌우되고, 감각에 의존하므로 정확도에 한계가 있는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 섀도우 마스크용 워킹 패턴의 상부 글래스를 고정시킨 상태에서 하부 글래스와의 정렬을 고성능 카메라로 확인한 후 하부 글래스를 전후좌우로 이송시킴으로써 상하부 글래스를 정렬하는 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 섀도우 마스크용 워킹 패턴에 의한 섀도우 마스크 제작공정의 개략도,
도 2는 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴의 사시도,
도 3은 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴에 형성된 상하판 정렬마크의 평면도,
도 4는 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴의 단면도,
도 5는 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치의 구성도,
도 6은 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치의 평면도이다.
＜도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명＞
50 : 워킹 패턴 51 : 하부 글래스 51a : 하부 글래스의 핀
51b : 하부 정렬마크 51c, 52c : 접착제 52 : 상부 글래스
52a : 상부 글래스의 핀 52b : 상부 정렬마크 60 : 챔버
60a : 볼 베어링 61 : 하부 흡착 플레이트
62 : 상부 흡착 플레이트 63 : 카메라 64 : 가이드
70 : 상부 흡착 플레이트 이송장치 71, 80 : 스텝 모터
72 : 타이밍 벨트 73 : 볼 스크류
74 : 상부 글래스 이송부재 75 : 실린더
76 : 변위센서 77 : 직선 슬라이더
81 : 하부 글래스 이송부재 82 : 스프링
90 : 워킹 패턴 안착장치 91 : 안착용 모터 92 : 기어세트
93 : 안착부재 100 : 프레임
본 발명은 두 개의 섀도우 마스크용 워킹 패턴 글래스가 공급되어 상하로 정렬되는 챔버와, 상기 챔버를 지지하는 프레임과, 상기 글래스의 하판 글래스가 안착되고 복수개의 스러스트 베어링에 의해 챔버의 바닥에 놓여진 하부 흡착 플레이트와, 상기 하부 흡착 플레이트를 평면상에서 앞뒤좌우로 이송시키는 하부 흡착 플레이트 구동부와, 상기 글래스의 상판 글래스의 상부에서 상하 이송되면서 상기 상판 글래스를 흡착하는 상부 흡착 플레이트와, 상기 글래스에 각각 새겨진 정렬마크를 확인하는 복수개의 카메라와, 상기 상부 흡착 플레이트를 상하부로 이송시키는 상부 흡착 플레이트 구동부와, 두 개의 상기 섀도우 마스크용 워킹 패턴 글래스를 결합시키기 위하여 자외선 광을 조사하는 자외선 조사램프를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 하부 흡착 플레이트 구동부는 일단은 상기 챔버에 고정되고 타단은 상기 하부 흡착 플레이트의 측면에 고정된 복수개의 스프링과, 상기 스프링의 반대편에 설치되어 상기 하부 흡착 플레이트를 상기 스프링 쪽으로 이송시키는 복수개의 직선구동수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상부 흡착 플레이트 구동부는 스텝 모터와, 상기 스텝 모터에 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트에 연결되어 회전되는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류가 고정되어 상기 스텝 모터의 회전에 의해 상하로 이송되는 상부 글래스 이송부재와, 상기 상부 글래스 이송부재의 상하이송을 안내하는 직선 슬라이더와, 상기 상부 글래스 이송부재의 일측에 설치되고 실린더에 의해 상하 이송되는 변위센서를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 실시예를 참조된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
우선 참조된 도면, 도 2는 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴의 사시도이고, 도 3은 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴에 형성된 상하판 정렬마크의 평면도이며, 도 4는 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴의 단면도이고, 도 5는 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치의 구성도이며, 도 6은 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치의 평면도이다.
본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치는 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이 챔버(60)와, 상기 챔버(60)의 바닥면에 복수개의 볼베어링(60a)에 의해 지지되고 워킹 패턴(50)의 하부 글래스(51)를 진공 흡착하는 하부 흡착 플레이트(61)와, 상기 하부 흡착 플레이트(61)의 상부에서 상하 이송되면서 상기 워킹 패턴(50)의 상부 글래스(52)를 진공 흡착하도록 설치된 상부 흡착 플레이트(62)와, 상기 챔버(60)를 지지하는 프레임(100)에 설치되어 상기 워킹 패턴(50)을 상하 이송시키는 워킹 패턴 안착장치(90)와, 상기 워킹 패턴(50)에 형성된 정렬마크(51b, 52b)의 일치여부를 확인하도록 상기 상부 흡착 플레이트(62)의 상부에 설치된 복수개의 카메라(63)와, 상기 워킹 패턴(50)에 자외선을 조사하는 자외선 조사램프(미도시)로 구성된다.
그리고, 상기 상부 흡착 플레이트(62)가 상하 이송될 수 있도록 모서리 부분 끝단의 하부에 설치된 네 개의 상부 흡착 플레이트 이송장치(70)와, 상기 워킹 패턴(50)의 하부 글래스의 측면에 설치된 세 개의 스프링(82)과, 상기 스프링(82)의 맞은편마다 각각 상기 워킹 패턴(50)의 하부 글래스(51)가 상기 스프링(82) 쪽으로 이송되도록 스텝 모터(80)의 구동력에 의해 힘을 가하는 하부 글래스 이송부재(81)로 구성된다.
여기서, 상기 상부 흡착 플레이트 이송장치(70)는 스텝 모터(71)와, 상기 스텝 모터(71)에 연결된 타이밍 벨트(72)와, 상기 타이밍 벨트(72)에 연결되어 회전되는 볼 스크류(73)와, 상기 볼 스크류(73)가 고정되어 상기 스텝 모터(71)의 회전에 의해 상하로 이송되는 상부 글래스 이송부재(74)와, 상기 상부 글래스 이송부재(74)의 상하이송을 안내하는 직선 슬라이더(77)와, 상기 상부 글래스 이송부재(74)의 일측에 설치되고 실린더(75)에 의해 상하 이송되는 변위센서(76)로 구성된다.
그리고, 상기 워킹 패턴 안착장치(90)는 안착용 모터(91)와, 상기 안착용 모터(91)에 연결되어 상기 워킹 패턴(50)을 상하 이송시킴으로써 상기 하부 흡착 플레이트(61)에 안착시키는 안착부재(93)와, 상기 안착용 모터(91)의 회전력을 상기 안착부재(93)에 전달하는 기어세트(92)로 구성된다.
또한, 상기 상부 흡착 플레이트(62)에는 이송을 안내하는 가이드(64)가 연결되어 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 워킹 패턴(50)은 하부 글래스의 핀(51a)에 상부 글래스의 핀(52a)이 끼워지고 상기 하부 글래스의 핀(52a)에 도포된 접착제(52c)가 굳은 상태이며 상기 상부 글래스의 핀(51a)에 도포된 접착제(51c)는 굳지 않은 상태에서 상기 챔버(60)내의 안착부재(93) 상면에 투입된다.
그 후, 상기 안착부재(93)에 놓여진 워킹 패턴(50)은 상기 안착용 모터(91)의 회전에 의해 하부로 이송되어 상기 하부 흡착 플레이트(61)에 안착되고, 그 상태에서 상기 카메라(63)가 상기 워킹 패턴(50)의 정렬마크(51b, 52b)를 확인한다.
상기 카메라(63)가 상기 워킹 패턴(50)의 정렬마크(51b, 52b)를 확인하면, 상기 상부 글래스 이송부재(74)가 상기 스텝 모터(71)의 동작에 의해 상기 상부 흡착 플레이트(62)가 상기 상부 글래스(52)에 접촉하는 위치까지 하강되고, 그 상태에서 상기 실린더(75)에 의해 상기 변위센서(76)가 상기 상부 흡착 플레이트(62)의 하부면에 접하도록 상승되고 접촉된 상태에서 그 위치를 감지한다.
상기 변위센서(76)에 의해 상기 상부 흡착 플레이트(62)의 위치감지가 완료되면, 상기 상부 흡착 플레이트(62)가 상기 상부 글래스(52)를 흡착하고, 상기 스텝 모터(71)의 회전에 의해 상기 상부 흡착 플레이트(62)가 일정위치까지 상승되도록 상기 상부 글래스 이송부재(74)가 상승하게 되어 상기 상부 글래스(52)가 상기 하부 글래스(51)로부터 떨어지게 된다.
그 다음, 상기 하부 글래스 이송부재(81)가 상기 카메라(63)에 의해 측정된 값에 따라 상기 하부 흡착 플레이트(51)를 이송시키고, 그 상태에서 상기 상부 흡착 플레이트(62)가 상기 변위센서(76)에 의해 측정된 위치까지 상기 상부 글래스 이송부재(74)에 의해 이송된다.
따라서, 상기 상부 글래스의 핀(52a)이 상기 하부 글래스의 핀(51a)에 끼워지는 동시에 정렬마크(51b, 52b)가 일치되면서 상기 상부 글래스(52)가 상기 하부 글래스(51)의 상면에 안착되게 된다.
그 후, 상기 자외선 조사램프가 상기 상부 글래스의 핀(52a)에 도포되어 있는 접착제(52c)를 경화시켜 상부 글래스의 핀(52a)을 상부 글래스(52)에 고정시킨다.
상기한 바와 같이 상기 워킹 패턴(50)이 정렬된 상태에서 상기 워킹 패턴(50)이 상기 안착부재(93)에 의해 상부로 이송된 다음, 상기 챔버(60) 외부로 정렬이 완료된 상기 워킹 패턴(50)을 방출한다.
이와 같이, 본 발명에 의한 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치는 작업자의 감각에 의존하지 않고 상기 카메라(63)로 정렬을 하게 되므로 그 정확도가 높고 정렬 상태의 편차가 일정한 범위 내로 축소될 수 있는 효과를 제공한다.
Claims (3)
- 두 개의 섀도우 마스크용 워킹 패턴 글래스가 공급되어 상하로 정렬되는 챔버와, 상기 챔버를 지지하는 프레임과, 상기 글래스의 하판 글래스가 안착되고 복수개의 스러스트 베어링에 의해 챔버의 바닥에 놓여진 하부 흡착 플레이트와, 상기 하부 흡착 플레이트를 평면상에서 앞뒤좌우로 이송시키는 하부 흡착 플레이트 구동부와, 상기 글래스의 상판 글래스의 상부에서 상하 이송되면서 상기 상판 글래스를 흡착하는 상부 흡착 플레이트와, 상기 글래스에 각각 새겨진 정렬마크를 확인하는 복수개의 카메라와, 상기 상부 흡착 플레이트를 상하부로 이송시키는 상부 흡착 플레이트 구동부와, 두 개의 상기 섀도우 마스크용 워킹 패턴 글래스를 결합시키기 위하여 자외선 광을 조사하는 자외선 조사램프를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치.
- 제 1항에 있어서,상기 하부 흡착 플레이트 구동부는 일단은 상기 챔버에 고정되고 타단은 상기 하부 흡착 플레이트의 측면에 고정된 복수개의 스프링과, 상기 스프링의 반대편에 설치되어 상기 하부 흡착 플레이트를 상기 스프링 쪽으로 이송시키는 복수개의 직선구동수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치.
- 제 1항에 있어서,상기 상부 흡착 플레이트 구동부는 스텝 모터와, 상기 스텝 모터에 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트에 연결되어 회전되는 볼 스크류와, 상기 볼 스크류가 고정되어 상기 스텝 모터의 회전에 의해 상하로 이송되는 상부 글래스 이송부재와, 상기 상부 글래스 이송부재의 상하이송을 안내하는 직선 슬라이더와, 상기 상부 글래스 이송부재의 일측에 설치되고 실린더에 의해 상하 이송되는 변위센서를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990015150A KR20000067388A (ko) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | 섀도우 마스크용 워킹 패턴 정렬장치 |
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| Publication Number | Publication Date |
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| KR20000067388A true KR20000067388A (ko) | 2000-11-15 |
Family
ID=19582583
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Country Status (1)
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|---|---|
| KR (1) | KR20000067388A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101479937B1 (ko) * | 2013-05-24 | 2015-01-12 | 주식회사 에스에프에이 | 글라스와 마스크의 정렬장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07192620A (ja) * | 1993-11-17 | 1995-07-28 | Toshiba Corp | パターンずれ認識装置及びこれを用いたパターンずれ補正装置 |
| JPH08264122A (ja) * | 1995-03-28 | 1996-10-11 | Nec Kansai Ltd | アライメント測定装置及びその使用方法 |
-
1999
- 1999-04-28 KR KR1019990015150A patent/KR20000067388A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (2)
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| JPH07192620A (ja) * | 1993-11-17 | 1995-07-28 | Toshiba Corp | パターンずれ認識装置及びこれを用いたパターンずれ補正装置 |
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| KR101479937B1 (ko) * | 2013-05-24 | 2015-01-12 | 주식회사 에스에프에이 | 글라스와 마스크의 정렬장치 |
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