KR200153149Y1 - 반도체 설비의 배기가스량 확인장치 - Google Patents

반도체 설비의 배기가스량 확인장치 Download PDF

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Abstract

공정챔버 내부에서 공정이 진행된 후 배출되는 잔류가스 및 이물질이 배기라인에 축적되는 정도를 확인할 수 있는 반도체 배기가스량 확인장치에 관한 것이다.
본 고안은, 공정챔버에서 공정 후 발생하는 배기가스가 펌프의 강제 펌핑에 의해서 배기라인으로 공급되도록 구성된 반도체 배기가스량 확인장치에 있어서, 상기 배기라인 상에 배기가스의 진행방향을 기준으로 단면적이 감소하는 내면을 가진 투명재질의 용기 내부에 심지부에 의해서 관통된 추가 내재되어 배기가스의 압력에 비례해서 상하운동을 하도록 형성된 배기가스량 확인장치가 구성됨을 특징으로 한다.
따라서, 공정불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 설비의 배기가스량 확인장치
제1도는 종래의 배기가스의 흐름을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
제2도는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 배기가스량 확인장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
제3도는 본 고안에 따른 반도체 배기가스량 확인장치로서 제2도의 A부분 상세단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10,20 : 가스공급원 12,22 : 공정챔버
14,24 : 펌프 16,28 : 배기라인
18,30 : 배기덕트 26 : 배기가스량 확인장치
32 : 심지부 34 : 추
36 : 센서 38 : 인터로크
본 고안은 반도체 배기가스량 확인장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정챔버 내부에서 공정이 진행된 후 배출되는 잔류가스 및 이물질이 배기라인에 축적되는 정도를 확인할 수 있는 반도체 배기가스량 확인장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정설비에서는 반응성이 큰 가스들을 이용하여 공정이 이루어진다.
화학기상증착 공정에서는 공정챔버 내부에서 분자상태의 반응기체를 분해한 후, 화학적 반응에서 웨이퍼 상에 유전체나 도체로 작용하는 특정한 층을 형성하고, 식각공정에서는 공정챔버 내부에 공급된 반응가스가 웨이퍼 상에 불필요한 부분을 제거한다.
이때, 공정에 사용된 반응가스들은 공정진행 후 배기라인을 통해서 배기된다.
제1도는 종래의 배기가스의 흐름을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
제1도를 참조하면, 가스공급원(10)에서 공급되는 부식성, 유독성 등의 성질을 가진 반응가스가 공정챔버(12)에서 식각공정이 진행되도록 되어 있다.
식각공정 후 발생하는 잔류가스 및 이물질은 펌프(14)의 강제 펌핑동작에 의해서 연결부위가 테이프로 밀봉된 배기라인(16)을 거쳐서 배기덕트(18)로 배기되도록 되어 있다.
따라서, 가스공급원(10)에서 공급되는 유독성, 부식성 등의 성질을 가진 반응가스는 공정챔버(12)에 공급된 후 반응가스를 이용하여 웨이퍼 상에 불필요한 부분을 제거하는 식각공정이 이루어진다.
식각공정 후에는 공정챔버(12)에 잔존하는 잔류가스 및 식각공정에 의해서 생성된 폴리머, 중금속 등의 이물질은 펌프(14)의 강제 펌핑동작에 의해서 배기라인(16)을 통해서 배기덕트(18)로 공급되어 외부로 방출된다.
그러나, 식각공정에 의해서 생성된 폴리머, 중금속 등의 이물질과 펌프의 오일(Oil)이 배기라인에 축적되어 공정챔버에 잔존하는 잔류가스가 배기라인을 통해서 원활히 배기되지 못하거나 공정챔버로 다시 역류되어 공정이 진행되는 웨이퍼에 불량원으로 작용하거나, 테이프로 밀봉된 배기라인의 연결부위를 통해서 외부로 방출되어 작업자의 건강에 악영향을 미치는 문제점이 있었다.
본 고안의 목적은, 반도체 소자를 제조하는 공정챔버 내부에서 공정이 진행된 후 발생하는 배기가스의 흐름을 육안으로 확인하여 이를 시정할 수 있는 반도체 배기가스량 확인장치를 제공하는데 있다.
본 고안의 다른 목적은, 반도체 소자를 제조하는 공정챔버 내부에서 공정이 진행된 후 발생하는 이물질이 배기라인에 축적되어 배기라인이 완전히 막힐 경우 공정챔버를 인터로크(Interlock)할 수 있는 반도체 배기가스량 확인장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 반도체 배기가스량 확인장치는, 공정챔버에서 공정 후 발생하는 배기가스가 펌프의 강제 펌핑에 의해서 배기라인으로 공급되도록 구성된 반도체 배기가스량 확인장치에 있어서, 상기 배기라인 상에 배기가스의 진행방향을 기준으로 단면적이 감소하는 내면을 가진 투명재질의 용기 내부에 심지부에 의해서 관통된 추가 내재되어 배기가스의 압력에 비례해서 상하운동을 하도록 형성된 배기가스량 확인장치가 구성됨을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제2도는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 배기가스량 확인장치를 설명하기 위한 도면이고, 제3도는 본 고안에 따른 반도체 배기가스량 확인장치로서 제2도의 A부분 상세단면도이다.
제2도를 참조하면, 가스공급원(20)에서 공급되는 반응가스가 식각공정이 이루어지는 공정챔버(22)에 공급되도록 구성되어 있다.
공정챔버(22)에서 공정이 진행된 후 발생하는 잔존가스 및 이물질은 펌프(24)의 펌핑동작에 의해서 배기라인(28)을 통해서 배기덕트(30)로 배기되도록 구성되어 있다.
상기 배기라인(28) 상에는 제3도에 도시된 바와 같은 투명재질의 배기가스량 확인장치(26)가 구성되어 있다.
상기 투명재질의 배기가스량 확인장치(26)는 원통형 외향을 가지고 있으며, 내면은 배기가스가 배출되는 방향을 기준으로 단면적이 감소하도록 되어 있다.
또한, 상면 일부 및 하면 일부를 덮고 있는 덮개부(도시되지 않음)를 관통하여 고정된 심지부(32)에 추(34)가 끼워져 펌프(24)의 강제 펌핑에 의해서 조절되는 배기가스의 압력에 의해서 추(34)가 상하운동을 할 수 있도록 되어 있다.
또한, 배기가스량 확인장치 하부 외측에는 센서(36)가 위치하여 상기 추(34)가 하강하여 배기가스량 확인장치(26) 하부로 내려오면, 이를 감지하여 센싱신호를 공정챔버(22) 내부의 인터로크(38)에 전달하도록 되어 있다.
센서(36)의 센싱신호를 수신한 인터로크(38)는 공정챔버(22)에서 진행중인 식각공정을 중지하도록 되어 있다.
따라서, 가스공급원(20)에서 공급되는 반응가스가 공정챔버(22)에 공급되어 웨이퍼 상에 불필요한 부분을 제거하는 식각공정이 이루어진다.
식각공정시 공정챔버(22) 내부에는 공정 후 잔존하는 잔존가스와 반응에 의해서 생성되는 폴리머, 중금속 등의 이물질이 펌프(24)의 펌핑동작에 의해서 배기라인(28)을 통해서 배기덕트(30)로 펌핑된다.
이때, 배기라인(28) 상에 설치된 배기가스량 확인장치(26) 내부의 추(34)는 정상적으로 배기가스가 배기될 경우에는 배기가스의 압력에 의해서 위를 향하고 있고, 배기가스에 포함된 이물질이 배기라인에 축적되어 배기가스의 흐름이 원활하지 못할 경우에는 조금씩 아래로 하강한다.
그리고, 배기가스에 포함된 이물질이 배기라인(28)에 축적되어 배기라인(28)이 완전히 막힐 경우에는, 추(34)가 배기가스량 확인장치(26) 하부로 완전히 하강하게 된다.
이때, 배기가스량 확인장치(26) 하부 외측에 위치한 센서(36)는 추(34)가 하강함을 감지하여 센싱신호를 인터로크(38)에 전달한다.
센싱신호를 수신한 인터로크(38)는 공정챔버(22)에서 진행되는 식각공정을 제어하여 식각공정의 진행을 중지시킨다.
공정챔버(22)에서 식각공정이 중지된 상태에서 작업자는 배기라인(28)에 축적된 이물질을 제거한다.
본 발명에 따라서, 배기라인에 이물질이 축적된 강도를 육안으로 확인하고 배기라인에 축적된 이물질을 제거할 수 있으므로 공정챔버에서 발생하는 잔류가스가 공정챔버로 다시 역류하여 공정불량이 발생하는 것을 방지할 수 있고, 테이프로 밀봉된 배기라인 연결부위로 잔류가스가 방출되어 작업자의 건강에 악영향을 미치는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 배기라인이 완전히 막힐 경우 센서의 센싱신호가 인터로크에 전달되어 공정챔버에서 더 이상의 공정이 진행되지 않아 공정불량을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 실용신안등록 청구범위에 속함은 당연하다.

Claims (4)

  1. 공정챔버에서 공정 후 발생하는 배기가스가 펌프의 강제 펌핑에 의해서 배기라인으로 공급되도록 구성된 반도체 배기가스량 확인장치에 있어서, 상기 배기라인 상에 배기가스의 진행방향을 기준으로 단면적이 감소하는 내면을 가진 투명재질의 용기 내부에 심지부에 의해서 관통된 추가 내재되어 배기가스의 압력에 비례해서 상하운동을 하도록 형성된 배기가스량 확인장치가 구성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 배기가스량 확인장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 배기가스량 확인장치 하부 외측에는 상기 추의 하강을 감지하는 센서가 더 구성됨을 특징으로 하는 상기 배기가스량 확인장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 센서는 공정챔버 내부의 공정을 제어하는 인터로크와 연결구성됨을 특징으로 하는 상기 배기가스량 확인장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 배기가스량 확인장치는 유리재질로 제작됨을 특징으로 하는 상기 배기가스량 확인장치.
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