KR200237450Y1 - 습식세정장비의누설용액처리장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 습식세정장비의 누설용액 처리장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 공정진행시 고온의 탈이온수 또는 산(Acid)와 같은 용액이 배쓰 씽크대에서 누설되는 것을 빠른 시간내에 식별함과 동시에 안전하게 처리할 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 배쓰 씽크대(1)의 하방에 보조 씽크대(9)를 설치하여 상기 보조 씽크대의 내부에 용액의 누설을 감지하는 적어도 1개 이상의 센서(10)을 설치하고 상기 보조 씽크대의 바닥면에는 드레인관(11)을 연결함과 동시에 상기 드레인관상에는 누설된 용액의 역류를 방지하기 위한 체크밸브(13)를 설치하여서 된 것이다.

Description

습식세정장비의 누설용액 처리장치

제 1도는 종래의 습식세정장비를 나타낸 구성도.

제 2도는 본 고안의 장치가 설치된 습식세정장비를 나타낸 구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 배쓰 싱크대 9 : 보조 싱크대

9a : 바닥면 10 : 센서

11 : 드레인관 12 : N₂가스 주입관

13 : 체크밸브

본 고안은 습식세정장비의 누설용액 처리장치에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 공정진행시 고온의 탈이온수 또는 산(Acid)와 같은 용액이 배쓰 씽크대에서 누설되는 것을 빠른 시간내에 식별함과 동시에 안전하게 처리할 수 있도록 한 것이다.

첨부도면 제 1 도는 습식세정장비를 나타낸 구성도로써, 배쓰 씽크대(1)의 내부에 웨이퍼(2)의 표면에 묻은 유, 무기물질을 세정하는 화학용액(3)이 담겨진 배쓰(4)가 설치되어 있고 상기 배쓰의 일측에는 화학용액을 이용하여 유, 무기물질을 세정한 웨이퍼를 탈이온수로 깨끗히 세정하는 또 다른 배쓰(5)가 설치되어 있으며 상기 배쓰 씽크대(1)의 하방에는 배쓰 씽크대의 용접부위에서 누설되는 용액을 처리하기 위한 메인 씽크대(6)가 설치되어 있다.

따라서 상기 배쓰(4)(5)내에 세정하고자 하는 웨이퍼(2)를 각각 로딩한 상태에서 용액 공급관(7)을 통해 용액을 공급하여 웨이퍼를 세정하고 나면 배쓰에서 오버플로우(Over Flow)된 용액은 드레인관(8)을 통해 외부로 드레인된다.

상기한 공정시 배쓰 씽크대(1)의 용접부위에서 용액이 누설되면 누설된 용액은 배쓰 씽크대의 하방에 설치된 메인 씽크대(6)에 담겨지게 된다.

그러나 이러한 종래의 장치는 배쓰 씽크대(1)의 측판(1a)과 하판(1b)이 용접 고정되므로 인해 이들의 접합부에는 크랙(Crack)등이 발생하면 고온의 탈이온수 또는 화학용액(H₃PO₄,H₂SO_4,HF,BOE등)이 배쓰 씽크대(1)의 하방으로 누설되므로 극히 위험하다.

특히 , 짧은 시간에 다량의 누설용액이 누설될 결우에는 작업자가 용액의 누설에 대해 대처하기 전에 메인 씽크대(6)의 상면으로 누설된 용액이 넘치게 되므로 큰 사고를 초래하게 된다.

본 고안은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 배쓰 씽크대에서 용액이 누설되더라도 누설된 용액을 별도의 용기로 드레인되도록 함과 동시에 작업자가 용액의 누설을 빠른 시간내에 식별하여 신속하게 대처할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 배쓰 씽크대의 하방에 보조 씽크대를 설치하여 상기 보조 씽크대의 내부에 용액의 누설을 감지하는 적어도 1개 이상의 센서를 설치하고 상기 보조 씽크대의 바닥면에는 드레인관을 연결함과 동시에 상기 드레인관상에는 누설된 용액의 역류를 방지하기 위한 체크밸브를 설치함을 특징으로 하는 습식세정장비의 누설용액 처리장치가 제공된다.

이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제 2 도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제 2 도는 본 고안의 장치가 설치된 습식세정장비를 나타낸 구성도로써, 본 고안의 구성중 종래의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여하기로 한다.

본 고안은 배쓰 씽크대(1)의 하방에 보조 씽크대(9)가 설치되어 있고 상기 보조 씽크대의 내부에는 용액의 누설을 감지하기 위한 적어도 1개 이상의 센서(1)가 설치되어 있으며 상기 보조 씽크대(9)의 바닥면에는 배쓰 씽크대에서 누설된 용액을 별도의 용기측으로 드레인(Drain)시키기 위한 드레인관(11)이 연결되어 있다.

상기 보조 씽크대(9)의 바닥면(9a)이 하향 경사지게 형성되어 있는데, 이는 누설된 용액이 신속하게 외부로 드레인 되도록 하기 위함이다.

또한, 드레인관(11)이 투명재질로 되어 있는데, 이는 작업자가 용액의 누설시 되는 용액을 육안으로 쉽게 식별하여 신속하게 대처할 수 있도록 하기 위함이다.

그리고 상기 보조 씽크대(9)의 내부에 공정진행시 계속해서 N₂가스를 주입하기 위한 N₂가스 주입관(12)이 연결되어 있고 드레인관(11)상에는 누설된 용액의 역류를 방지하기 위한 체크밸브(13)가 설치되어 있다.

상기 보조 씽크대(9)의 내부에 N₂가스를 주입하는 이유는 보조 씽크대 내부의 분위기를 안정된 상태로 유지시킴과 동시에 센서(10)를 건조시키기 위함이다.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 공정진행시 배쓰 씽크대(1)의 접합부에서 용액의 누설이 발생되면 누설된 용액은 보조 씽크대(9)의 바닥면에 설치된 드레인관(11)을 통해 별도의 용기측으로 신속하게 드레인되는데, 이때 상기 드레인관(11)은 투명재질로 되어 있으므로 작업자가 용액의 누설을 신속하게 육안으로 식별하게 되므로 이에 대해 신속하게 대처할 수 있게 된다.

한편, 상기한 바와 같이 배쓰 씽크대(1)로 부터 용액이 누설되면 누설된 용액은 보조 씽크대(9)의 바닥면(9a)이 하향 경사지게 형성되어 있으므로 드레인관(11)을 통해 별도의 용기측으로 더욱 신속하게 배출된다.

또한, 상기 보조 씽크대(9)의 내부에는 부위별로 위치되게 용액의 누설을 감지하기 위한 센서(10)가 설치되어 있어 누설되는 용액을 상기 센서가 신속하게 감지하게 되므로 알람(도시는 생략함)등의 알림수단으로 작업자에게 용액의 누설을 알리게 된다.

상기 센서(10)는 보조 씽크대(9)의 내부로 N₂가스 주입관(12)을 통해 N₂가스가 주입되므로 인해 오동작을 하지 않게 된다.

또한, 드레인관(11)을 통해 외부로 배출된 용액은 상기 드레인관상에 체크밸브(13)가 설치되어 있어 역류되지 않게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 고안은 공정진행시 배쓰 씽크대(1)의 용접부위에서 용액이 누설되더라도 누설된 용액이 메인 씽크대(6)로 직접 떨어지지 않고, 보조 씽크대(9)와 드레인관(11)을 통해 외부로 신속하게 드레인되므로 누설된 용액으로 인한 안전사고의 발생의 미연에 방지하게 됨은 물론 용액의 누설을 센서(10)가 감지하여 알람 등의 알림수단을 동작시키거나, 투명재질인 드레인관(11)을 작업자가 육안으로 식별하여 용액의 누설을 인식하게 되므로 신속한 대처가 가능해지게 되는 효과를 얻게된다.

Claims (2)

1. 배쓰 씽크대의 하방에 바닥면이 하향 경사지게 형성되는 보조 씽크대와;

   상기 보조 씽크대의 바닥면에 결합되어, 상기 보조 씽크대로 누설된 세정액을 외부로 배출하기 위한 드레인관과;

   상기 드레인관 상에 설치되어 배출되는 세정액이 역류하는 것을 방지하는 체크밸브와;

   상기 보조 씽크대에 설치되어 세정액의 누설을 감지하는 적어도 1개 이상의 센서와;

   상기 보조 씽크대의 내에 질소(N₂)가스를 주입하기 위한 질소(N₂)가스 주입관을 구비하여 이루어지는 습식세정장비의 누설용액 처리장치.
2. 제 1항에 있어서,

   드레인관을 투명재질로 형성함을 특징으로 하는 습식세정장비의 누설용액 처리장치.