KR200147779Y1 - 반도체 웨이퍼 카세트 박스 - Google Patents

반도체 웨이퍼 카세트 박스 Download PDF

Info

Publication number
KR200147779Y1
KR200147779Y1 KR2019960021089U KR19960021089U KR200147779Y1 KR 200147779 Y1 KR200147779 Y1 KR 200147779Y1 KR 2019960021089 U KR2019960021089 U KR 2019960021089U KR 19960021089 U KR19960021089 U KR 19960021089U KR 200147779 Y1 KR200147779 Y1 KR 200147779Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
box
semiconductor wafer
wafer
wafer cassette
Prior art date
Application number
KR2019960021089U
Other languages
English (en)
Other versions
KR980009715U (ko
Inventor
손태규
Original Assignee
윤종용
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR2019960021089U priority Critical patent/KR200147779Y1/ko
Publication of KR980009715U publication Critical patent/KR980009715U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200147779Y1 publication Critical patent/KR200147779Y1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier

Abstract

반도체 웨이퍼 카세트 박스가 개시된다. 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 카세트 박스는 공정간의 이동이나 작업대기시에 외부로부터 가해지는 진동이나 충격을, 웨이퍼를 수용하는 카세트(22)의 상부와 박스 덮개(23)의 저면 사이에 마련된 충격흡수용 오일댐퍼(24)와, 박스(21)의 바닥과 카세트(22)의 저면 사이에 마련된 충격흡수용 가이드부재(25)를 통하여 흡수할 수 있도록 구성함으로써 웨이퍼의 보호 기능을 높인 것이다.

Description

반도체 웨이퍼 카세트 박스
본 고안은 반도체 웨이퍼의 생산 과정에서 공정대기나 운반 등을 위해 웨이퍼를 수용하여 보호하기 위한 반도체 웨이퍼의 카세트 박스에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼란 주지된 바와 같이 실리콘 결정체를 반도체로 제조하기 위하여 원기둥형의 실리콘봉을 얇게 절단하여 원판형으로 제작한 것으로서, 이러한 웨이퍼는 생산 과정에 있어서 공정 대기나 공정간의 이동 등을 위하여 다수개가 용기에 수용된다. 이러한 용기는 통상 카세트 박스라고 불리우는데, 공정간의 이동이나 대기시에 먼지 등으로부터 웨이퍼를 보호하는 동시에 이송을 용이하게 하기 위해서 사용된다.
도 1은 종래의 웨이퍼 카세트 박스를 나타내 보인 개략적 단면구성도이다. 도 1을 참조하면 종래의 웨이퍼 카세트 박스는 도시된 바와 같이, 통상 합성수지를 사출성형하여 형성한 사각형의 박스(11)와, 이 박스(11)의 내부에 마련되어 웨이퍼(10)를 수용하도록 된 카세트(12) 및 상기 박스(11)의 상부를 덮도록 된 덮개(13)를 포함하여 구성된다.
이러한 구조의 종래 웨이퍼 카세트 박스는 공정간의 이동이나 작업대기시에 통상 운반구 등에 적재된 상태에서 대기하게 되거나 이동하게 된다. 이와 같은 경우에 작업자의 실수 등으로 인하여 카세트 박스가 낙하 또는 충돌 등에 의해 충격이 발생할 경우에는 웨이퍼(10)에 충격이 거의 그대로 전달되어 웨이퍼가 파손되거나, 충격에 의한 진동으로 웨이퍼와 카세트의 마찰에 의해 먼지 등이 발생하여 생산 수율을 저하시키는 문제점이 있다. 특히, 상기 종래의 카세트 박스는 최근의 대형화 추세에 있는 웨이퍼를 보호하기에 취약한 구조를 가지는 것이다.
본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기한 바와 같은 종래의 웨이퍼 카세트 박스가 가지는 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 본 고안은 외부로부터의 충격을 흡수할 수 있는 방진구조를 가지는 웨이퍼 카세트 박스를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 반도체 웨이퍼의 카세트 박스를 나타내 보인 개략적 단면구성도이다.
도 2는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 카세트 박스를 나타내 보인 개략적 단면구성도이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10..웨이퍼 21..박스
22..카세트 23..덮개
24..충격흡수용 오일 댐퍼 25..흡수흡수용 가이드부재
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 카세트 박스는, 박스구조로 형성된 본체와, 상기 본체 내부에 마련되어 반도체 웨이퍼를 수용하는 카세트와, 상기 본체의 상부를 덮는 덮개를 포함하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스에 있어서, 상기 덮개의 저면과 상기 카세트의 상부 사이에는 충격흡수용 댐퍼가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 본 고안에 있어서, 특히 상기 댐퍼는 오일 댐퍼인 것이 바람직하다. 그리고, 상기 본체 내부의 바닥과 상기 카세트의 저면 사이에는 충격흡수용 가이드부재가 더 삽입되어 있는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 따른 본 고안의 반도체 웨이퍼 카세트 박스를 상세히 설명한다.
도 2는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 카세트 박스를 나타내 보인 개략적 단면구성도이다.
도 2를 참조하면 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 카세트 박스는 도시된 바와 같이, 통상 합성수지를 사출성형한 사각형의 박스(21)와, 이 박스(21)의 내부에 마련되어 웨이퍼(10)를 수용하도록 된 카세트(22)와, 상기 박스(21)의 상부를 덮도록 된 덮개(23) 및 상기 카세트(22)의 상부와 상기 덮개(23)의 저면 사이에 충격흡수용 오일댐퍼(24)가 구비되어 있는 동시에, 상기 박스(21)의 바닥과 상기 카세트(22)의 저면 사이에 충격흡수용 가이드부재(25)를 포함하여 구성된다.
상기 구성의 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트 박스는 공정간의 이동이나 작업대기시에 외부로부터 가해지는 진동이나 충격을 상기 충격흡수용 오일댐퍼(24)와 가이드부재(25)가 흡수함으로써, 웨이퍼의 보호 기능을 높일 수 있다.

Claims (3)

  1. 박스구조로 형성된 본체와, 상기 본체 내부에 마련되어 반도체 웨이퍼를 수용하는 카세트와, 상기 본체의 상부를 덮는 덮개를 포함하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스에 있어서,
    상기 덮개의 저면과 상기 카세트의 상부 사이에는 충격흡수용 댐퍼가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 댐퍼는 오일 댐퍼인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 본체 내부의 바닥과 상기 카세트의 저면 사이에는 충격흡수용 가이드부재가 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스.
KR2019960021089U 1996-07-16 1996-07-16 반도체 웨이퍼 카세트 박스 KR200147779Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019960021089U KR200147779Y1 (ko) 1996-07-16 1996-07-16 반도체 웨이퍼 카세트 박스

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2019960021089U KR200147779Y1 (ko) 1996-07-16 1996-07-16 반도체 웨이퍼 카세트 박스

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR980009715U KR980009715U (ko) 1998-04-30
KR200147779Y1 true KR200147779Y1 (ko) 1999-06-15

Family

ID=19461648

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2019960021089U KR200147779Y1 (ko) 1996-07-16 1996-07-16 반도체 웨이퍼 카세트 박스

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200147779Y1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6777099B2 (en) 2002-06-20 2004-08-17 Mitsubishi Polyester Film Gmbh Stabilized film based on titanium-catalyzed polyesters

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6777099B2 (en) 2002-06-20 2004-08-17 Mitsubishi Polyester Film Gmbh Stabilized film based on titanium-catalyzed polyesters

Also Published As

Publication number Publication date
KR980009715U (ko) 1998-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4827500B2 (ja) 梱包体
KR100657921B1 (ko) 디스크 드라이브의 방진구
KR101230775B1 (ko) 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체, 및 웨이퍼 유지용 용기
KR200147779Y1 (ko) 반도체 웨이퍼 카세트 박스
DE68913053T2 (de) Persönliche Datenkarte und Verfahren zu ihrer Konstruktion.
US8439197B2 (en) Damping body for packaging and package body
JP5122484B2 (ja) 衝撃吸収基板容器及びその形成方法
JP2007119020A (ja) 搬送用緩衝材
JP2005191419A (ja) 半導体ウェハーの収納具
KR19980034287A (ko) 가방의 완충 삽입물
JP3408774B2 (ja) 保護具
US4586608A (en) Container for and method of enclosing an article
US3506114A (en) Record changer package assembly
KR100400829B1 (ko) 반도체패키지용 수납 트레이
CN216333555U (zh) 一种用于芯片封装后的防尘储存转移装置
KR200186659Y1 (ko) 창문형 공기조화기의 포장구조
KR100549256B1 (ko) 반도체 웨이퍼 균열방지를 위한완충장치
KR0138157Y1 (ko) 모니터의 완충용 포장재
JPH0995387A (ja) 電子部品収納用ケース
KR19990029413U (ko) 냉장고 포장박스의 완충재
KR960005681Y1 (ko) Soj 패케이지용 튜브
KR900009112Y1 (ko) 전자기기의 충격방지용 커버
JPH0352478Y2 (ko)
KR20000014391A (ko) 포장박스 내장용 완충재
KR200186658Y1 (ko) 창문형 공기조화기의 포장구조

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080303

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee