KR980009715U - 반도체 웨이퍼 카세트 박스 - Google Patents

반도체 웨이퍼 카세트 박스 Download PDF

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Abstract

반도체 웨이퍼 카세트 박스가 개시된다. 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 카세트 박스는 공정간의 이동이나 작업대기시에 외부로부터 가해지는 진동이나 충격을, 웨이퍼를 수용하는 카세트(22)의 상부와 박스 덮개(23)의 저면 사이에 마련된 충격흡수용 오일댐퍼(24)와, 박스(21)의 바닥과 카세트(22)의 저면 사이에 마련된 충격흡수용 가이드부재(25)를 통하여 흡수할 수 있도록 구성함으로써 웨이퍼의 보호 기능을 높인 것이다.

Description

반도체 웨이퍼 카세트 박스
본 고안은 반도체 웨이퍼의 생산 과정에서 공정대기나 운반 등을 위해 웨이퍼를 수용하여 보호하기 위한 반도체 웨이퍼의 카세트 박스에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼란 주지된 바와 같이 실리콘 결정체를 반도체로 제조하기 위하여 원기둥형의 실리콘봉을 얇게 절단하여 원판형으로 제작한 것으로서, 이러한 웨이퍼는 생산 과정에 있어서 공정 대기나 공정간의 이동 등을 위하여 다수개가 용기에 수용된다. 이러한 용기는 통상 카세트 박스라고 불리우는데, 공정간의 이동이나 대기시에 먼지 등으로부터 웨이퍼를 보호하는 동시에 이송을 용이하게 하기 위해서 사용된다.
제1도는 종래의 웨이퍼 카세트 박스를 나타내 보인 개략적 단면구성도이다. 제1도를 참조하면 종래의 웨이퍼 카세트 박스는 도시된 바와 같이, 통상 합성수지를 사출성형하여 형성한 사각형의 박스(11)와, 이 박스(11)의 내부에 마련되어 웨이퍼(10)를 수용하도록 된 카세트(12) 및 상기 박스(11)의 상부를 덮도록 된 덮개(13)를 포함하여 구성된다.
이러한 구조의 종래 웨이퍼 카세트 박스는 공정간의 이동이나 작업대기시에 통상 운반구 등에 적재된 상태에서 대기하게 되거나 이동하게 된다. 이와 같은 경우에 작업자의 실수 등으로 인하여 카세트 박스가 낙하 또는 충돌 등에 의해 충격이 발생할 경우에는 웨이퍼 (10)에 충격이 거의 그대로 전달되어 웨이퍼가 파손되거나, 충격에 의한 진동으로 웨이퍼와 카세트의 마찰에 의해 먼지 등이 발생하여 생산 수율을 저하시키는 문제점이 있다. 특히, 상기 종래의 카세트 박스는 최근의 대형화 추세에 있는 웨이퍼를 보호하기에 취약한 구조를 가지는 것이다.
본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기한 바와 같은 종래의 웨이퍼 카세트 박스가 가지는 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 본 고안은 외부로부터의 충격을 흡수할 수 있는 방진구조를 가지는 웨이퍼 카세트 박스를 제공함에 그 목적이 있다.
제1도는 종래의 반도체 웨이퍼의 카세트 박스를 나타내 보인 개략적 단면구성도이다.
제2도는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼의 카세트 박스를 나타내 보인 개략적 단면구성도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 웨이퍼 21 : 박스 22 : 카세트
23 : 덮개 24 : 충격흡수용 오일 댐퍼 25 : 흡수흡수용 가이드부재
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 카세트 박스는, 박스구조로 형성된 본체와, 상기 본체 내부에 마련되어 반도체 웨이퍼를 수용하는 카세트와, 상기 본체의 상부를 덮는 덮개를 포함하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스에 있어서, 상기 덮개의 저면과 상기 카세트의 상부 사이에는 충격흡수용 댐퍼가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 본 고안에 있어서, 특히 상기 댐퍼는 오일 댐퍼인 것이 바람직하다. 그리고, 상기 본체 내부의 바닥과 상기 카세트의 저면 사이에는 충격흡수용 가이드부재가 더 삽입되어 있는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 따른 본 고안의 반도체 웨이퍼 카세트 박스를 상세히 설명한다.
제2도는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 카세트 박스를 나타내 보인개략적 단면구성도이다.
제2도를 참조하면 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 카세트 박스는 도시된 바와 같이, 통상 합성수지를 사출성형한 사각형의 박스 (21)와, 이 박스(21)의 내부에 마련되어 웨이퍼(10)를 수용하도록 된 카세트(22)와, 상기 박스(21)의 상부를 덮도록 된 덮개(23) 및 상기 카세트(22)의 상부와 상기 덮개(23)의 저면 사이에 충격흡수용 오일댐퍼(24)가 구비되어 있는 동시에, 상기 박스(21)의 바닥과 상기 카세트 (22)의 저면 사이에 충격흡수용 가이드부재(25)를 포함하여 구성된다.
상기 구성의 본 고안에 의한 웨이퍼 카세트 박스는 공정간의 이동이나 작업대기시에 외부로부터 가해지는 진동이나 충격을 상기 충격흡수용 오일댐퍼(24)와 가이드부재(25)가 흡수함으로써, 웨이퍼의 보호 기능을 높일 수 있다.

Claims (3)

  1. 박스구조로 형성된 본체와, 상기 본체 내부에 마련되어 반도체 웨이퍼를 수용하는 카세트와, 상기 본체의 상부를 덮는 덮개를 포함하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스에 있어서, 상기 덮개의 저면과 상기 카세트의 상부 사이에는 충격흡수용 댐퍼가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스.
  2. 제1항에 있어서, 상기 댐퍼는 오일 댐퍼인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스.
  3. 제1항에 있어서, 상기 본체 내부의 바닥과 상기 카세트의 저면 사이에는 충격흡수용 가이드부재가 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 카세트 박스.
    ※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR2019960021089U 1996-07-16 1996-07-16 반도체 웨이퍼 카세트 박스 KR200147779Y1 (ko)

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