KR20010105250A - 조명장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 복수의 광원으로부터의 광속을 피조명면에 도광(導光)하는 조명장치로서,복수의 광원으로부터의 각각의 광속을 대략 평행한 광속으로 변환하는 복수의 제 1광학수단과,상기 제 1광학수단으로부터 대략 평행한 광속을 사용하여, 복수의 광원의 화상을 중첩하여 형성하는 제 2광학수단을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 2광학수단은 상기 제1광학수단의 초점길이보다 긴 초점길이를 가지는 것을 특징으로 하는 조명장치.
- 제 1 또는 제 2항에 있어서,상기 제 1광학수단으로부터 대략 평행한 광속을 제 2광학수단 위에 서로 병렬배치하여 입사되도록, 상기 제 1광학수단중 적어도 하나로부터의 광속을 편향하는 편향수단을 부가하여 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 조명장치.
- 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,광원의 상이 제 2초점에 형성되는 동안, 광원이 상기 타원형 미러의 제 1초점에 배치되는 타원형 미러를 가지고,상기 제 1광학수단의 초점은 상기 타원형 미러의 제 2초점과 대략 일치하는 것을 특징으로 하는 조명장치.
- 제 4항에 있어서,상기 타원형미러는 상기 제1광학수단에 의해 형성된 대략 평행한 광속의 직경보다 큰 개구직경을 가지는 것을 특징으로 하는 조명장치.
- 제 1 내지 제 5항중 어느 한 항에 있어서,피조명면에 균일하게 조명하는 광집적기를 부가하여 포함하고 있으며, 상기 복수의 광원이 중첩된 화상은 상기 광학집적기의 광입사면 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 조명장치.
- 제 6항에 있어서,상기 제 2광학수단은 광출사측 위에 텔레센트릭하는 것을 특징으로 하는 조명장치.
- 복수의 램프로부터의 광빔을 피조명면에 도광하는 조명장치에 있어서,발광관이 수직방향으로 연장하도록 복수의 램프가 배치되고, 상기 조명장치는 복수의 램프로부터 방출되는 광속을 편향하는 복수의 편향수단을 포함하는 것을특징으로 하는 조명장치.
- 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,마스크표면은 피조명면으로서 상기 조명장치를 사용하여 조명되는 것을 특징으로 하는 조명장치.
- 제 9항에 있어서,마스크 위에 형성된 패턴을 감광성기판에 투영하는 투영광학장치를 부가하여 포함하는 것을 특징으로 하는 조명장치.
- 감광성재료를 웨이퍼에 도포하는 단계와;청구항 제 9항 또는 제 10항에 기재된 노광장치의 노광에 의해 마스크표면에 형성된 패턴을 웨이퍼에 전사하는 단계와;노광에 의해 웨이퍼에 전사된 패턴을 현상을 현상하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 디바이스제조방법.
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