KR20010101059A - 유체 제어 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 축방향으로 변위할 수 있을 뿐만 아니라 밸브 몸체(9)의 보어(8) 내에 삽입될 수 있는 밸브 부재(2)를 작동시키기 위한 압전 유닛(3)을 포함하는 유체 제어 밸브(1)에 관한 것으로서, 이 유체 제어 밸브(1)를 개방 및 폐쇄하기 위하여, 유체 제어 밸브의 일단부에는 밸브 몸체(9)에 배치된 적어도 하나의 밸브 시트(14, 15)와 협동하는 밸브 폐쇄 부재(13)가 제공된다. 상기 밸브 폐쇄 부재(13)는 고압 영역(17)으로부터 시스템 압력 p_sys를 갖는 저압 영역(16)을 분리한다. 고압 영역(17)의 유압 액체를 배출함으로써 발생하는 저압 영역(16)의 누설량을 보상하기 위하여 채널(27) 내에 스로틀 보어(28)가 설치된 충진 장치(26)가 제공된다. 이때, 스로틀 보어의 직경은 소정의 최소 고압 p_R_min이 발생할 때 상기 스로틀 보어(28)를 통과하여 고압 영역(17)으로부터 유출되는 유량이 저압 영역의 누설량을 보상할 정도의 크기를 갖는다.

Description

유체 제어 밸브{Valve for controlling fluids}

유럽특허 제 EP 0 477 400 A1 호에는 압전식 액츄에이터에 의해서 작동할 수 있는 밸브가 이미 공지되어 있다. 이 공지된 밸브는 스트로크 방향을 따라서 압전식 액츄에이터의 경로를 전환할 수 있는 형태로 배치되어 적응성 기계 오차 보상을 실시할 뿐만 아니라 압전식 액츄에이터의 전환을 유압 챔버에 전달할 수 있다.

소위 유압 변환 부품으로서 작동하는 상기 유압 챔버는 이 유압 챔버를 제한하는 두 개의 피스톤들 사이에서 공통 보상 공간을 둘러싸며, 이 피스톤 중에서 작은 직경을 갖는 쪽 피스톤은 제어하고자 하는 밸브 부재와 결합하고 큰 직경을 갖는 다른쪽 피스톤은 압전식 액츄에이터와 결합한다.

또한, 상기 유압 챔버는 압전식 액츄에이터에 의해서 큰 직경쪽 피스톤이 소정의 경로만큼 움직일 때 하나 이상의 스프링에 의해 소정 위치에 유지된 밸브 부재를 작동시키는 작동 피스톤이 피스톤 직경의 변환비만큼 확장된 스트로크를 진행하는 형태로 양 피스톤들 사이에 고정된다. 이때, 밸브 부재와, 피스톤과, 압전식 액츄에이터는 공통축 상에 나란히 배치된다. 한편, 상기 장치에 유압 챔버의 보상 공간을 설치함으로써 제어하고자 하는 밸브 부재의 위치를 변경하지 않고도, 부품내의 온도 구배 또는 사용된 재료의 온도 팽창 계수, 혹은 필요한 경우에 설치 효과(setting effect)에 기초하여 오차가 보상될 수 있다.

또한, 상기 장치에서는 차후에 유압 유체가 충분히 충진되지 않으면 유압 커플러가 누설로 인한 시스템 압력을 필요로 한다.

실제로, 공통 레일 분사기에 있어서, 상기 밸브 내에서는 시스템 압력이 자체적으로 발생되며, 또한 시스템이 작동하면서 일정한 시스템 압력이 유지된다. 이를 위하여, 유압 유체는 제어하고자 하는 연료의 고압 영역으로부터 유출되어 저압 영역에 시스템 압력을 공급한다. 이것은 누설 스터드나 충진 스터드의 형태로 제작되는 누설 틈새에 의해서 가능하다. 그렇지만, 이 장치에서는 압력이 고압 영역으로 상승하면, 시스템 영역 내에서 누설율이 자동적으로 증가한다. 이로써, 밸브에서는 높은 누설 손실이 발생하게 되고 시스템의 효율을 감소시킨다.

본 발명은 청구항 제 1 항에 따른 유체 제어 밸브에 관한 것이다.

도 1은 내연기관용 연료 분사 밸브에서 사용되는 본 발명에 따른 실시예를 개략적으로 도시한 종단면도.

도 2는 본 발명에 따른 스로틀 보어에서의 압력 종속 누설량을 충진 스터드에서의 압력 종속 누설량과 비교하여 매우 단순한 진행 경로의 형태로 나타낸 다이어그램.

따라서, 본 발명의 목적은 고압 영역의 압력이 증가할 때 누설 손실을 제한하는 유체 제어 밸브를 제공하고자 하는 것이다.

청구항 제 1 항의 특징을 갖는 본 발명에 따른 유체 제어 밸브는 고압 영역에서 최소 누설율을 얻기 위하여 시스템 압력을 갖는 저압 영역에 스로틀 보어를 설치함으로써 시스템 압력이 공급됨에 따라 저압 영역에서 높은 압력이 발생할 때 종래 누설 틈새나 충진 스터드보다 누설에 따른 손실을 훨씬 감소시킬 수 있다.

이때, 저압 영역을 충진하기 위하여 스로틀 보어의 난류성 관류와 충진 스터드 주위의 층류성 틈새 유동 사이에서 매우 상이한 유동 물리학적 효과가 용이하게사용될 수 있다.

본 발명의 요지에 대한 다른 장점과 바람직한 일례들을 도면과 청구범위 및 실시예에서 설명한다.

본 발명에 따른 유체 제어 밸브의 실시예를 도면에 도시하며 이하에서 상세히 설명한다.

도 1에 도시한 실시예는 자동차의 내연기관에서 사용되는 연료 분사 밸브(1)의 일례로서 본 발명에 따른 밸브의 사용예이다. 상기 연료 분사 밸브(1)는 오늘날 공통 레일 분사기로서 제작되고 있으며, 이 분사기에서 연료 분사는 고압 공급관과 결합된 밸브 제어 챔버(12)의 압력 레벨에 의해서 제어된다.

연료 분사 밸브(1)에서 분사 과정의 개시와, 분사 지속 시간과, 연비에 따라 분사량을 제어하기 위하여, 밸브 부재(2)가 압전식 액츄에이터(3)로서 형성된 압전 유닛에 의해 제어되며, 이 압전 유닛은 밸브 제어 챔버와 상기 밸브 부재(2) 중 연소실로부터 이격된 쪽에 배치된다.

상기 압전식 액츄에이터(3)는 복수의 층들로 구성되며, 압전식 액츄에이터 중 밸브 부재(2)를 향한 쪽에서 액츄에이터 헤드(4)를 가질 뿐만 아니라 압전식 액츄에이터 중 밸브 부재로부터 이격된 쪽에서 밸브 몸체(9)의 벽에 지지되는 액츄에이터 레그(5)를 갖는다. 상기 액츄에이터 헤드(4)에는 지지대(6)를 거쳐서 밸브 부재(2)의 제 1 피스톤(7)이 안착되며, 이때 제 1 피스톤의 지경은 계단 형태로 형성된다.

상기 밸브 부재(2)는 종방향 보어의 형태로 구성된 밸브 몸체(9)의 보어 내에서 축방향으로 변위 가능하게 배치되며, 제 1 피스톤(7)과 함께 밸브 폐쇄 부재(13)를 작동시키는 제 2 피스톤(10)을 포함하며, 이때 상기 피스톤(7, 10)들은 유압 변환 부품에 의해서 서로 연결된다.

상기 유압 변환 부품으로서는 유압 챔버(11)가 사용되며, 이 유압 챔버는 압전식 액츄에이터(3)의 전환 동작을 전달한다. 또한, 상기 유압 챔버(11)는 이 유압 챔버를 제한하는 양 피스톤(7, 10)들 사이에서 공통 보상 공간을 둘러싸며, 이때 양 피스톤들 중 제 2 피스톤(10)은 작은 직경을 가지며, 제 1 피스톤(7)은 큰 직경을 갖는다.

또한, 상기 유압 챔버(11)는 큰 직경쪽의 제 1 피스톤(7)이 압전식 액츄에이터(3)에 의해서 소정의 스트로크 거리만큼 움직일 때 밸브 부재(2)의 제 2 피스톤(10)은 피스톤 직경의 변환비만큼 확장된 스트로크를 진행할 수 있는 형태로 피스톤(7, 10)들 사이에 고정된다. 이때, 상기 밸브 부재(2)와, 피스톤(7, 10)과, 압전식 액츄에이터(3)는 공통축 상에서 서로 나란하게 배치된다.

한편, 상기 장치에 유압 챔버(11)의 보상 공간을 설치함으로써 제어하고자 하는 밸브 부재(13)의 위치를 변경하지 않고도, 부품 내의 온도 구배 또는 사용된 재료의 온도 팽창 계수, 혹은 필요한 경우에 설치 효과에 기초하여 오차가 보상될 수 있다.

상기 밸브 부재(2)의 밸브 제어 공간측 단부에서, 원뿔형의 밸브 폐쇄 부재(13)는 밸브 몸체(9)에 형성된 밸브 시트(14, 15)와 협동하며, 이때 밸브 폐쇄 부재(13)는 고압이나 레일 압력 p_R을 갖는 고압 영역(17)으로부터 시스템 압력 p_sys를 갖는 저압 영역(16)을 분리한다.

상기 밸브 몸체(9)에 의해 형성된 밸브 저압 챔버(18) 내에는 밸브 시트(14, 15)가 형성되며, 이 밸브 시트로부터 누설용 배출 채널(19)과 밸브 부재(2) 중 압전식 액츄에이터(3)를 향한 쪽에서 밸브 시스템 압력 챔버(20)에 안내된 구멍(21)이 형성된다.

또한, 밸브 저압 챔버(18)는 도 1에서 단지 개략적으로 도시한 밸브 제어 챔버(12)와 고압 영역(17)을 연결하며 하부 밸브 시트(15)에 의해 형성된 결합부를 갖는다. 상기 밸브 제어 챔버(12)에는 운동 가능한 밸브 제어 피스톤이 배치되지만, 이 피스톤을 도면에 추가로 도시하지는 않는다. 보통 분사관과 결합된 밸브 제어 챔버 내에서 밸브 제어 피스톤을 축방향으로 운동시킴으로써, 연료 분사 밸브(1)의 분사율을 공지된 방식으로 제어할 수 있으며, 여기서 상기 분사관은 복수의 연료 분사 밸브들의 각각과 결합하여 공통 고압 저장 챔버(공통 레일)를 형성하고 분사 노즐에 연료를 공급한다.

상기 밸브 시스템 압력 챔버(20)는 보어(8)의 압전측 단부에 연결되어, 한편으로 밸브 몸체(9)에 의해서 다른 한편으로 밸브 부재(2)의 제 1 피스톤(7) 및 밸브 몸체(9)와 결합된 밀봉 부품(22)에 의해서 제한되며, 이때 밸브 시스템 압력 챔버(20)에 누설관(23)이 연결된다. 상기 밀봉 부품(22)은 오늘날 주름 상자 형태의 멤브레인으로서 사용되고 있으며, 밸브 시스템 압력 챔버(20) 내에 포함된 연료가 압전식 액츄에이터(3)와 접촉하는 것을 방지하는 역할을 한다.

제 1 피스톤(7)을 둘러싸는 틈새(24)와 제 2 피스톤(10)을 둘러싸는 틈새(25)에 의해서 유압 챔버(11)로부터 밸브 저압 챔버(18), 특히 밸브 시스템 압력 챔버(20)로 누설이 가능하다.

상기 압전식 액츄에이터(3)를 제어하거나 가동하는 동안 유압 챔버(11)를 재충진하여야 하기 때문에, 저압 영역(16)의 누설량은 고압 영역(17)으로부터 유압 유체가 제공된다. 이를 위하여, 스로틀 보어(28)가 배치된 채널(27)로서 형성된 충진 장치(26)가 사용된다. 충진 장치(26)의 채널(27)은 스로틀 보어(28) 중 저압 영역(16)을 향한 쪽에서 제 1 피스톤(7)을 둘러싸는 틈새(24)와 통하며, 이때 통로 영역에는 환형 슬롯(29)이 제공된다. 스로틀 보어(28) 중 고압 영역(17)을 향한 쪽에서 채널(27)은 밸브 저압 챔버(18)와 통한다.

물론, 충진 장치(26)의 채널(27)이 제 2 피스톤(10)을 둘러싸는 틈새(25)에 안내되는 형태의 다른 변형된 실시예도 가능하다.

상기 스로틀 보어(28)의 직경은 이 스로틀 보어(28)를 통과하는 고압 영역(17)으로부터의 유량이 소정의 최소 고압 p_R_min에서 저압 영역(16)의 누설량을 보상하는 형태로 구성된다. 도시한 실시예에서, 스로틀 보어(28)는 50㎛의 직경을 갖는다.

또한, 스로틀 보어(28)와 채널(27)의 통로 사이에서, 환형 틈새(29)에는 충진 장치(28)의 채널(27)과 밸브 저압 챔버(18) 사이의 결합을 형성하는 결합부가 스프링 하중식 과압 밸브(30)를 거쳐서 제공된다. 이 과압 밸브(30)는 밸브 시스템 압력 챔버(20) 내에서 시스템 압력 p_sys를 일정하게 조절하는 역할을 하며, 따라서 시스템 압력은 관련된 모든 공통 레일 분사기에서 동일하게 유지될 수 있다.

상기 도 1에 따른 연료 분사 밸브(1)는 이하에서 설명하는 방식에 따라 작동한다.

연료 분사 밸브(1)가 폐쇄된 상태에서, 다시 말하면 압전식 액츄에이터(3)가 작동하지 않는 상태에서, 밸브 부재(2)의 밸브 폐쇄 부재(3)는 고압 영역(17)의 고압이나 레일 압력 p_R을 통하여 상부 밸브 시트(14)에 유지되며, 따라서 고압 저장 챔버와 결합된 밸브 제어 챔버(12)로부터 밸브 저압 챔버(18)에 연료가 전달되지 않으며, 이후에 누설용 배출 채널(19)을 통과하여 배출될 수 있다.

밸브 제어 챔버(12)가 작동하면, 밸브 폐쇄 부재(13)는 스프링(31)에 의해서 상부 밸브 시트(14)에 유지된다.

압전식 액츄에이터(3) 또는, 예를 들어 밸브 부재(2)나 밸브 몸체(9)와 같은 다른 밸브 부품의 온도에 따른 길이 변화가 발생할 때처럼 밸브가 천천히 작동하는 경우에, 제 1 피스톤(7)은 온도가 상승하면서 유압 챔버(1)의 보상 공간 내로 진입하거나 온도가 하강하면서 밸브 부재(2)와 연료 밸브(1)의 폐쇄 및 개방 조절에 전체적으로 영향을 미치지 않는 상태로 다시 복귀된다.

연료 분사 밸브(1)에 의해서 분사 과정이 실시되는 경우에, 압전식 액츄에이터(3)가 작동하며, 이로 인하여 압전식 액츄에이터가 축방향으로 급격하게 팽창된다. 이와 같이 압전식 액츄에이터(3)가 신속하게 작동하면서, 이 압전식 액츄에이터는 밸브 몸체(9)에 지지되며, 이로 인하여 제 2 피스톤(10)은 밸브 부재(2)의 밸브 폐쇄 부재(13)를 상부 밸브 시트(14)로부터 양 밸브 시트(14, 15)들 사이의 중간 영역으로 이동시킨다. 상기 밸브 부재(2)의 움직임을 조절함으로써, 운동 가능한 멤브레인에 기초하여, 밸브 시스템 압력 챔버(20)의 체적이 감소하며, 이때 유압 챔버로부터 밸브 시스템 압력 챔버(20)와 밸브 저압 챔버(18)로의 누설 및 여기서부터 누설관(23)과 누설용 배출 채널(19) 및 과압 밸브(30)를 거쳐서 압력 하강이 이루어진다.

시스템 압력 p_sys를 초과하는 압력을 저압 영역(16)으로 방출시킨 후에, 상기 밸브 폐쇄 부재(13)는 이 폐쇄 부재의 폐쇄 위치에서 하부 밸브 시트(15)쪽으로 움직이며, 이로 인하여 밸브 제어 챔버(12)로부터 밸브 저압 챔버(18)로 연료가 진행하지 않는다. 그후, 연료 분사 과정은 종료한다.

이후에, 압전식 액츄에이터(3)는 작동을 중단하고 다시 축소되며 밸브 폐쇄 부재(13)는 양 밸브 시트(14, 15)들 사이의 중간 위치로 진행하고, 이때 연료 분사 과정이 새로 시작된다. 따라서, 연료는 하부 밸브 시트를 통하여 밸브 저압 챔버(18)로 진행할 수 있다. 이때, 누설용 배출 채널(19)에 배치된 스로틀(32)에서 압력이 바로 감소되지 않는다. 밸브 저압 챔버(18) 내에서 짧은 시간 내에 압력이 상승하면 유압 대향력이 작용하여, 밸브 부재(2)의 조절 운동을 밸브 폐쇄 부재(13)가 양 밸브 시트(14, 15)들 사이의 중간 위치에서 안정되는 형태로 제한한다.

상기 누설용 배출 채널(19)에 의해 밸브 저압 챔버(18) 내에서 압력이 감소한 후에, 밸브 폐쇄 부재(13)는 폐쇄 위치에서 상부 밸브 시트(14)를 향하여 움직인다. 그 결과, 압전 유닛의 각 제어(작동이나 작동의 종료)에 의해서 연료 분사가 실시될 수 있다.

상기 밸브 폐쇄 부재(13)가 하부 밸브 시트(15)로부터 상승되면, 충진 장치(26)의 채널(27)에는 밸브 제어 챔버(12)로부터의 고압 p_R이 안내되며, 따라서 저압 영역(16)의 누설 손실이 보상될 수 있다.

항상 소정의 시스템 압력 p_sys가 필요하기 때문에, 스로틀 보어(28)는 최소 고압 p_R_min에서도 시스템 압력 p_sys가 제공될 수 있는 크기로 제작되어야 한다. 다른 한편, 증가된 고압 혹은 레일 압력 p_R만큼 저압 영역(16) 내의 누설량도 증가된다. 이 때문에, 과압 밸브(30)는 남은 유압 유체나 연료를 배출하여 시스템 압력 p_sys를 일정하게 유지하기 위하여 채널(27)에 안내된 고압 p_R이 클수록 더 크게 개방되어야 한다.

도 2에서는 본 발명에 따른 스로틀 보어(28)와 종래의 충진 스터드를 이용하여 저압 영역(16)을 충진하는 경우를 비교한 다이어그램을 통하여 본 발명에 따른 스로틀 보어의 장점을 명확하게 볼 수 있다.

여기서, 틈새가 없는 충진 스터드의 압력 종속 누설량 Q_s1 및 틈새가 있는충진 스터드의 압력 종속 누설량 Q_s2와 비교하여 본 발명에 따른 스로틀 보어(28)의 압력 종속 누설량 Q-d의 진행 경로를 도시한다.

시스템 압력 p_sys가 유지될 수 있기 때문에, 예를 들어 200bar의 비교적 낮은 고압 p_R에서 스로틀 보어(28)를 통과하는 누설량은 저압 영역(16)으로부터의 손실보다 더 커야 하고, 이로 인하여 최소 관류량 Q_min은 5 ℓ/h이다.

관류량의 진행 곡선에서는 스로틀 보어(28)를 통과하는 관류량 Q_d가 압력 p_R이 상승함에 따라서 충진 스터드에서처럼 증가하지 않음을 보여준다. 관류량의 차이점을 관찰하면, 스로틀 보어(28)를 통과하는 유량 Q_d는 여러 가지 압력 차이에 대하여 관류 인자 A와 고려 대상이 되는 인자 사이에서 다음과 같은 수학식 1로 표현된다.

[수학식 1]

고압 혹은 레일 압력 p_R이 증가하면, 과압 밸브(30)를 통하여 배출되는 관류량과 잔류량이 증가한다. 이와 반대로, 충진 스터드를 이용한 저압 영역(16)의 충진은 이하의 수학식 2에 따라서 매우 단순한 관류 인자 B로 표현될 수 있다.

[수학식 2]

상기 수학식은 압력 차이와 관련하여 선형적이다. 따라서 관류량 Q_s는 높은 레일 압력 p_R에서 선형적으로 증가한다.

충진 스터드를 이용한 충진과 200bar의 고압 p_R에서 스로틀 보어를 이용하여 저압 영역(16)에 필요한 최소량을 충진하는 반면에, 틈새가 없는 충진 스터드는 고압 p_R이 증가하면서 스로틀 보어보다 현저히 큰 누설량 Q_s1을 발생시킨다. 유량 Q_s2의 진행 곡선에서처럼 상기 충진 스터드에서 고압 p_R에 의해 누설 틈새가 추가로 확장되는 경우를 고려하면, 스로틀 보어(28)를 이용한 충진이 전체 시스템의 효율과 관련하여 더 유리하다.

Claims (10)

1. 밸브 몸체(9)의 보어(8) 내에서 축방향으로 변위할 수 있는 밸브 부재(2)를 작동시키기 위한 압전 유닛(3)을 포함하는 밸브로서, 이 밸브(1)를 개방 및 폐쇄하기 위하여, 밸브 몸체(9)에 배치된 하나 이상의 밸브 시트(14, 15)와 협동하는 밸브 폐쇄 부재(13)가 일단부에 제공되며, 상기 밸브 폐쇄 부재(13)는 고압 영역(17)으로부터 시스템 압력 p_sys를 갖는 저압 영역(16)을 분리하고, 상기 고압 영역(17)의 유압 액체를 배출함으로써 발생하는 저압 영역(16)의 누설량을 보상하기 위한 충진 장치(26)가 제공된 유체 제어 밸브에 있어서,

   상기 충진 장치(26)는 스로틀 보어(28)를 구비한 채널(27)로 형성되며,

   상기 스로틀 보어의 직경은 소정의 최소 고압 p_R_min이 발생할 때 상기 스로틀 보어(28)를 통과하여 고압 영역(17)으로부터 유출되는 유량이 저압 영역(16)의 누설량을 보상할 정도의 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 밸브 부재(2)는 유압 챔버(11)에 의해서 상호 분리된 하나 이상의 제 1 피스톤(7)과 제 2 피스톤(10)으로 형성되며,

   상기 제 1 피스톤(7)은 압전 유닛(3)을 제한하고 밸브 몸체(9)의 보어(8)에 연결된 영역에서 밸브 시스템 압력 챔버(20)에 의해 둘러싸이며, 제 2 피스톤(10)은 하나 이상의 밸브 시트(14, 15)와 누설용 배출 채널(19)을 갖는 밸브 저압 챔버(18)를 제한하고,

   상기 충진 장치(26)의 채널(27)은 스로틀 보어(28) 중 저압 영역(16)을 향한 쪽에서 제 1 피스톤(7)이나 제 2 피스톤(10)을 둘러싸는 틈새(24, 25)와 통하며 스로틀 보어(28) 중 고압 영역(17)을 향한 쪽에서 밸브 저압 챔버(18)와 통하는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 충진 장치(26)의 채널(27)은 스로틀 보어(28) 중 저압 영역(16)을 향한 쪽에서 제 1 피스톤(7)을 둘러싸는 틈새(24)와 통하는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.
4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 밸브 폐쇄 부재(13)는 밸브(1)를 개방 및 폐쇄하기 위하여 폐쇄 위치에서 최소 고압 상태로 존재하는 밸브 제어 챔버(12)로부터 밸브 저압 챔버(18)를 분리하며 밸브 시트(14, 15)들 사이의 중간 위치에서 밸브 저압 챔버(18)를 밸브 제어 챔버(12)와 결합하여 균일한 유동을 이루는 형태로 밸브 저압 챔버(18)에 배치된 두 개의 밸브 시트(14, 15)와 협동하는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.
5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 채널(27) 중 저압 영역(16)을 향하는 영역과 밸브 저압 챔버(18) 사이에서 시스템 압력 p_sys를 조절하기 위한 과압 밸브(30)가 제공되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.
6. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 시스템 압력 p_sys를 갖는 유압 챔버(11)는 압전 유닛(3) 및 다른 밸브 부품(9)의 길이방향 오차를 보상하기 위한 오차 보상 부품과 유압 변환 부품으로서 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.
7. 제 2 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 밸브 시스템 압력 챔버(20)는 밀봉 부품(25)에 의해서 제한되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 밸브 시스템 압력 챔버(20)를 제한하는 밀봉 부품은 주름 상자 형태의 멤브레인(25)으로서 형성되며, 이 멤브레인은 압전 유닛(3)이 제어하고자 하는 유체와 접촉하는 것을 보호할 수 있는 형태로 밸브 부재(2) 및 밸브 몸체(9)와 결합하는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.
9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스로틀 보어(28)는 적어도 40㎛ 내지 60 ㎛ 범위의 직경, 특히 50㎛의 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.
10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 내연기관용 연료 분사 밸브, 특히 공통 레일 분사기(1)의 구성 부품으로서 사용되는 것을 특징으로 하는 유체 제어 밸브.