KR20010095697A - 물류 자동 반송 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 설비 중 물류 자동 반송 시스템을 개시한다. 설비에 롯을 로딩하기 위해 작업자가 수동으로 이동하지 않고 스토커와 로봇이 직접 연결이 되어 있어 스토커에 저장된 롯이 직접 설비로 이동된다. 스토커에서는 선입선출에 근거한 배치(batch) 단위로 출고가 되어야 한다. 스토커의 상태, 배치간 그리고 배치 내의 롯 순서를 확인하여 롯이 스토커에서 최적화되어 출고 될 수 있도록 한다.

Description

물류 자동 반송 시스템{SYSTEM FOR RETURNING PRODUCT AUTOMATICALLY}

본 발명은 반도체 설비에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로 물류 자동 반송 시스템에 관한 것이다.

종래에는 설비에 롯(lot)을 로딩(loading)하기 위해 스토커(stocker)에서 롯을 출고하거나 작업자가 직접 이동한 롯을 설비에 로딩하여 공정이 진행되어졌다. 그러나, 신규 라인(line)에서는 로봇(robot)과 스토커가 직접 연결이 되어 스토커에서 출고된 롯을 로봇이 이동하여 작업자의 이동이 없이 설비에 직접 로딩하도록 되어 있다.

상기의 상황에서는 여러 개의 롯이 배치(batch) 단위로 설비에 로딩되어야하며 여러 배치가 존재시 먼저 지시를 받은 배치의 롯부터 출고가 되어야 한다. 하지만, 기존 자동 반송 시스템은 롯 단위로 입고 및 출고 작업을 하기 때문에 배치 단위 작업을 할 수 없다.

본 발명은 설비에 롯을 로딩하기 위해 작업자가 수동으로 이동하지 않고 스토커와 로봇이 직접 연결이 되어 있어 스토커에 저장된 롯이 직접 설비로 이동된다. 그래서, 스토커에서는 선입선출에 근거한 배치 단위로 출고가 되어야 한다. 그러나, 기존 자동 반송 시스템은 배치(batch) 단위가 아닌 1 롯 단위로 입고 및 출고가 이루어지기 때문에 여러 개의 배치가 존재하면 먼저 지시를 받은 배치를 정상적으로 출고 할 수 없다. 따라서 스토커의 상태, 배치간 순서 및 배치 내의 롯 순서를 확인하여 최적의 롯이 스토커에서 출고 될 수 있도록 관리하도록 하기 위해 이 발명이 이루어졌다.

본 발명은 최적으로 롯이 스토커에서 출고 될 수 있도록 관리하는 물류 자동 반송 시스템을 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 물류 자동 반송 시스템을 보여주는 평면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 스토커 1 12 : 스토커 2

14 : 설비 1 16 : 설비 2

18 : 로봇 1 20 : 로봇 2

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 물류 자동 반송 시스템은 롯을 조작하는 시스템에 있어서, 롯을 배치(batch) 단위로 조작하되 배치로 구성된 롯이 순차적으로 반송 가능하도록 하는 것을 특징으로 한다.

(실시예)

도 1을 참조하여 본 발명의 실시예를 자세히 설명한다.

본 발명의 신규한 물류 자동 반송 시스템은 롯의 순서를 확인하여 롯이 스토커에서 출고되는 것을 최적화한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 자동 반송 시스템을 보여주는 도면이다.

도 1의 하드웨어(hardware) 구성을 근거로 하여 배치(batch)의 구성이 이루어질 수 있다. 또한, 구성된 배치(batch)의 순서 및 선택된 설비에 따라 선입선출에 의해 스토커(stocker)에서 출고가 되어야 한다. 설비 및 로봇(robot)을 관리하는 시스템은 스토커를 관리하는 시스템과 분리되어 있다. 배치 구성은 스토커에 저장된 롯을 근거로 하여 타 시스템에서 생성되어 스토커를 관리하는 시스템에 전달이 된다. 구성되는 배치(batch)는 1~6 롯까지 구성되면 1 배치(batch)를 구성하는 롯의 수에 영향을 받지 않는다. 상위 시스템에서는 구성된 롯을 동시에 스토커를 관리하는 시스템에 전달하며 스토커의 저장 여부에 따라 출고 가능 여부를 응답한다.

배치(batch) 구성 방법 및 스토커 출고를 예시를 들어 설명한다.

상기 스토커에 저장된 롯(lot)의 수는 스토커 1에는 L10.1부터 L19.1까지 전체 10개의 롯이 저장되어 있다. 또한, 스토커 2에는 L20.1부터 L29.1까지 10개의 롯이 저장되어 있다.

배치(batch)의 구성 및 출고 순서를 살펴보면 구성되는 배치(batch)는 롯이 어느 스토커에 저장되어 있는지는 중요하지 않으며, 스토커 1, 스토커 2에 저장된 롯이 설비 1이나 설비 2의 배치(batch)로 구성되어 질 수 있는지가 중요하다. 구성을 하나씩 설명한다.

첫번째 구성은 배치 1과 배치 2가 있으며, 배치 1(설비 1)은 L10.1, L11.1, L12.1의 롯으로 구성되고 배치 2(설비 2)는 L20.1, L21.1, L22.1의 롯으로 구성되어 있다. 이러한 구성에서는 스토커 1과 스토커 2가 동시에 작업이 이루어진다.

스토커 1 : L10.1 → L11.1 → L12.1

스토커 2 : L20.1 → L21.1 → L22.1

즉, 스토커 1의 L10.1 롯과 스토커 2의 L20.1 롯이 동시에 이루어지고 다음 롯이 또한 동시에 이루어진다.

두번째 구성은 배치 1(설비 1)은 L10.1, L11.1, L20.1의 롯으로 구성되고 배치 2(설비 2)는 L21.1, L22.1, L12.1의 롯으로 구성되어 있다. 이러한 구성에서는 스토커 1과 스토커 2가 일부만이 동시에 작업이 이루어진다.

스토커 1 : L10.1 → L11.1 → L12.1

스토커 2 : L20.1 → L21.1 → L22.1

즉, 스토커 1의 롯 L10.1과 스토커 2의 롯 L20.1은 동시에 진행되지만 다음 단계에서 스토커 2는 일시 정지하고 그 다음 단계에서 다시 동시에 작업이 이루어지는 구성을 갖는다.

세번째 구성은 배치 1(설비 1)은 L10.1, L11.1, L12.1의 롯으로 구성되고 배치 2(설비 2)는 L20.1, L21.1, L22.1의 롯으로 구성된다. 이러한 구성에서는 배치 1의 작업을 완료한 후 배치 2의 작업이 이루어진다.

스토커 1 : L10 → L11.1 → L12.1

스토커 2 : L20.1 → L21.1 → L22.1

즉, 스토커 1의 작업 중에 스토커 2에서 동시에 작업이 이루어질 수 있으나 배치(batch) 순서에 의해 스토커 2에서는 기다려야 한다.

네번째 구성은 배치 1(설비 1)은 L10.1, L20.1, L11.1의 롯으로 구성되고 배치 2(설비 2)는 L12.1, L21.1, L22.1의 롯으로 구성된다. 이러한 구성에서는 배치 1의 작업과 배치 2의 작업이 일부 동시에 이루어진다.

스토커 1 : L10.1 → L11.1 → L12.1

스토커 2 : L20.1 → L21.1 → L22.1

즉, 배치 1의 작업이 완료시까지 스토커 2는 배치 2를 작업하기 위해 대기해야 한다.

본 발명에서 데이터(data)의 저장은 배치 정보를 저장하기 위해 배치에 필요한 아이템(item)을 구조화하고 배치 구조 내에 다음 배치의 구조 포인터(pointer)를 갖도록 한다. 스토커 1과 스토커 2에 대한 정보를 구조화하고 스토커 구조 내에 배치에 대한 구조 포인터를 갖는다. 상위 시스템으로부터 배치로 출고 지시를 받으면 배치 롯의 현재 저장되어 있는 스토커 정보를 가져와 스토커 구조 내의 배치 포인터에 대한 배치 정보를 저장한다. 다음 롯은 배치 내의 다음 배치 구조에 저장한다.

본 발명에서 스토커에 작업지시는 스토커에서 작업이 완료시마다 가장 적당한 롯을 선택한다. 선택 조건은 첫째, 스토커의 배치 포인터를 가져와 다른 스토커에서 갖고 있는 배치 롯 중에 동일 설비에 먼저 지시를 받은 배치가 있는지 확인한다. 둘째, 동일 설비에 먼저 지시 받은 배치가 없으면 해당 롯을 출고 지시한다. 동일 설비에 먼저 지시 받은 배치가 없으면 해당 롯을 출고 지시한다. 셋째, 동일 설비에 먼저 지시 받은 배치가 존재하면 다음 배치 포인터로 이동한다. 앞의 첫째, 둘째 및 셋째의 동작을 반복하여 적당한 롯이 존재하는지를 확인하여 출고 지시한다. 상기 선택 조건에 의한 작업 선택시 가장 먼저 지시를 받은 배치의 선두 롯부터 순차적으로 작업이 진행된다.

본 발명은 스토커의 상태, 배치간 그리고 배치내의 롯 순서를 확인하여 최적의 롯이 스토커에서 출고 될 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 롯을 조작하는 시스템에 있어서,

   롯을 배치(batch) 단위로 조작하되 배치로 구성된 롯이 순차적으로 반송 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 물류 자동 반송 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 롯은 스토커(stocker)에 저장되는 것을 특징으로 하는 물류 자동 반송 시스템.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 롯은 로봇을 통해 상기 스토커와 상기 배치 사이에 이동되는 것을 특징으로 하는 물류 자동 반송 시스템.