KR20010095697A - System for returning product automatically - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 설비에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로 물류 자동 반송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor facility, and more particularly to an automated logistics transfer system.
종래에는 설비에 롯(lot)을 로딩(loading)하기 위해 스토커(stocker)에서 롯을 출고하거나 작업자가 직접 이동한 롯을 설비에 로딩하여 공정이 진행되어졌다. 그러나, 신규 라인(line)에서는 로봇(robot)과 스토커가 직접 연결이 되어 스토커에서 출고된 롯을 로봇이 이동하여 작업자의 이동이 없이 설비에 직접 로딩하도록 되어 있다.Conventionally, a process is performed by loading a lot from a stocker or loading a lot directly moved by a worker to a facility in order to load a lot into a facility. However, in the new line (robot) and the stocker is directly connected to the robot shipped from the stocker to move the robot to move directly to the facility without the operator's movement.
상기의 상황에서는 여러 개의 롯이 배치(batch) 단위로 설비에 로딩되어야하며 여러 배치가 존재시 먼저 지시를 받은 배치의 롯부터 출고가 되어야 한다. 하지만, 기존 자동 반송 시스템은 롯 단위로 입고 및 출고 작업을 하기 때문에 배치 단위 작업을 할 수 없다.In the above situation, several lots must be loaded into the plant in batches and, if multiple batches are present, they must be shipped from the batch of the ordered batch first. However, the existing automatic return system does not work in batches because the goods are received and shipped in lots.
본 발명은 설비에 롯을 로딩하기 위해 작업자가 수동으로 이동하지 않고 스토커와 로봇이 직접 연결이 되어 있어 스토커에 저장된 롯이 직접 설비로 이동된다. 그래서, 스토커에서는 선입선출에 근거한 배치 단위로 출고가 되어야 한다. 그러나, 기존 자동 반송 시스템은 배치(batch) 단위가 아닌 1 롯 단위로 입고 및 출고가 이루어지기 때문에 여러 개의 배치가 존재하면 먼저 지시를 받은 배치를 정상적으로 출고 할 수 없다. 따라서 스토커의 상태, 배치간 순서 및 배치 내의 롯 순서를 확인하여 최적의 롯이 스토커에서 출고 될 수 있도록 관리하도록 하기 위해 이 발명이 이루어졌다.In the present invention, the stocker and the robot are directly connected to each other without the worker moving manually to load the lot into the facility, so the lot stored in the stocker is directly moved to the facility. Thus, the stalker must be shipped in batches based on first-in, first-out. However, the existing automatic return system is not a batch (batch) unit, but the lot is received and shipped in batches, so if there are multiple batches can not be shipped normally the batch that was first instructed. Therefore, the present invention has been made to check the status of the stocker, the order between batches and the order of lots in the batch so that the optimal lot can be shipped from the stocker.
본 발명은 최적으로 롯이 스토커에서 출고 될 수 있도록 관리하는 물류 자동 반송 시스템을 제공하는 것이다.The present invention is to provide an automated logistics return system that optimally manages the lot to be shipped from the stocker.
도 1은 본 발명에 따른 물류 자동 반송 시스템을 보여주는 평면도이다.1 is a plan view showing an automatic logistics transport system according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 스토커 1 12 : 스토커 210: Stalker 1 12: Stalker 2
14 : 설비 1 16 : 설비 214 facility 1 16 facility 2
18 : 로봇 1 20 : 로봇 218: robot 1 20: robot 2
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 물류 자동 반송 시스템은 롯을 조작하는 시스템에 있어서, 롯을 배치(batch) 단위로 조작하되 배치로 구성된 롯이 순차적으로 반송 가능하도록 하는 것을 특징으로 한다.The present invention has been proposed to solve the above-mentioned problems, the automatic logistic conveying system is a system for operating a lot, the lot is operated in batch units (batch), characterized in that the batch consisting of the batch can be transported sequentially It is done.
(실시예)(Example)
도 1을 참조하여 본 발명의 실시예를 자세히 설명한다.An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 1.
본 발명의 신규한 물류 자동 반송 시스템은 롯의 순서를 확인하여 롯이 스토커에서 출고되는 것을 최적화한다.The novel logistic automated return system of the present invention checks the order of the lots to optimize the lot being shipped from the stocker.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 물류 자동 반송 시스템을 보여주는 도면이다.1 is a view showing an automatic logistics transport system according to a preferred embodiment of the present invention.
도 1의 하드웨어(hardware) 구성을 근거로 하여 배치(batch)의 구성이 이루어질 수 있다. 또한, 구성된 배치(batch)의 순서 및 선택된 설비에 따라 선입선출에 의해 스토커(stocker)에서 출고가 되어야 한다. 설비 및 로봇(robot)을 관리하는 시스템은 스토커를 관리하는 시스템과 분리되어 있다. 배치 구성은 스토커에 저장된 롯을 근거로 하여 타 시스템에서 생성되어 스토커를 관리하는 시스템에 전달이 된다. 구성되는 배치(batch)는 1~6 롯까지 구성되면 1 배치(batch)를 구성하는 롯의 수에 영향을 받지 않는다. 상위 시스템에서는 구성된 롯을 동시에 스토커를 관리하는 시스템에 전달하며 스토커의 저장 여부에 따라 출고 가능 여부를 응답한다.The configuration of the batch may be made based on the hardware configuration of FIG. 1. In addition, depending on the sequence of batches configured and the equipment selected, they must be released from the stocker by first-in, first-out. The system for managing facilities and robots is separate from the system for managing stockers. The batch configuration is created on another system based on the lot stored in the stocker and transferred to the stocker managing system. The batches that make up will be unaffected by the number of lots that make up one batch if they consist of one to six lots. The parent system delivers the configured lot to the stalker system at the same time and responds to the availability of the stalker.
배치(batch) 구성 방법 및 스토커 출고를 예시를 들어 설명한다.The batch configuration method and stocker release will be described by way of example.
상기 스토커에 저장된 롯(lot)의 수는 스토커 1에는 L10.1부터 L19.1까지 전체 10개의 롯이 저장되어 있다. 또한, 스토커 2에는 L20.1부터 L29.1까지 10개의 롯이 저장되어 있다.As for the number of lots stored in the stocker, the stocker 1 has a total of 10 lots from L10.1 to L19.1. Stocker 2 also stores 10 lots from L20.1 to L29.1.
배치(batch)의 구성 및 출고 순서를 살펴보면 구성되는 배치(batch)는 롯이 어느 스토커에 저장되어 있는지는 중요하지 않으며, 스토커 1, 스토커 2에 저장된 롯이 설비 1이나 설비 2의 배치(batch)로 구성되어 질 수 있는지가 중요하다. 구성을 하나씩 설명한다.If you look at the batch configuration and shipping order, it doesn't matter which stocker the lot is stored in, and the batches stored in stocker 1 and stocker 2 are batches of equipment 1 or equipment 2. It is important that it can be constructed. Describe the configurations one by one.
첫번째 구성은 배치 1과 배치 2가 있으며, 배치 1(설비 1)은 L10.1, L11.1, L12.1의 롯으로 구성되고 배치 2(설비 2)는 L20.1, L21.1, L22.1의 롯으로 구성되어 있다. 이러한 구성에서는 스토커 1과 스토커 2가 동시에 작업이 이루어진다.The first configuration is batch 1 and batch 2, batch 1 (equipment 1) consists of lots of L10.1, L11.1, L12.1 and batch 2 (equipment 2) is L20.1, L21.1, L22 It consists of lots of .1s. In this configuration, stocker 1 and stocker 2 work simultaneously.
스토커 1 : L10.1 → L11.1 → L12.1Stalker 1: L10.1 → L11.1 → L12.1
스토커 2 : L20.1 → L21.1 → L22.1Stalker 2: L20.1 → L21.1 → L22.1
즉, 스토커 1의 L10.1 롯과 스토커 2의 L20.1 롯이 동시에 이루어지고 다음 롯이 또한 동시에 이루어진다.That is, the L10.1 lot of stocker 1 and the L20.1 lot of stocker 2 are made simultaneously and the next lot is made at the same time.
두번째 구성은 배치 1(설비 1)은 L10.1, L11.1, L20.1의 롯으로 구성되고 배치 2(설비 2)는 L21.1, L22.1, L12.1의 롯으로 구성되어 있다. 이러한 구성에서는 스토커 1과 스토커 2가 일부만이 동시에 작업이 이루어진다.The second configuration consists of batch 1 (equipment 1) with lots of L10.1, L11.1 and L20.1 and batch 2 (equipment 2) with lots of L21.1, L22.1 and L12.1. . In this configuration, only part of Stocker 1 and Stocker 2 are operated simultaneously.
스토커 1 : L10.1 → L11.1 → L12.1Stalker 1: L10.1 → L11.1 → L12.1
스토커 2 : L20.1 → L21.1 → L22.1Stalker 2: L20.1 → L21.1 → L22.1
즉, 스토커 1의 롯 L10.1과 스토커 2의 롯 L20.1은 동시에 진행되지만 다음 단계에서 스토커 2는 일시 정지하고 그 다음 단계에서 다시 동시에 작업이 이루어지는 구성을 갖는다.That is, the lot L10.1 of the stocker 1 and the lot L20.1 of the stocker 2 proceed at the same time, but the stocker 2 is paused in the next step and the work is performed again in the next step.
세번째 구성은 배치 1(설비 1)은 L10.1, L11.1, L12.1의 롯으로 구성되고 배치 2(설비 2)는 L20.1, L21.1, L22.1의 롯으로 구성된다. 이러한 구성에서는 배치 1의 작업을 완료한 후 배치 2의 작업이 이루어진다.The third configuration consists of batch 1 (equipment 1) with lots of L10.1, L11.1 and L12.1 and batch 2 (equipment 2) with lots of L20.1, L21.1 and L22.1. In this configuration, the work in batch 2 takes place after the work in batch 1 is completed.
스토커 1 : L10 → L11.1 → L12.1Stalker 1: L10 → L11.1 → L12.1
스토커 2 : L20.1 → L21.1 → L22.1Stalker 2: L20.1 → L21.1 → L22.1
즉, 스토커 1의 작업 중에 스토커 2에서 동시에 작업이 이루어질 수 있으나 배치(batch) 순서에 의해 스토커 2에서는 기다려야 한다.That is, during the operation of the stocker 1, the operation may be performed in the stocker 2 at the same time, but wait for the stocker 2 according to the batch order.
네번째 구성은 배치 1(설비 1)은 L10.1, L20.1, L11.1의 롯으로 구성되고 배치 2(설비 2)는 L12.1, L21.1, L22.1의 롯으로 구성된다. 이러한 구성에서는 배치 1의 작업과 배치 2의 작업이 일부 동시에 이루어진다.In the fourth configuration, batch 1 (equipment 1) consists of lots of L10.1, L20.1, and L11.1 and batch 2 (equipment 2) consists of lots of L12.1, L21.1, and L22.1. In this configuration, the work in batch 1 and the work in batch 2 are performed at the same time.
스토커 1 : L10.1 → L11.1 → L12.1Stalker 1: L10.1 → L11.1 → L12.1
스토커 2 : L20.1 → L21.1 → L22.1Stalker 2: L20.1 → L21.1 → L22.1
즉, 배치 1의 작업이 완료시까지 스토커 2는 배치 2를 작업하기 위해 대기해야 한다.That is, stocker 2 has to wait to work on batch 2 until the work on batch 1 is complete.
본 발명에서 데이터(data)의 저장은 배치 정보를 저장하기 위해 배치에 필요한 아이템(item)을 구조화하고 배치 구조 내에 다음 배치의 구조 포인터(pointer)를 갖도록 한다. 스토커 1과 스토커 2에 대한 정보를 구조화하고 스토커 구조 내에 배치에 대한 구조 포인터를 갖는다. 상위 시스템으로부터 배치로 출고 지시를 받으면 배치 롯의 현재 저장되어 있는 스토커 정보를 가져와 스토커 구조 내의 배치 포인터에 대한 배치 정보를 저장한다. 다음 롯은 배치 내의 다음 배치 구조에 저장한다.The storage of data in the present invention allows for the organization of items required for placement in order to store placement information and to have a structure pointer of the next arrangement in the placement structure. Structures information about Stocker 1 and Stocker 2 and has a structure pointer to placement within the Stocker structure. When the batch instruction is received from the host system, the stored stocker information of the batch lot is retrieved and the batch information of the batch pointer in the stocker structure is stored. The next lot is stored in the next batch structure in the batch.
본 발명에서 스토커에 작업지시는 스토커에서 작업이 완료시마다 가장 적당한 롯을 선택한다. 선택 조건은 첫째, 스토커의 배치 포인터를 가져와 다른 스토커에서 갖고 있는 배치 롯 중에 동일 설비에 먼저 지시를 받은 배치가 있는지 확인한다. 둘째, 동일 설비에 먼저 지시 받은 배치가 없으면 해당 롯을 출고 지시한다. 동일 설비에 먼저 지시 받은 배치가 없으면 해당 롯을 출고 지시한다. 셋째, 동일 설비에 먼저 지시 받은 배치가 존재하면 다음 배치 포인터로 이동한다. 앞의 첫째, 둘째 및 셋째의 동작을 반복하여 적당한 롯이 존재하는지를 확인하여 출고 지시한다. 상기 선택 조건에 의한 작업 선택시 가장 먼저 지시를 받은 배치의 선두 롯부터 순차적으로 작업이 진행된다.In the present invention, the work order to the stocker selects the most suitable lot each time the work is completed in the stocker. The selection condition is, first, take a stock pointer of the stocker and check if there is a batch that has been instructed in the same equipment among other stockers. Second, if no batch has been first ordered on the same plant, the lot is shipped. If no batch has been first ordered on the same plant, the lot is shipped. Third, if there is a batch indicated first in the same facility, it moves to the next batch pointer. Repeat the first, second, and third operation to check if there is a suitable lot and order it. When selecting a job according to the selection condition, the job proceeds sequentially from the first lot of the batch that has been first instructed.
본 발명은 스토커의 상태, 배치간 그리고 배치내의 롯 순서를 확인하여 최적의 롯이 스토커에서 출고 될 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect that the optimal lot can be released from the stocker by checking the status of the stocker, the order between the batches and within the batch.
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020000018997A KR20010095697A (en) | 2000-04-11 | 2000-04-11 | System for returning product automatically |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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KR1020000018997A KR20010095697A (en) | 2000-04-11 | 2000-04-11 | System for returning product automatically |
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