KR20010038545A - 반도체 소자 검사장치용 아이씨 모듈 픽킹장치 - Google Patents

반도체 소자 검사장치용 아이씨 모듈 픽킹장치 Download PDF

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KR20010038545A
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Abstract

반도체 소자의 검사 장치에 있어서 공정용 트레이를 사용함이 없이 플라스틱재의 출하용 트레이를 이용하여 IC 모듈을 이송하면서 출하용 트레이로부터 IC 모듈을 편리하고 신속 정확하게 픽킹함으로써, 작업공정의 단순화를 도모할 수 있고 작업능률을 향상시킬 수 있는 IC 모듈 픽킹장치가 개시되어 있다. 본 발명에 따르면, 제조가 완료된 IC 모듈을 검사하기 위한 핸들러에서 수행되는 IC 모듈의 이송 작업에 있어서, 프리척이 IC 모듈(M)을 픽킹하기 전에 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치의 하부에 구비된 에어 노즐과 에어 분사구를 통해서 에어를 출하용 트레이(T)에 담겨져 있는 IC 모듈(M)쪽으로 분사하여 IC 모듈(M)을 원하는 방향으로 쓰러뜨린후 프리척으로 잡아 이송시킨다. 이때, 척 업다운 트랜스퍼의 외면 하단에 배치된 한쌍의 모듈척이 프리척에 의해서 픽킹된 IC 모듈(M) 쪽으로 움직여서 IC 모듈(M)의 측면을 안내한다.

Description

반도체 소자 검사장치용 아이씨 모듈 픽킹장치{Apparatus for picking up an IC module in an IC element test handler}
본 발명은 생산이 완료된 반도체 소자의 성능을 검사하기 위한 검사장치의 테스트부에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자의 검사 장치에 있어서 공정용 트레이를 사용함이 없이 플라스틱재의 출하용 트레이를 이용하여 IC 모듈을 이송하면서 출하용 트레이로부터 IC 모듈을 편리하고 신속 정확하게 픽킹함으로써, 작업공정의 단순화를 도모할 수 있고 작업능률을 향상시킬 수 있는 IC 모듈 픽킹장치에 관한 것이다.
최근의 전자 산업 분야에서는, 집적회로, 반도체 칩과 같은 전자장치들의 생산량 및 기능은 급속도로 증가시키는 반면에, 그 크기 및 단위 제조비용을 감소시키려는 노력이 다양하게 이루어지고 있다. 이러한 방법의 하나로, 제조가 완료된 전자장치들의 특성과 성능을 검사하기 위한 검사 공정에 있어서 다수의 전자장치들을 동시에 시험함으로써 전자장치들의 시험 속도를 증가시키는 것을 들 수 있다.
이를 위해서, 다수의 전자장치들에 대한 테스트 속도를 증가시킨 새로운 형태의 자동 검사장치가 개발된바 있다. 종래의 자동 검사장치에서는 검사가 완료된 IC 모듈을 보유하여 상품화되는 출하용 트레이 이외에, 검사전후의 IC 모듈 이송을 위해서 IC 모듈을 접근가능하도록 노출시켜 보유하는 공정용 트레이를 필수적으로 이용하여야 왔다.
그런데, 이러한 공정용 트레이 내에서는 IC 모듈이 원하는 방향으로 서있지 않은 경우에 픽업기구의 프리척을 IC 모듈에 원활하게 접근시킬 수가 없어서 고가의 IC 모듈이 손상되는 문제점이 있었다. 게다가, 공정용 트레이의 간격차에 따라 픽업기구의 간격을 조정하기 위한 조정장치를 별도로 구비하여야 하기 때문에, 전체장치의 구성이 복잡하고 제작비용이 많이 드는 등의 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 소자의 특성과 성능을 검사하기 위한 검사 장치에 있어서, 기존의 공정용 트레이를 사용함이 없이 플라스틱재의 출하용 트레이를 이용하여 IC 모듈을 이송하면서 출하용 트레이로부터 IC 모듈을 편리하고 신속 정확하게 픽킹함으로써, 작업공정의 단순화를 도모할 수 있고 작업능률을 향상시킬 수 있는 IC 모듈 픽킹장치를 제공하려는 것이다.
도 1a와 1b는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치의 외부 사시도,
도 2는 도 1a에 도시된 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치를 “A”방향에서 바라본 도면, 그리고
도 3은 본 발명에 따른 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치의 작동 상태도이다.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
10 : IC 모듈 픽킹장치 20 : AC 서보모터
24 : 지지 프레임 30 : 척 업다운 트랜스퍼
40 : Y방향 트랜스퍼 50 : 볼 스크루
52 : 볼 스크루 너트 54 : 볼 스크루 지지대
56 : 지지 브라켓 60 : 프리척 업다운 실린더
62 : 프리척 업다운 가이드 64 : 프리척 구동 실린더
66 : 프리척 68 : 모듈척 구동 실린더
70 : 모듈척 72 : 모듈척 핑거
74 : 모듈 가이드 핀 80 : 노즐
82 : 에어 분사구 M : 모듈
T : 트레이
상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은,
일면 양측에는 제 1 가이드부가 일정 높이만큼 돌출하여 형성되어 길이방향을 따라서 연장되고, 중앙 부위에는 절개부가 형성된 판형상의 수직한 지지 프레임;
모터 브라켓에 의해서 상기 지지 프레임의 상측에 고정되고, 회전 운동 에너지를 생성하기 위한 서보 모터;
상기 제 1 가이드부가 형성된 상기 지지 프레임의 전면에 수직방향으로 왕복활주 가능하도록 장착된 판형상의 척 업다운 트랜스퍼;
상기 척 업다운 트랜스퍼에 대향하는 상기 지지 프레임의 후면과의 사이에 수평으로 연장된 다수의 스페이서에 의해서 상기 지지 프레임의 상기 후면에 대하여 일정한 간격을 두고 장착된 판형상의 Y방향 트랜스퍼;
상기 지지 프레임과 상기 Y방향 트랜스퍼의 사이에 배치되어 상기 회전 운동에너지를 직선 왕복 운동에너지로 변환하여 상기 척 업다운 트랜스퍼를 승강시키기 위한 에너지 변환수단;
상기 척 업다운 트랜스퍼의 외면 상에 장착되고, IC 모듈을 트레이로부터 픽킹하기 위한 IC 모듈 픽킹 어셈블리; 그리고
상기 IC 모듈 픽킹 어셈블리에 의해서 상기 IC 모듈(M)이 픽킹되기 전에 상기 IC 모듈(M)을 일정방향으로 기울이기 위한 편향수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치를 제공한다.
상기 IC 모듈 픽킹장치는, 상기 IC 모듈 픽킹어셈블리에 의해서 상기 IC 모듈(M)이 픽킹될 때 상기 IC 모듈(M)의 측면을 안내하기 위한 IC 모듈 안내수단을 더 포함한다.
상기 편향수단은, 외부의 공기 공급원으로부터 상기 지지 프레임의 하단 아래를 지나서 상기 IC 모듈 픽킹 어셈블리의 프리척의 하단 근처까지 수평으로 연장된 노즐 및 상기 노즐의 자유단부에 설치되고 상기 외부의 공기 공급원으로부터 공급되는 에어를 상기 IC 모듈에 분사하기 위한 다수의 에어 분사구를 포함한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1a 내지 도 2에는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치가 도시되어 있다.
도 1a 내지 도 2를 참조하면, 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치(10)는 시험될 반도체 소자를 보유하고 있는 IC 모듈(M)을 트레이(T)(도 3 참조)로부터 픽킹(picking)하는데 필요한 소정의 압력을 생성하고 볼 스크루(50)의 승하강을 정밀하게 제어하기 위한 AC 서보 모터(20)를 포함한다.
AC 서보 모터(20)는 모터 브라켓(22)에 의해서 판형상의 수직한 지지 프레임(24)의 상측에 고정된다. 지지 프레임(24)의 일면 양측에는 제 1 가이드부(21)가 일정 높이만큼 돌출하여 형성된다. 제 1 가이드부(21)는 지지 프레임(24)의 일면상에서 지지 프레임(24)의 길이방향을 따라 연장된다. 지지 프레임(24)의 중앙 부위에는 절개부(23)가 형성된다.
제 1 가이드부(21)가 형성된 지지 프레임(24)의 전면에는 판형상의 척 업다운 트랜스퍼(30)가 제 1 가이드부(21)를 따라서 수직방향으로 왕복활주 가능하도록 장착된다. 지지 프레임(24)의 전면을 향하는 척 업다운 트랜스퍼(30)의 내면에는 제 1 가이드부(21)와 접하면서 제 1 가이드부(21)를 따라서 상하로 활주하는 슬라이드(31)가 배치된다.
척 업다운 트랜스퍼(30)에 대향하는 지지 프레임(24)의 후면에는 판형상의 Y방향 트랜스퍼(40)가 장착된다. Y방향 트랜스퍼(40)는 지지 프레임(24)과의 사이에 수평으로 연장된 다수의 스페이서(42)에 의해서 지지 프레임(24)의 후면에 대하여 일정한 간격을 두고 장착된다.
지지 프레임(24)과 Y방향 트랜스퍼(40)의 사이에는 수직한 로드형상의 볼 스크루(50) 및 볼 스크루(50)의 상하운동을 안내하기 위한 볼 스크루 너트(52)가 배치된다. 볼 스크루 너트(52)를 수직방향으로 관통하여 지나도록 배치된 볼 스크루(52)의 상단은 척 업다운 트랜스퍼(30)에 부착된 볼 스크루 지지대(54) 내로 연장된다. 볼 스크루 지지대(54) 내에서, 볼 스크루(50)의 상단은 커플링(도시되지 않음)에 의하여 AC 서보 모터(20)의 출력축(25)에 연결된다. AC 서보 모터(20)는 미리 입력된 제어값을 기초로하여 볼 스크루(50)의 작동을 제어한다.
볼 스크루(50)의 상하운동을 안내하기 위한 볼 스크루 너트(52)는, 볼 스크루 너트(52)로부터 연장되어 지지 프레임(24)의 절개부(23)를 지나서 척 업다운 트랜스퍼(30)에 부착된 지지 브라켓(56)(도 3 참조)에 의해서 척 업다운 트랜스퍼(30)에 장착된다.
볼 스크루(50)는 AC 서보 모터(20)로부터 출력축(25)과 볼 스크루 지지대(54)를 거쳐서 제공되는 회전 운동 에너지를 전달 받는다. 볼 스크루(50)는 전달된 회전 운동 에너지에 의해서 회전하면서 볼 스크루 너트(52)를 움직인다. 볼 스크루 너트(52)는 볼 스크루(50)가 회전과 동시에 상승 또는 하강하는 경우에, AC 서보 모터(20)로부터 인가되는 회전 운동에너지를 전달받아서 이를 직선 운동에너지로 변환시켜서 척 업다운 트랜스퍼(30)를 상하로 움직이게 한다.
한편, 척 업다운 트랜스퍼(30)의 외면 상측에는 에어 실린더인 프리척 업다운 실린더(60)가 부착된다. 프리척 업다운 실린더(60) 하측에는 프리척 업다운 가이드(62), 에어 실린더인 프리척 구동 실린더(64) 및 프리척(66)이 수직방향으로 차례로 배치된다.
프리척 업다운 가이드(62)는 척 업다운 트랜스퍼(30)의 외면 중앙부위에 돌출하여 수직방향으로 연장된 제 2 가이드부(32)를 따라서 수직방향으로 왕복활주 가능하도록 장착된다. 프리척 업다운 가이드(62)의 상부는 프리척 업다운 실린더(60)의 출력축(61)에 연결된다. 프리척 업다운 가이드(62)는 프리척 업다운 실린더(60)로부터 동력을 전달받아서 제 2 가이드부(32)를 따라 수직방향으로 활주운동을 수행한다.
프리척 업다운 가이드(62)의 하측에는 프리척 구동 실린더(64)가 일체로 결합된다. 프리척 구동 실린더(64)는 프리척 업다운 가이드(62)와 연동하면서 프리척 구동 실린더(64)의 하측에 쌍을 이루어 장착된 프리척(66)을 구동시킨다. 프리척(66)은 힌지축(63)(도 3 참조)에 의해서 선회운동이 가능하도록 프리척 구동 실린더(64)의 하단에 장착된다. 프리척(66)은 IC 모듈(M)을 트레이(T)(도 3 참조)로부터 픽킹하기 위해서, 프리척 구동 실린더(64)로부터 동력을 전달받아 척 업다운 트랜스퍼(30)의 전후방향, 즉 도 1a의 화살표“B”방향으로 선회운동한다.
한편, 척 업다운 트랜스퍼(30)의 외면 하단에는 한쌍의 모듈척(70)이 부착된다. 모듈척(70)은 척 업다운 트랜스퍼(30)의 외면 하단에 수평방향으로 돌출하여 연장된 제 3 가이드부(32)를 따라서 수평방향으로 왕복활주 가능하도록 장착된다.
모듈척(70)의 하부 양측에는 모듈척 핑거(72)가 일체로 결합된다. 모듈척 핑거(72)는 모듈척(70) 하부와 모듈척 핑거(72)를 관통하여 지나는 체결 볼트(71)에 의해서 모듈척(70)에 탈착이 가능하도록 결합된다. 모듈척 핑거(72)의 자유단에는 모듈 가이드 핀(74)이 각각 장착된다. 모듈 가이드 핀(74)은 프리척(66)이 IC 모듈(M)을 픽킹함과 동시에 모듈척(70)이 IC 모듈(M)의 일측면을 안내할 때, IC 모듈(M)의 배면 상에 기형성된 홈 내로 삽입되어 IC 모듈(M)을 지지하는 기능을 수행한다.
모듈척(70)의 상측 위치에서 척 업다운 트랜스퍼(30)의 외면 상에는 에어 실린더인 모듈척 구동 실린더(68)가 각각 장착된다. 모듈척 구동 실린더(68)는 모듈척(70)을 척 업다운 트랜스퍼(30)에 대하여 수평방향으로 왕복운동시킨다.
모듈척(70)의 하측 위치에는 외부의 공기 공급원(도시되지 않음)으로부터 연장된 노즐(80)이 배치된다. 노즐(80)은 지지 프레임(24)의 하단 아래를 지나서 프리척(66) 근처까지 수평으로 연장된다. 노즐(80)의 자유단부에는 외부의 공기 공급원으로부터 공급되는 에어를 프리척(66)이 집게될 IC 모듈에 분사하기 위한 다수의 에어 분사구(82)가 설치된다.
전술한 바와 같이 구성된 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치(10)의 작동 과정을 첨부도면 도 1a 내지 도 3을 참조하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 생산이 완료된 반도체 소자의 특성 및 성능 검사를 수행하는 핸들러(도시되지 않음)에서, 플라스틱재의 출하용 트레이(T)에 담겨져 있는 IC 모듈(M)을 픽킹(picking)하기 위하여 IC 모듈 픽킹장치(10)가 출하용 트레이(T)의 위치에 오면, AC 서보 모터(20)는 미리 입력된 제어값을 기초로하여 볼 스크루(50)를 구동시키기 위한 회전 운동에너지를 생성한다.
이렇게 생성된 회전 운동에너지는 모터 출력축(25)과 볼 스크루 지지대(54) 내의 커플링을 통해서 볼 스크루(50)로 전달된다. 이에 의해, 볼 스크루(50)는 회전운동하면서 볼 스크루 너트(52)를 움직이고, 계속해서 볼 스크루 너트(52)는 AC 서보 모터(20)로부터 볼 스크루(50)를 통해서 전달되는 회전 운동 에너지는 직선 운동 에너지로 변환하여 지지 브라켓(56)을 통해서 척 업다운 트랜스퍼(30)를 하방향으로 민다.
그러면, 척 업다운 트랜스퍼(30)의 슬라이드(31)가 제 1 가이드부(21)를 따라서 하강함으로써, 척 업다운 트랜스퍼(30)가 출하용 트레이(T) 쪽으로 원하는 높이까지 하강하게 된다.
이때, 외부의 공기 공급원으로부터 노즐(80)을 통하여 공급되는 에어가 다수의 에어 분사구(82)로부터 출하용 트레이(T)에 담겨져 있는 IC 모듈(M) 쪽으로 분사된다. 그 결과, IC 모듈(M)이 일정방향으로 쓰러지게 된다.
IC 모듈(M)이 일정방향으로 쓰러지면, 프리척 업다운 실린더(60)가 외부의 제어장치(도시되지 않음)로부터 인가되는 작동신호에 따라 작동을 개시하여 프리척 업다운 가이드(62)를 구동시킨다. 즉, 프리척 업다운 가이드(62)는 프리척 업다운 실린더(60)로부터 동력을 전달받아서 제 2 가이드부(32)를 따라 원하는 높이까지 하강하게 된다.
프리척 업다운 가이드(62)가 출하용 트레이(T) 근처까지 하강하면, 에어 실린더인 프리척(66)이 외부의 제어장치로부터 인가되는 작동신호에 따라 작동을 개시한다. 즉, 프리척(66)은 힌지축(63)을 중심으로 화살표“B”방향으로 선회운동하여 출하용 트레이(T) 내에 일정방향으로 쓰러진 IC 모듈(M)을 잡는다. 계속해서, 프리척(66)이 IC 모듈(M)을 잡은 상태에서 프리척 업다운 실린더(60), 프리척 업다운 가이드(62) 및 프리척 구동 실린더(64)의 연속적인 작동에 의하여 상방향으로 IC 모듈(M)을 픽킹한다.
이와 동시에, 프리척 구동 실린더(64) 양측의 모듈척 구동 실린더(68)는 외부의 제어장치로부터 인가되는 작동신호에 따라 작동을 개시하여 모듈척(70)을 제 3 가이드부(33)를 따라서 수평운동시킨다. 이에 의해, 모듈척(70)이 프리척(66)에 의해서 픽킹된 IC 모듈(M) 쪽으로 움직여서 IC 모듈(M)의 측면을 안내하여 잡음으로써, IC 모듈(M)을 이송하는 동안에 떨어지지 않게 한다.
이상에서 언급한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 제조가 완료된 IC 모듈을 검사하기 위한 핸들러에서 수행되는 IC 모듈의 이송 작업에 있어서, 프리척(66)이 IC 모듈(M)을 픽킹하기 전에 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치의 하부에 구비된 에어 노즐(80)과 에어 분사구(82)를 통해서 에어를 출하용 트레이(T)에 담겨져 있는 IC 모듈(M)쪽으로 분사하여 줌으로써, 공정용 트레이를 이용하는 기존의 IC 모듈 이송 작업에 비해서 소비자에게 직접 출시되는 출하용 트레이(T)에 담겨져 있는 IC 모듈(M)을 직접 픽킹하여 이송함으로써, 작업공정의 단순화를 도모할 수 있고, 작업능률을 향상시킬 수 있다. 또한, IC 모듈의 이송과정에 있어서 안정감과 신뢰성을 얻을 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 일면 양측에는 제 1 가이드부(21)가 일정 높이만큼 돌출하여 형성되어 길이방향을 따라서 연장되고, 중앙 부위에는 절개부(23)가 형성된 판형상의 수직한 지지 프레임(24);
    모터 브라켓(22)에 의해서 상기 지지 프레임(24)의 상측에 고정되고, 회전 운동 에너지를 생성하기 위한 서보 모터(20);
    상기 제 1 가이드부(21)가 형성된 상기 지지 프레임(24)의 전면에 수직방향으로 왕복활주 가능하도록 장착된 판형상의 척 업다운 트랜스퍼(30);
    상기 척 업다운 트랜스퍼(30)에 대향하는 상기 지지 프레임(24)의 후면과의 사이에 수평으로 연장된 다수의 스페이서(42)에 의해서 상기 지지 프레임(24)의 상기 후면에 대하여 일정한 간격을 두고 장착된 판형상의 Y방향 트랜스퍼(40);
    상기 지지 프레임(24)과 상기 Y방향 트랜스퍼(40)의 사이에 배치되어 상기 회전 운동에너지를 직선 왕복 운동에너지로 변환하여 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)를 승강시키기 위한 에너지 변환수단;
    상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 외면 상에 장착되고, IC 모듈(M)을 트레이(T)로부터 픽킹하기 위한 IC 모듈 픽킹 어셈블리; 그리고
    상기 IC 모듈 픽킹 어셈블리에 의해서 상기 IC 모듈(M)이 픽킹되기 전에 상기 IC 모듈(M)을 일정방향으로 기울이기 위한 편향수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 IC 모듈 픽킹장치는, 상기 IC 모듈 픽킹어셈블리에 의해서 상기 IC 모듈(M)이 픽킹될 때 상기 IC 모듈(M)의 측면을 안내하기 위한 IC 모듈 안내수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 IC 모듈 안내수단은, 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 상기 외면의 하단에 부착된 한쌍의 모듈척(70) 및 상기 모듈척(70)의 상측 위치에 각각 장착되고 상기 모듈척(70)을 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)에 대하여 수평방향으로 왕복운동시키기 위한 모듈척 구동 실린더(68)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 모듈척(70)은 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 상기 외면 하단에 수평방향으로 돌출하여 연장된 제 3 가이드부(32)를 따라서 수평방향으로 왕복활주 가능하도록 장착되고, 상기 모듈척(70)의 하부 양측에는 모듈척 핑거(72)가 탈착 가능하도록 일체로 결합되며, 상기 모듈척 핑거(72)의 자유단에는 상기 IC 모듈(M)의 배면 상에 기형성된 홈 내로 삽입되어 상기 IC 모듈(M)을 지지하기 위한 모듈 가이드 핀(74)이 각각 장착된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 내면에는 상기 제 1 가이드부(21)와 접하면서 상기 제 1 가이드부(21)를 따라서 상하로 활주하는 슬라이드(31)가 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 에너지 변환수단은, 수직한 로드형상의 볼 스크루(50) 및 상기 볼 스크루(50)의 상하운동을 안내하기 위한 볼 스크루 너트(52)를 포함하며, 상기 볼 스크루(50)는 상기 볼 스크루 너트(52)를 수직방향으로 관통하여 지나도록 배치되고, 상기 볼 스크루(52)의 상단은 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)에 부착된 볼 스크루 지지대(54) 내로 연장되어 커플링에 의하여 상기 서보 모터(20)의 출력축(25)에 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 볼 스크루 너트(52)는, 상기 볼 스크루 너트(52)로부터 연장되어 상기 절개부(23)를 지나서 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)에 부착된 지지 브라켓(56)에 의해서 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)에 장착되고, 상기 볼 스크루(50)는 상기 서보 모터(20)로부터 상기 출력축(25)과 상기 볼 스크루 지지대(54)를 거쳐서 제공되는 상기 회전 운동 에너지를 전달 받으며, 이렇게 전달된 상기 회전 운동 에너지에 의해서 회전하면서 상기 볼 스크루 너트(52)를 움직이고, 이때 상기 볼 스크루 너트(52)는 상기 볼 스크루(50)가 회전과 동시에 상승 또는 하강하는 경우에, 상기 회전 운동 에너지를 전달받아서 이를 상기 직선 운동에너지로 변환시켜서 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)를 승강시키는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 IC 모듈 픽킹어셈블리는, 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 상기 외면 상측에 수직방향으로 차례로 배치된 프리척 업다운 실린더(60), 프리척 업다운 가이드(62), 프리척 구동 실린더(64) 및 프리척(66)을 구비하며, 상기 프리척 업다운 가이드(62)는 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 상기 외면 중앙부위에 돌출하여 수직방향으로 연장된 제 2 가이드부(32)를 따라서 수직방향으로 왕복 활주 가능하도록 장착되고, 상기 프리척 업다운 가이드(62)의 상부는 상기 프리척 업다운 실린더(60)의 출력축(61)에 연결된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 프리척 구동 실린더(64)는 상기 프리척 업다운 가이드(62)의 하측에 일체로 결합되고, 상기 프리척 업다운 가이드(62)와 연동하면서 상기 프리척 구동 실린더(64)의 하측에 쌍을 이루어 장착된 상기 프리척(66)을 구동시키며, 상기 프리척(66)은 힌지축(63)에 의해서 선회운동이 가능하도록 상기 프리척 구동 실린더(64)의 하단에 각각 장착되고, 상기 IC 모듈(M)을 상기 트레이(T)로부터 픽킹하기 위해서 상기 프리척 구동 실린더(64)로부터 동력을 전달받아 상기 척 업다운 트랜스퍼(30)의 전후방향으로 선회운동하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 편향수단은, 외부의 공기 공급원으로부터 상기 지지 프레임(24)의 하단 아래를 지나서 상기 프리척(66)의 하단 근처까지 수평으로 연장된 노즐(80) 및 상기 노즐(80)의 자유단부에 설치되고 상기 외부의 공기 공급원으로부터 공급되는 에어를 상기 IC 모듈에 분사하기 위한 다수의 에어 분사구(82)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 검사장치용 IC 모듈 픽킹장치.
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