KR20010035948A - 정렬 챔버를 구비하는 멀티 챔버 시스템 - Google Patents

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임봉순
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Abstract

본 발명은 정렬 챔버를 구비한 멀티 챔버 시스템에 관한 것으로, 정렬 챔버가 로드록 챔버에서 분리될 경우 로드록 챔버의 기밀을 유지할 수 있도록 조절가능한 도어를 가지는 버퍼 챔버를 상기 정렬 챔버와 상기 로드록 챔버 사이에 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 정렬 챔버를 구비하는 멀티 챔버 시스템에서 정렬 챔버가 분리되는 경우에도 외부와의 밀폐가 가능하고 대응동작이 가능하여 정렬이 필요없는 공정을 계속 진행할 수 있다.

Description

정렬 챔버를 구비하는 멀티 챔버 시스템 {Multichamber system provided with oriental chamber}
본 발명은 정렬 챔버를 가지는 멀티 챔버 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나 이상의 공정 챔버와 부속된 정렬 챔버 및 로드록 챔버 같은 여러 챔버로 구성된 시스템에서의 부속 챔버와 로드록 챔버의 결합 구조에 관한 것이다.
반도체장치는 여러 가지 종류의 다수 공정을 거쳐서 이루어진다. 그리고 매우 정밀하고 복잡한 구조를 가지는 장치이기 때문에 형성과정 역시 매우 복잡하고 엄격한 여러 단계를 거쳐서 이루어진다. 이런 공정 단계들은 대부분 그 환경이 정확히 조절되는 고가의 공정 설비를 통해 이루어진다. 이때 사용되는 설비 가운데 다수의 웨이퍼를 능률적으로 처리하기 위해서, 혹은 관련된 일련의 과정을 동일한 설비내에서 연속적으로 처리하기 위해 다수의 공정 챔버를 서로 연결시켜 사용하는 멀티 챔버 시스템을 갖는 경우가 많이 있다.
도1은 이러한 멀티 챔버 시스템의 일부분을 나타내는 도면이다. 여기서 실질적인 공정이 이루어지는 공정챔버는 상세히 나타나지 않고 있으며, 공정은 여러 가지 공정일 수 있다. 중앙에 여러 챔버와 접하도록 로드록 챔버(11)가 설치되어 있다. 로드록 챔버의 중앙에는 웨이퍼 이송용 로봇 아암(15)이 있어서 멀티 챔버 시스템에서 여러 공정 챔버(20)로 웨이퍼(10)를 투입 반출하는 역할을 담당하고 있다. 도면의 좌상으로 설치된 챔버는 정렬챔버(oriental chamber:13)로 시스템에 투입되는 웨이퍼(10)가 공정 챔버(20)에서 정확한 정렬 상태일 필요가 있을 때 사용하는 것이다. 즉, 시스템에 투입된 웨이퍼가 우선 정렬 챔버(13)내의 웨이퍼 척(17)에 적재되고 플랫존 정렬 등을 통해 정확한 위치를 잡은 후에 일정하게 동작하는 이송체계를 통해 공정 챔버로 정렬된 상태 그대로 옮겨지는 것이다.
그런데 이런 정렬 챔버를 구비하는 멀티 챔버 시스템에서 정렬 챔버를 보수하기 위하여 분리할 경우 멀티 챔버 시스템을 사용할 수 없다는 문제가 있었다. 즉, 로드록 챔버와 정렬 챔버 사이의 개폐용 도어가 정렬 챔버에 장착되어 있으므로 일반적으로 정렬 챔버 없이도 운용가능한 공정도 로드록 챔버의 기밀이 유지되지 않기 때문에 운용될 수 없고, 멀티 챔버 시스템 전체가 가동을 중단하여야 하는 불합리가 발생하는 것이다.
본 발명은 정렬 챔버를 구비한 멀티 챔버 시스템에서 정렬 챔버가 분리되는 경우에도 로드록 챔버의 기밀을 유지하면서 정렬이 필요없는 공정을 진행할 수 있도록 새로운 멀티 챔버 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
도1은 종래의 멀티 챔버 시스템의 일부분을 나타내는 도면이다.
도2는 정렬 챔버와 로드록 챔버 사이에 버퍼 챔버가 새롭게 구비된 본 발명의 멀티 챔버 시스템을 나타내는 평면도이다.
도3은 본 발명 시스템의 버퍼 챔버의 도어 개폐 형태의 일 예를 나타내는 구성도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10: 웨이퍼 11: 로드록 챔버
13: 정렬 챔버 15: 이송 로봇
17: 웨이퍼 척 20: 공정 챔버
21: 버퍼 챔버 23: 도어 단자
25: 공압용 액추에이터 27: 조절기
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 정렬 챔버를 구비한 멀티 챔버 시스템은 정렬 챔버가 로드록 챔버에서 분리될 경우 로드록 챔버의 기밀을 유지할 수 있도록 조절가능한 도어를 가지는 버퍼 챔버를 상기 정렬 챔버와 상기 로드록 챔버 사이에 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 버퍼 챔버에는 정렬 챔버와 로드록 챔버 양쪽으로 도어가 형성될 수도 있으나, 정렬 챔버 쪽으로는 개방되어 있고 로드록 챔버 쪽으로는 도어가 형성되어 있는 형태가 일반적이 될 것이다. 이런 경우 버퍼 챔버 내에 별도의 웨이퍼 적재대와 이송 아암이 설치되지 않은 것을 전제로 하여 도어 운용을 살펴보면, 정렬 챔버가 보수를 위해 분리되고 정렬 챔버에 설치되어 있던 웨이퍼 출입용 슬릿 밸브의 도어가 열려야 할 때 버퍼 챔버의 도어는 닫힘상태가 되도록 출입용 슬릿 밸브의 단자와 연결되는 리레이(relay)를 설치할 수 있다.
이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 좀 더 살펴보기로 한다.
도2는 정렬 챔버와 로드록 챔버 사이에 버퍼 챔버가 새롭게 구비된 본 발명의 멀티 챔버 시스템을 나타내는 평면도이다. 여타의 공정 챔버(20)나 로드록 챔버(11)의 구성에는 변화가 없는 것으로 나타난다. 이런 형태의 멀티 챔버 시스템에서 정렬 챔버(13)가 장착되어 사용될 때는 버퍼 챔버(21)의 도어는 정렬 챔버(13)에 형성된 로드록 챔버(11)로 향하는 출입용 슬릿 밸브의 개폐와 연동시켜 웨이퍼(10) 출입에 지장이 없도록 하면서, 정렬 챔버(13)를 분리한 상태에서는 항상 닫힘으로 관리하여 로드록 챔버(11)의 기밀을 유지한 상태에서 정렬과정 없이 공정이 진행될 수 있도록 하였다.
도3은 본 발명 시스템의 버퍼 챔버의 도어 개폐 형태의 일 예를 나타내는 구성도이다. 정렬 챔버의 로드록 챔버로 향하는 슬릿 밸브의 도어 단자(23)와 작동 신호를 리레이 등을 이용하여 연계시켜 조절기(27)를 통하여 버퍼 챔버(21)의 도어 개폐를 조절하고 있다. 도어 개폐는 공압용 액추에이터(25) 등을 이용할 수 있다.
본 발명에 따르면 정렬 챔버를 구비하는 멀티 챔버 시스템에서 정렬 챔버가 분리되는 경우에도 외부와의 밀폐가 가능하고 대응동작이 가능하여 정렬이 필요없는 공정을 계속 진행할 수 있다.

Claims (3)

  1. 정렬 챔버가 로드록 챔버에서 분리될 경우 로드록 챔버의 기밀을 유지할 수 있도록 조절가능한 도어를 가지는 버퍼 챔버가 상기 정렬 챔버와 상기 로드록 챔버 사이에 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 정렬 챔버를 구비한 멀티 챔버 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼 챔버의 개폐 도어는 상기 정렬 챔버의 슬릿 밸브의 도어와 신호적으로 연결되도록 조절기에 연결되는 것을 특징으로 하는 정렬 챔버를 구비한 멀티 챔버 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼 챔버에는 상기 정렬 챔버 및 상기 로드록 챔버 쪽으로 각각 도어가 형성되는 것을 특징으로 하는 정렬 챔버를 구비한 멀티 챔버 시스템.
KR1019990042753A 1999-10-05 1999-10-05 정렬 챔버를 구비하는 멀티 챔버 시스템 KR20010035948A (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100600879B1 (ko) * 2004-09-21 2006-07-19 삼성에스디아이 주식회사 멀티 챔버 진공 증착 장치
KR100783282B1 (ko) * 2002-10-22 2007-12-06 동부일렉트로닉스 주식회사 정열 챔버의 정열대

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KR100783282B1 (ko) * 2002-10-22 2007-12-06 동부일렉트로닉스 주식회사 정열 챔버의 정열대
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