KR20010027127A - 웨이퍼 플랫존 검출장치 - Google Patents

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KR20010027127A
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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 플랫존을 정렬하기 위한 웨이퍼 플랫존 정렬장치에 관한 것으로, 웨이퍼에 노광 공정이 진행되는 경우, 사전에 웨이퍼 뒷면에 이물이 부착되었는 지의 여부를 검출함으로써, 웨이퍼 패턴형성 불량을 방지할 수 있는 웨이퍼 이물검출장치에 관한 것이다.
본 발명의 웨이퍼 플랫존 정렬장치는 웨이퍼를 홀딩시키기 위한 웨이퍼홀더와, 웨이퍼 하부방향에서 웨이퍼홀더와 근접된 위치에 설치되며, 웨이퍼 이면의 이물 부착여부를 검출하기 위한 씨씨디센서와, 홀더 하부에 연결설치되며, 웨이퍼를 X, Y, Θ축 방향으로 구동시키기 위한 각각의 제 1, 제 2, 제 3구동부와, 웨이퍼 상부 일측에 설치되어, 웨이퍼의 플랫존 일측위치를 검출하기 위한 제 1위치 검출용센서와, 웨이퍼 상부 타측에 설치되어, 웨이퍼 플랫존의 타측 위치를 검출하기 위한 제 2위치 검출용센서와, 웨이퍼의 X축 방향 상에 임의로 설치되어, 웨이퍼의 X축 방향의 위치를 검출하기 위한 제 3위치 검출용센서를 구비한 것이 특징이다.
상기 특징을 갖는 본 발명의 웨이퍼 플랫존 검출장치에서는 웨이퍼 하부 방향에서, 홀더에 근접된 부위에 이물 검출용 씨씨디센서를 장착함으로써, 사전에 웨이퍼 이면 오염 여부를 검출할 수 있다.
따라서, 노광 공정 진행 시, 웨이퍼 이면 오염에 의한 포커스 불량을 사전에 감지 및 이를 방지할 수 있는 잇점이 있다.

Description

웨이퍼 플랫존 검출장치{Apparatus for detecting wafer flatzone}
본 발명은 웨이퍼 이물검출장치에 관한 것으로, 특히, 노광 공정 시, 웨이퍼 뒷면에 이물이 부착되었는 지의 여부를 검출함으로써, 웨이퍼 패턴형성 불량을 방지할 수 있는 웨이퍼 이물검출장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서, 노광장치에서는 필름역할을 하는 감광막 등의 코팅액이 도포된 웨이퍼가 트랙의 웨이퍼 인입부로 로딩되면, 프리 어라인유닛에서 웨이퍼 위치를 정밀하게 어라인한다. 이 후, 어라인된 웨이퍼는 이송암에 의해 스테이지로 이송되어 노광 공정이 진행된다.
감광막 등의 코팅액 도포 시, 코팅액이 웨이퍼 앞표면(소자가 형성된 면)을 타고 흐르면서 웨이퍼 뒷면의 일부까지 도포된 경우, 상기의 노광 공정이 진행되면서 포커스 불량 등이 초래되어 수율이 저하된다. 따라서, 웨이퍼 노광 공정 시, 웨이퍼 뒷면에 이물이 부착되었는 지의 여부를 체크하여 웨이퍼의 상태가 청결하도록 해야 한다.
도 1은 종래기술에 따른 웨이퍼 플랫존 정렬장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 그리고 도 2는 종래기술에 따른 웨이퍼 플랫존 검출장치에 있어서, 웨이퍼 및 웨이퍼 하부에 설치된 제 1, 제 2 제 3 위치 검출용 센서를 도시한 도면이다.
종래의 웨이퍼 플랫존 정렬장치는 웨이퍼의 플랫존을 어라인하기 위한 것으로, 도 1과 도 2를 참조하면, 웨이퍼를 지지고정시키는 웨이퍼홀더(미도시)와, 홀더 하부에 형성되어, 웨이퍼(100)를 X축, Y축 및 Θ축방향으로 각각 구동시키기 위한 각각의 제 1, 제 2, 제 3구동부(미도시)와, 웨이퍼 플랫존(a)의 일측 부위에 설치되어, 웨이퍼(100)의 일측 부위의 플랫존을 감지하기 위한 제 1 위치 검출용 센서(102)와, 웨이퍼 플랫존(a)의 타측 부위에 설치되어, 웨이퍼의 타측 부위의 플랫존을 감지하기 위한 제 2 위치 검출용 센서(104)와, 웨이퍼의 X축 방향에 임의로 설치된 제 3위치 검출용 센서(106)로 구성된다.
상기 구성을 갖는 종래의 플랫존 정렬장치를 이용하여 웨이퍼의 플랫존이 정렬되는 과정을 알아본다.
먼저, 웨이퍼(100)가 트랙의 웨이퍼홀더로 이송되면, 제 1구동부를 이용하여 웨이퍼를 X축 방향으로 구동시킴에 따라, 제 1위치 검출용 센서(102)에 의해 위치가 감지되면 X축 구동은 완료된다.
이어서, 제 2구동부를 이용하여 웨이퍼를 Y축 방향으로 구동시킴에 따라, 제 2위치 검출용 센서(104)에 의해 위치가 감지되면 Y축 구동은 완료된다.
웨이퍼의 X, Y축 구동이 완료된 상태에서, 제 3구동부를 이용하여 웨이퍼를 Θ축 방향으로 구동시킴에 따라, 웨이퍼의 플랫존이 정확히 제 1, 제 2위치 검출용 센서(102)(104)에 감지되도록 한다.
제 3위치 검출용 센서(106)는 웨이퍼의 X축 방향에 임의의 위치에 설정된다.
웨이퍼의 프리 어라인이 완료되면, 웨이퍼 에지부를 Θ축 방향으로 구동시키면서 노광 공정을 진행시킨다.
웨이퍼의 에지부 노광이 완료되면, 이송암에 의해 스테이지로 이동된다.
그러나, 종래의 기술에서는 웨이퍼 이면에 이물이 부착된 경우, 이를 검출할 수 있는 장치가 없으므로, 노광 공정 시에 포커스 불량이 발생되었다.
따라서, 포커스 불량됨에 따라 웨이퍼가 손상되어 결과적으로, 제품의 수율이 저하된 문제점이 있었다.
상기의 문제점을 해결하고자, 본 발명의 목적은 웨이퍼 이면에 부착된 이물을 검출함으로써 노광 공정 시 웨이퍼 패턴 불량을 방지할 수 있는 웨이퍼 검출장치를 제공하려는 것이다.
상기 목적을 달성하고자, 본 발명의 웨이퍼 플랫존 정렬장치는 웨이퍼를 홀딩시키기 위한 웨이퍼홀더와, 웨이퍼 하부방향에서 웨이퍼홀더와 근접된 위치에 설치되며, 웨이퍼 이면의 이물 부착여부를 검출하기 위한 씨씨디센서와, 홀더 하부에 연결설치되며, 웨이퍼를 X, Y, Θ축 방향으로 구동시키기 위한 각각의 제 1, 제 2, 제 3구동부와, 웨이퍼 상부 일측에 설치되어, 웨이퍼의 플랫존 일측위치를 검출하기 위한 제 1위치 검출용센서와, 웨이퍼 상부 타측에 설치되어, 웨이퍼 플랫존의 타측 위치를 검출하기 위한 제 2위치 검출용센서와, 웨이퍼의 X축 방향 상에 임의로 설치되어, 웨이퍼의 X축 방향의 위치를 검출하기 위한 제 3위치 검출용센서를 구비한 것이 특징으로 한다.
도 1은 종래기술에 따른 웨이퍼 플랫존 검출장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 2는 종래기술에 따른 웨이퍼 플랫존 검출장치에 있어서, 웨이퍼 및 웨이퍼 하부에 설치된 제 1, 제 2 제 3 위치 검출용 센서를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫존 검출장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫존 검출장치의 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100, 200. 웨이퍼 202. 이물검출용 센서
204, 206, 208. 구동부
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하겠다.
도 3는 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫존 정렬장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 그리고 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 플랫존 검출장치의 단면도이다.
본 발명의 웨이퍼 플랫존 정렬장치는 도 3과 도 4와 같이, 웨이퍼(200)를 지지하기 위한 웨이파홀더(210)와, 웨이퍼(200) 하부에서 웨이퍼홀더(210)와 근접된 위치에 설치되며, 웨이퍼 뒷면의 이물을 감지하기 위한 이물검출용 센서(202)와, 웨이퍼홀더(210) 하부에 연결설치되어, 웨이퍼(200)를 X, Y, Θ축 방향으로 구동시키기 위한 각각의 제 1, 제 2, 제 3구동부(204)(206)(208)와, 웨이퍼 플랫존의 일측 부위를 감지하기 위한 제 1위치 감지용 센서(미도시)와, 웨이퍼 플랫존의 타측 부위를 감지하기 위한 제 2위치 감지용 센서(미도시)와, 웨이퍼의 X축 방향 상에 임의로 설치되어, 웨이퍼의 X축 방향의 위치를 감지하기 위한 제 3위치 감지용 센서(미도시)로 구성된다.
이물검출용 센서는 각 CCD(Charge Coupled Device)씨씨디 픽셀에 대한 LED(Light Emitting Diode)를 사용한다.
상기 구성을 갖는 본 발명의 웨이퍼 플랫존 정렬장치를 이용하여 웨이퍼의 플랫존 정렬 및 웨이퍼 이면에 이물부착여부가 검출되는 과정을 알아본다.
웨이퍼(200)가 트랙의 웨이퍼홀더(210)로 이송되면, 제 1구동부(204)를 이용하여 웨이퍼를 X축 방향으로 구동시킴에 따라, 제 1위치센서에 의해 위치가 감지되면 X축 구동은 완료된다.
이어서, 제 2구동부(206)를 이용하여 웨이퍼를 Y축 방향으로 구동시킴에 따라, 제 2위치센서에 의해 위치가 감지되면 Y축 구동은 완료된다.
이 후, 웨이퍼(200)의 X, Y축 구동이 완료된 상태에서, 제 3구동부(208)를 이용하여 웨이퍼를 Θ축 방향으로 구동시킴에 따라, 웨이퍼의 플랫존이 정확히 제 1, 제 2위치센서에 감지되도록 한다.
이 때, 웨이퍼(200)가 Θ축 방향으로 구동됨에 따라, 이물 검출용 센서(202)가 작동되어 웨이퍼 이면의 이물 부착 여부가 검출된다. 따라서, 이물 검출용 센서의 쎈씽에 의해 이물검출됨을 알리는 에러음이 발생되면, 장치 작동이 중단하게 된다.
이물검출용 센서(202)는 각 픽셀에 대한 LED를 사용하여 작동 중단 시 웨이퍼 이면의 오염 부착 여부를 알 수 있다.
이 후, 웨이퍼의 플랫존 정렬이 완료되면, 웨이퍼 에지부를 Θ축 방향으로 구동시키면서 노광 공정을 진행시킨다. 웨이퍼의 에지부 노광이 완료되면, 이송암에 의해 스테이지로 이동된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 웨이퍼 하부 방향에서, 홀더에 근접된 부위에 이물 검출용 씨씨디센서를 장착함으로써, 사전에 웨이퍼 이면 오염 여부를 검출할 수 있다.
따라서, 노광 공정 진행 시, 웨이퍼 이면 오염에 의한 포커스 불량을 사전에 감지 및 이를 방지할 수 있는 잇점이 있다.

Claims (1)

  1. 웨이퍼의 플랫존을 정렬하기 위한 웨이퍼 플랫존 정렬장치에 있어서,
    웨이퍼를 홀딩시키기 위한 웨이퍼홀더와,
    상기 웨이퍼 하부방향에서 상기 웨이퍼홀더와 근접된 위치에 설치되며, 웨이퍼 이면의 이물 부착여부를 검출하기 위한 씨씨디센서와,
    상기 홀더 하부에 연결설치되어, 상기 웨이퍼를 X, Y, Θ축 방향으로 구동시키기 위한 각각의 제 1, 제 2, 제 3구동부와,
    상기 웨이퍼 상부 일측에 설치되어, 상기 웨이퍼의 플랫존 일측위치를 검출하기 위한 제 1위치 검출용센서와,
    상기 웨이퍼 상부 타측에 설치되어, 상기 웨이퍼 플랫존의 타측 위치를 검출하기 위한 제 2위치 검출용센서와,
    상기 웨이퍼의 X축 방향 상에 임의로 설치되어, 상기 웨이퍼의 X축 방향의 위치를 검출하기 위한 제 3위치 검출용센서를 구비한 웨이퍼 플랫존 정렬장치.
KR1019990038713A 1999-09-10 1999-09-10 웨이퍼 플랫존 검출장치 KR20010027127A (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100469987B1 (ko) * 2000-12-27 2005-02-04 산에이 기껜 가부시키가이샤 기판위치 결정장치 및 노광장치
KR101318934B1 (ko) * 2012-11-13 2013-10-17 한국표준과학연구원 웨이퍼 면방위 측정용 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100469987B1 (ko) * 2000-12-27 2005-02-04 산에이 기껜 가부시키가이샤 기판위치 결정장치 및 노광장치
KR101318934B1 (ko) * 2012-11-13 2013-10-17 한국표준과학연구원 웨이퍼 면방위 측정용 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치

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