KR20010024961A

KR20010024961A - 피 검사체용 탑재대의 회전 구동 기구 및 피 검사체의탑재 기구

Info

Publication number: KR20010024961A
Application number: KR1020007010645A
Authority: KR
Inventors: 요시오카하루히코; 이노신지; 아카이케유타카; 스즈키마사루
Original assignee: 히가시 데쓰로; 동경 엘렉트론 주식회사
Priority date: 1999-01-29
Filing date: 2000-01-25
Publication date: 2001-03-26
Also published as: US6634245B1; KR100600234B1; WO2000045432A1; JP4490521B2; JP2000286312A; TW463279B

Abstract

본 발명의 회전 구동 기구(18)는 웨이퍼의 검사를 실행할 때, 웨이퍼가 탑재되는 척 탑(11)을 정회전 및 역회전시키기 위한 기구이다. 척 탑(chuck top)(11)의 측방에 배치된 직진 구동 기구(181)와, 이 직진 구동 기구(181)에 의해 직진 이동하는 너트(182)와, 이 너트(182)를 직진 방향으로 안내하는 가이드 레일(183A)과, 이 가이드 레일(183A)에 따라서 이동하는 너트(182)와 척 탑(11)을 연결하는 링크 기구(184)를 구비하고 있다.

Description

피 검사체용 탑재대의 회전 구동 기구 및 피 검사체의 탑재 기구{DRIVINGLY ROTATABLE MECHANISM OF SPECIMEN LOADING TABLE AND SPECIMEN LOADING MECHANISM}

반도체 웨이퍼(이하, 웨이퍼라고 함) 상에 형성된 집적 회로의 전기적 특성을 검사하는 종래의 프로브 장치는 통상 도 7, 도 8에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)를 반송하는 동시에 웨이퍼(W)를 사전 정렬(pre-alignment)하는 로더실(1), 이 로더실(1)에서 반송된 웨이퍼(W)의 전기적 특성을 검사하는 프로버실(2)을 구비하고 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 로더실(1)에는 반송기구로서 핀셋(3) 및 서브척(4)이 설치되어 있다. 웨이퍼(W)는 핀셋(3)에 의해 반송되는 동안에, 서브척(4)에서 오리엔테이션 플랫, 또는 노치를 기준으로 하여 사전 정렬된다. 프로버실(2)에는 피 검사체로서의 웨이퍼(W)가 탑재되는 탑재대(5)와, 상하 카메라를 가진 정렬 기구(6)가 설치된다. 정렬 기구(6) 밑에서, 탑재대(5)가 X, Y, Z 및 θ방향으로 이동함으로써, 웨이퍼(W) 상에 형성된 집적 회로의 전극과, 프로브 카드(7)의 프로브 침(7A)과의 정렬이 실행된다. 정렬 후에 탑재대(5) 상의 웨이퍼(W) 상에 형성된 집적 회로의 전극과 프로브 침(7A)을 전기적으로 접촉시킨 상태에 있어서, 테스트 헤드(T)를 거쳐서 웨이퍼(W)의 전기적 특성이 검사된다. 탑재대(5)는 온도 조정 기구를 내장하고 있다. 이 온도 조정 기구에 의해서 웨이퍼(W)의 온도는 예컨대 -50℃에서 +160℃의 넓은 범위로 설정되어, 상온 검사, 저온 검사 및 고온 검사가 실행된다.

웨이퍼(W)의 전기적 특성이 검사될 때에는 온도 조정 기구에 의해 소정의 검사 온도로 설정된 탑재대(5) 상에 웨이퍼(W)가 탑재된다. 정렬 기구(6)에 의해, 웨이퍼(W) 상에 형성된 집적 회로의 전극과 프로브 침(7A)이 정렬된다. 그 후, 탑재대(5)는 Z방향으로 상승하여, 웨이퍼(W) 상에 형성된 집적 회로의 전극 패드와 프로브 침(7A)이 전기적으로 접촉한다. 이 상태로, 테스트 헤드(T)를 거쳐서 웨이퍼(W)의 전기적 특성이 검사된다. 프로브 카드(7)는 프로버실(2)의 상부면을 형성하는 헤드 플레이트(8)에 착탈 가능하도록 장착된다.

도 9에 도시한 바와 같이, 상기 탑재대(5)는 척 탑(5A)과, 척 탑(5A)을 지지하는 지지대(5B)와, 척 탑(5A)과 지지대(5B) 사이에 마련된 크로스롤러를 갖는 링형상의 베어링(5C)을 구비하고 있다. 도 10, 도 11에 도시된 회전 구동 기구에 의해서, 척 탑(5A)은 지지대(5B) 상에서 베어링(5C)을 거쳐서 θ방향으로 정역회전 가능하다. 도 10, 도 11에 도시된 회전 구동 기구(8, 9)는 탑재대(5)의 척 탑(5A)에 연결되어, 척 탑(5A)을 θ방향으로 정역회전시킨다.

도 10에 도시된 회전 구동 기구(8)는 모터(8A)와, 모터(8A)에 연결된 볼 나사(8B)와, 볼 나사(8B)와 결합하는 너트(8C)와, 너트(8C)와 척 톱(5A) 사이를 비스듬히 교차한 상태로 연결하는 벨트(8D)를 갖는다. 회전 구동 기구(8)는 너트(8C)의 이동에 의해 벨트(8D)를 거쳐서 척 탑(5A)을 화살표 A 방향으로 정역회전시킨다.

또한, 도 11에 도시된 회전 구동 기구(9)는 모터(9A)와, 모터(9A)에 연결된 볼 나사(9B)와, 볼 나사(9B)와 결합하고, 또한 척 탑(5A)에 연결된 너트(9C)와, 볼 나사(9B)를 지지하는 지지체(9D)를 갖는다. 볼 나사(9B)가 회전함으로써, 너트(9C)는 A 방향으로 이동한다. 이 너트(9C)의 이동에 따라, 척 탑(5A)은 화살표 θ1방향으로 정역회전한다.

반도체 웨이퍼 상에 형성되는 집적 회로가 초미세화하여, 그 전극 패드 사이의 피치가 좁아지는 것과 더불어, 한번에 측정하는 집적 회로의 수가 증가하고 있다. 이 때문에, 프로브 침(7A)의 개수가 급격하게 증가하고 있다. 이 프로브 침(7A)의 증가에 의해, 한 개 당 프로브 침이 반도체 웨이퍼 상의 전극 패드에 부여하는 침압은 종래와 같기 때문에, 모든 프로브 침(7A)이 반도체 웨이퍼에 부여하는 침압은 급격하게 커진다. 특히 웨이퍼(W)의 외주 근방에 있는 집적 회로를 검사할 때에는, 예컨대 도 9에서 화살표로 표시된 바와 같이, 수 ㎏라는 큰 침압이 편향된 하중으로서 척 탑(5A)에 작용한다. 링형상의 베어링(5C)의 외경은, 일반적으로 척 탑(5A) 및 지지대(5B)의 외경보다도 매우 작은 직경이며, 링형상의 베어링(5C)의 외측에는 간극이 개재함으로써, 척 탑(5A)에 걸린 편향된 하중은 베어링(5C)을 간신히 소성(塑性)변형시키고, 척 탑(5A)은 일점쇄선으로 표시된 바와 같이 경사진다. 이 결과, 프로브 침(7A)은 본래의 정렬위치로부터 어긋나, 검사의 신뢰성이 저하한다고 하는 과제가 있었다.

또한, 웨이퍼 사이즈가 대형화하여, 탑재대(5)의 중심에서 작용점까지의 거리가 종래보다 증가해서 길어지기 때문에, 탑재대(5)의 경사가 더욱더 현저하게 된다. 복수의 프로브 침(7A) 사이의 침압의 편차가 현저하게 되어, 웨이퍼(W) 상에 형성된 집적 회로의 전극 패드와 접촉할 수 없는 프로브 침(7A)이 발생하여, 검사의 신뢰성이 현저하게 저하될 우려가 있다.

도 10에 도시된 회전 구동 기구(8)는 벨트(8D)를 거쳐서 척 탑(5A)과 연결되어 있기 때문에, 척 탑(5A)에 있어서 θ1방향의 강성이 약하다. 메인 척(5A)이 오버 드라이브하여, 웨이퍼와 프로브 침이 콘택트할 때의 척 탑(5A)에 걸리는 편향된 하중에 의해, 척 탑(5A)은 θ방향으로 회전하여, 위치 어긋남이 발생한다. 이 위치 어긋남에 의해, 검사의 신뢰성이 저하한다고 하는 과제가 있었다.

도 11에 도시된 회전 구동 기구(9)는 볼 나사(9B)가 지지체(9D)를 중심으로 θ2방향으로 요동한다. 이 결과, 회전 구동 기구(9)는 θ2방향의 강성이 약하고, 더구나 볼 나사(9B)가 요동하는 공간이 여분으로 필요하다는 과제가 있었다. 특히, 칩의 초미세화, 웨이퍼의 대 직경화가 급격하게 진행되는 현재, 이러한 과제는 빨리 해결해야만 한다.

발명의 요약

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서, 검사시에 척 탑의 외주 근방으로 편향된 하중이 작용하더라도 탑재대를 항상 수평으로 유지하여, 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 피 검사체의 탑재 기구를 제공하는 것을 목적으로 하고있다.

또한, 본 발명은 프로브 단자의 콘택트시에 있어서 θ방향의 강성을 높일 수 있으므로, 척 탑의 θ방향의 회전을 확실하게 방지할 수 있고, 검사의 신뢰성을 높일 수 있는 회전 구동 기구 및 피 검사체의 탑재 기구를 더불어 제공한다.

본원 발명의 제 1 관점에 따라서,

이동체,

상기 척 탑의 측방에 있어서, 모터의 구동력에 의해 상기 이동체를 직진 이동시키는 구동축을 구비한 직진 구동 기구,

상기 이동체를 직진 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일을 구비한 가이드 기구,

상기 이동체와 상기 척 탑을 연결하고, 상기 이동체의 직진 이동을 상기 척 탑의 회전 운동으로 변환하는 연결 기구를 구비하는, 회전 가능하게 지지된 피 검사체용 척 탑을 정역회전시키는 회전 구동 기구가 제공된다.

또한, 이 회전 구동 기구에 있어서, 상기 직진 구동 기구에 있어서의 상기 구동축은 볼 나사이며, 상기 이동체는 그 내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 구비한 관통 구멍을 갖고, 상기 연결 기구는 그 양 단부가 상기 척 탑과 상기 이동체에 연결된 링크 장치인 것이 바람직하다.

또한, 이 회전 구동 기구에 있어서, 상기 직진 구동 기구에 있어서의 상기 구동축은 볼 나사이며, 상기 이동체는 그 내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 구비한 관통 구멍을 갖고, 상기 연결 기구는 상기 척 탑에 한쪽 단부가 연결된 스플라인축(spline shaft)과, 이 스플라인축의 다른쪽 단부에 한쪽 단부가 연결된 링크와, 이 링크의 다른쪽 단부에 연결되고, 또한 상기 이동체에 세워서 설치된 지지축을 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 이 회전 구동 기구에 있어서, 가이드 레일은 상기 이동체의 하부와 결합하는 LM 가이드인 것이 바람직하다.

본 발명의 제 2 관점에 따라서, 이동체, 상기 척 탑의 측방에 있어서, 상기 이동체를 직진 이동시키는 직진 구동 수단, 상기 이동체를 직진 방향으로 안내하기 위한 가이드 수단, 상기 이동체와 상기 척 탑을 연결하고, 상기 이동체의 직진 이동을 상기 척 탑의 회전 이동으로 변환하는 연결 수단을 구비하는 회전 가능하도록 지지된 피 검사체용 척 탑을 정역회전시키는 회전 구동 기구가 제공된다.

본 발명의 제 3 관점에 따라 피 검사체를 탑재하는 척 탑,

이 척 탑을 정역회전 가능하도록 지지하는 지지대로서, 상기 척 탑을 상기 지지대 상에 진공력에 의해 흡착 고정하기 위한 진공 배기로를 갖는 진공 흡착 기구를 구비한 상기 지지대,

상기 지지대 상에서 상기 척 탑을 정역회전시키는 회전 구동 기구, 및

상기 지지대 상에서의 척 탑의 승강을 안내하는 승강 안내 기구를 구비하는 피 검사체의 탑재 기구가 제공된다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 상기 지지대는, 또한 상기 척 탑을 기체압력에 의해 상기 지지대로부터 부상시키기 위한, 및 상기 기체압력을 해제하여 상기 척 탑을 해당 지지대 상에 착지시키기 위한, 기체 공급·배기로를 갖는 승강 기구를 구비하고 있는 것이 바람직하다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 상기 진공 흡착 기구는 상기 지지대 상면에 마련되고, 또한 상기 척 탑 하면과 접촉하여, 상기 지지대 상면과 상기 척 탑 하면 사이에 밀폐 공간을 형성하는 돌기벽부와, 상기 지지대 상면에서 또한 돌기벽부에 둘러싸인 내측으로 개구하는 진공 배기로를 갖는 진공 흡착 기구를 구비하고, 상기 승강 기구는 상기 지지대 상면에 형성된 돌기부와, 상기 돌기부 상에 개구하는 기체 공급로를 갖는 승강 기구를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 상기 지지대 상면의 외주 근방에 상기 척 탑을 진공 흡착할 때에 상기 척 탑이 착지하기 위한 돌기부를 마련하는 것이 바람직하다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 상기 진공 흡착 기구와 상기 승강 기구의 적어도 어느 한쪽을 상기 돌기부로서 마련하는 것이 바람직하다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 상기 진공 흡착 기구와 상기 승강 기구는 상기 지지대의 둘레 방향으로 등 간격으로 배치되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 승강 안내 기구는 상기 척 탑 및 상기 지지대 중 하나로 축 지지된 축과, 상기 척 탑 및 상기 지지대 중 다른 하나에 고정되고, 또한 상기 축이 상하 운동 가능하도록 상기 축과 결합하는 결합부재를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 승강 안내 기구는 상기 척 탑 및 상기 지지대 중 하나에 정역회전 가능하도록 축 지지된 스플라인축과, 상기 척 탑 및 상기 지지대 중 다른 하나에 고정되고, 또한 상기 스플라인축에 맞물린 상태로 이동하는 결합부재를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 상기 회전 구동 기구는 이동체와, 상기 척 탑의 측방에 있어서, 모터의 구동력에 의해 해당 이동체를 직진 이동시키는 구동축을 구비한 직진 구동 기구와, 상기 이동체를 직진 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일을 구비한 가이드 기구와, 상기 이동체와 상기 척 탑을 연결하고, 상기 이동체의 직진 이동을 상기 척 탑의 회전 이동으로 변환하는 연결 기구를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 상기 회전 구동 기구의 상기 구동축은 볼 나사이며, 상기 회전 구동 기구의 상기 이동체는 그 내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 갖춘 관통 구멍을 갖고, 상기 회전 구동 기구의 해당 연결 기구는 그 양 단부가 상기 척 탑과 상기 이동체에 연결된 링크 장치인 것이 바람직하다.

또한, 이 탑재 기구에 있어서, 상기 회전 구동 기구의 상기 구동축은 볼 나사이며, 상기 회전 구동 기구의 상기 이동체는 그 내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 구비한 관통 구멍을 갖고, 상기 연결 기구는 상기 척 탑에 한쪽 단 부가 연결된 스플라인축과, 이 스플라인축의 다른쪽 단부에 한쪽 단부가 연결된 링크와, 이 링크의 다른쪽 단부에 연결되고, 또한 상기 이동체에 세워서 설치된 지지축을 구비한 것이 바람직하다.

또한, 이들 탑재 기구에 있어서, 회전 구동 기구에 있어서의 상기 가이드 레일은 상기 이동체의 하부와 결합하는 LM 가이드인 것이 바람직하다.

본원 발명의 제 4 관점에 따라서, 피 검사체를 탑재하는 탑재 수단,

이 척 탑을 정역회전 가능하도록 지지하는 지지 수단으로서, 상기 탑재 수단을 상기 지지 수단 상에 흡착 고정하기 위한 진공 흡착 기구와, 상기 탑재 수단을 상기 지지 수단으로부터 부상시키기 위한 승강 기구를 구비한 상기 지지 수단,

상기 지지 수단 상에서 상기 탑재 수단을 정역회전시키는 회전 구동 수단, 및

해당 지지 수단 상에서의 척 탑의 승강을 안내하는 승강 안내 수단을 구비하는 피 검사체의 탑재 기구가 제공된다.

본원 발명의 제 5 관점에 따라서, 반도체 웨이퍼를 탑재하는 척 탑,

이 척 탑을 정역회전 가능하도록 지지하는 지지대로서, 상기 지지대는 상기 척 탑을 상기 지지대 상에 진공력에 의해 흡착 고정하기 위한 진공 흡착 기구와, 상기 척 탑을 상기 지지대로부터 부상시키기 위한 기체 공급로를 갖는 승강 기구를 구비하고, 여기에서 상기 진공 흡착 기구는 상기 지지대 상면에 마련되고, 또한 상기 척 탑 하면과 접촉하여, 상기 지지대 상면과 해당 척 탑 하면 사이에 밀폐 공간을 형성하는 돌기벽부와, 상기 지지대 상면에서 또한 돌기벽부에 둘러싸인 내측으로 개구하는 진공 배기로를 갖는 진공 흡착 기구를 구비하고, 상기 승강 기구는 상기 지지대의 상면에 형성된 돌기부와, 상기 돌기부 상에 개구하는 기체 공급로를 갖는 승강 기구를 구비한 상기 지지대,

상기 지지대 상에서 상기 척 탑을 정역회전시키는 회전 구동 기구로서, 상기 척 탑의 측방에 모터의 구동력에 의해 회전되는 볼 나사를 구비한 직진 구동 기구, 내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 구비한 관통 구멍을 갖는 이동체, 상기 이동체를 직진 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일, 상기 척 탑에 한쪽 단부가 연결된 스플라인축과, 이 스플라인축의 다른쪽 단부에 한쪽 단부가 연결된 링크와, 이 링크의 다른쪽 단부에 연결되고, 또한 상기 이동체에 세워서 설치된 지지축을 구비하는 연결 기구를 구비하는 회전 구동 기구를 구비하는 반도체 웨이퍼 상에 형성된 집적 회로의 검사 장치가 제공된다.

본 발명은 피 검사체용 척 톱(chuck top)의 회전 구동 기구 및 피 검사체의 탑재 기구에 관한 것이다. 구체적으로는, 피 검사체의 검사시에 피 검사체용 탑재대가 θ방향으로 위치가 어긋나는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있고, 또한 검사용 프로브 단자가 피 검사체 상의 소정의 검사위치로부터 위치가 어긋나는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있는 회전 구동 기구 및 피 검사체의 탑재 기구에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 탑재 기구의 일 실시예를 도시한 평면도,

도 2는 도 1에 도시한 탑재 기구의 단면도,

도 3은 본 발명의 탑재 기구의 다른 실시예의 주요부를 도시한 단면도,

도 4는 본 발명의 회전 구동 기구의 일 실시예를 도시한 평면도,

도 5a는 도 4에 도시한 회전 구동 기구의 측면도,

도 5b 및 도 5c는 도 5a에 도시한 회전 구동 기구에 채용될 수 있는 직진 가이드 기구의 예,

도 6은 도 4에 도시한 회전 구동 기구를 적용한 본 발명의 탑재 기구의 일 실시예의 주요부를 도시한 단면도,

도 7은 종래의 프로브 장치를 도시한 도면으로, 프로버실의 정면을 파단하여 도시한 정면도,

도 8은 도 7에 도시한 프로브 장치의 평면도,

도 9는 도 7에 도시한 프로브 장치의 탑재 기구의 일부를 나타내는 단면도,

도 10은 관련 기술의 회전 구동 기구의 일례를 도시한 평면도,

도 11은 관련 기술의 회전 구동 기구의 다른 예를 확대하여 도시한 평면도.

첨부한 도면은 명세서의 일부와 연계하고 그의 일부를 구성하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 도시한 것이다. 그리고, 상기 도면은 상기에서 기술한 일반적인 기술과 이하에 기술하는 바람직한 실시예에 관한 상세한 설명에 의해 본 발명의 설명에 이바지한다.

이하, 도 1 내지 도 6에 도시된 실시예에 근거하여 본 발명을 설명한다. 피 검사체의 탑재 기구(이하, 「탑재 기구」라고 칭함)(10)는, 예컨대 도 1, 도 2에 도시된 바와 같이 구성된다. 이 탑재 기구(10)는, 예컨대 프로브 장치와 같은 피 검사체, 예컨대 반도체 웨이퍼 상에 형성된 집적 회로의 전기적 특성 검사를 실행하는 여러가지 검사 장치에 적용될 수 있다. 그래서, 이하에서는 탑재 기구에 대해서만 설명하고, 이 탑재 기구를 구비한 검사 장치 전체에 대한 설명은 생략한다.

본 실시예의 탑재 기구(10)는 도 1, 도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼를 탑재하는 척 탑(11)과, 이 척 탑(11)을 정역회전 가능하도록 지지하는 지지대(12)와, 이 지지대(12) 상에서 척 탑(11)을 θ방향으로 정역회전시키는 회전 구동 기구(13)를 구비한다. 이 탑재 기구는 검사 장치의 프로버실 내에서, X-Y 가이드 레일(도시하지 않음)을 따라서 왕복 이동 가능함과 동시에, Z방향(상하 방향)으로 승강 가능하다. 척 탑(11)은, 예컨대 동일 외경으로 형성된 상하 2장의 플레이트(111, 112)와, 이들 양자 사이에 배치된 링형상 플레이트(113)의 3자가 일체화한 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 플레이트(111, l12)는 알루미늄으로 만들어지고, 링형상 플레이트(l13)는 세라믹으로 만들 수 있다. 링 플레이트(113)는 상하 2장의 플레이트(11l, l12) 사이에서의 열전도를 차단하고, 척 탑(11)으로부터 지지대(12)로의 열 이동을 저지하기 위한 단열재로서 배치되는 것이 바람직하다. 이 링 플레이트(113)의 외경은 플레이트(111, 112)와 같은 크기로 형성될 수 있다. 그 내경은 승강 안내 기구(16)(후술함)의 일부를 수납하기 위한 공간을 만드는 크기로 이루어지는 것이 바람직하다. 지지대(12)는 지지 플레이트(121)와, 이 지지 플레이트(121)와 동심인 통체(122)로 구성될 수 있다. 통체(122)의 직경을 크게 함으로써, 지지대를 보다 안정적으로 지지할 수 있다.

상기 지지대(12)의 상면에는 진공 흡착 기구(14) 및 승강 기구(15)를 설치할 수 있다. 이 진공 흡착 기구(14)는 척 탑(11)을 지지대(12) 상면에 진공 흡착력에 의해 고정한다. 승강 기구(15)는 진공 흡착 기구(14)에 의한 진공 흡착력을 해제했을 때에, 또는 진공 흡착력을 약하게 했을 때에 기체 공급로(15B)로 공기를 공급한다. 이 공기의 힘에 의해, 척 탑(11)은 지지대(12)로부터 약간 부상된다. 진공 흡착 기구(14)와 승강 기구(15)는 도 1에 도시된 바와 같이, 지지대(12) 상면의 외주 근방에 둘레 방향에 거쳐서 교대로 복수개소(예. 3개소) 배치될 수 있다.

상기 진공 흡착 기구(14)는 도 1, 도 2에 도시된 바와 같이, 지지대(12) 상면에서 대략 부채모양을 만들도록 마련된 돌기벽부(14A)와, 이 돌기벽부(14A)의 내측 중앙부에 개구부를 갖는 진공 배기로(14B)에 의해 구성될 수 있다. 이 진공 배기로(14B)는 진공 배관(도시하지 않음)을 거쳐서 진공 배기 장치(도시하지 않음)에 접속된다. 돌기벽부(14A)의 상단이 척 탑(11)의 하면에 접촉한 상태로 밀폐 공간이 만들어진다. 이 밀폐 공간은 진공 배기로(14B)를 거쳐서 진공 상태로 되었을 때에, 이 밀폐 공간은 감압 공간을 형성한다. 승강 기구(15)는 압축 공기를 사용한 구조 외에 자력을 사용한 기구, 이들의 기구를 조합시킨 기구도 채용될 수 있다. 압축 공기를 사용한 승강 기구(15)는 지지대(12)와, 상기 지지대(12) 상의 돌기부(15A)와, 이 돌기부(15A)에서 개구하는 압축 공기 공급용 기체 공급로(15B)를 가질 수 있다. 이 돌기부(15A)는 돌기벽부(14A)와 같은 높이이며, 같은 외형을 갖는 돌기 평면부를 취할 수 있다. 이들 돌기부(15A) 및 돌기벽부(14A)는 지지대(121) 상에 필요부재를 부가함으로써, 또는 지지대(121) 상면을 가공함으로써 형성할 수 있다. 기체 공급로(15B)는 공기 배관(도시하지 않음)을 거쳐서 압축 공기의 공급원(도시하지 않음)에 접속된다. 이 돌기 평면부(15A)에는 홈(15C) 및 기체 공급로(15B)가 마련되고, 기체 공급로(15B)에서 토출하는 압축 공기는 홈(15C)을 흐르고, 그 공기압은 척 탑(11)을 부상시켜 상승시킨다. 홈(15C)은, 예컨대 십자 모양의 매우 얕은 홈으로 형성되는 것이 바람직하고, 기체 공급로(15B)는 해당 홈(15C)의 교차부에 설치될 수 있다.

웨이퍼의 정렬을 실행하는 경우, 진공 흡착 기구(14)에 의한 진공 흡착력을 해제한 후, 또는 진공 흡착력을 약하게 한 후에 승강 기구(15)로부터 공기를 토출한다. 이 공기의 압력은 척 탑(11)을 지지대(12)로부터 부상시켜서 상승시킨다. 척 탑(11)이 부상하고 있는 사이에, 회전 구동 기구(13)는 척 탑(11)을 θ방향으로 정역회전하여 정렬한다. 그 후, 승강 기구(15)로부터의 공기의 공급을 멈춤으로써, 또는 다시 진공 흡착 기구(14)의 진공 배기로(14B)에서 상기 밀폐 공간을 진공 상태로 함으로써, 척 탑(11)은 하강하고, 돌기벽부(14A) 및 돌기 평면부(15A)에 착지하여 지지대(12) 상에 흡착 고정된다. 이러한 구조에 있어서의 척 탑(11)은 미끄럼 운동 부분을 갖지 않으므로, 이물질이 발생하지 않는다.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 척 톱(11)과 지지대(12) 사이에는 승강 안내 기구(16)가 마련된다. 진공 흡착 기구(14), 또는 승강 기구(15)가 가동될 때에, 척 톱(11)은 승강 안내 기구(16)를 따라서 승강한다. 이 승강 안내 기구(16)는 상기 도면에 도시된 바와 같이, 지지대(12)의 하면에 장착된 앵귤러(angular) 베어링(16A)과, 이 앵귤러 베어링(16A)에 의해 그 하단부가 회전 가능하도록 지지된 스플라인축(16B)과, 이 스플라인축(16B)을 회전 가능하게 지지하도록 척 탑(11)의 플레이트(112)의 개구부에 고정된 결합부재(16C)를 구비하고 있다. 결합부재(16C)는 내면에 스플라인축(16B)과 결합하는 스플라인 가이드를 갖고 있다. 결합부재(16C)는 척 탑(11)의 플레이트(112)의 개구부에 배치된 플랜지(flange)(16D)에 의해 고정되어 있다. 척 탑(11)이 승강할 때에는 척 탑(11)은 결합부재(16C)에 의해 스플라인축(16B)을 따라 수직으로 승강한다.

상기 회전 구동 기구(13)는, 예컨대 도 1, 도 2에 도시된 바와 같이, 프로버실 내에 고정된 모터(13A)와, 이 모터(13A)에 의해 정역회전되는 구동축(13B)과, 이 구동축(13B)에 의해 이동되는 이동체(13C)와, 이 이동체와 척 탑(11)을 연결하는 연결 기구(13H)를 구비하고 있다.

상기 구동축(13B)으로는 볼 나사(13B)를 사용하는 것이 바람직하고, 이동체(13C)로는 너트(13C)를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 연결 기구(13H)는 이동체(13C)에 마련된 결합홈(13D)과, 상기 결합홈(13D)에 이동 가능하도록 끼우고, 또한 척 탑(11)의 외주면으로부터 수평 방향으로 돌출하여 마련된 결합돌기(13E)와, 결합홈(13D)의 한 측면에 마련된 회전 가능한 롤러(13F)와, 스프링(13G)을 구비할 수 있다. 이 연결 기구에 있어서는 롤러(13F)와 스프링(13G)에 의해 결합돌기(13E)는 탄력적으로 끼워진다. 이하, 상기 구동축(13B) 및 이동체(13C)로는 볼 나사(13B)와, 너트(13C)를 사용하고, 상기 연결 기구(13G)로는 상기와 같이 결합홈(13D), 결합돌기(13E), 롤러(13F) 및 스프링(13G)을 구비한 실시예가 설명된다.

이 실시예에 있어서는 모터(13A)에 의해 볼 나사(13B)가 정역회전됨으로써, 너트(13C)는 볼 나사(13B)를 따라 왕복 이동한다. 이 왕복 이동은 연결 기구(13G)에 의해 척 탑(11)으로 전해지고, 척 탑(11)은 축(16B)을 중심으로 θ방향으로 정역회전하여(예컨대 ±7° 내지 8°), 척 톱(11) 상에 탑재된 웨이퍼의 정렬이 실행된다.

도 1 및 도 2에 도시된 탑재 기구의 동작을 설명한다. 로더실(1)에서 사전 정렬된 웨이퍼는 프로버실(2) 내로 반송된다(도 7, 도 8 참조). 이 웨이퍼는 프로버실(2) 내의 탑재 기구(10)의 척 탑(11) 상에 탑재된다. 탑재 기구(10)는 척 탑(11)을 X, Y방향으로 이동시킴으로써, 정렬 기구(도 7 참조)와 협력하여, 웨이퍼의 X, Y방향의 정렬을 실행한다. 또한, 회전 구동 기구(13)는 척 탑(11)을 θ방향으로 정역회전함으로써, 웨이퍼의 θ방향의 정렬을 실행한다.

θ방향의 정렬을 더 상세하게 설명한다. 승강 기구(15)의 기체 공급로(15B)에서 압축 공기가 토출하면, 이 압축 공기에 의해서 척 탑(11)은 지지대(12)로부터 부상하여 상승한다. 이 때에 척 탑(11)은 승강 안내 기구(16)의 스플라인축(16B) 및 결합부재(16C)에 의해 안내되고, 수직 방향으로 상승하여 지지대(12)로부터 부상한다. 이 상태에서, 회전 구동 기구(16)가 구동하고, 척 탑(11)을 θ방향으로 정역회전시켜, θ방향의 정렬이 실행된다. θ방향의 정렬이 종료한 후에 공기의 공급이 정지되고, 척 탑(11)은 승강 안내 기구(16)로 안내되어, 수직 방향으로 하강하고, 척 탑(11)의 하면은 진공 흡착 기구(14)의 돌기벽부(14A) 및 승강 기구(15)의 돌기부(15A)와 접촉한다. 돌기벽부(14A)와 돌기부(15A)란 같은 높이이므로, 척 탑(11)은 돌기벽부(14A)와 돌기 평면부(15A)에 밀착하여, 진공 흡착 기구(14)의 돌기벽부(14A)의 내측에 밀폐 공간이 형성된다. 이 밀폐 공간의 공기를 진공 배기로(14B)에서 배기함으로써, 상기 밀폐 공간은 감압되고, 척 탑(11)은 지지대(12) 상면에 진공 흡착력에 의해 고정되어, 척 탑(11)의 θ방향의 정렬이 종료된다.

θ방향의 정렬의 종료 후, 탑재 기구(10)는 수직 위쪽에 오버 드라이브되고, 프로브 침은 웨이퍼 상에 형성된 집적 회로의 전극에 접촉하여, 프로브 침의 큰 침압이 웨이퍼에 작용한다. 프로브 침이 웨이퍼의 외주 근방에 접촉함으로써, 편향된 하중이 웨이퍼에 작용하는 경우에도, 척 톱(11)이 기우는 것은 회피된다. 즉, 돌기벽부(14A) 및/ 또는 돌기부(15A)는 지지대(12)의 외주 근방에 위치되기 때문에, 척 톱(11)은 항상 수평으로 유지되고, 종래와 같이 척 톱(11)이 기울지 않고, 프로브 침은 소정의 정렬위치로부터 어긋나지 않는다. 이 결과, 소정의 정렬위치에서 신뢰성이 있는 안정적인 검사가 실행될 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면 지지대(12) 상면의 적어도 외주 근방에 진공 흡착 기구(14) 및 승강 기구(15)를 마련함으로써, 더 바람직하게는, 척 탑(11)과 지지대(12) 사이에서의 척 탑(11)의 승강을 안내하는 승강 안내 기구(16)를 마련함으로써, 더 바람직하게는 척 탑(11)이 지지대(12)에 진공 흡착될 때에 척 탑(11)은 상기 진공 흡착 기구(14)의 돌기벽부(14A) 및/ 또는 승강 기구(15)의 돌기부(15A)에 착지하도록 함으로써, 프로브 침이 웨이퍼의 외주연부에 접촉하고, 편향된 하중이 웨이퍼에 작용하는 경우에도, 척 탑(11)은 항상 수평으로 유지될 수 있다. 이 결과, 프로브 침이 소정의 정렬위치로부터 어긋나는 것이 방지되어, 검사의 신뢰성이 높아진다. 또한, 척 탑(11)은 지지대(12)로부터 부상한 상태로 회전하고, 미끄럼 운동 부분인 앵귤러 베어링(16A)이 통체(122) 안에 있으므로, 종래와 같은 먼지의 비산이 적다. 이 결과, 이물질의 수가 감소된 프로버실 내에서 검사를 실행할 수 있고, 이물질에 의한 웨이퍼의 오염이 억제될 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예의 주요부를 도시한 단면도이다. 본 실시예의 탑재 기구(20)는 상술된 탑재 기구(10)에 비해서, 승강 안내 기구(26)의 구조가 다르다. 이 승강 안내 기구(20)는 도 3에 도시된 바와 같이, 척 탑(11)의 상면에 장착된 앵귤러 베어링(26A)과, 이 앵귤러 베어링(26A)과 너트(26H)에 의해서 그 상단부가 회전 가능하도록 지지된 스플라인축(26B)과, 이 스플라인축(26B)의 키와 맞물리는 상태로 지지대(22)에 고정된 결합부재(26C)를 구비하고 있다. 참조부호(26I)는 앵귤러 베어링(26A)을 고정하기 위한 블록이다. 결합부재(26C)와 스플라인축(26B)은 상기 실시예와 같이 구성되어 있다. 스플라인축(26B)의 하단에는 구체부(26D)가 마련되고, 이 구체부(26D)는 지지대(22)의 하면에 장착된 위치 결정 부재(26E)의 반대원추형의 오목부(26F)에 접촉한다.

척 탑(21)이 상승할 때에 척 탑(21)은 스플라인축(26B)과 결합부재(26C)로 안내되어 수직 방향으로 상승한다. 척 탑(21)이 하강할 때에는 척 탑(21)은, 마찬가지로 스플라인축(26B)과 결합부재(26C)로 안내되어 수직 방향으로 하강한다. 또한, 척 탑(21)이 하강할 때에는 스플라인축(26B)의 하단의 구체부(26D)가 위치 결정 부재(26E)의 오목부(26F)로 안내됨으로써, 척 탑(21)은 확실하게 축심에 위치 결정될 수 있다.

도 4 내지 도 6은 본 발명의 회전 구동 기구가 적용된 탑재 기구의 실시예를 나타낸다. 본 실시예의 탑재 기구(10)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 척 탑(11), 지지대(12), 승강 안내 기구(16) 및 회전 구동 기구(18)를 구비한다. 이 실시예에 있어서, 그 지지대(12) 및 회전 구동 기구(18)는 도 1 및 도 2에 도시된 탑재 기구와 다르다. 상기 지지대(12)는 도 6에 도시된 바와 같이, θ테이블(12A) 및 베이스 플레이트(12B)를 구비하고 있다. 도시되어 있지 않지만, 지지대(12)에는 전술한 진공 흡착 기구 및 승강 기구가 설치되어 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 지지대(12)의 중앙에는 구멍(12C)이 형성되고, 이 구멍(12C)의 약간 아래쪽으로 플레이트 센터(19)가 수평으로 설치되어 있다. 이 플레이트 센터(19) 상에는 승강 안내 기구(16)가 설치된다. 이 승강 안내 기구(16)에 안내되어, 척 탑(11)은 지지대(12) 상에서 약간의 거리를 수직 방향으로 승강한다. 이 승강 안내 기구(16)는, 예컨대 도 6에 도시된 바와 같이, 플레이트 센터(19) 상의 중앙에 마련된 앵귤러 베어링(16A), 스플라인축(16B) 및 결합부재(16C)를 갖는다. 척 탑(11)이 θ방향으로 정렬될 때에 스플라인축(16B)은 결합부재(16C)의 직선적인 가이드 구멍을 따라 수직 방향으로 승강한다. 이 스플라인축(16B)의 승강으로 안내되어, 척 탑(11)은 지지대(12) 상에서 승강한다.

상기 회전 구동 기구(18)는, 예컨대 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 척 탑(11)의 측쪽에 마련된 직진 구동 기구(181)와, 이 직진 구동 기구(181)에 의해 직진 이동되는 이동체(182)와, 이 이동체(182)를 직진 방향으로 안내하는 직진 가이드 기구(183)와, 이 직진 가이드 기구(183)에 안내되어 이동하는 이동체(182)와 척 탑(11)을 연결하는 링크 기구(184)를 구비한다. 상기 회전 구동 기구(18)는 직진 구동 기구(181)의 모터(181A)에 마련되어 인코더(185) 및 제어 장치(도시되어 있지 않음)에 의해, 이동체(182)의 이동거리, 즉 척 탑(11)의 회전각도를 고정밀도로 제어한다.

상기 직진 구동 기구(181)는 지지대(12)에 고정된 모터(181A)와, 이 모터(181A)에 연결된 볼 나사(181B)를 구비한다. 이 볼 나사(181B)에는 이동체(182)[즉, 너트(182)]가 결합하고, 모터(181A)에 의한 볼 나사(181B)의 정역회전에 의해, 너트(182)는 도 4, 도 5에서 화살표로 표시되는 방향으로 좌우로 직진한다. 인코더(185)는 모터(181A)의 회전수, 바꾸어 말하면 볼 나사(181B)의 회전수를 고정밀도로 검출한다. 이 검출값에 근거하여 너트(182)의 이동거리, 즉 척 탑(11)의 회전각도를 고정밀도로 제어할 수 있다.

상기 직진 가이드 기구(183)는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 볼 나사(181B)의 바로 아래에서, 볼 나사(181B)에 평행하게 배치된 가이드 레일(183A)과, 모터(181A)에 고정된 지지체(183B)를 구비하고 있다. 가이드 레일(183A)로서 LM 가이드를 채용할 수 있다. 이 너트(182)의 하부와 가이드 레일(183A)과의 가이드 구조는 여러가지 구조로 될 수 있다. 도 5b와 도 5c에 이 구조의 예가 도시된다. 지지체(183B)는 가이드 레일(183A)을 지지한다. 너트(182)의 하부는 가이드 레일(183A)에 결합한다. 가이드 레일(183A)에 의해, 볼 나사(181B)에 의해 직진하는 너트(182)의 강성이 향상하여, 링크 기구(184)의 동작 정밀도가 향상한다.

상기 링크 기구(184)의 예가 도 4 및 도 5에 도시된다. 척 탑(11)의 주위면에 고정된 결합부(184A)와, 상기 결합부(184A)에 스플라인 결합한 스플라인축(184B)과, 이 스플라인축(184B)의 다른쪽 단부에 연결된 링크(184C)와, 이 링크(184C)의 다른쪽 단부에 연결되고, 또한 너트(182)의 상면에 마련된 지지축(184D)을 구비할 수 있다. 링크(184C)의 연결부에는, 예컨대 베어링(도시하지 않음)이 내장되어 있다. 링크(184C)의 하나의 베어링에 의해, 스플라인축(184B)의 한쪽 단 부가 회전 가능하도록 축 지지될 수 있다. 링크(184C)의 다른 베어링에 의해, 지지축(184D)이 회전 가능하도록 축 지지될 수 있다. 척 탑(11)은 결합부(184A)의 스플라인축(184B)을 거친 스플라인 결합부에 의해 지지대(12) 상에서 승강할 수 있다.

웨이퍼 정렬시에 우선 척 탑(11)이 부상하여 상승한다. 볼 나사(181B)와 가이드 레일(183A)에 의해, 너트(182)는 요동하지 않고 좌우로 왕복 이동한다. 이 너트(182)의 이동은 링크 기구(184)를 통해서 척 탑(11)에 전달된다. 척 탑(11)은 도 4 및 도 5 중에 화살표로 도시된 바와 같이, θ방향으로 정역회전해서(예컨대, 7° 내지 8°), 웨이퍼의 정렬이 실행된다.

도 4 내지 도 6에 도시된 탑재 기구의 동작을 설명한다. 프로버실(도시하지 않음) 안에 마련된 탑재 기구(10)는 사전-정렬된 웨이퍼를 그 척 탑(11) 상에 탑재한다. 탑재 기구(10)는 X, Y방향으로 이동함으로써, 정렬 기구(도시하지 않음)와 협력하여, 웨이퍼의 X, Y방향의 정렬이 실행된다. 척 탑(11)은 회전 구동 기구(18)에 의해 θ방향으로 정역회전됨으로써, 웨이퍼의 θ방향의 정렬이 실행된다. θ방향의 정렬이 실행될 때에는 척 탑(11)의 승강 기구가 구동하고, 척 탑(11)은 승강 안내 기구(16)의 스플라인축(16B) 및 결합부재(16C)에 안내되고, 도 5의 실선위치로부터 일점쇄선위치까지 부상하여 상승한다. 척 탑(11)이 지지대(12)로부터 상승할 때에는 결합부(184A)는 링크 기구(184)와의 스플라인 결합을 거쳐서 상승한다. 이 상태에서 회전 구동 기구(18)가 구동된다.

인코더(185) 및 제어 장치의 제어 하에서, 직진 구동 기구(18l)의 너트(182)의 이동거리는 볼 나사(181B)에 의해 고정밀도로 제어된다. 너트(182)는 이렇게 제어된 상태로, 또한 가이드 레일(183A)에 의해 안내되어 직진한다. 이 때에 링크 기구(184)는 너트(182)의 직진운동을 척 탑(11)의 회전운동으로 변환한다. 척 탑(11)이 θ방향으로 회전함으로써, 웨이퍼의 θ방향의 정렬이 실행된다. 정렬이 종료하면, 척 탑(11)은 승강 기구에 의해 하강하여, 진공 흡착력에 의해 지지대(12)상에 고정된다. 척 탑(11)이 상승하고, 오버 드라이브됨으로써, 프로브 침은 척 탑(11) 상에 탑재된 웨이퍼와 콘택트 한다. 이 콘택트시에 프로브 침으로부터 척 탑(11)에 대하여 편향한 하중이 작용하여, 척 탑(11)에는 θ방향의 회전력이 작용한다. 척 탑(11)의 θ방향의 강성은 가이드 레일(183A) 및 링크 기구(184)에 의해서 각별히 강화되어 있으므로, 척 탑(11)의 θ방향으로의 회전은 경감된다. 프로브 침과 소정의 전극 패드는 높은 정밀도로 접촉하여, 소정의 전기적 검사를 확실하게 실행할 수 있다. 회전 구동 기구(18)는 링크 기구(184)를 거쳐서 너트(182)의 직진운동을 회전운동으로 변환함으로써, 종래보다 점유 공간을 삭감할 수 있다.

이상 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면, 회전 구동 기구는 척 탑의 측방에 마련된 모터와, 이 모터에 의해 구동되는 구동축과, 직진 이동하는 이동체와, 이 이동체를 직진 방향으로 안내하는 LM 가이드와, 직진하는 이동체와 척 탑을 연결하는 링크 기구를 구비하고 있기 때문에, 척 톱의 θ방향의 강성이 현격히 향상된다. 웨이퍼의 검사시에, 척 탑에 θ방향의 회전력이 작용하더라도, 척 탑의 θ방향의 회전은 확실하게 방지되어, 척 탑의 θ방향의 위치 어긋남을 확실하게 방지할 수 있다. 회전 구동 기구는 연결 기구에 의해 직진운동을 회전운동으로 변환함으로써, 종래와 비교하여 그 점유 공간을 삭감할 수 있어, 탑재 기구의 공간을 작게 할 수 있다.

본 실시예에 의하면, 탑재 기구에 상기 회전 구동 기구를 마련했기 때문에, 척 탑의 θ방향의 강성이 현격히 향상한다. 웨이퍼의 검사시에, 척 탑에 θ방향의 회전력이 작용하더라도, 척 탑의 θ방향의 회전은 확실하게 방지될 수 있다. 척 탑의 θ방향의 위치 어긋남을 확실하게 방지할 수 있으므로, 검사의 신뢰성을 높일 수 있다.

상기 각 실시예에 있어서, 척 탑(11, 21)은 지지대(12, 22)의 외주 근방에 배치된 진공 흡착 기구(14, 24) 및 승강 기구(15, 25) 상에 착지하는 기구를 설명했다. 그러나, 이를 대신하여, 진공 흡착 기구(14, 24) 및 승강 기구(15, 25)는 별도의 돌기부가 지지대의 외주 근방의 둘레 방향 전체 주위를 걸쳐 마련되어도 무방하다. 요는 진공 흡착 기구 및 승강 기구가 본래의 기능을 발휘함으로써, 척 탑이 승강 안내 기구의 안내에 따라 지지대 상에서 승강하는 어떤 탑재 기구도 본 발명에 포함된다.

상기 각 실시예에서는 회전 구동 기구가 탑재 기구 이외의 장소에 마련되는 경우에 대하여 설명했지만, 회전 구동 기구를 탑재 기구에 직접 마련함으로써, 더욱 공간 절약화를 달성할 수 있다. 요는 회전 구동 기구의 구성요소로서, 이동체의 직진 가이드 기구 및 링크 기구가 채용되어, 척 탑과 회전 구동 기구 사이의 강성이 높아지는 어떤 기구도 본 발명에 포함된다.

청구항 1 내지 청구항 5에 기재된 발명의 회전 구동 기구에 의하면, 척 탑의 θ방향의 강성을 높일 수 있고, 척 탑이 θ방향으로 불필요하게 회전하는 것이 확실하게 방지되어, 검사의 신뢰성이 높아진다.

청구항 6 내지 청구항 17에 기재된 발명의 탑재 기구에 의하면, 검사시에 척 탑의 외주 근방으로 편향되어 하중이 작용하더라도 척 탑은 항상 평행하게 유지되어, 검사의 신뢰성이 높아진다.

본 발명의 청구항 18에 기재된 발명에 의하면, 청구항 1 내지 청구항 17에 기재된 발명의 효과를 함께 갖는 피 검사체의 탑재 기구가 제공된다.

또 다른 특징 및 변경은 해당 기술분야의 당업자가 생각해낼 수 있는 것이다. 그러므로, 본 발명은 보다 넓은 관점에 서는 것이며, 특정한 상세한 것이나 여기에 개시된 대표적인 실시예에 한정되는 것이 아니다. 따라서, 첨부된 청구항에 정의된 넓은 발명 개념 및 그 균등물의 해석과 범위에 있어서, 거기에서 벗어나지 않도록, 여러가지 변경을 할 수 있다.

Claims

회전 가능하도록 지지된 피 검사체용 척 탑을 정회전 및 역회전시키는 회전 구동 기구에 있어서,

이동체,

상기 척 탑의 측방에 있어서, 모터의 구동력에 의해 상기 이동체를 직진 이동시키는 구동축을 포함한 직진 구동 기구,

상기 이동체를 직진 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일을 포함한 가이드 기구,

상기 이동체와 상기 척 탑을 연결하고, 상기 이동체의 직진 이동을 상기 척 탑의 회전 운동으로 변환하는 연결 기구를 구비하는,

회전 구동 기구.
제 1 항에 있어서,

상기 직진 구동 기구에서 상기 구동축은 볼 나사이며,

상기 이동체는 그 내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 포함한 관통 구멍을 갖고,

상기 연결 기구는 그 양단이 상기 척 탑과 상기 이동체에 연결된 링크 장치인,

회전 구동 기구.
제 1 항에 있어서,

상기 직진 구동 기구에 있어서 상기 구동축은 볼 나사이며,

상기 이동체는 그 내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 포함한 관통 구멍을 갖고,

상기 연결 기구는 상기 척 탑에 한쪽 단 부가 연결된 스플라인축과, 이 스플라인축의 다른쪽 단부에 한쪽 단 부가 연결된 링크와, 이 링크의 다른쪽 단부에 연결되고, 또한 상기 이동체에 세워서 설치된 지지축을 포함하는,

회전 구동 기구.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 가이드 레일은 상기 이동체의 하부와 결합하는 LM 가이드인

회전 구동 기구.
회전 가능하게 지지된 피 검사체용 척 탑을 정회전 및 역회전시키는 회전 구동 기구에 있어서,

이동체,

상기 척 탑의 측방에 있어서, 상기 이동체를 직진 이동시키는 직진 구동 수단,

상기 이동체를 직진 방향으로 안내하기 위한 가이드 수단,

상기 이동체와 상기 척 탑을 연결하고, 상기 이동체의 직진 이동을 상기 척 탑의 회전 이동으로 변환하는 연결 수단을 포함하는

회전 구동 기구.
피 검사체를 탑재하는 척 탑,

이 척 탑을 정회전 및 역회전 가능하도록 지지하는 지지대로, 상기 척 탑을 상기 지지대 상에 진공력에 의해 흡착 고정하기 위한 진공 배기로를 갖는 진공 흡착 기구를 포함한 상기 지지대,

상기 지지대 상에서 상기 척 탑을 정역회전시키는 회전 구동 기구, 및

상기 지지대 상에서의 척 탑의 승강을 안내하는 승강 안내 기구를 구비하는

피 검사체의 탑재 기구.
제 6 항에 있어서,

상기 지지대는, 상기 척 탑을 기체압력에 의해 상기 지지대로부터 부상시키기고, 또 상기 기체압력을 해제하여 상기 척 탑을 상기 지지대 상에 착지시키기 위한 기체 공급·배기로를 갖는 승강 기구를 포함하는

피 검사체의 탑재 기구.
제 7 항에 있어서,

상기 진공 흡착 기구는 상기 지지대의 상면에 마련되고, 또한 상기 척 탑의 하면과 접촉하여, 상기 지지대 상면과 상기 척 탑 하면과의 사이에 밀폐 공간을 형성하는 돌기벽부와, 상기 지지대 상면에서 또한 돌기벽부에 둘러싸인 내측으로 개구하는 진공 배기로를 갖는 진공 흡착 기구를 포함하고,

상기 승강 기구는 상기 지지대 상면에 형성된 돌기부와, 상기 돌기부 상에 개구하는 기체 공급로를 갖는 승강 기구를 구비하는,

피 검사체의 탑재 기구.
제 7 항에 있어서,

상기 지지대 상면의 외주 근방에 상기 척 탑을 진공 흡착할 때에 상기 척 탑이 착지하기 위한 돌기부를 마련한

피 검사체의 탑재 기구.
제 8 항에 있어서,

상기 진공 흡착 기구와 상기 승강 기구의 적어도 어느 한쪽을 상기 돌기부로서 마련한 것을 특징으로 하는

피 검사체의 탑재 기구.
제 8 항에 있어서,

상기 진공 흡착 기구와 상기 승강 기구는 상기 지지대의 둘레 방향으로 등 간격으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는

피 검사체의 탑재 기구.
제 7 항에 있어서,

상기 승강 안내 기구는,

상기 척 탑 및 상기 지지대 중 하나에 축 지지된 축과,

상기 척 탑 및 상기 지지대 중 다른 하나에 고정되고, 또한 상기 축이 상하 운동 가능하도록 상기 축과 결합하는 결합부재를 포함한 것을 특징으로 하는

피 검사체의 탑재 기구.
제 7 항에 있어서,

상기 승강 안내 기구는,

상기 척 탑 및 상기 지지대 중 하나에 정역회전 가능하도록 축 지지된 스플라인축과,

상기 척 탑 및 상기 지지대 중 다른 하나에 고정되고, 또한 상기 스플라인축에 맞물린 상태로 이동하는 결합부재를 구비한 것을 특징으로 하는

피 검사체의 탑재 기구.
제 7 항에 있어서,

상기 회전 구동 기구는,

이동체와,

상기 척 탑의 측방에 있어서, 모터의 구동력에 의해 상기 이동체를 직진 이동시키는 구동축을 포함한 직진 구동 기구와,

상기 이동체를 직진 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일을 포함한 가이드 기구와,

상기 이동체와 상기 척 탑을 연결하고, 상기 이동체의 직진 이동을 상기 척 탑의 회전 운동으로 변환하는 연결 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는

피 검사체의 탑재 기구.
제 14 항에 있어서,

상기 회전 구동 기구의 상기 구동축은 볼 나사이며,

상기 회전 구동 기구의 상기 이동체는 그 내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 포함한 관통 구멍을 갖고,

상기 회전 구동 기구의 상기 연결 기구는 그 양단이 상기 척 탑과 상기 이동체에 연결된 링크 장치인,

피 검사체의 탑재 기구.
제 14 항에 있어서,

상기 회전 구동 기구의 상기 구동축은 볼 나사이며,

상기 회전 구동 기구의 상기 이동체는 그 내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 포함한 관통 구멍을 갖고,

상기 연결 기구는 상기 척 탑에 한쪽 단부가 연결된 스플라인축과, 이 스플라인축의 다른쪽 단부에 한쪽 단부가 연결된 링크와, 이 링크의 다른쪽 단부에 연결되고, 또한 상기 이동체에 세워서 설치된 지지축을 포함하는,

피 검사체의 탑재 기구.
제 14 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,

회전 구동 기구의 상기 가이드 레일은 상기 이동체의 하부와 결합하는 LM 가이드인

피 검사체의 탑재 기구.
피 검사체를 탑재하는 탑재 수단,

이 척 탑을 정역회전 가능하도록 지지하는 지지 수단으로서, 상기 탑재 수단을 상기 지지 수단 상에 흡착 고정하기 위한 진공 흡착 기구와, 상기 탑재 수단을 상기 지지 수단으로부터 부상시키기 위한 승강 기구를 포함한 상기 지지 수단,

상기 지지 수단 상에서 상기 탑재 수단을 정역회전시키는 회전 구동 수단, 및

상기 지지 수단 상에서의 척 탑의 승강을 안내하는 승강 안내 수단을 포함하는

피 검사체의 탑재 기구.
반도체 웨이퍼 상에 형성된 집적 회로의 검사 장치에 있어서,

반도체 웨이퍼를 탑재하는 척 탑,

이 척 탑을 정역회전 가능하도록 지지하는 지지대로, 상기 지지대는 상기 척 탑을 상기 지지대 상에 진공력에 의해 흡착 고정하기 위한 진공 흡착 기구와, 상기 척 탑을 상기 지지대로부터 부상시키기 위한 기체 공급로를 갖는 승강 기구를 포함하고,

상기 진공 흡착 기구는 상기 지지대 상면에 마련되고, 또한 상기 척 탑 하면과 접촉하고, 상기 지지대 상면과 상기 척 탑 하면 사이에 밀폐 공간을 형성하는 돌기벽부와, 상기 지지대 상면으로, 또한 돌기벽부에 둘러싸인 내측으로 개구하는 진공 배기로를 갖는 진공 흡착 기구를 포함하고,

상기 승강 기구는 상기 지지대 상면에 형성된 돌기부와, 상기 돌기부 상에 개구하는 기체 공급로를 갖는 승강 기구를 포함하는 상기 지지대,

상기 지지대 상에서 상기 척 탑을 정역회전시키는 회전 구동 기구로,

상기 척 탑의 측방에 있어서, 모터의 구동력에 의해 회전되는 볼 나사를 포함한 직진 구동 기구,

내부에 상기 볼 나사에 결합하는 홈을 포함한 관통 구멍을 갖는 이동체,

상기 이동체를 직진 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일,

상기 척 탑에 한쪽 단부가 연결된 스플라인축과, 이 스플라인축의 다른쪽 단부에 한쪽 단부가 연결된 링크와, 이 링크의 다른쪽 단부에 연결되고, 또한 상기 이동체에 세워서 설치된 지지축을 포함하는 연결 기구를 구비하는, 회전 구동 기구를 포함하는

집적 회로의 검사 장치.