KR20210005371A - 기판 얼라인 유닛 및 기판 처리 장치 - Google Patents

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최동민
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Abstract

본 발명은, 얼라인 블록들이 기판에 접근된 때 기판에 수평 방향 힘 및 수직의 하방향 힘이 함께 작용하도록 접촉되면서 기판을 정렬하는 접촉부를 가진 기판 얼라인 유닛, 그리고 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공한다.

Description

기판 얼라인 유닛 및 기판 처리 장치 {SUBSTRATE ALIGN UNIT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명의 실시예는 기판의 위치를 정렬하는 기판 얼라인 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이(flat panel display, FPD)를 제조하는 데에는 기판에 대하여 약액(예를 들어, 포토레지스트 액) 도포 등 소정의 처리 공정을 수행하는 기판 처리 장치, 처리된 기판에 대하여 결함 여부를 검사하는 공정을 수행하는 기판 검사 장치 등이 사용되고, 이들 장치는 기판의 위치를 기판 얼라인 유닛에 의하여 정렬할 수 있게 구성되고, 필요에 따라 정렬된 기판을 기판 이송 유닛에 의하여 목적하는 위치로 이송할 수 있게 구성된다.
한편, 기판에는 제조 공정을 수행하는 때 자중, 공정 환경 등 다양한 요인으로 인하여 휨(warpage)이 발생할 수 있다. 특히, 기판의 가장자리 부분에 휨이 발생하면, 기판 얼라인 유닛의 얼라인 블록이 기판의 둘레에 부정확하게 접촉됨에 따라 정렬 불량이 발생할 수 있고, 기판 이송 유닛의 그리퍼가 기판의 가장자리를 불안정하게 그립함에 따라 기판 이송 중 기판 낙하 사고가 발생할 수 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1032089호(2011.05.02.) 대한민국 등록특허공보 제10-1570169호(2015.11.20.)
본 발명의 실시예는 기판의 휨에 기인한 기판 정렬 불량의 방지 면에서 보다 유리한 기판 얼라인 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 실시예는 공정 중 기판의 휨을 보정할 수 있는 기판 얼라인 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 실시예는 기판의 휨에 기인한 기판 그립 불량의 방지 면에서 보다 유리한 기판 처리 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 스테이지 상에 위치한 기판의 주위 영역을 따라 배치된 복수의 얼라인 블록과; 상기 복수의 얼라인 블록을 상기 기판의 둘레에 대하여 각각 이격되고 접근되는 방향으로 이동시키는 블록 구동 수단을 포함하고, 상기 복수의 얼라인 블록 중 적어도 어느 하나 이상은 상기 기판에 접근된 때 상기 기판에 수평 방향 힘 및 수직의 하방향 힘이 함께 작용하도록 접촉되면서 상기 기판을 정렬하는 제1 접촉부를 가진, 기판 얼라인 유닛이 제공될 수 있다. 이때, 상기 제1 접촉부는 탄성 패드로 커버될 수 있다.
상기 제1 접촉부는 상기 기판의 둘레의 상단 쪽에 접촉되는 경사면으로 이루어질 수 있다.
또는, 상기 제1 접촉부는 상기 기판의 둘레의 상단 쪽에 접촉되는 곡면으로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 제1 접촉부를 가진 얼라인 블록은 수평 방향의 축을 중심으로 회전 가능하고 외주에 상기 제1 접촉부를 이루는 상기 곡면이 형성된 회전 부재일 수 있다.
상기 제1 접촉부를 가진 얼라인 블록은 상기 기판에 접근되어 상기 기판을 상기 제1 접촉부에 의하여 정렬하는 때 상기 제1 접촉부의 하방에서 상기 기판에 수평 방향 힘 및 수직의 상방향 힘이 함께 작용하도록 접촉되는 제2 접촉부를 가질 수 있다.
상기 제2 접촉부는 상기 기판의 둘레의 하단 쪽에 접촉되는 경사면으로 이루어질 수 있다.
또는, 상기 제2 접촉부는 상기 기판의 둘레의 하단 쪽에 접촉되는 곡면으로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 제2 접촉부를 가진 얼라인 블록은 수평 방향의 축을 중심으로 회전 가능하고 외주에 상기 제2 접촉부를 이루는 상기 곡면이 형성된 회전 부재일 수 있다.
상기 블록 구동 수단은 상기 제1 접촉부를 가진 얼라인 블록이 상기 기판의 둘레에 대하여 이격되거나 접근되도록 상기 제1 접촉부를 가진 얼라인 블록을 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 부상시키는 부상 스테이지와; 상기한 바와 같은 복수의 얼라인 블록과 블록 구동 수단으로 구성되어 상기 부상 스테이지에 의하여 부상된 상기 기판을 정렬하는 기판 얼라인 유닛과; 상기 부상 스테이지의 양옆 중 적어도 어느 하나에 설치되고 상기 기판의 하면의 가장자리 부분을 그립하는 그립면을 가진 그리퍼 및 상기 그리퍼를 상기 부상 스테이지의 길이 방향으로 이동시키는 그리퍼 이동 모듈로 구성된 기판 이송 유닛을 포함하는, 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 스테이지 상의 기판에 대한 정렬이 경사면 또는 곡면으로 형성된 제1 접촉부를 가진 얼라인 블록에 의하여 이루어져 기판 정렬 시 기판에 수평 방향 힘 및 수직의 하방향 힘이 함께 작용하기 때문에, 기판의 가장자리 부분에 상향 휨이 발생하였더라도, 기판의 위치 정렬을 정확히 수행할 수 있고, 기판의 휨 보정을 통하여 공정 불량을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 얼라인 블록이 제1 접촉부에 의한 기판 정렬 시 제1 접촉부의 하방에서 기판에 수평 방향 힘 및 수직의 상방향 힘을 함께 가하는 제2 접촉부를 가지기 때문에, 기판의 가장자리 부분에 하향 휨이 발생한 경우에도, 기판의 위치 정렬을 정확히 수행할 수 있고, 기판의 휨을 보정할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 기판을 이송하기 위하여 기판을 그리퍼에 의하여 그립 시 기판의 휨이 제1 접촉부(및 제2 접촉부)를 가진 얼라인 블록에 의하여 보정된 점 때문에, 기판을 확실하게 그립할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 구성이 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 구성이 도시된 정면도이다.
도 3은 도 2의 A 부분이 도시된 확대도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 작동이 도시된 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 작동이 도시된 정면도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 주요 부분이 도시된 정면도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 주요 부분이 도시된 정면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에서 구성 요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.
본 발명에 따른 기판 얼라인 유닛은 평판 디스플레이(또는, 반도체)를 제조하는 데 사용되는 여러 장치에 동일하거나 유사하게 적용될 수 있는 것이나, 본 발명의 실시예는 소정의 처리 공정을 수행하는 기판 처리 장치에 적용된 것을 중심으로 살펴보기로 한다.
도 1 내지 도 3에는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 구성이 도시되어 있다. 그리고, 도 4 및 도 5에는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 작동이 도시되어 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 처리 장치는, 기판(S)을 부상시키기 위한 부상 스테이지(100), 부상 스테이지(100)에 의하여 부상된 기판(S)을 정렬하는 기판 얼라인 유닛(200), 기판 얼라인 유닛(200)에 의하여 정렬된 기판(S)을 부상 스테이지(100)를 따라 이송하는 기판 이송 유닛(300), 그리고 기판 이송 유닛(300)에 의한 기판 이송 경로 상에서 기판(S)(이하, 도면 부호의 병기는 생략한다.)에 대한 처리 공정을 수행하는 공정 유닛(400)을 포함한다.
부상 스테이지(100)는 상면이 평편하도록 형성될 수 있다. 부상 스테이지(100)는 X축 방향으로 연장되어 일정한 길이를 가진다. 부상 스테이지(100)는, 길이 방향의 한쪽으로 기판이 로딩되는 로딩 위치를 제공하고, 길이 방향의 다른 쪽으로 기판이 언로딩되는 언로딩 위치를 제공하며, 로딩 위치와 언로딩 위치 사이에 기판에 대한 처리가 이루어지는 공정 위치를 제공한다. 이에, 로딩 위치에 로딩된 기판은 기판 이송 유닛(300)에 의하여 공정 위치를 경유하여 언로딩 위치로 이동하도록 X축 방향을 따라 이송될 수 있다.
부상 스테이지(100)는 X축 방향을 따라 연속적으로 배열된 복수의 단위 스테이지로 구성될 수 있다. 예를 들어, 부상 스테이지(100)는, 로딩 위치를 제공하는 제1 단위 스테이지(100A), 언로딩 위치를 제공하는 제2 단위 스테이지(100B), 그리고 제1 단위 스테이지(100A)와 제2 단위 스테이지(100B) 사이에서 공정 위치를 제공하는 적어도 하나 이상의 제3 단위 스테이지(100C)로 구성될 수 있다.
부상 스테이지(100)는, 상면의 전반에 걸쳐 기체 분사 구멍(102)들이 형성되고, 기체 분사 구멍(102)들에 기체 공급원(도시되지 않음)이 연결되어, 기체 공급원으로부터의 기체(공기일 수 있다.)를 기체 분사 구멍(102)들을 통하여 Z축 방향의 상측으로 분사함으로써, 기판을 부상시킬 수 있고 부상된 상태로 유지시킬 수 있다.
부상 스테이지(100)는 기체를 분사하는 방식 대신 초음파를 이용하는 방식으로 기판을 부상시키도록 구성될 수도 있다.
한편, 부상 스테이지(100)는 Y축 방향의 길이(즉, 너비)가 기판의 Y축 방향의 길이에 비하여 짧도록 형성되어, 부상 스테이지(100)에 로딩된 기판은 Y축 방향의 양옆(또는, 어느 한쪽)이 부상 스테이지(100)로부터 각각 돌출된다.
기판 얼라인 유닛(200)은, 로딩 위치에 로딩된 기판의 주위 영역을 따라 서로 이격되도록 소정의 간격을 두고 배치된 복수의 얼라인 블록(210), 얼라인 블록(210) 각각을 수평 방향으로 이동시키는 블록 수평 구동 모듈(220), 그리고 블록 수평 구동 모듈(220) 각각을 Z축 방향을 따라 승강시키는 블록 수직 구동 모듈(230)을 포함한다. 블록 수평 구동 모듈(220) 각각과 블록 수직 구동 모듈(230) 각각은, 리니어 모터 또는 실린더를 포함할 수도 있고, 회전 모터 및 회전 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 전동 기구를 포함할 수도 있다.
얼라인 블록(210) 각각은, 블록 수평 구동 모듈(220)에 의한 이동 방향에 따라 기판의 둘레에 접근되거나 기판의 둘레로부터 이격되고, 기판에 접근된 때 기판의 둘레에 접촉되어 기판의 위치를 정렬하는 제1 접촉부(212)를 가진다. 블록 수직 구동 모듈(230)들에 의하면, 얼라인 블록(210) 각각이 블록 수평 구동 모듈(220)과 함께 승강되므로, 로딩 위치에 로딩된 기판의 높이에 따라 얼라인 블록(210)들을 승강시켜 얼라인 블록(210)들의 높이를 조절할 수 있다.
얼라인 블록(210)은, 두 개가 구비되고, 기판의 주위 영역에서 기판의 대향하는 두 코너 쪽에 서로 대향하도록 배치되며, 제1 접촉부(212)가 해당 코너의 연접하는 둘레에 함께 접촉되는 형상을 가지도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 각각의 얼라인 블록(210)은, 제1 접촉부(212)가 해당 코너의 연접하는 둘레에 각각 접촉하도록 분리된 형상으로 형성될 수도 있고, 제1 접촉부(212)가 해당 코너에 대응하도록 절곡된 형상으로 형성될 수도 있다.
얼라인 블록(210)들의 제1 접촉부(212)는 기판에 접근된 때 기판에 수평 방향 힘 및 수직의 하방향 힘이 함께 작용하도록 접촉되면서 기판을 정렬하도록 형성된다. 구체적으로, 제1 접촉부(212)는 기판에 접근된 때 기판의 둘레의 상단 쪽에 접촉되고 기판에 접근되는 방향으로 일정한 각도 오르막 경사진 경사면으로 이루어진다. 이에, 얼라인 블록(210)들이 기판에 접근되면, 기판에는 경사면으로 이루어진 제1 접촉부(212)에 의하여 수평 방향 힘 및 수직의 하방향 힘이 함께 가하여진다.
기판 이송 유닛(300)은 기판을 부상 스테이지(100)의 길이 방향인 X축 방향으로 이동시킨다. 기판 이송 유닛(300)은 부상 스테이지(100)의 양옆에 각각 설치된다. 기판 이송 유닛(300)은 부상 스테이지(100)의 양옆 중 어느 한쪽에만 설치될 수도 있다.
이와 같은 기판 이송 유닛(300)은, 부상 스테이지(100)의 양옆에 각각 배치된 그리퍼(310), 그리퍼(310) 각각을 Y축 방향을 따라 수평으로 이동시키는 그리퍼 수평 구동 모듈(320), 그리퍼 수평 구동 모듈(320) 각각을 Z축 방향을 따라 승강시키는 그리퍼 수직 구동 모듈(330), 그리고 그리퍼 수직 구동 모듈(330) 각각을 X축 방향을 따라 수평으로 이동시키는 직선 이동 모듈(340)을 포함한다. 그리퍼 수평 구동 모듈(320) 각각, 그리퍼 수직 구동 모듈(330) 각각 및 직선 이동 모듈(340) 각각은, 리니어 모터 또는 실린더를 포함할 수도 있고, 회전 모터 및 회전 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 전동 기구를 포함할 수도 있다. 직선 이동 모듈(340)들은 동시에 작동하도록 제어될 수 있다.
그리퍼(310) 각각은 로딩 위치에 로딩된 기판에 있어서 부상 스테이지(100)로부터 Y축 방향의 양옆으로 돌출된 가장자리 부분의 하면을 그립하는 그립면(312)을 가진다. 그립면(312)들은 X축방향으로 연장되어 일정한 길이를 가질 수 있다. 그립면(312)들은, 부압을 이용하여 기판의 하면의 가장자리 부분을 흡착하도록 제공될 수도 있고, 다공성 물질(예를 들어, 약 10 내지 100㎛의 기공을 가진 니켈, 세라믹, 탄소 등)로 이루어진 흡착 패드로 제공될 수도 있다. 또는, 그립면(312)들은, 정전기의 힘을 이용하여 기판의 하면의 가장자리 부분을 척킹하도록 제공될 수도 있고, 점착력을 이용하여 기판의 하면의 가장자리 부분을 척킹하도록 제공될 수도 있다.
그리퍼 수평 구동 모듈(320)들에 의하면, 그리퍼(310) 각각이 Y축 방향을 따라 수평으로 이동되므로, 로딩 위치에 로딩된 기판의 양옆이 부상 스테이지(100)로부터 Y축 방향으로 돌출된 정도에 따라 그리퍼(310)들을 Y축 방향으로 이동시켜 그립면(312)들에 의한 그립 위치를 조절할 수 있다.
그리퍼 수직 구동 모듈(330)들에 의하면, 그리퍼(310) 각각이 그리퍼 수평 구동 모듈(320)과 함께 승강되므로, 로딩 위치에 로딩된 기판의 높이에 따라 그리퍼(310)들을 승강시켜 그립면(312)들을 기판의 하면의 가장자리 부분에 접근시킬 수 있다.
직선 이동 모듈(340)들에 의하면, 그리퍼(310) 각각이 그리퍼 수직 구동 모듈(330)과 함께 X축 방향을 따라 수평으로 이동되므로, 로딩 위치에 로딩된 기판을 공정 위치를 경유하여 언로딩 위치로 이동시킬 수 있다.
공정 유닛(400)은 공정 위치 상에 설치될 수 있다. 로딩 위치에 로딩된 기판은 기판 이송 유닛(300)에 의하여 공정 위치로 이송될 수 있다. 공정 유닛(400)은 공정 위치 상의 기판에 약액(예를 들어, 포토레지스트 액)을 도포하는 슬릿 노즐을 포함할 수 있다.
살펴본 바와 같은 기판 처리 장치는, 얼라인 블록(210)들의 제1 접촉부(212)가 일정한 각도의 경사면으로 이루어지기 때문에, 정렬할 기판의 가장자리 부분에 상향 휨이 발생(도 3 참조)하였더라도, 제1 접촉부(212)들이 기판의 둘레의 상단 쪽에 정확히 접촉되어 기판을 수평 방향으로 이동시키면서 정렬할 수 있을 뿐만 아니라, 제1 접촉부(212)들이 기판에 접근될수록 기판에 수직의 하방향으로 큰 힘이 가하여지므로 기판의 휨을 확실하게 보정(도 5 참조)할 수 있다. 이러한 기판 정렬 과정 중에는 기판에 수직의 하방향으로 자칫 과도하게 큰 힘이 가하여질 수 있으므로, 제1 접촉부(212) 각각에는 탄성 패드(도시되지 않음)가 커버될 수 있다.
또한, 살펴본 바와 같은 기판 처리 장치는, 제1 접촉부(212)에 의하여 기판의 가장자리 부분의 휨이 보정되어 기판의 가장자리 부분이 그리퍼(310)들의 그립면(312)과 나란하도록 평평해지기 때문에, 그립면(312)에 의하여 기판의 하면의 가장자리 부분을 확실하게 그립할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 주요 부분이 도시된 정면도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치는, 제1 실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 얼라인 블록(210)들이 제1 접촉부(212)의 하방으로 위치되는 제2 접촉부(214)를 더 가지는 점만이 상이하다. 이를 살펴보면 다음과 같다.
제2 접촉부(214)는, 기판을 제1 접촉부(212)에 의하여 정렬하는 때 기판에 수평 방향 힘 및 수직의 상방향 힘이 함께 작용하도록 접촉되는 것인바, 기판에 접근된 때 기판의 둘레의 하단 쪽에 접촉되고 기판에 접근되는 방향으로 일정한 각도 내리막 경사진 경사면으로 이루어진다. 이에, 얼라인 블록(210)들이 기판에 접근되면, 기판에는 경사면으로 이루어진 제1 접촉부(212)와 제2 접촉부(214)에 의하여 수평 방향 힘과 함께 수직의 하방향 힘 또는 수직의 상방향 힘이 가하여질 수 있다.
이와 같은 제2 실시예는, 정렬할 기판의 가장자리 부분에 하향 휨이 발생한 경우, 제1 접촉부(212)들에 의하여 기판의 상측 이동을 제한하면서, 제2 접촉부(214)들에 의하여 기판의 휨을 보정할 수 있다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 주요 부분이 도시된 정면도이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 얼라인 유닛을 포함하는 기판 처리 장치는, 제1 실시예 또는 제2 실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 제1 접촉부(212-1)들이 경사면이 아닌 곡면으로 이루어진 점만이 상이하다. 이를 살펴보면 다음과 같다.
얼라인 블록(210-1)들은 곡면으로 이루어진 제1 접촉부(212-1)가 기판의 둘레의 상단 쪽에 접촉된다. 얼라인 블록(210-1)들은 수평 방향의 축을 중심으로 회전 가능하고 외주에 제1 접촉부(212-1)를 이루는 곡면이 형성된 회전 부재이다. 회전 부재로는 롤러, 휠 등이 적용될 수 있다.
이와 같은 제3 실시예는, 얼라인 블록(210-1)들이 회전 부재로 이루어지기 때문에, 기판 정렬을 보다 부드럽고 자연스럽게 수행할 수 있다.
이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.
100: 부상 스테이지
200: 기판 얼라인 유닛
300: 기판 이송 유닛
400: 공정 유닛

Claims (8)

  1. 스테이지 상에 위치한 기판의 주위 영역을 따라 배치된 복수의 얼라인 블록과;
    상기 복수의 얼라인 블록을 상기 기판의 둘레에 대하여 각각 이격되고 접근되는 방향으로 이동시키는 블록 구동 수단을 포함하고,
    상기 복수의 얼라인 블록 중 적어도 어느 하나 이상은 상기 기판에 접근된 때 상기 기판에 수평 방향 힘 및 수직의 하방향 힘이 함께 작용하도록 접촉되면서 상기 기판을 정렬하는 제1 접촉부를 가진,
    기판 얼라인 유닛.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 접촉부는 상기 기판의 둘레의 상단 쪽에 접촉되는 경사면으로 이루어진 것을 특징으로 하는,
    기판 얼라인 유닛.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 접촉부는 상기 기판의 둘레의 상단 쪽에 접촉되는 곡면으로 이루어진 것을 특징으로 하는,
    기판 얼라인 유닛.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 접촉부를 가진 얼라인 블록은 수평 방향의 축을 중심으로 회전 가능하고 외주에 상기 제1 접촉부를 이루는 상기 곡면이 형성된 회전 부재인 것을 특징으로 하는,
    기판 얼라인 유닛.
  5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나에 있어서,
    상기 제1 접촉부를 가진 얼라인 블록은 상기 기판에 접근되어 상기 기판을 상기 제1 접촉부에 의하여 정렬하는 때 상기 제1 접촉부의 하방에서 상기 기판에 수평 방향 힘 및 수직의 상방향 힘이 함께 작용하도록 접촉되는 제2 접촉부를 가진,
    기판 얼라인 유닛.
  6. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나에 있어서,
    상기 제1 접촉부는 탄성 패드로 커버된 것을 특징으로 하는,
    기판 얼라인 유닛.
  7. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나에 있어서,
    상기 블록 구동 수단은 상기 제1 접촉부를 가진 얼라인 블록이 상기 기판의 둘레에 대하여 이격되거나 접근되도록 상기 제1 접촉부를 가진 얼라인 블록을 수평 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는,
    기판 얼라인 유닛.
  8. 기판을 부상시키는 부상 스테이지와;
    청구항 1에 기재된 복수의 얼라인 블록과 블록 구동 수단으로 구성되어 상기 부상 스테이지에 의하여 부상된 상기 기판을 정렬하는 기판 얼라인 유닛과;
    상기 부상 스테이지의 양옆 중 적어도 어느 하나에 설치되고 상기 기판의 하면의 가장자리 부분을 그립하는 그립면을 가진 그리퍼 및 상기 그리퍼를 상기 부상 스테이지의 길이 방향으로 이동시키는 그리퍼 이동 모듈로 구성된 기판 이송 유닛을 포함하는,
    기판 처리 장치.
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