KR20010020943A - Substrate transporting apparatus and process ing apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: Provided is a substrate conveyor that can accommodate to both so to say transverse-feed and longitudinal-feel processors. CONSTITUTION: A substrate holding member has a first or wide holding part(55,56) that has opposite side walls(55a,56a) spaced at an interval corresponding to the length of the long sides of substrates and that can hold the substrates when their long sides extend in the direction of opposition of the side walls(55a,56a) and a second holding part(57,58) narrower than the first holding part(55,56), which has opposite side walls or steps(53a,54a) spaced at an interval according to the length of the shorter side of the substrates and that can hold the substrates when their shorter sides extend in the direction of opposition of the steps(53a,54a). For a conveyance-associated processor of a transverse-food type, substrate orientation control means position a glass substrate over the holding member and turn it to set one of its long sides in opposition to the inlet or outlet opening of the processor and lowers it.

Description

기판반송장치 및 처리장치{SUBSTRATE TRANSPORTING APPARATUS AND PROCESS ING APPARATUS}Substrate Transport and Processing Equipment {SUBSTRATE TRANSPORTING APPARATUS AND PROCESS ING APPARATUS}

본 발명은, 예를들어 액정디스플레이(Liquid Crystal Display : LCD)에 사용되는 유리기판등의 피처리기판 상에 도포·현상처리를 행하는 도포·현상장치등의 기판처리장치에 대하여, 피처리기판을 반입반출하기 위해 사용되는 기판반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus such as a coating and developing apparatus which performs coating and developing processing on a substrate to be processed, such as a glass substrate used for a liquid crystal display (LCD). It relates to a substrate transport apparatus used for carrying in and out.

LCD의 제조공정에 있어서는, LCD용의 유리기판 상에 ITO(Indium Tin Oxide) 박막(薄膜)이라든가 전극패턴을 형성하기 위하여, 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 것과 마찬가지의 포토리소그래피(photo-lithography) 기술이 사용된다. 포토리소그래피 기술에서는, 포토레지스트를 세정하여 기판을 도포하고, 이것을 노광(露光, exposure)하고, 그 위에 현상을 행한다.In the manufacturing process of LCD, photolithography technique similar to that used in the manufacture of semiconductor devices in order to form indium tin oxide (ITO) thin films or electrode patterns on glass substrates for LCDs. This is used. In the photolithography technique, the photoresist is washed to apply a substrate, which is exposed to light, and development is performed thereon.

피처리기판인 유리기판은, 기판반송장치에 보유·유지되어 반송로 상을 이동하여, 목적으로 하는 처리장치, 예를들어 기판반송장치가 배치되어 있는 위치로까지 왔을 경우에 정지하여, 이 기판세정장치의 반입반출구를 통하여 유리기판을 반입한다. 세정처리가 종료되면, 당해 반입반출구를 통하여 기판반송장치가 다시 유리기판을 수취하고, 다음의 처리장치, 예를들어 현상장치가 배치되어 있는 위치로까지 반송로 상을 이동한다. 그리고, 현상장치 내에 유리기판을 반입하고, 현상처리 후 다시 유리기판을 수취하여 다음의 처리장치가 배치되어 있는 위치로까지 반송로 상을 이동하여 마찬가지의 동작을 반복한다.The glass substrate, which is the substrate to be processed, is held and held by the substrate transport apparatus and moves on the transport path, and stops when the target processing apparatus, for example, the substrate transport apparatus arrives at the position where the substrate transport apparatus is disposed. The glass substrate is loaded through the loading and unloading outlet of the cleaning device. When the cleaning process is finished, the substrate transporting device receives the glass substrate again through the carrying-in and out port, and moves the conveyance path onto the next processing device, for example, to the position where the developing device is arranged. Then, the glass substrate is brought into the developing apparatus, and after the developing process, the glass substrate is received again, and the same operation is repeated by moving the conveyance path onto the position where the next processing apparatus is arranged.

여기서, 기판반송장치는 통상적으로 핀셋형태로 배치된 2개의 아암편(arm片)을 갖춘 보유·유지부재와, 이 보유·유지부재를 지지하는 지지체를 갖추고 있다. 각종 처리장치 사이에 위치하는 반송로 상에 설치된 레일부재를 따라 지지체가 이동하여, 목적으로 하는 처리장치가 배치되어 있는 장소에 도달하면 이 지지체가 정지하여 수평방향으로 소정 각도로 회동하여, 당해 처리장치의 기판반입반출구에 대면하게 되었을 때 보유·유지부재가 전진한다. 그리고, 당해 처리장치 내에서 건네받기 위해 상승하고 있는 리프트핀(lift pin)이라든가 스핀척(spin chuck) 사이에서 유리기판의 주고받기를 행한다.Here, the substrate conveying apparatus is provided with the holding | maintenance holding member which has two arm pieces normally arrange | positioned in the form of tweezers, and the support body which supports this holding and holding member. The support moves along the rail member provided on the conveying path located between the various processing apparatuses, and when the target processing apparatus is reached, the support is stopped and rotated at a predetermined angle in the horizontal direction. The holding and holding member advances when it faces the substrate loading / unloading outlet of the apparatus. Then, the glass substrate is exchanged between a lift pin or a spin chuck that is raised to be passed in the processing apparatus.

이때, 수취부로서의 리프트핀은 소정의 레이아웃(lay out)으로 설치되어 있다. 또, 스핀척이 유리기판을 보유·유지하면서 하강시켜, 처리위치에 도달하면, 소정 형상의 처리프레임 내에 유리기판이 수용된다. 기판반송장치의 보유·유지부재에 의한 유리기판의 보유·유지의 자세가 이 수취부의 레이아웃이나 처리자세에 합치하고 있을 경우에는, 주고받기에 있어서 지장을 발생시키는 일이 없다. 예를들어, 처리라인 상에 차례로 설치되어 있는 각종 처리장치의 설계사양이 공통일 경우에는 문제가 없지만, 제조라인이 다른 경우등의, 사양이 다른 경우가 있다. 구체적으로는, 유리기판은 장방형으로 형성되어 있기 때문에, 처리장치에 반입하거나 반출할 때, 반입반출방향에 장변측을 맞출 필요가 있는 타입(이른바, 단변쥐기)라든가, 단변측을 맞출 필요가 있는 타입(이른바, 장변쥐기)이 있다.At this time, the lift pin as the receiving portion is provided in a predetermined layout. When the spin chuck descends while holding and holding the glass substrate and reaches the processing position, the glass substrate is accommodated in the processing frame having a predetermined shape. When the attitude | position of holding and holding of a glass substrate by the holding and holding member of a board | substrate conveying apparatus is matched with the layout and processing posture of this receiving part, it does not generate | occur | produce in the exchange. For example, there is no problem when the design specifications of the various processing apparatuses installed on the processing line are common, but the specifications may be different, such as when the manufacturing lines are different. Specifically, since the glass substrate is formed in a rectangular shape, it is necessary to align the long side side or the short side side when carrying in or out of the processing apparatus, the long side of which needs to be aligned in the carrying-out direction. There is a type (so-called long bowel).

그런데, 종래의 기판반송장치에서는, 일단 유리기판을 보유·유지하였을 경우, 보유·유지부재 상에 있어서의 보유·유지자세는 일정하다. 이 때문에, 종래, 상기와 다른 사양의 처리장치가 설치되었을 경우, 미리 각종 처리장치에 있어서의 리프트핀의 레이아웃을 조정하거나, 처리프레임의 형상을 변경하여 조정할 필요가 있었다. 그러나, 이와 같은 조정을 현장에서 행하는 것은 불편하다. 특히, 근년에 들어 처리라인에 설치되는 각종 처리장치로서 다른 제조업자가 만든 것을 사용하는 경우가 늘어나고 있어, 상기와 같은 리프트핀의 설계변경작업을 행하지 않아도 되는 수단의 제공이 요망되고 있었다.By the way, in the conventional board | substrate conveying apparatus, once a glass substrate is hold | maintained and hold | maintained, the holding | maintenance attitude | position on a holding / holding member is constant. For this reason, when the processing apparatus of the specification different from the above was provided conventionally, it was necessary to adjust the layout of the lift pin in various processing apparatuses beforehand, or to change the shape of the processing frame. However, it is inconvenient to make such adjustments in the field. In particular, in recent years, the use of a variety of processing apparatuses installed in processing lines made by other manufacturers is increasing, and it has been desired to provide a means for avoiding the above design change of the lift pins.

본 발명은 상기한 사정을 감안한 것으로서, 처리장치가 이른바 장변쥐기 또는 단변쥐기의 어느 것이라도 대응이 가능하고, 처리장치에 있어서의 수취부 및 처리프레임의 수정작업을 없앨 수 있는 기판반송장치를 제공하는 것을 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a substrate transport apparatus capable of coping with any of a so-called long-term or short-term rat, and eliminating the receiving part and the modification of the processing frame in the processing apparatus. It is a task to do it.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 기판반송장치는, 처리대상으로서의 기판을 보유·유지하여 이동가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판장치로서, 기판의 보유·유지부재와, 상하로 움직임이 가능함과 동시에, 축심(軸心)을 중심으로 하여 수평으로 회전이 가능하도록 설치되어, 상기 보유·유지부재보다도 상방위치에서 기판을 소정 각도로 회전시켜 소정의 방향으로 조정하고, 하강할 때에, 상기 보유·유지부재에 상기 기판을 소정의 방향으로 보유·유지시키는 기판방향 조정수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, the substrate transport apparatus of the present invention is a substrate apparatus which holds and holds a substrate as a processing target and is capable of moving the same, and carrying or unloading the substrate in a predetermined direction with respect to each processing apparatus. The holding and holding member of the substrate can be moved up and down, and can be rotated horizontally around the axis, thereby rotating the substrate at a predetermined angle above the holding and holding member. It is characterized by including the board | substrate direction adjustment means which hold | maintains and hold | maintains the said board | substrate to a predetermined direction, when adjusting in a predetermined direction and falling.

본 발명의 이와 같은 구성에 의하면, 상하로 움직임이 가능함과 동시에, 축심을 중심으로 하여 수평으로 회전이 가능하도록 설치된 기판방향 조정수단을 설치함으로써, 기판의 주고받기에 있어서의 방향으로 변경할 수 있어, 각 처리장치에 대하여 기판을 소정 방향으로 반입 또는 반출할 수 있다. 따라서, 처리라인 상에 이른바 장변쥐기의 처리장치 및 단변쥐기의 처리장치가 혼재(混在)되어 설치되어 있어도, 이 기판반송장치에 의하면, 처리장치와의 사이에서 확실하게 기판의 주고받기를 행할 수 있다.According to such a configuration of the present invention, it is possible to change the direction in the exchange of the substrate by providing a substrate direction adjusting means provided to be able to move up and down and to rotate horizontally around the axis. The substrate can be loaded or unloaded in a predetermined direction with respect to each processing apparatus. Therefore, even if the so-called long-term device and the short-term device are mixed on the processing line, the substrate transfer device can reliably exchange the substrate with the processing device. have.

본 발명의 타 기판반송장치는, 처리대상으로서의 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서, 회전이 가능하도록 설치된 대좌부와, 상기 대좌부 상의 한쪽에 설치됨과 동시에, 기판의 수용방향을 변경시킬 수 있는 수용카세트를 갖춘 수용대와, 상기 대좌부 상의 다른쪽에 설치되는 아암지지대와, 기부가 당해 아암지지대에 대하여 회동이 가능하도록 지지되는 다관절아암과, 당해 다관절아암의 선단측에 당해 다관절아암에 대하여 회동이 가능하도록 설치되는 기판의 주고받음부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.The other substrate carrying apparatus of the present invention is a substrate carrying apparatus which is capable of holding and holding a substrate as a processing target and moving the same, and carrying or transporting the substrate in a predetermined direction with respect to each processing apparatus. A receiving table having a pedestal, a receiving cassette provided on one side on the pedestal and capable of changing the receiving direction of the substrate, an arm support provided on the other side on the pedestal, and a base for the arm support. And a multi-arm arm supported to be rotatable, and a transfer member of a substrate provided on the distal end side of the multi-arm arm to be rotatable relative to the multi-arm arm.

본 발명의 이와 같은 구성에 의하면, 기판의 반입반출을 행하는 처리장치 부근에 도달하여 정지한 때에, 대좌부의 다른쪽에 설치되는 아암지지대가 처리장치에 향하여져 있지 않을 때에, 대좌부가 회전한다. 즉, 각 처리장치는 반송로를 사이에 두고 대향하여 설치되어 있기 때문에, 목적으로 하는 처리장치의 반입반출구에 아암지지대가 마주보고 있지 않은 경우에, 대좌부가 180도 반전한다. 다음, 수용카세트 내에 수용된 기판의 방향이 목적으로 하는 처리장치의 주고받음방향에 합치하도록 기판의 방향을 조정한다. 다음, 다관절아암을 동작시켜 주고받음부재가 수용대를 마주보도록 하여, 주고받음부재에 의해 수용카세트 내에 기판을 보유·유지한다. 기판을 보유·유지했을 경우에, 다관절아암을 동작시켜 목적으로 하는 당해 처리장치의 반입반출구로부터 소정의 자세를 유지한 채로 반입한다. 처리종료후에 반출할 때에는, 상기와는 완전히 반대방향으로 동작시킨다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 기판이 어느 방향을 향하고 있더라도, 하나의 주고받기부재에 의해 기판을 보유·유지할 수 있다.According to such a configuration of the present invention, when the arm support provided on the other side of the pedestal does not face the processing apparatus when reaching and stopping in the vicinity of the processing apparatus for carrying in and out of the substrate, the pedestal portion rotates. That is, since the respective processing apparatuses are provided to face each other with the conveying path interposed therebetween, the pedestal part is inverted by 180 degrees when the arm support is not facing the carrying-in / out port of the target processing apparatus. Next, the direction of the substrate is adjusted so that the direction of the substrate accommodated in the accommodation cassette coincides with the direction of exchange of the target processing apparatus. Next, the articulated arm is operated so that the receiving member faces the receiving table, and the substrate is held and held in the receiving cassette by the receiving member. When the substrate is held and held, the articulated arm is operated to carry in a predetermined posture from the carry-in / out port of the target processing apparatus. When carrying out after completion of the treatment, the operation is performed in the completely opposite direction to the above. According to the present invention as described above, even if the substrate is facing in any direction, the substrate can be held and held by one transfer member.

또, 본 발명의 타 기판반송장치는, 처리대상으로서의 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 당해 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서, 회전이 가능하도록 설치된 대좌부와, 상기 대좌부 상의 한쪽에 설치되어 기판을 수용하는 수용대와, 상기 대좌부 상의 다른쪽에 설치되는 아암지지대와, 기부가 당해 아암지지대에 대하여 회동이 가능하도록 지지되는 다관절아암과, 당해 다관절아암의 선단측에 당해 다관절아암에 대하여 회동이 가능하도록 설치되는 기판의 주고받음부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.In addition, the other substrate transport apparatus of the present invention is capable of being rotated as a substrate transport apparatus for carrying and carrying the substrate in a predetermined direction with respect to the processing apparatus while being able to hold and hold the substrate as a processing target. And a support arm installed on one side on the pedestal to accommodate the substrate, an arm support provided on the other side on the pedestal, and a base articulated arm supporting the base to be pivotable with respect to the arm support. And a substrate receiving and receiving member provided on the distal end side of the articulated arm so as to be rotatable with respect to the articulated arm.

본 발명의 이와 같은 구성에 의하면, 다관절아암 및 회동이 가능하도록 설치된 주고받기부재에 의해, 수용대에 수용된 기판에 대하여 원하는 가장자리쪽으로부터 주고받음부재를 집어넣을 수 있다. 따라서, 기판회전기구를 새로 설치할 필요없이, 기판을 회전시킬 수가 있다.According to such a configuration of the present invention, the transfer member can be inserted from the desired edge side with respect to the substrate accommodated in the receiving table by the transfer member provided to enable the articulated arm and the rotation. Therefore, it is possible to rotate the substrate without having to install a new substrate rotating mechanism.

또, 본 발명의 처리장치는, 처리대상으로서의 기판을 보유·유지하는 기판보유·유지부재와, 상기 기판을 회전시키는 회전수단과, 상기 피처리 기판의 표면에 처리액을 공급하는 처리액 토출수단과, 상기 회전수단에 의해 회전하는 상기 기판이 소정의 위치에 정지하도록 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.Moreover, the processing apparatus of this invention is a board | substrate holding / holding member which hold | maintains and hold | maintains the board | substrate as a process object, the rotation means which rotates the said board | substrate, and the process liquid discharge means which supplies a process liquid to the surface of the said to-be-processed board | substrate. And a control unit for controlling the substrate to be rotated by the rotating means to stop at a predetermined position.

본 발명의 이와 같은 구성에 의하면, 처리장치 외에 있어서의 유리기판(G)의 회전동작을 생략시킬 수 있어, 스루풋이 향상한다.According to such a configuration of the present invention, the rotational operation of the glass substrate G outside the processing apparatus can be omitted, thereby improving throughput.

도 1은, 본 발명의 기판반송장치가 사용되는 도포·현상처리시스템의 사시도이다.1 is a perspective view of a coating and developing processing system in which the substrate transfer device of the present invention is used.

도 2는, 제 1의 실시형태에 관련된 기판반송장치를 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view showing a substrate transport apparatus according to the first embodiment.

도 3은, 제 1의 실시형태의 정면도이다.3 is a front view of the first embodiment.

도 4는, 유리기판을 단변(短邊) 쥐기에 의해 보유·유지한 경우의 제 1 실시형태의 평면도이다.4 is a plan view of the first embodiment in the case where the glass substrate is held and held by a short side grip.

도 5는, 유리기판을 장변(長邊) 쥐기에 의해 보유·유지한 경우의 제 1 실시형태의 평면도이다.Fig. 5 is a plan view of the first embodiment in the case where the glass substrate is held and held by a long side grip.

도 6은, 제 1 실시형태의 작용을 설명하기 위한 도면이다.6 is a diagram for explaining the operation of the first embodiment.

도 7은, 제 2 실시형태와 관련된 기판처리장치의 요부(要部)를 나타내는 사시도이다.FIG. 7 is a perspective view illustrating main parts of a substrate processing apparatus according to a second embodiment. FIG.

도 8은, 제 2 실시형태의 작용을 설명하기 위한 도면이다.8 is a diagram for explaining the operation of the second embodiment.

도 9는, 제 3 실시형태를 설명하기 위한 평면도이다.9 is a plan view for describing the third embodiment.

도 10은, 제 3 실시형태를 설명하기 위한 측면도이다.10 is a side view for explaining the third embodiment.

도 11은, 제 3 실시형태의 작용을 설명하기 위한 도면이다.FIG. 11 is a diagram for explaining the operation of the third embodiment. FIG.

도 12는, 제 3 실시형태의 다른 양태(樣態)를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 12 is a diagram for explaining another aspect of the third embodiment. FIG.

도 13은, 유리기판을 장변쥐기에 의해 보유 및 유지한 상태의 제 4 실시형태의 평면도이다.Fig. 13 is a plan view of a fourth embodiment in a state where the glass substrate is held and held by a long grip.

도 14는, 우리기판을 단변쥐기에 의해 보유 및 유지한 상태의 제 4 실시형태의 평면도이다.Fig. 14 is a plan view of a fourth embodiment in a state where the substrate is held and held by a single claw.

도 15는, 제 5 실시형태에 관련된 기판반송장치를 나타내는 평면도이다.15 is a plan view of the substrate transport apparatus according to the fifth embodiment.

도 16은, 제 5 실시형태에 관련된 기판반송장치에 설치된 회전기구의 개략 사시도이다.16 is a schematic perspective view of a rotating mechanism provided in the substrate transport apparatus according to the fifth embodiment.

도 17은, 제 5 실시형태의 작용을 설명하기 위한 도면이다.17 is a diagram for explaining the operation of the fifth embodiment.

도 18은, 제 6 실시형태에 관련된 기판처리장치를 나타내는 측면도이다.18 is a side view showing a substrate processing apparatus according to a sixth embodiment.

도 19는, 제 6 실시형태에 관련된 기판처리장치를 나타내는 평면도이다.19 is a plan view of the substrate processing apparatus according to the sixth embodiment.

도 20은, 제 7 실시형태에 관련된 기판반송장치의 동작을 설명하는 도면이다.20 is a diagram illustrating an operation of the substrate transport apparatus according to the seventh embodiment.

도 21은, 제 8 실시형태에 작용을 설명하기 위한 도면이다.21 is a diagram for explaining the operation in the eighth embodiment.

도 22는, 제 9 실시형태에 관련된 도포·현상처리시스템의 사시도이다.22 is a perspective view of the coating and developing processing system according to the ninth embodiment.

도 23은, 제 9 실시형태에 관련된 기판반송장치의 측면도이다.Fig. 23 is a side view of the substrate transport apparatus according to the ninth embodiment.

도 24는, 제 9 실시형태에 관련된 기판수취부에 배치된 수용대의 측면도이다.24 is a side view of a storage stand arranged in the substrate receiving unit according to the ninth embodiment.

도 25는, 제 10 실시형태와 관련된 세정장치의 단면도이다.25 is a sectional view of a cleaning device according to a tenth embodiment.

도 26은, 도 25의 평면도이다.FIG. 26 is a plan view of FIG. 25.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

16 : 세정장치 40 : 기판반송장치16 cleaning device 40 substrate transporting device

47 : 제 2의 회전축 48 : 승강부재47: second axis of rotation 48: lifting member

52 : 기대부(基臺部) 53,54 : 아암(arm)52: expectation 53,54: arm

53a,54a :단차부(段差部) 55,56 : 제 1의 보유·유지부53a, 54a: step part 55, 56: first holding and holding part

55a,56a : 측벽(側壁) 57,58 : 제 2의 보유·유지부55a, 56a: side wall 57, 58: second holding and holding part

59,60,63,64 : 얼라인먼트핀(alignment pin)59,60,63,64: alignment pin

61,62,65,66 : 고정핀61,62,65,66: fixed pin

70 : 지지편(支持片) 72,73 : 배큠공(vacuum孔)70: support piece 72,73: vacuum

80 : 기판처리장치 81 : 대좌부(臺座部)80 substrate processing apparatus 81 pedestal part

82 : 수용대(收容臺) 82a : 수용카세트82: receiving compartment 82a: receiving cassette

82b : 스핀척(spin chuck) 83 : 아암 지지대82b: spin chuck 83: arm support

84,85 : 다관절아암 86,87 : 주고받음부재84,85: articulated arm 86,87: exchange member

140 : 기판반송장치 153,154 : 아암140: substrate transfer device 153,154: arm

155,156 : 제 1의 보유·유지부 55a,56a : 측벽155,156: 1st holding / holding part 55a, 56a: side wall

157,158 : 제 2의 보유·유지부157,158: Second possession and maintenance department

159,160,163,164,167,169,172,174 : 얼라인먼트핀159,160,163,164,167,169,172,174: alignment pin

161,162,165,166,168,170,171,173 : 고정핀161,162,165,166,168,170,171,173: fixed pin

240 : 기판반송장치 259∼274 : 회전기구240: substrate transfer device 259 to 274: rotation mechanism

376 : 로울러 440 : 기판반송장치376: roller 440: substrate transport apparatus

451,452 : 기대부 453,454 : 아암451,452: expectation 453,454: arm

453a,454 : 단차부 455,456 : 제 1의 보유·유지부453a, 454: Step 455,456: First possession / maintenance part

455a,456a : 측벽 457,458 : 제 2의 보유·유지부455a, 456a: Side wall 457,458: Second holding and holding part

459,460,463,464 : 얼라인먼트핀 461,462,465,466 : 고정핀459,460,463,464: Alignment pin 461,462,465,466: Fixing pin

580 : 기판반송장치 582a : 수용카세트580: substrate transfer device 582a: accommodation cassette

582b : 스핀척 670 : 주고받음부582b: spin chuck 670: exchange

680 : 기판반송장치 681 : 대좌부680: substrate transfer device 681: pedestal

682 : 수용대 682a : 수용카세트682: receiving table 682a: receiving cassette

682b : 스핀척 683 : 아암지지대682b: spin chuck 683: arm support

700 : 노즐 752 : 스핀척700: nozzle 752: spin chuck

754 : 구동모터 G : 유리기판754: driving motor G: glass substrate

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described based on drawing.

먼저, 본 발명의 기판반송장치가 사용되는 도포·현상처리시스템의 전체구성에 관하여 도 1에 의거하여 설명한다.First, the whole structure of the application | coating and developing processing system in which the board | substrate conveyance apparatus of this invention is used is demonstrated based on FIG.

도 1에 나타내는 바와 같이, 이 도포·현상처리시스템(1)의 전방에는, 유리기판(G)을 도포·현상처리시스템(1)에 대하여 반입반출하는 로더·언로더부가 설치되어 있다. 이 로더·언로더부에는, 유리기판(G)을 예를들어 25매씩 수납한 카세트 (C)를 소정 위치에 정렬시켜 재치(載置)하는 카세트 재치대(3)와, 각 카세트(C)로부터 처리예정의 유리기판(G)을 꺼내고, 또 도포·현상처리시스템(1)에 있어서 처리가 종료된 유리기판(G)을 각 카세트(C)에 돌려 보내는 로더·언로더(4)가 설치되어 있다. 도시하는 로더·언로더(4)는, 본체(5)의 주행에 의해 카세트(C)의 배열방향으로 이동하여, 본체(5)에 탑재된 판형상의 핀셋(6)에 의해 각 카세트 (C)로부터 유리기판(G)을 꺼내고, 또 카세트(C)로 유리기판(G)을 돌려보내도록 되어 있다. 또 핀셋(6)의 양측에는, 유리기판(G)의 4꼭지점을 보유·유지하여 위치맞춤을 행하는 위치맞춤부재(7)가 설치되어 있다.As shown in FIG. 1, in front of this application | coating and developing processing system 1, the loader unloader part which carries in / out the glass substrate G with respect to the application | coating and developing processing system 1 is provided. In this loader-unloader section, a cassette holder 3 for aligning and placing cassettes C, which contain 25 sheets of glass substrates G, for example, at a predetermined position, and each cassette C, respectively. The loader unloader 4 which removes the glass substrate G to be processed from the process and returns the glass substrate G after the treatment in the coating and developing processing system 1 to each cassette C is installed. It is. The loader unloader 4 shown in the figure moves in the arrangement direction of the cassettes C by traveling of the main body 5, and each cassette C is driven by the plate-shaped tweezers 6 mounted on the main body 5. The glass substrate G is taken out from the back, and the glass substrate G is returned to the cassette C. On both sides of the tweezers 6, there are provided alignment members 7 which hold and hold four vertices of the glass substrate G to perform alignment.

도포·현상처리시스템(1)의 중앙부에는, 시스템 자체의 길이방향으로 배치된 복도형태의 반송로(10,11)가 제 1의 주고받음부(12)를 매개로 하여 일직선상으로 설치되어 있고, 이 반송로(10,11)의 양측에는, 유리기판(G)에 대하여 각 처리를 행하기 위한 각종 처리장치가 배치되어 있다.In the central portion of the coating and developing treatment system 1, conveying paths 10 and 11 in the form of corridors arranged in the longitudinal direction of the system itself are provided in a straight line via the first sending and receiving portion 12. On both sides of the conveying paths 10 and 11, various processing apparatuses for performing respective processing on the glass substrate G are arranged.

도시한 도포·현상처리시스템(1)에 있어서는, 반송로(10)의 한쪽에, 유리기판(G)을 브러쉬로 세정함과 동시에 고압의 젯트수(jet水)에 의해 세정을 행하기 위한 세정장치(16)가, 예를들어 2대가 병설(倂設)되어 있다. 또 반송로(10)를 사이에 둔 반대측에는, 2대의 현상장치(17)가 병설되고, 그 옆에는 2대의 가열장치(18)가 적층되어 설치되어 있다.In the coating and developing treatment system 1 shown, cleaning is performed on one side of the conveying path 10 by washing the glass substrate G with a brush and simultaneously by high pressure jet water. For example, two apparatuses 16 are provided in parallel. Moreover, two developing apparatuses 17 are provided on the opposite side between the conveying paths 10, and two heating apparatuses 18 are stacked and provided next to each other.

또, 반송로(11)의 한쪽에, 유리기판(G)에 레지스트액을 도포하기 전에 유리기판(G)을 소수화처리(疏水化處理)하는 어드히젼(adhesion)장치(20)가 설치되고, 이 어드히젼장치(20)의 하방에는 냉각용의 쿨링장치(21)가 배치되어 있다. 또, 이들 어드히젼장치(20)와 쿨링장치(21)의 옆에는 가열장치(22)가 2열로 2개씩 적층되어 배치되어 있다. 또, 반송로(11)를 사이에 둔 반대측에, 유리기판(G) 표면에 레지스트액을 도포함으로써 유리기판(G)의 표면에 레지스트막을 형성하는 레지스트 도포장치(23)가 배치되어 있다. 도시되지는 않았지만 이들 도포장치(23)의 측부에는, 제 2의 주고받기부(28)를 매개로 하여, 유리기판(G) 상에 형성된 레지스트막에 소정의 미세패턴을 노광하기 위한 노광장치가 설치되어 있다. 제 2의 주고받음부 (28)는, 유리기판(G)을 반입 및 반출하기 위한 반입반출핀셋(29) 및 주고받음대 (30)를 갖추고 있다.In addition, on one side of the conveying path 11, an advice device 20 for hydrophobizing the glass substrate G is provided before applying the resist liquid to the glass substrate G. The cooling apparatus 21 for cooling is arrange | positioned under this advice apparatus 20. As shown in FIG. In addition, two heating devices 22 are stacked in two rows next to the advice device 20 and the cooling device 21. Moreover, the resist coating apparatus 23 which forms a resist film on the surface of the glass substrate G by apply | coating a resist liquid on the surface of the glass substrate G is arrange | positioned on the opposite side which has the conveyance path 11 in between. Although not shown, an exposure apparatus for exposing a predetermined fine pattern to a resist film formed on the glass substrate G is provided on the side of these coating apparatuses 23 via a second exchange part 28. It is installed. The second exchange part 28 is equipped with the carry-in / out tweezers 29 and the exchange base 30 for carrying in and carrying out glass substrate G. As shown in FIG.

이상의 각 처리장치(16∼18 및 20∼23)는, 어느쪽도, 반송로(10,11)의 양측에 있어 유리기판(G)의 반입반출구를 내측으로 향하게 하여 배설(配設)되어 있다. 제 1의 반송장치(25)가 로더·언로더부(2), 각 처리장치(16∼18) 및 제 1의 주고받기부(12)와의 사이에서 유리기판(G)을 반송하기 위하여 반송로(10) 상을 이동하고, 제 2의 반송장치(26)가 제 1의 주고받기부(12), 제 2의 주고받기부(28) 및 각 처리장치(20∼23)와의 사이에서 유리기판(G)을 반송하기 위하여 반송로(11) 상을 이동하도록 되어 있다.Each of the processing apparatuses 16 to 18 and 20 to 23 described above is disposed so that the carrying-in and out ports of the glass substrate G face inward on both sides of the conveying paths 10 and 11. have. The conveying path for the first conveying apparatus 25 to convey the glass substrate G between the loader / unloader portion 2, the respective processing apparatuses 16 to 18, and the first send / receive portion 12. (10) Move the phase, and the second conveying device 26 is a glass substrate between the first send and receive section 12, the second send and receive section 28, and each of the processing apparatuses 20 to 23. In order to convey (G), it moves on the conveyance path 11.

다음, 상기한 도포·현상처리시스템(1)에 있어서, 제 1의 반송장치(25) 및 제 2의 반송장치(26)로서 채용이 가능한 본 발명의 제 1의 실시형태에 관련된 기판반송장치(40)의 구조를 설명한다. 도 2는 이 기판반송장치(40)의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 3은 그 일부를 단면으로 나타낸 정면도, 도 4 및 도 5는 평면도이다.Next, in the above-mentioned coating and developing processing system 1, the substrate conveyance apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention which can be employ | adopted as the 1st conveyance apparatus 25 and the 2nd conveyance apparatus 26 ( The structure of 40 will be described. FIG. 2 is a perspective view showing the structure of the substrate transfer device 40, FIG. 3 is a front view showing a part thereof in a cross section, and FIGS. 4 and 5 are plan views.

이 기판반송장치(40)는 반송로(10,11)를 따라서 설치된 레일(35) 상을 Y방향으로 이동이 가능한 Y방향 이동체(41)를 갖추고 있다. 이 Y방향 이동체(41)는, 본 실시형태에서는 레일(35)을 타고넘도록 설치되어, 내부에 배설된 구동모터(도시않됨)의 구동에 의해 이동한다. 이 Y방향 이동체(41)의 상부에는 모터(42)가 설치되고, 이 모터(42)에 의해 θ방향으로 회전이 가능하도록 되어 있는 제 1의 회전축 (43)이 설치되어 있다. 이 제 1의 회전축(43)은, Y방향 이동체(41) 내에 배설된 승강부(도시않됨)에 의해 상하방향(Z방향)으로 동작되도록 설치되어 있다.This board | substrate conveying apparatus 40 is equipped with the Y-direction moving body 41 which can move to the Y direction on the rail 35 provided along the conveyance paths 10 and 11. In this embodiment, the Y-direction moving body 41 is provided so as to ride over the rail 35 and moves by driving of a drive motor (not shown) disposed therein. The motor 42 is provided in the upper part of this Y-direction moving body 41, and the 1st rotating shaft 43 which is rotatable in the (theta) direction by this motor 42 is provided. This 1st rotating shaft 43 is provided so that it may operate to an up-down direction (Z direction) by the elevation part (not shown) arrange | positioned in the Y-direction moving body 41. As shown in FIG.

이 제 1의 회전체(43) 상부에는, 지지판(44)이 설치되어 있고, 이 지지판 (44)의 대략 중앙부에는, 상하로 움직임이 가능한 회전축(47)을 갖춘 승강부재(48)가 지지되어 있다. 이 제 2의 회전축(47)을 갖춘 승강부재(48)가 본 실시형태에 있어서 기판방향 조정수단을 구성한다.The support plate 44 is provided in the upper part of this 1st rotating body 43, and the lifting member 48 provided with the rotating shaft 47 which can move up and down is supported by the substantially center part of this support plate 44, and is supported. have. The elevating member 48 provided with this second rotary shaft 47 constitutes the substrate direction adjusting means in this embodiment.

지지판(44)의 승강부재(48) 주변부에는, 지지핀(49)이 복수로 배설되어 있어, 이 지지핀(49)에 의해 판상(板狀)의 기대부용(基臺部用) 보유·유지대(50)가 수평으로 지지되어 있다. 이 기대부용 보유·유지대(50)의 표면에는 X방향을 따라 가이드홈(51)이 형성되어 있고, 이 가이드홈(51)을 따라 X방향(전후방향)으로 이동이 가능한 기대부(52)가 배설되어 있다.A plurality of support pins 49 are disposed on the periphery of the elevating member 48 of the support plate 44, and the support pins 49 hold and hold the plate for the base portion. The table 50 is horizontally supported. A guide groove 51 is formed along the X direction on the surface of the base portion holding / holding base 50, and the base portion 52 which is movable along the guide groove 51 in the X direction (front and rear direction) is provided. Is excreted.

이 기대부(52) 내부에는, 당해 기대부(52)를 전후로 움직이게 하기 위한 구동부재(도시않됨)가 배치되어 있음과 동시에, 그 양측으로부터 일단 옆방향으로 뻗친 후 거의 직각방향의 전방으로 뻗쳐, 기대부(52)를 중심으로 한 핀셋형태로 배치된 한쌍의 아암(53,54)이 설치되어 있다. 아암(53,54)은, 각각 도 3에 나타낸 바와 같이, 정면으로부터 보아 외측으로 향하여 올라가는 계단형태로 되도록 단차부 (53a,54a)가 형성되어 있고, 이 단차부(53a,54a)를 사이에 둔 상단이 제 1의 보유·유지부(55,56)로 되고, 하단이 제 2의 보유·유지부(57,58)로 된다. 따라서, 본 실시형태에 있어서는, 기대부(52)와, 각 보유·유지부(55∼58)을 포함하는 아암(53 ,54)에 의해 보유·유지부재를 구성한다.In this base part 52, the drive member (not shown) for moving the base part 52 back and forth is arrange | positioned, and once it extends laterally from both sides, it extends forward in a substantially perpendicular direction, A pair of arms 53 and 54 arranged in the form of tweezers around the base 52 is provided. As shown in Fig. 3, the arms 53 and 54 are formed with stepped portions 53a and 54a so as to have a stepped shape that goes up from the front to the outside, and the stepped portions 53a and 54a are interposed therebetween. The upper end of the blunt is used as the first holding and holding portions 55 and 56, and the lower end is used as the second holding and holding portions 57 and 58. Therefore, in this embodiment, the holding | maintenance member is comprised by the base part 52 and the arm 53 and 54 containing each holding-and-holding part 55-58.

제 1의 보유·유지부(55,56) 외측에는, 각각 대향하는 측벽(55a,56a)이 세워져 있고, 당해 측벽(55a,56a) 사이의 간격은, 보유·유지 대상인 유리기판(G) 장변의 길이보다 약간 긴 간격으로 되어 있다. 따라서, 측벽(55a,56a)들의 대향방향으로 유리기판(G)의 장변방향을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 장변쥐기인 경우에 대처할 수 있다.Side walls 55a and 56a facing each other are erected outside the first holding and holding portions 55 and 56, and the distance between the side walls 55a and 56a is the long side of the glass substrate G to be held and held. The interval is slightly longer than the length of. Therefore, it is possible to cope with the case where the processing apparatus is a so-called long side grip by holding and holding the long side direction of the glass substrate G in the opposite direction of the side walls 55a and 56a.

한편, 제 2의 보유·유지부(57,58)에 대향하는 측벽{단차부(53a,54a)가 이것에 상당함} 간의 간격은, 유리기판(G)의 단변길이보다 약간 길고, 장변의 길이보다 짧은 간격으로 되어 있다. 따라서, 이 단차부(53a,54a)들의 대향방향으로 유리기판 (G)의 단변을 맞춘상태로 보유 및 유지함으로써, 처리장치가 이른바 단변쥐기일 경우에 대처할 수 있다.On the other hand, the interval between the side walls facing the second holding and holding portions 57 and 58 (the steps 53a and 54a correspond to this) is slightly longer than the short side length of the glass substrate G, and the long side length of the long side portion is long. The interval is shorter than the length. Therefore, by holding and holding the short side of the glass substrate G in the opposing direction of the step portions 53a and 54a, it is possible to cope with the case where the processing apparatus is a so-called single lap.

제 1의 보유·유지부(55,56)의 기대부(52) 근처의 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(59,60)이 각각 하방으로부터 상방으로 돌출되도록 설치되어 있다. 또, 당해 제 1의 보유·유지부(55,56)의 선단 근처의 부분인 이 얼라인먼트핀(59,60)에 대치하는 위치에도, 고정핀(61,62)이 돌출 형성되어 있다. 유리기판 (G)이 제 1의 보유·유지부(55,56) 상에 보유·유지된 경우에, 얼라인먼트핀(59, 60)이 X방향을 따라 동작됨으로써, 유리기판(G)의 전단위치(前端位置)가 가지런히 맞추어진다.Alignment pins 59 and 60 which are movable in the X direction are provided at portions near the base 52 of the first holding and holding portions 55 and 56 so as to project upward from the lower side, respectively. Moreover, the fixing pins 61 and 62 protrude and are formed also in the position which opposes this alignment pin 59 and 60 which is a part near the front-end | tip of the said 1st holding / holding part 55 and 56. As shown in FIG. When the glass substrate G is held and held on the first holding and holding portions 55 and 56, the alignment pins 59 and 60 are operated along the X direction, whereby the front end position of the glass substrate G is held. (前端 位置) is neatly aligned.

마찬가지로, 제 2의 보유·유지부(57,58)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에도, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(63,64)이 상방으로 돌출되도록 설치되어 있고, 제 2의 보유·유지부(57,58)의 선단 근처의 부분이고 이 얼라인먼트핀(63,64)에 대치하는 위치에는, 고정핀(65,66)이 돌출형성되어 있다. 따라서, 유리기판(G)이 제 2의 보유·유지부(57,58) 상에 재치되어 있을 경우에는, 이 얼라인먼트핀(63,64)이 X방향을 따라 전후로 이동하여, 유리기판(G)의 전단위치가 가지런히 맞추어진다.Similarly, the alignment pins 63 and 64 movable in the X-direction are also provided in the portion near the base 52 in the second holding and holding portions 57 and 58 so as to protrude upward. The fixing pins 65 and 66 protrude from the position near the distal end of the holding and holding portions 57 and 58 at the position 2 and opposed to the alignment pins 63 and 64. Therefore, when the glass substrate G is placed on the second holding and holding portions 57 and 58, the alignment pins 63 and 64 move back and forth along the X direction, and the glass substrate G The shear position of is aligned neatly.

또, 제 1의 보유·유지부(55,56)와 제 2의 보유·유지부(57,58)를 각각 형성하고 있는 아암(53,54)은, Y방향으로 대향거리가 늘어나거나 줄어들도록 기대부 (52)에 설치되어 있다. 따라서, 제 1의 보유·유지부(55,56) 또는 제 2의 보유·유지부(57,58)에 보유·유지된 유리기판(G)은, 아암(53,54) 자체에 있어서의 대향거리의 확장 또는 축소동작에 의해, Y방향을 따라 옆방향으로 위치가 가지런히 맞추어지게 된다.Moreover, the arms 53 and 54 which form the 1st holding | maintenance part 55 and 56 and the 2nd holding and holding part 57 and 58, respectively, are made so that a facing distance may increase or decrease in a Y direction. It is provided in the base part 52. Accordingly, the glass substrate G held and held by the first holding and holding portions 55 and 56 or the second holding and holding portions 57 and 58 is opposed to the arms 53 and 54 itself. By the expansion or contraction of the distance, the position is aligned in the lateral direction along the Y direction.

기대부 보유·유지대(50)의 대략 중앙위치에는, 상하로 관통하는 관통공이 설치되어 있고, 이 관통공에, 상기 기판방향 조정수단을 구성하는 승강부재(48)의 제 2 회전축(47)이 끼워넣어지고, 그 헤드부(47a)가 기대부용 보유·유지대(50) 상에 항상 돌출되어 있다. 헤드부(47a)는, 제 1의 보유·유지부(55,56), 제 2의 보유·유지부(57,58)에 각각 유리기판(G)을 보유·유지하였을 때, 유리기판(G)의 중심부에 위치되도록 배치된다.The through hole penetrating up and down is provided in the substantially center position of the base holding part 50, and the second rotating shaft 47 of the elevating member 48 constituting the substrate direction adjusting means is provided in the through hole. Is fitted, and the head portion 47a always protrudes on the holding / holding portion 50 for the base portion. When the head portion 47a holds and holds the glass substrate G in the first holding and holding portions 55 and 56 and the second holding and holding portions 57 and 58, respectively, the glass substrate G It is arranged to be located in the center of the.

본 실시형태에 관련된 기판반송장치(40)에 의하면, 예를들어, 이것을 상기 도포·현상처리시스템(1)의 제 1의 반송장치(25)로서 채용하였을 경우, 먼저, 로더·언로우더(4)로부터 기판을 수취한다. 다음, 반송로(10) 상에 설치된 레일(35)을 따라, Y방향으로 이동하여, 목적으로 하는 처리장치에 있어서의 반입반출구 정면으로까지 이동한다. 다음, 제 1의 회전축(43)을 모터(42)에 의해 θ방향으로 소정 각도로 회전시켜, 아암(53,54)과 당해 처리장치의 반입반출구를 대면시킨다.According to the board | substrate conveying apparatus 40 which concerns on this embodiment, when this is employ | adopted as the 1st conveying apparatus 25 of the said application | coating and developing processing system 1, the loader unloader 4 is first used, for example. ), The substrate is received. Next, it moves to the Y direction along the rail 35 provided on the conveyance path 10, and moves to the front of the carrying-in / out port in the target processing apparatus. Next, the first rotating shaft 43 is rotated by the motor 42 at a predetermined angle in the θ direction to face the arms 53 and 54 and the carrying in and out ports of the processing apparatus.

여기서, 이 기판반송장치(40)가, 도 4에 나타낸 바와 같이, 처리대상으로서의 유리기판(G)이, 상기한 로더·언로더(4)로부터 아암(53,54)의 대향방향으로 당해 유리기판(G)의 단변이 맞추어지도록 제 2의 보유·유지부(57,58)에 의해 보유·유지되어 있다고 할 때, 목적으로 하는 처리장치의 수취부가 이른바 단변쥐기일 경우에는, 기대부(52)를 그대로 X방향으로 전진시켜 건네받도록 할 수 있지만, 장변쥐기일 경우에는, 기판방향조정수단을 동작시켜 유리기판(G)의 방향을 변경한다.Here, as shown in Fig. 4, the substrate transfer device 40 is a glass substrate (G) as the object to be processed in the opposite direction of the arms (53, 54) from the loader unloader (4) described above. When the receiving part of the processing apparatus made into what is called a single-handle is considered to be hold | maintained and hold | maintained by the 2nd holding / holding part 57 and 58 so that the short side of the board | substrate G may be matched, the expectation part 52 ) Can be passed in the X direction as it is, but in the case of a long side grip, the direction of the glass substrate G is changed by operating the substrate direction adjusting means.

즉, 도 6(a)에 나타낸 상태로부터, (b)에 나타낸 바와 같이, 승강부재(48)의 제 2 회전축(47)을 상승시켜 감으로써, 상승 도중에 헤드(47a) 상에 유리기판(G)을 보유·유지하고, 보유·유지부재인 아암(53,54)의 상방위치까지 상승시켜, 당해 제 2의 회전축(47)을 θ방향으로 약 90도 수평회전시킨다. 이에 의해, 유리기판(G)의 장변이 처리장치에 대향된다. 다음, 제 2의 회전축(47)을 하강시켜 감으로써, 도 6(c) 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 하강 도중에 유리기판(G)의 단변측 가장자리가 제 1의 보유·유지부(55,56) 상에 보유·유지되게 된다. 그리고, 기대부(52)를 기대부용 보유·유지대(50)의 가이드홈(51)을 따라 X방향으로 전진시키면, 수취부가 장변쥐기로 되어 있는 처리장치에 유리기판(G)을 건네줄 수 있게 된다.That is, as shown in (b) from the state shown in FIG. 6 (a), the second rotating shaft 47 of the elevating member 48 is lifted and wound up, so that the glass substrate G on the head 47a is in the middle of the raising. ) Is held and held, and is raised to an upper position of the arms 53 and 54 which are holding and holding members, and the second rotating shaft 47 is horizontally rotated about 90 degrees in the θ direction. Thereby, the long side of the glass substrate G opposes a processing apparatus. Next, as the second rotation shaft 47 is lowered, as shown in FIGS. 6C and 5, the short side edge of the glass substrate G is the first holding / holding part 55 during the lowering. 56) will be held and retained. Then, when the base portion 52 is advanced in the X direction along the guide groove 51 of the base holding / holding portion 50 for the base portion, the glass substrate G can be passed to the processing apparatus having the receiving portion as a long side. Will be.

덧붙여 설명하면, 이 기판처리장치(40)의 로더·언로더(4)로부터 유리기판 (G)을 수취하는 방향이 상기에 대한 반대로 장변측이 정면으로 되는 방향으로, 제 1의 보유·유지부(55,56)로 재치되고, 또 반입반출대상으로서의 처리장치의 수취부가 이른바 단변쥐기일 경우에는, 도 6(c)의 상태로부터 도 6(a)의 상태로 되도록 승강부재(48)의 제 2 회전축(47)이 동작된다.In addition, the 1st holding / holding part is a direction which receives the glass board | substrate G from the loader unloader 4 of this substrate processing apparatus 40 in the direction which the long side becomes front as opposed to the above. When the receiving portion of the processing apparatus as the carry-in / out object is a so-called single-handle, the lifting member 48 is placed so as to be in the state of FIG. 6 (c) from FIG. 6 (c). Two rotating shafts 47 are operated.

본 실시형태에 의하면, 상기한 바와 같이, 승강부재(48)의 제 3의 회전축 (47)을 상승시켜 회전시킴으로써, 유리기판(G)의 보유·유지방향을 장변과 단변의 어느 쪽도 정면이 되도록 조정할 수 있다. 따라서, 처리라인 상에 스핀척 및 리프트핀등의 수취부가 이른바 장변쥐기 전용일 경우, 또는 반대로 단변쥐기 전용일 경우에도, 어느쪽 처리장치에 대하여 본 실시형태에 관련된 기판처리장치(40)를 사용하여 유리기판의 주고받기를 행할 수 있다. 이와 같이, 상하로 이동이 가능함과 동시에, 축심을 중심으로 하여 수평으로 이동이 가능하도록 설치된 기판방향조정수단에 의해, 기판의 주고받기방향을 변경할 수 있어, 각 처리장치에 대하여 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출할 수 있다. 따라서, 처리라인 상에, 이른바 장변쥐기의 처리장치 및 단변쥐기의 처리장치가 혼재하여 설치되어 있어도, 이 기판처리장치에 의하면, 처리장치 사이에서 확실하게 기판의 주고받기를 행할 수 있다.According to the present embodiment, as described above, by raising and rotating the third rotary shaft 47 of the elevating member 48, the front and rear sides of both the long side and the short side of the holding and holding direction of the glass substrate G are raised. Can be adjusted as possible. Therefore, the substrate processing apparatus 40 according to the present embodiment is used for either processing apparatus even when the receiving portion such as the spin chuck and the lift pin on the processing line is exclusively used for long-term grip or conversely. The glass substrate can be exchanged. In this way, the direction of transfer of the substrate can be changed by the substrate direction adjusting means provided so as to be able to move up and down and to move horizontally around the axis, so that the substrate can be moved in a predetermined direction for each processing apparatus. You can import or export with Therefore, even if a so-called long-terminal treatment apparatus and a short-terminal treatment apparatus are provided in a mixture on the processing line, the substrate processing apparatus can reliably exchange substrates between the processing apparatuses.

또, 제 1 보유·유지부재 및 제 2의 보유·유지부재를 설치함에 의해, 제 1의 보유·유지부재에 기판이 재치됨으로써 장변쥐기의 당해 처리장치와의 사이에서 기판의 반입반출이 가능하게 되고, 제 2의 보유·유지부재에 기판이 재치됨으로써 단변쥐기의 당해 처리장치와의 사이에서 기판의 반입반출이 가능하게 된다.Further, by providing the first holding / holding member and the second holding / holding member, the substrate is placed on the first holding / holding member so that the substrate can be carried in and out between the processing device of the long gripper. As the substrate is placed on the second holding / holding member, the substrate can be carried in and out of the single-handling device with the processing apparatus.

다음, 도 7 및 도 8에 의거하여, 본 발명의 제 2의 실시형태와 관련된 기판반송장치(40)에 관하여 설명한다. 이 기판반송장치(40)는, Y방향 이동체(41), 제 1의 회전축(43), 지지판(44) 및 지지핀(49)을 갖추고 있는 점에 있어서는, 도시되지는 않았지만 상술한 제 1의 실시형태에 관련된 기판반송장치(40)와 완전히 동일하다. 단지 본 실시형태에서는, 지지핀(49)에 지지되는 기대부용 보유·유지대(50)에 의해 보유·유지되는 보유·유지부재의 구성이 다르다.Next, the board | substrate conveying apparatus 40 which concerns on 2nd Embodiment of this invention is demonstrated based on FIG. 7 and FIG. Although not shown, this board | substrate conveying apparatus 40 is equipped with the Y-direction moving body 41, the 1st rotating shaft 43, the support plate 44, and the support pin 49, It is exactly the same as the board | substrate conveyance apparatus 40 which concerns on embodiment. However, in this embodiment, the structure of the holding | maintenance holding | maintenance member hold | maintained and hold | maintained by the holding | maintenance holding part 50 for the base part supported by the support pin 49 differs.

즉, 이 보유·유지부재는, 기대부(52)와, 이 기대부(52)의 양측으로부터 한끝단 바깥쪽으로 뻗친 후, 대략 직각으로 구부러져 전방으로 돌출되어 있는 한쌍의 지지편(70,71)을 갖춘 구성으로 되어 있다. 이 한쌍의 지지편(70,71)은, 양쪽 모두가 평탄한 긴판 형태로 되어 있고, 양자 이의 간격이 보유·유지대상인 유리기판 (G)의 단변사이의 간격보다도 짧게 설정되어 있다. 즉, 유리기판(G)의 방향이 어느쪽을 향하고 있더라도, 이 지지편(70,71) 상에 보유·유지할 수 있는 구성이다.That is, the holding / holding member extends outwardly from one end of the base portion 52 and both sides of the base portion 52, and a pair of support pieces 70, 71 that are bent at approximately right angles and protrude forward. The configuration is equipped with. The pair of support pieces 70 and 71 are in the form of flat long plates, both of which are set shorter than the distance between the short sides of the glass substrate G to be held and held. That is, it is the structure which can be hold | maintained and hold | maintained on these support pieces 70 and 71, even if the direction of glass substrate G is facing.

지지편(70,71)에는, 그 표면에 개구(開口)되어 있는 기판의 흡착부로서의 배큠공(72,73)이 각각 복수로 형성되어 있다. 이 배큠공(72,73)은, 지지편(70,71)의 하면(下面)을 따라 배설된 배관(도시않됨)을 매개로 하여 배큠원(vacuum源)(도시않됨)으로 접속되어 있다.The support pieces 70 and 71 are each provided with a plurality of back holes 72 and 73 as adsorption portions of the substrate that are opened on the surface thereof. These exhaust holes 72 and 73 are connected to a vacuum source (not shown) via a pipe (not shown) disposed along the lower surfaces of the support pieces 70 and 71.

본 실시형태에 의하면, 도 8(a)에 나타낸 바와 같이, 예를들어 로더·언로더 (4)로부터 장변을 정면으로 하여 유리기판(G)을 수취한 때에 있어서, 반입반출대상으로서의 처리장치의 수취부가 이른바 단변쥐기일 경우에는, 도 8(b)에 나타낸 바와 같이 승강부재(48)의 제 2 회전축(47)을 상승시켜, 그 도중에 당해 제 2의 회전축(47)의 헤드(47a) 상에 유리기판(G)을 보유·유지하여, 보유·유지부재인 지지편 (70,71)의 상방위치로까지 상승시킨다. 다음, 제 2의 회전축(47)을 약 90도 수평으로 회전시켜, 처리장치에 대하여 유리기판(G) 단변측을 대향시킨 후, 당해 제 2의 회전축(47)을 하강시킨다. 지지편(70,71) 사이의 간격은 유리기판(G) 단변사이의 간격보다 좁도록 배치되어 있기 때문에, 유리기판(G)이 이와 같은 방향에서도 지지편(70,71) 상에 보유·유지된다. 지지편(70,71)에 보유·유지된 유리기판(G)은, 배큠공(72,73)을 통하여 흡인되어, 지지편(70,71)의 상면(上面)에 확실하게 흡착되어 보유·유지된다. 그 후, 기대부(52)가 가이드홈(51)을 따라 X방향으로 전진하여, 원하는 방향으로 유리기판(G)이 처리장치로 건네어진다.According to the present embodiment, as shown in Fig. 8A, for example, when the glass substrate G is received from the loader unloader 4 with the long side in front, the processing apparatus as the carry-in / out object. In the case where the receiving portion is a so-called single-handle, as shown in Fig. 8B, the second rotating shaft 47 of the elevating member 48 is raised, and on the head 47a of the second rotating shaft 47 in the middle thereof. The glass substrate G is held and held, and is raised to the upper position of the support pieces 70 and 71 serving as the holding and holding members. Next, the second rotating shaft 47 is rotated about 90 degrees horizontally to face the glass substrate G short side with respect to the processing apparatus, and then the second rotating shaft 47 is lowered. Since the spacing between the support pieces 70 and 71 is arranged to be narrower than the spacing between the short sides of the glass substrate G, the glass substrate G is held and held on the support pieces 70 and 71 even in such a direction. do. The glass substrate G held and held by the support pieces 70 and 71 is sucked through the back holes 72 and 73, and is reliably adsorbed to the upper surfaces of the support pieces 70 and 71. maintain. Thereafter, the base 52 advances along the guide groove 51 in the X direction, and the glass substrate G is passed to the processing apparatus in the desired direction.

덧붙여 설명하면, 도 7에 있어서, 부호(70a,70b 및 71a,71b)는, 각각 지지편 (70,71) 상에 돌출됨과 동시에, X방향으로 동작이 가능하도록 설치된 얼라인먼트핀이다. 본 실시형태에 있어서는, 기대부(52) 근처에 배설된 얼라인먼트핀(70b,71b)이 X방향으로 동작되도록 설정되어 있는 한편, 선단부 근처에 배치된 얼라인먼트핀 (70b,71b)은 고정되어 있다. 지지편(70,71) 상에 보유·유지된 유리기판(G)은, 어느방향을 향하여 보유·유지되어 있어도, 기대부(52) 근처에 배설된 얼라인먼트핀 (70a,71a)의 동작에 의해, 선단 근처에 배치된 얼라인먼트(70b,71b)에 맞닿을 때까지 눌리어져, 지지편(70,71) 상의 유리기판(G)의 X방향에 있어서의 위치가 소정 위치로 수정된다.In addition, in FIG. 7, reference numerals 70a, 70b and 71a, 71b are alignment pins provided so as to protrude on the support pieces 70, 71 and operate in the X direction, respectively. In the present embodiment, the alignment pins 70b and 71b disposed near the base portion 52 are set to operate in the X direction, while the alignment pins 70b and 71b arranged near the distal end portion are fixed. Even if the glass substrate G held and held on the support pieces 70 and 71 is held and held in any direction, by the operation of the alignment pins 70a and 71a disposed near the base 52, It is pressed until it contacts the alignments 70b and 71b arrange | positioned near the front-end | tip, and the position in the X direction of the glass substrate G on the support pieces 70 and 71 is corrected to a predetermined position.

또, 도시되지 않았지만, 기대부용 지지대(50)의 상면이면서 지지편(70,71) 외측에 해당하는 부분에는, Y방향으로 동작이 가능한 얼라인먼트핀을 설치하여 두는 것이 바람직하다. 이에 의해, 유리기판(G)의 Y방향에 있어서의 위치를 수정할 수 있다. 이 경우, 어느쪽의 얼라인먼트핀도 Y방향으로 동작이 가능하도록 하여 두면, 유리기판(G)이 어느방향으로 향하고 있어도, 지지편(70,71) 상에 있어서 어느쪽으로 기울리는 일없이 보유·유지할 수 있다.Moreover, although not shown in figure, it is preferable to provide the alignment pin which can operate | move in a Y direction in the part which is the upper surface of the support part 50 for base parts, and corresponds to the outer side of support pieces 70 and 71. Thereby, the position in the Y direction of glass substrate G can be corrected. In this case, if both alignment pins are allowed to operate in the Y direction, even if the glass substrate G is directed in any direction, it can be held and held on the support pieces 70 and 71 without being inclined to either side. Can be.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 보유·유지부재가, 처리대상 기판의 단변의 길이보다 짧은 간격을 두고 설치된 한쌍의 지지편을 갖추고 있고, 이 지지편에 기판을 흡착하여 보유·유지하는 흡착부가 설치되어 있다. 지지편사이의 간격이 기판의 단변사이의 길이보다 짧기 때문에, 기판방향 조정수단에 의해 기판을 상승시켜 회전시킴으로써 방향을 변경하여 하강시키면, 어느쪽의 방향이어도 흡착부 상에 보유·유지할 수 있다. 따라서, 본 실시형태에 의하면, 하나의 보유·유지부재에 의해 처리대상인 기판의 방향이 다르더라도 보유·유지할 수 있다.As described above, in the present embodiment, the holding / holding member has a pair of support pieces provided at intervals shorter than the length of the short side of the substrate to be processed, and the substrate is adsorbed to the support pieces and held and held. Adsorption part is provided. Since the distance between the support pieces is shorter than the length between the short sides of the substrate, if the direction is changed and lowered by raising and rotating the substrate by the substrate direction adjusting means, either direction can be retained and held on the adsorption portion. Therefore, according to this embodiment, even if the direction of a board | substrate to be processed differs by one holding | maintenance member, it can hold and hold.

도 9는, 본 발명의 제 3의 실시형태에 관련된 기판반송장치(80)를 나타내는 개략 평면도이고, 도 10은 이 실시형태에 관련된 기판반송장치(80)의 개략 측면도이다.9 is a schematic plan view of the substrate transfer apparatus 80 according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a schematic side view of the substrate transfer apparatus 80 according to this embodiment.

본 실시형태에 관련된 기판반송장치(80)는, 대좌부(81)의 하부에 상기 도포·현상처리시스템(1)의 반송로(10,11) 상에 설치된 레일(36,37)을 따라 이동이 가능한 Y방향 이동체(182)가 설치되어 있다. 이 대좌부(81)는 또, θ방향으로 수평회전이 가능하도록 설치되어 있다.The board | substrate conveying apparatus 80 which concerns on this embodiment moves along the rails 36 and 37 provided on the conveyance paths 10 and 11 of the said application | coating and developing processing system 1 in the lower part of the base part 81. FIG. This possible Y-direction moving body 182 is provided. The pedestal portion 81 is provided so that horizontal rotation is possible in the θ direction.

대좌부(81)의 한쪽에는, 유리기판(G)의 수용대(81)가 설치되어 있다. 이 수용대(82)는, 소정 높이의 위치에 복수단의 수용카세트(82a)가 설치되어 있고, 각 수용카세트(82a) 내에는, 회전이 가능하도록 배설된 스핀척(82b)이 각각 위치하고 있다.On one side of the pedestal portion 81, a receiving table 81 of the glass substrate G is provided. The storage stand 82 is provided with a plurality of storage cassettes 82a at positions having a predetermined height, and each of the storage cassettes 82a has spin chucks 82b disposed so as to be rotatable. .

대좌부(81)의 다른쪽에는, 소정 높이로 아암지지대(83)가 배치되어 있다. 이 아암지지대(83)는, 본 실시형태에서는 회전이 가능하도록 설치되어 있고, 또 그 상면에는, 다관절아암(84,85)의 기부(基部)가 상호 간격을 두고 회동이 자유롭도록 설치되어 있다. 본 실시형태에 있어서는 2개의 다관절아암(84,85)을 설치하고 있지만, 이것은 한쪽이 처리장치에 대하여 진입하고 있을 때에, 다른쪽이 수용카세트 (82a)로 진입할 수 있도록 한 것으로, 이에 의해 유리기판(G)의 처리장치와의 사이에서의 주고받기를 끊임없이 연속적으로 행할 수 있다. 물론 다관절아암의 설치수를 한 개로 하는 것도 가능하다.On the other side of the pedestal portion 81, an arm support 83 is disposed at a predetermined height. This arm support 83 is provided so that rotation is possible in this embodiment, and the upper surface is provided so that the base parts of the articulated arms 84 and 85 may mutually be spaced freely. . In the present embodiment, two articulated arms 84 and 85 are provided, but this allows the other to enter the accommodation cassette 82a when one enters the processing apparatus. The exchange of glass substrate G with the processing apparatus can be performed continuously continuously. Of course, it is also possible to set the number of articulated arms to one.

다관절아암(84,85)은, 어느쪽에 있어서도 축부재(84a,85a)를 매개로 하여 서로 회동이 자유롭도록 연결된 복수의 아암편(84b,85b)에 의해 구성되고, 그 중에서 제일 선단측에 가깝게 배설된 아암편(84b,85b)에, 주고받음부재(86,87)가 축부재 (88,89)를 매개로 하여 당해 선단측의 아암편(84b,85b)에 대하여 회동이 자유롭도록 연결되어 있다.The articulated arms 84 and 85 are constituted by a plurality of arm pieces 84b and 85b which are freely rotated with each other via the shaft members 84a and 85a on either side thereof. The arm pieces 84b and 85b closely disposed are connected to the receiving pieces 86 and 87 so as to be free to rotate with respect to the arm pieces 84b and 85b on the tip side via the shaft members 88 and 89. It is.

주고받음부재(86,87)는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 각각 대향하도록 배설된 2개의 보유·유지편(86a,86a와 87a,87a)을 갖추고, 평면으로부터 보아 핀셋형상으로 설치되어 있다. 이 한쌍의 보유·유지편(86a,86a와 87a,87a) 상에 유리기판(G)을 보유·유지하고, 처리장치와의 사이에서 주고받기를 행한다. 보유·유지편(86a, 87a)의 구체적인 구성은 유리기판(G)을 보유·유지할 수 있기만 하면 되기 때문에 어떠한 것에 한정되는 것은 아니고, 상기한 제 1의 실시형태와 같이, 유리기판을 그 사이에 끼울 수 있는 측벽을 갖추는 구조이어도 좋고, 제 2의 실시형태의 지지편과 같이, 배큠공을 갖춘 평판상의 부재에 의해 구성되어도 좋다. 또, 각 한쌍의 보유·유지편(86a,86a)들 또는 보유·유지편(87a,87a)들의 각각의 대향 간격이 제 1의 실시형태와 같이 넓어지거나 좁아지도록 설치하여도 좋고, 나아가서는, 전후방향 또는 옆방향으로 이동하는 얼라인먼트핀을 상면에 돌출형성하여, 보유·유지되는 유리기판(G)의 위치맞춤을 행할 수 있도록 한 구성으로 하는 것도 물론 가능하다.As shown in Fig. 9, the transfer members 86 and 87 are provided with two holding and holding pieces 86a, 86a and 87a and 87a, which are disposed to face each other, and are provided in a tweezer shape when viewed from a plane. The glass substrate G is held and held on the pair of holding and holding pieces 86a, 86a and 87a, 87a, and exchanged with the processing apparatus. The specific configuration of the holding and holding pieces 86a and 87a is not limited to any one as long as it can hold and hold the glass substrate G, and the glass substrate is sandwiched therebetween as in the first embodiment described above. The structure may be provided with the side wall which can be fitted, and may be comprised by the flat member provided with a back hole like the support piece of 2nd Embodiment. Moreover, you may provide so that the opposing space | interval of each pair of holding and holding pieces 86a and 86a or holding and holding pieces 87a and 87a may become wider or narrow like 1st embodiment, and furthermore, Of course, it is also possible to form an arrangement in which the alignment pin moving in the front-rear direction or the lateral direction is formed on the upper surface so that the alignment of the glass substrate G held and held can be performed.

본 실시형태에 의하면 로더·언로더(4)와의 사이에서 유리기판(G)의 주고받기를 행할 경우, 당해 유리기판(G)은 수용대(82)의 수용카세트(82a) 내의 스핀척 (82b) 상에 보유·유지되어 있다. 이때, 로더·언로더(4)에 대하여, 대좌부(81), 아암지지부(83), 다관절아암(84,85) 또는 주고받기부재(86,87)가 각각 필요에 따라 소정 각도로 회전하고, 주고받음부재(86,87)와 로더·언로더(4)가 서로 마주보도록 조정되고, 로더·언로더(4)로부터 유리기판(G)을 수취하고, 또 이들 수용카세트(C)와 주고받기부재(86,87)가 서로 마주보도록 동작되어 당해 수용카세트(C)의 스핀척 (82b) 상에 유리기판(G)을 보유·유지시키고 있다.According to the present embodiment, when the glass substrate G is exchanged between the loader and the unloader 4, the glass substrate G is a spin chuck 82b in the accommodation cassette 82a of the housing 82. It is held and held on). At this time, with respect to the loader unloader 4, the pedestal portion 81, the arm support portion 83, the articulated arm 84, 85 or the transfer member 86, 87 are rotated at predetermined angles as necessary, respectively. The exchanger members 86 and 87 and the loader unloader 4 are adjusted to face each other, the glass substrate G is received from the loader unloader 4, and the receiving cassette C and The transfer members 86, 87 are operated to face each other to hold and hold the glass substrate G on the spin chuck 82b of the accommodation cassette C.

관련된 상태에서, 목적지로서의 처리장치부근으로까지 Y방향(도 10에 있어서 지면의 앞쪽에서 뒤끝으로의 방향)으로 이동하였을 경우, 이 처리장치의 주고받기부재에 합치하도록 수용카세트(82a) 내의 스핀척(82b)을 회전시켜, 당해 유리기판 (G)의 장변 또는 단변을 대향시켜 둔다.In a related state, when moved in the Y direction (the direction from the front to the back of the ground in FIG. 10) to the vicinity of the processing apparatus as the destination, the spin chuck in the receiving cassette 82a to conform to the transfer member of the processing apparatus. Rotation 82b is made to face the long side or the short side of the glass substrate G.

다음, 유리기판(G)을 주고받음부재(86,87)가 수용카세트(82a) 내의 유리기판 (G)을 수취하러 가고 또 처리장치에 반입하게 되지만, 그때의 대좌부(81), 아암지지대(83), 다관절아암(84,85) 또는 주고받음부재(86,87)의 움직임은, 관련된 동작을 달성하기만 하면 되기 때문에 어떠한 것에 한정되지 않고, 여러 가지의 동작을 행할 수 있다.Next, the glass substrates G receive and receive the glass substrates G in the receiving cassette 82a, and carry the glass substrates G into the processing apparatus, but the pedestal 81 and the arm support at that time are (83), the articulated arm (84, 85) or the movement of the receiving member (86, 87) is not limited to any one, since only the relevant motion can be achieved, various operations can be performed.

예를들어, 먼저, 최초에 처리장치에 대하여 한쪽의 주고받음부재(86)가 마주 본 상태에서, 이 주고받음부재(86)가 수용카세트(82a)로 유리기판을 꺼내러 갈 때에는, 이 주고받음부재(86)를 다관절아암(84)에 대하여 180도 회전시키고 또 이 다관절아암(84)을 그 기부로부터 아암지지대(83)에 대하여 소정 각도로 회전시키고 또 각 아암편(84a)의 각도를 조정한 후, 꺼내러 가는 것이 가능하다. 그리고, 주고받음부재(86) 상에 유리기판(G)을 들어돌리도록 재치하였을 경우, 다시 아암편 (84b) 사이의 인접각도를 줄여 수용카세트(82a) 내로부터 이탈한 후, 주고받음부재 (86) 만을 180도 회전시켜 처리장치의 반입반출구에 유리기판(G)을 대향시킨 다음, 아암편(84b) 사이의 인접각도를 넓혀 당해 반송장치에 삽입한다. 계속하여 다른쪽의 다관절아암(85)에 관하여도 마찬가지로 동작시킨다.For example, first, when one exchange member 86 is first faced with respect to the processing apparatus, when the exchange member 86 goes to take out the glass substrate to the receiving cassette 82a, The receiving member 86 is rotated 180 degrees with respect to the articulated arm 84, and the articulated arm 84 is rotated at a predetermined angle with respect to the arm support 83 from its base, and the arm piece 84a is After adjusting the angle, it is possible to go out. In addition, when the glass substrate G is placed on the transfer member 86 to lift the glass substrate G, the adjacent angle between the arm pieces 84b is reduced again and then separated from the receiving cassette 82a. 86) The glass substrate G is made to face the carrying-in / out port of a processing apparatus by rotating only 180 degree | times, and the adjoining angle between arm pieces 84b is extended, and it is inserted in the said conveying apparatus. Subsequently, the other articulated arm 85 is operated similarly.

또, 도 11에 나타낸 바와 같이 동작을 행하도록 하는 것도 가능하다. 즉, 먼저 최초에 상기와 마찬가지로 처리장치에 대하여 한쪽의 주고받음부재(86)가 서로 마주보고 있는 상태로 있다고 하였을 때, 도 11(a)에 나타낸 바와 같이, 아암지지대(83)를 180도 회전시켜, 수용카세트(82a)에 주고받음부재(86)가 향하도록 한다. 다음, 인접하는 아암편(84b) 사이의 인접각도를 넓혀, 수용카세트(82a) 내에 당해 주고받음부재(86)를 삽입한다. 이 때, 수용카세트(82a) 내에는, 스핀척(82b)이 소정 각도로 회전하여, 처리장치의 주고받음부에 맞춘 자세로 유리기판(G)이 미리 조정되어 있음은 물론이다.It is also possible to perform the operation as shown in FIG. That is, first, when one transfer member 86 is facing each other with respect to the processing apparatus as described above, the arm support 83 is rotated 180 degrees as shown in Fig. 11A. The receiving member 86 is directed to the receiving cassette 82a. Next, the adjacent angle between adjacent arm pieces 84b is widened, and the said receiving member 86 is inserted in the receiving cassette 82a. At this time, in the receiving cassette 82a, the spin chuck 82b is rotated at a predetermined angle, and the glass substrate G is, of course, adjusted in advance in a posture that is matched to the receiving part of the processing apparatus.

다음, 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 인접하는 아암편(84b) 사이의 인접각도를 좁혀, 수용카세트(82a)로부터 주고받음부재(86)를 탈출시킨다. 다음 도 11(c)에 나타낸 바와 같이, 아암지지대(83)를 상기에 대한 역방향으로 180도 회전시켜, 주고받음부재(86)를 처리장치에 향하도록 하고, 또 인접하는 아암편(84b) 사이의 인접각도를 넓혀, 당해 처리장치의 반입반출구를 통하여 진입한다. 이에 의해, 수용카세트(82a) 내에 소정의 방향으로 조정된 유리기판(G)의 자세를 무너뜨리는 일 없이, 처리장치에 반입하는 것이 가능하다. 처리장치에서 처리한 유리기판(G)을 반출하는 경우에는 상기의 역으로 동작시킨다.Next, as shown in FIG.11 (b), the adjoining angle between the adjacent arm pieces 84b is narrowed, and the sending / receiving member 86 is escaped from the accommodation cassette 82a. Next, as shown in Fig. 11 (c), the arm support 83 is rotated 180 degrees in the opposite direction to the above, so that the receiving member 86 faces the processing apparatus, and between the adjacent arm pieces 84b. The adjoining angle of is widened and enters through the carry-in / out port of the said processing apparatus. Thereby, it is possible to carry in to a processing apparatus, without destroying the attitude | position of the glass substrate G adjusted to the predetermined direction in the accommodation cassette 82a. When carrying out the glass substrate G processed by the processing apparatus, it operates in the reverse direction.

또, 상술한 한쪽의 다관절아암(84)이 처리장치와의 사이에서 유리기판(G)의 주고받음을 행하고 있을 때에 다른쪽의 다관절아암(85)이 수용카세트(82a)에 대하여 진입하고 있으면 유리기판(G)을 연속적으로 처리장치와의 사이에서 반입반출하는 것이 가능하다.In addition, when the above-mentioned one articulated arm 84 is exchanging glass substrate G with the processing apparatus, the other articulated arm 85 enters with respect to the accommodation cassette 82a. If present, it is possible to carry in and out the glass substrate G continuously with a processing apparatus.

덧붙여 설명하면, 반송로(10,11)를 사이에 두고 반대측에 배설되어 있는 처리장치에 진입할 경우에는, 본 실시형태에 있어서는, 대좌부(81)를 180도 회전시킴에 의해 행하는 것이 가능하다.In addition, when entering into the processing apparatus arrange | positioned on the opposite side through the conveyance paths 10 and 11, in this embodiment, it is possible to carry out by rotating the pedestal part 81 180 degrees. .

본 실시형태에 의해, 수용카세트(82a) 내에 스핀척(82b)을 소정 각도로 회전시킴으로써, 주고받음부재(86,87)에 의한 유리기판(G)의 보유·유지자세에 대하여, 장변쥐기 또는 단변쥐기의 어느쪽에 있어서도 조정이 가능하기 때문에, 사양이 다른 여러가지의 처리장치가 병설되어 있는 처리라인에서 사용함에 알맞도록 되어 있다.According to this embodiment, the spin chuck 82b is rotated in the receiving cassette 82a at a predetermined angle, so that the holding and holding posture of the glass substrate G by the communication members 86 and 87 is long. Since adjustment is possible in either side of a single sided mouse, it is suitable for use in the processing line in which various processing apparatuses with different specifications are provided.

또, 상기 주고받음부재(86,87)의 형상은, 2개의 보유·유지편(86a,87a)이 핀셋모양으로 배치된 형상이지만, 도 12에 나타낸 바와 같이, 축부재(88,89)를 사이에 둔 반대측에, 예를들어 3개 이상의 보유·유지편(86b)을 갖추는 형상이어도 좋다. 즉, 주고받음부재(86,87)에 있어, 축부재(88,89)를 사이에 둔 전방부(前方部)와 후방부(後方部)의 형상을 다르도록 하는 것이 가능하다. 이에 의해, 예를들어 도 12(a)와 같이 2개의 보유·유지편(86a) 상에서 유리기판을 보유·유지시켰을 경우에는, 처리장치의 주고받음부가 스핀척일 때에 주고받음을 행하기 쉽고, 반대로 도 12(b)와 같이 3개 이상의 보유·유지편(86b) 상에 유리기판(G)을 보유·유지시켰을 경우에는, 처리장치의 주고받음부가 리프트핀일 경우에 기판의 휘어짐을 경감시킴으로써 주고받음을 행하기 쉽다고 하는 이점을 가진다. 즉, 처리장치의 주고받음부의 형상 및 구조에 대응하여 주고받음이 행하기 쉬운 쪽을 선택하여 유리기판 (G)을 주고받을 수 있다.In addition, although the shape of the said sending and receiving member 86 and 87 is a shape in which the two holding-and-holding pieces 86a and 87a were arrange | positioned in the shape of the tweezers, as shown in FIG. For example, the shape may be provided with three or more holding and holding pieces 86b on the opposite side. That is, it is possible to make the shape of the front part and back part which has the shaft member 88, 89 between the sending and receiving members 86 and 87 different. Thus, for example, when the glass substrates are held and held on two holding and holding pieces 86a as shown in Fig. 12 (a), it is easy to send and receive when the sending and receiving portions of the processing apparatus are spin chucks. In the case where the glass substrate G is held and held on three or more holding and holding pieces 86b as shown in Fig. 12 (b), when the transfer part of the processing apparatus is a lift pin, the transfer is made by reducing the bending of the substrate. This has the advantage of being easy to perform. That is, the glass substrate G can be exchanged by selecting a side which is easy to exchange with and corresponding to the shape and structure of the exchange portion of the processing apparatus.

또, 상기 설명에서는, 수용대(82) 자체는 회전이 가능하도록 설치되어 있지 않다. 이 때문에, 로더·언로더(4)와의 사이에서 유리기판(G)의 주고받음을 행할 때에도, 다관절아암(84,85) 및 주고받음부재(86,87)를 동작시키는 것이 필요로 되지만, 수용대(82) 자체를 회전가능하도록 설치하여 두면, 로더·언로더(4)와의 주고받음을 행할 때에 이 수용대(82)를 소정 각도로 회전시켜, 수용카세트(82a)의 입구를 로더·언로더(4)에 대치시키면, 다관절아암(84,85)등을 이동시키는 일 없이 로더·언로더(4)의 동작만으로 수용카세트(82a) 내의 유리기판을 수용할 수 있다.In addition, in the said description, the receiving stand 82 itself is not provided so that rotation is possible. Therefore, even when the glass substrate G is exchanged between the loader and the unloader 4, it is necessary to operate the articulated arms 84 and 85 and the exchange members 86 and 87. When the storage stand 82 itself is rotatably installed, the storage stand 82 is rotated at a predetermined angle when exchanging with the loader unloader 4 so that the inlet of the storage cassette 82a is rotated. When the unloader 4 is replaced, the glass substrate in the accommodation cassette 82a can be accommodated only by the operation of the loader unloader 4 without moving the articulated arms 84, 85 and the like.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 있어서의 기판반송장치에서는, 기판의 반입반출을 행하는 처리장치 부근에 도달하여 정지한 때에, 대좌부의 다른쪽에 설치되는 아암지지대가 처리장치를 향하고 있지 않을 경우에는, 대좌부가 회전한다. 즉, 각 처리장치는 반송로를 사이에 두고 대향하여 설치되어 있기 때문에, 목적으로 하는 처리장치의 반입반출구에 아암지지대가 향하고 있지 않을 경우에는, 대좌부가 약 180도 반전한다. 다음, 수용카세트 내에 수용된 기판의 방향이 목적으로 하는 처리장치의 주고받음방향과 합치하도록 기판의 방향을 조정한다. 다음, 다관절아암을 동작시켜, 주고받음부재가 수용대를 향하게 하여, 주고받음부재에 의해 수용카세트 내의 기판을 보유·유지하면, 다관절아암을 동작시켜 목적으로 하는 당해 처리장치의 반입반출구로부터 소정의 자세를 유지시킨 채로 반입시킨다. 처리종료후에 반출할 때에는, 상기와는 완전히 반대로 동작시킨다. 본 실시형태에 의하면, 기판이 어느쪽의 방향을 향하고 있어도 하나의 주고받음부재에 의해 기판을 보유·유지하는 것이 가능하다.As described above, in the substrate transport apparatus according to the present embodiment, when the arm support provided on the other side of the pedestal does not face the processing apparatus when it reaches and stops in the vicinity of the processing apparatus for carrying in and out of the substrate. , The pedestal rotates. That is, since the respective processing apparatuses are provided to face each other with the conveying path interposed therebetween, when the arm support does not face the carrying-in / out port of the target processing apparatus, the pedestal part is reversed by about 180 degrees. Next, the direction of the substrate is adjusted so that the direction of the substrate accommodated in the accommodation cassette coincides with the direction of exchange of the target processing apparatus. Next, when the articulated arm is operated so that the receiving member faces the receiving table, and the substrate in the receiving cassette is held and held by the receiving member, the articulated arm is operated to the carrying in and out of the target processing apparatus. It is carried in while maintaining a predetermined posture. When carrying out after completion | finish of a process, it operates in reverse to the above. According to this embodiment, even if the board | substrate faces to any direction, it is possible to hold | maintain and hold | maintain a board | substrate by one communication member.

또, 본 실시형태에서는, 아암지지대가 회전이 가능하기 때문에, 주고받음부재로 기판으로 진입할 때에 이 아암지지대를 회전시킴으로써, 다관절아암의 동작을 간단한 것으로 할 수 있다.In addition, in the present embodiment, since the arm support can be rotated, the operation of the articulated arm can be simplified by rotating the arm support when entering the substrate by the transfer member.

또, 본 실시형태에서는 다관절아암과 주고받음부재가 복수의 쌍으로 설치되어 있기 때문에, 한쪽의 주고받음부재가 목적으로 하는 처리장치와의 사이에서 기판의 주고받음을 하고 있을 때에, 다른쪽의 주고받음부재가 수용대에 진입하여 다음에 처리하는 기판을 수취하러 가거나, 처리후의 기판을 수용대에 건네주러 가도록 제어할 수 있다. 따라서, 기판의 연속처리에 적합하다.In addition, in this embodiment, since the articulated arm and the communication member are provided in plural pairs, when one of the communication member is exchanging the substrate between the target processing apparatus, It is possible to control the transfer member to enter the receiving table and to receive the substrate to be processed next, or to pass the processed substrate to the receiving table. Therefore, it is suitable for continuous processing of a substrate.

다음, 도 13 및 도 14를 사용하여, 본 발명의 제 4의 실시형태에 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 13 및 도 14는 기판반송장치의 평면도이다. 제 1 실시형태의 기판반송장치(40)와 거의 동일한 구조를 갖추고, 기판의 위치결정방법이 다른 점에서만 상이하기 때문에, 이하 제 1 실시형태와 동일한 구조 및 동작에 관하여는 설명을 일부 생략한다. 또, 기판반송장치(40)와 동일한 구조에 관하여는 동일한 부호를 사용하고 있다.Next, the board | substrate carrying apparatus which concerns on 4th Embodiment of this invention is demonstrated using FIG. 13 and FIG. 13 and 14 are plan views of the substrate transport apparatus. Since it has a structure substantially the same as the board | substrate conveyance apparatus 40 of 1st Embodiment, and differs only in the point which the positioning method of a board | substrate differs, description is abbreviate | omitted about the structure and operation | movement similar to 1st Embodiment below. In addition, about the same structure as the board | substrate conveyance apparatus 40, the same code | symbol is used.

본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(140)는 수평으로 지지된 기대부용 보유·유지대(50)를 갖추고 있다. 이 기대부용 보유·유지대(50)의 표면에는 X방향을 따라 가이드홈(51)이 형성되어 있고, 이 가이드홈(51)을 따라 X방향(전후방향)으로 이동이 가능한 기대부(52)가 배설되어 있다.The board | substrate conveying apparatus 140 in this embodiment is equipped with the holding part and holding stand 50 for base parts horizontally supported. A guide groove 51 is formed along the X direction on the surface of the base portion holding / holding base 50, and the base portion 52 which is movable along the guide groove 51 in the X direction (front and rear direction) is provided. Is excreted.

기대부(52) 내부에는, 당해 기대부(52)를 전후로 이동시키기 위한 구동부재(도시않됨)가 배치되어 있음과 동시에, 그 양측으로부터 일단 옆방향으로 뻗친 후 거의 직각방향의 전방으로 뻗쳐, 기대부(52)를 중심으로 한 핀셋형태로 배치된 한쌍의 아암(153,154)이 설치되어 있다. 아암(153,154)은, 각각 제 1의 실시형태와 마찬가지로, 정면으로부터 보아 외측으로 향하여 올라가는 계단형태로 되도록 단차부가 형성되어 있고, 이 단차부를 사이에 둔 상단이 제 1의 보유·유지부(155,156)로 되고, 하단이 제 2의 보유·유지부(157,158)로 된다. 따라서, 본 실시형태에 있어서는, 기대부(52)와, 각 보유·유지부(155∼158)를 포함하는 아암(153,154)에 의해 보유·유지부재를 구성한다.In the base part 52, while the drive member (not shown) for moving the base part 52 back and forth is arrange | positioned, it extends to the front of a substantially perpendicular direction after extending to the side direction from both sides once, and A pair of arms 153 and 154 arranged in the form of tweezers around the unit 52 is provided. As in the first embodiment, the arms 153 and 154 have stepped portions so as to have a stepped shape that rises outward from the front, and the upper ends having the stepped portions between the first holding and holding portions 155 and 156 respectively. The lower ends are the second holding and holding portions 157 and 158. Therefore, in this embodiment, the holding | maintenance member is comprised by the base part 52 and the arm 153,154 containing each holding / holding part 155-158.

제 1의 보유·유지부(155,156) 외측에는, 각각 대향하는 한쌍의 측벽이 세워져 있고, 당해 측벽사이의 간격은, 보유·유지대상인 유리기판(G) 장변의 길이보다 길고 제 1의 실시형태에 있어서의 측벽사이(55a,56a)보다도 긴 간격으로 되어 있다. 그리고, 도 13에 나타낸 바와 같이, 이 측벽들의 대향방향으로 유리기판(G)의 장변방향을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 장변쥐기인 경우에 대처할 수 있다.On the outside of the first holding and holding portions 155 and 156, a pair of side walls facing each other are erected, and the interval between the side walls is longer than the length of the long side of the glass substrate G to be held and held, and according to the first embodiment. The interval is longer than that between the side walls 55a and 56a. And as shown in FIG. 13, by holding and holding | maintaining the long side direction of the glass substrate G in the opposing direction of these side walls, it can cope with the case where a processing apparatus is what is called a long side.

한편, 제 2의 보유·유지부(157,158)에 대향하는 측벽사이의 간격은, 유리기판(G)의 단변길이보다 길고 제 1 실시형태에 있어서의 측벽사이(53a,54a)보다 긴 간격으로 되어 있고, 또 장변의 길이보다 짧은 간격을 되어 있다. 그리고, 도 14에 나타낸 바와 같이, 이 단차부들의 대향방향으로 유리기판(G)의 단변을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 단변쥐기일 경우에 대처할 수 있다.On the other hand, the interval between the side walls facing the second holding and holding portions 157 and 158 is longer than the short side length of the glass substrate G and is longer than the side walls 53a and 54a in the first embodiment. In addition, the interval is shorter than the length of the long side. As shown in Fig. 14, by holding and holding the short side of the glass substrate G in the opposite direction of the stepped portions, it is possible to cope with the case where the processing apparatus is a so-called single lap.

제 1의 보유·유지부(155)의 기대부(52) 근처의 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(159)이 하방으로부터 상방으로 돌출되도록 설치되어 있고, 또 고정핀(170)이 돌출되어 설치되어 있다.An alignment pin 159 that is movable in the X direction is provided at a portion near the base portion 52 of the first holding / holding portion 155 so as to protrude upward from below, and the fixing pin 170 is It protrudes and is installed.

제 1의 보유·유지부(155)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(155,156)에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 얼라인먼트린(159)에 대향시킨 고정핀(162)이 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부 (155)의 선단 근처의 부분에는, 고정핀(168)이 설치되어 있다.When the glass substrate G is held and held in the first holding and holding portions 155 and 156, the portion near the distal end of the first holding and holding portion 155 is aligned so as to sandwich the substrate along the X direction. A fixing pin 162 facing the 159 is provided. Moreover, the fixing pin 168 is provided in the part near the front-end | tip of the 1st holding / holding part 155. As shown in FIG.

제 1의 보유·유지부(156)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(155,156)에 보유·유지한 때에, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 고정핀(170)에 대치시킨 Y방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(169)이 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(156)에 있어서 기대부(52) 근처의 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(160)이 설치되어 있다.In the portion near the base 52 in the first holding / holding portion 156, the glass substrate G is held along the Y direction when the glass substrate G is held and held in the first holding / holding portions 155,156. An alignment pin 169 that is movable in the Y direction, which is opposed to the fixing pin 170, is provided to sandwich the substrate. Moreover, the alignment pin 160 which can move to an X direction is provided in the part near the base part 52 in the 1st holding / holding part 156. As shown in FIG.

제 1 보유·유지부(156)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 얼라인먼트핀 (160)에 대치시킨 고정핀(161)이 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(156)의 선단 근처의 부분에는, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 고정핀(168)에 대치시킨 얼라인먼트핀(167)이 설치되어 있다.At the portion near the distal end of the first holding / holding portion 156, when the glass substrate G is held and held in the first holding / holding portion, the alignment pin 160 is inserted to fit the substrate along the X direction. The fixing pin 161 which is replaced is provided. Moreover, the alignment pin 167 which replaced the fixing pin 168 so that the board | substrate may be fitted along the Y direction is provided in the part near the front-end | tip of the 1st holding / holding part 156. As shown in FIG.

유리기판(G)은, 제 1의 보유·유지부(155,156) 상에 보유·유지된 경우에, 얼라인먼트핀(159,160)의 X방향을 따른 동작에 의해, 고정핀(162,161)에 맞닿을 때까지 눌리어져, 유리기판(G)에 있어서의 X방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다. 또, 얼라인먼트핀(169,167)의 Y방향을 따른 동작에 의해, 고정핀(170,168)이 맞닿을 때까지 눌리어져, 유리기판(G)에 있어서의 Y방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다.When the glass substrate G is held and held on the first holding and holding portions 155 and 156, the glass substrate G is brought into contact with the fixing pins 162 and 161 by an operation along the X direction of the alignment pins 159 and 160. It is pressed, and the position of the X direction in glass substrate G is corrected to a predetermined position. In addition, by the operation along the Y direction of the alignment pins 169 and 167, the fixing pins 170 and 168 are pressed until they abut, and the position of the Y direction on the glass substrate G is corrected to a predetermined position.

마찬가지로, 제 2의 보유·유지부(157)에 있어서의 기대부(52)쪽 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(163)이 하방으로부터 상방으로 돌출되도록 설치되고, 또 고정핀(171)이 돌출되어 설치되어 있다.Similarly, the alignment pin 163 which is movable in the X direction is provided at the base portion 52 side portion of the second holding / holding portion 157 so as to project upward from the lower side, and the fixing pin 171 is provided. ) Is protruded and installed.

제 2의 보유·유지부(157)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 2의 보유·유지부(157,158)에 보유·유지하였을 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 얼라인먼트핀(163)에 대치시킨 고정핀(165)이 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(157)의 선단쪽 부분에는, 고정핀(173)이 설치되어 있다.When the glass substrate G is held and held in the second holding and holding portions 157 and 158 at the portion near the distal end of the second holding and holding portion 157, the alignment pin is fitted so as to sandwich the substrate along the X direction. The fixing pin 165 which is opposed to the 163 is provided. Moreover, the fixing pin 173 is provided in the front-end | tip part of the 2nd holding / holding part 157.

제 2의 보유·유지부(158)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(157,158)에 보유·유지하였을 때에, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 고정핀(171)에 대향한 방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(172)이 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(158)에 있어서의 기대부(52)쪽 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(164)이 설치되어 있다.In the part near the base part 52 in the 2nd holding / holding part 158, when glass substrate G is hold | maintained and hold | maintained in the 1st holding / holding part 157,158, it follows along the Y direction. An alignment pin 172 that is movable in a direction opposite to the fixing pin 171 is provided to sandwich the substrate. Moreover, the alignment pin 164 which can move to an X direction is provided in the base part 52 side part in the 2nd holding / holding part 158. As shown in FIG.

제 2의 보유·유지부(158)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 2의 보유·유지부에 보유·유지하였을 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 얼라인먼트핀(164)에 대치시킨 고정핀(166)이 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(158)의 선단 근처의 부분에는, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 고정핀(173)에 대치된 얼라인먼트핀(174)이 설치되어 있다.When the glass substrate G is held and held in the second holding and holding portion at the portion near the distal end of the second holding and holding portion 158, the alignment pin 164 is inserted into the substrate along the X direction. The fixing pin 166 which is opposed to this is provided. In addition, an alignment pin 174 opposed to the fixing pin 173 is provided at a portion near the distal end of the second holding / holding portion 158 so as to sandwich the substrate along the Y direction.

유리기판(G)은, 제 2의 보유·유지부(157,158) 상에 보유·유지된 경우에, 얼라인먼트핀(163,164)의 X방향을 따른 동작에 의해, 고정핀(165,166)에 맞닿을 때까지 눌리어져, 유리기판(G)에 있어서의 X방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다. 또, 얼라인먼트핀(172,174)의 Y방향을 따른 동작에 의해, 고정핀(171,173)이 맞닿을 때까지 눌리어져, 유리기판(G)에 있어서의 Y방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다.When the glass substrate G is held and held on the second holding and holding portions 157 and 158, the glass substrate G is brought into contact with the fixing pins 165 and 166 by the operation along the X direction of the alignment pins 163 and 164. It is pressed, and the position of the X direction in glass substrate G is corrected to a predetermined position. Moreover, by the operation along the Y direction of the alignment pins 172 and 174, the fixing pins 171 and 173 are pressed until they contact, and the position of the Y direction in the glass substrate G is corrected to a predetermined position.

이상에서 설명한 바와 같이, 기판의 X방향, Y방향의 각 위치결정을, 위치결정수단으로서의 얼라인먼트핀 및 고정핀을 사용하여 행하는 것이 가능하다.As described above, the positioning in the X and Y directions of the substrate can be performed using alignment pins and fixing pins as positioning means.

다음, 도 15∼도 17을 사용하여, 본 발명의 제 5 실시형태와 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 15는 기판반송장치의 평면도이고, 도 16은 위치결정수단으로서의 회전기구의 사시도이고, 도 17은 위치결정시의 로울러의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 본 실시형태에 기판반송장치는, 제 4 실시형태의 기판반송장치(140)와 거의 동일한 구조를 갖추고, 위치결정수단의 구조가 다른점에 있어서만 상이하기 때문에, 이하 제 4의 실시형태와 동일한 구조에 관하여는 설명을 일부 생략한다. 또, 기판반송장치(140)와 동일한 구성에 관하여는 동일한 부호를 사용하고 있다.Next, the board | substrate carrying apparatus which concerns on 5th Embodiment of this invention is demonstrated using FIGS. FIG. 15 is a plan view of the substrate transfer device, FIG. 16 is a perspective view of a rotating mechanism as the positioning means, and FIG. 17 is a view for explaining the operation of the roller at the time of positioning. Since the board | substrate conveying apparatus in this embodiment has a structure substantially the same as the board | substrate conveying apparatus 140 of 4th embodiment, and differs only in the structure of a positioning means, it is the same as that of 4th embodiment below. The description of the structure is partially omitted. In addition, about the same structure as the board | substrate conveying apparatus 140, the same code | symbol is used.

본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(240)에는, 얼라인먼트핀 및 고정핀을 대신하여 회전기구(259∼274)이 설치되어 있다.In the board | substrate conveying apparatus 240 in this embodiment, rotating mechanisms 259-274 are provided instead of the alignment pin and the fixing pin.

회전기구(259∼274)는 각각 동일한 구조를 갖추고 있고, 도 16의 회전기구 (259)는, 기대(275)와, 기대(275)에 설치되어 기대(275)의 길이방향으로 회전이 가능한 로울러(276)에 의해 구성된다. 또, 기대(275)는, 보유·유지부에 고정배치되어 있다.The rotating mechanisms 259 to 274 each have the same structure, and the rotating mechanism 259 of FIG. 16 is provided on the base 275 and the base 275 and is capable of rotating in the longitudinal direction of the base 275. 276 is configured. The base 275 is fixedly arranged in the holding and holding unit.

제 1의 보유·유지부(155)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(259)가 설치되고, 또 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(270)가 설치되어 있다.In the part near the base part 52 in the 1st holding / holding part 155, the rotation mechanism 259 is provided so that the longitudinal direction of the base may follow the X direction, and the longitudinal direction of the base is the Y direction. Rotation mechanism 270 is installed to follow.

제 1의 보유·유지부(155)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(155,156)에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(259)에 대치하는 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록, 회전기구(262)가 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(155)의 선단 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(268)가 설치되어 있다.When the glass substrate G is held and held in the first holding and holding portions 155 and 156 in the portion near the distal end of the first holding and holding portion 155, the rotary mechanism is fitted so as to sandwich the substrate along the X direction. The rotating mechanism 262 is provided so that the longitudinal direction of the base which opposes 259 may follow the X direction. Moreover, the rotation mechanism 268 is provided in the part near the front-end | tip of the 1st holding / holding part 155 so that the longitudinal direction of a base may follow the Y direction.

제 1의 보유·유지부(156)에 있어서 기대부(52) 근처의 부분에는, 유리기판 (G)을 제 1의 보유·유지부(155,156)에 보유·유지한 때에, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(270)에 대치하는 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구 (269)가 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(156)의 기대부(52) 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(260)가 설치되어 있다.In the portion near the base 52 of the first holding / holding portion 156, the glass substrate G is held along the Y direction when the glass substrate G is held and held in the first holding / holding portions 155,156. The rotary mechanism 269 is provided so that the longitudinal direction of the base which opposes the rotary mechanism 270 along the Y direction may be fitted. Moreover, the rotation mechanism 260 is provided in the part near the base part 52 of the 1st holding / holding part 156 so that the longitudinal direction of a base may follow the X direction.

제 1의 보유·유지부(156)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(260)에 대향하는 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(261)가 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(156)의 선단 근처의 부분에는, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(268)에 대치하는 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구 (267)가 설치되어 있다.When the glass substrate G is held and held in the first holding and holding portion at the portion near the distal end of the first holding and holding portion 156, the rotary mechanism 260 is fitted to fit the substrate along the X direction. The rotating mechanism 261 is provided so that the longitudinal direction of the base opposite to the side may follow the X direction. Moreover, the rotation mechanism 267 so that the longitudinal direction of the base which opposes the rotation mechanism 268 so that a board | substrate may be fitted along the Y direction may be in the part near the front-end | tip of the 1st holding / holding part 156 along a Y direction. Is installed.

마찬가지로, 제 2의 보유·유지부(157)의 기대부(52) 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(263)가 설치되어 있다. 또, 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(271)가 설치되어 있다.Similarly, the rotation mechanism 263 is provided in the part near the base part 52 of the 2nd holding | maintenance part 157 so that the longitudinal direction of a base may follow the X direction. Moreover, the rotating mechanism 271 is provided so that the longitudinal direction of a base may follow the Y direction.

제 2의 보유·유지부(157)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 2의 보유·유지부(157,158)에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(263)에 대치하는 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(265)가 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(157)의 선단 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(273)가 설치되어 있다.When the glass substrate G is held and held in the second holding and holding portions 157 and 158 in a portion near the distal end of the second holding and holding portion 157, the rotating mechanism is fitted so as to sandwich the substrate along the X direction. The rotating mechanism 265 is provided so that the longitudinal direction of the base which opposes 263 may follow the X direction. Moreover, the rotation mechanism 273 is provided in the part near the front-end | tip of the 2nd holding / holding part 157 so that the longitudinal direction of a base may follow the Y direction.

제 2의 보유·유지부(158)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(157,158)에 보유·유지한 때에, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(271)에 대치하는 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(272)가 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(158)의 기대부(52) 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(264)가 설치되어 있다.In the part near the base part 52 in the 2nd holding / holding part 158, when glass substrate G is hold | maintained and hold | maintained in the 1st holding / holding part 157,158 along the Y direction. The rotating mechanism 272 is provided so that the longitudinal direction of the base which opposes the rotating mechanism 271 so that a board | substrate may be fitted may follow the Y direction. Moreover, the rotation mechanism 264 is provided in the part near the base part 52 of the 2nd holding / holding part 158 so that the longitudinal direction of a base may follow the X direction.

제 2의 보유·유지부(158)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 2의 보유·유지부에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(264)에 대치하는 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(266)가 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(158)의 선단 근처의 부분에는, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(273)에 대향하는 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구 (274)가 설치되어 있다.When the glass substrate G is held and held in the second holding and holding portion at the portion near the tip of the second holding and holding portion 158, the rotary mechanism 264 is fitted to fit the substrate along the X direction. The rotating mechanism 266 is provided so that the longitudinal direction of the base which opposes the side may follow the X direction. Moreover, the rotation mechanism 274 so that the longitudinal direction of the base which opposes the rotation mechanism 273 along the Y direction may be in the part near the front-end | tip of the 2nd holding / holding part 158 so that a board | substrate may be fitted along the Y direction. Is installed.

대치하는 한쌍의 회전기구의 거리는, 유리기판(G)의 장변 또는 단변과 거의 같은 길이로 되도록 배치된다.The distance of the pair of rotating mechanisms which opposes is arrange | positioned so that it may become substantially the same length as the long side or short side of glass substrate G. As shown in FIG.

유리기판(G)은 제 1의 보유·유지부(155,156) 상에 보유·유지된 경우에, 각 회전기구(259,260,261,262)에 설치된 로울러에 의해, 유리기판(G)에 있어서의 X방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다. 또, 각 회전기구(267,268,269,270)에 설치된 로울러에 의해, 유리기판(G)에 있어서의 Y방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다.When the glass substrate G is held and held on the first holding and holding portions 155 and 156, the rollers provided in the respective rotary mechanisms 259, 260, 261 and 262 make the position in the X direction in the glass substrate G different. It is corrected to a predetermined position. In addition, the rollers provided in the respective rotary mechanisms 267, 268, 269, and 270 correct the position in the Y direction on the glass substrate G to a predetermined position.

유리기판(G)은, 제 2의 보유·유지부(157,158) 상에 보유·유지된 경우에, 각 회전기구(263,264,265,266)에 설치된 로울러에 의해, 유리기판(G)에 있어서의 X방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다. 또, 각 회전기구(271,272,273,274)에 설치된 로울러에 의해, 유리기판(G)에 있어서의 Y방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다.When the glass substrate G is held and held on the second holding and holding portions 157 and 158, the rollers provided in the respective rotary mechanisms 263, 264, 265 and 266 are positioned in the X direction in the glass substrate G. Is modified to a predetermined position. In addition, the rollers provided in the respective rotary mechanisms 271, 272, 273, 274 correct the position in the Y direction on the glass substrate G to a predetermined position.

도 17을 사용하여, 로울러를 사용한 기판의 위치결정방법에 관하여 설명한다. 상술한 바와 같이 대치하는 한쌍의 회전기구의 거리는, 유리기판(G)의 장변 또는 단변과 거의 동일한 길이가 되도록 배치되기 때문에, 유리기판(G)이 소정의 위치에 없을 경우에, 로울러 상에 유리기판(G)의 한변이 타고 있는 상태(점선부)로 되어 있다. 이와 같은 상태에 있어서, 로울러가 회전함에 의해 유리기판(G)은 소정의 위치(실선부)에 배치된다.17, the positioning method of the board | substrate using a roller is demonstrated. As described above, the distance between the pair of rotating mechanisms that are opposed to each other is arranged to be substantially the same length as the long side or the short side of the glass substrate G. Therefore, when the glass substrate G is not at a predetermined position, the glass is placed on the roller. It is in the state (dotted line part) in which one side of the board | substrate G is burning. In this state, the glass substrate G is disposed at a predetermined position (solid line portion) by rotating the roller.

이상의 본 실시형태와 같이, 기판의 위치결정수단으로서 로울러를 사용할 수 있다.As in the present embodiment described above, a roller can be used as the positioning means of the substrate.

다음, 도 18 및 도 19를 사용하여, 본 발명의 제 6의 실시형태를 설명한다. 도 18은 기판반송장치의 측면도이고, 도 19는 기판반송장치의 평면도이다. 본 실시형태의 기판반송장치(440)는, 제 1의 실시형태의 기판반송장치(40)와 거의 동일한 구조를 갖추고 있고, 기대부와 보유·유지부를 포함하는 아암에 의해 구성되는 보유·유지부재가 복수로, 여기서는 2개가 설치되어 있는 점에서만 상이하기 때문에, 이하 제 1의 실시형태와 동일한 구조에 대하여는 설명을 생략한다.Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 18 and 19. 18 is a side view of the substrate transport apparatus, and FIG. 19 is a plan view of the substrate transport apparatus. The board | substrate conveying apparatus 440 of this embodiment has the structure substantially the same as the board | substrate conveying apparatus 40 of 1st Embodiment, and is the holding | maintenance member holding by the arm which consists of a base part and a holding | maintenance holding part. Since plural numbers are different only in the point where two are provided here, description is abbreviate | omitted about the structure similar to 1st Embodiment below.

본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(440)는, 제 1의 실시형태에 있어서의 기판반송장치(40)의 보유·유지부재의 상부에 또 보유·유지부재가 배치되어 있다. 이 보유·유지부재는, 기대부(451,452)와 각 보유·유지부(455∼458)를 포함하는 아암(453,454)에 의해 구성된다.As for the board | substrate conveying apparatus 440 in this embodiment, the holding | maintenance member is further arrange | positioned at the upper part of the holding | maintenance member of the board | substrate conveying apparatus 40 in 1st Embodiment. The holding and holding members are constituted by arms 453 and 454 including base portions 451 and 452 and respective holding and holding portions 455 to 458.

이 기대부용 보유·유지대(50)의 표면에는 X방향을 따라 가이드홈(447,448)이 형성되어 있고, 각 가이드홈(447,448)을 따라 X방향(전후방향)으로 이동이 가능한 기대부(451,452)가 배설되어 있다.Guide grooves 447 and 448 are formed along the X direction on the surface of the base for holding and holding 50 for the base, and bases 451 and 452 which are movable in the X direction (front and rear) along the guide grooves 447 and 448. Is excreted.

기대부(451,452) 내부에는, 각 기대부(451,452)를 전후로 이동시키기 위한 구동부재(도시않됨)가 배설되어 있다. 각 기대부(451,452)는, 각각 지지부재(449, 450)를 매개로 하여 아암(453,454)과 접속되어 있다. 아암(453,454)은, 각각 도 18에 나타낸 바와 같이, 정면으로부터 보다 외측으로 향하여 올라가는 계단형태로 되도록 단차부(453a,454a)가 형성되어 있고, 이 단차부(453a,454a)를 사이에 둔 상단이 제 1의 보유·유지부(455,456)로 되고, 하단이 제 2의 보유·유지부(457,458)로 된다.Inside the base parts 451 and 452, driving members (not shown) for moving the base parts 451 and 452 back and forth are disposed. Each of the base parts 451 and 452 is connected to the arms 453 and 454 via the supporting members 449 and 450, respectively. As shown in Fig. 18, the arms 453 and 454 are formed with stepped portions 453a and 454a so as to have a step shape that rises from the front to the outside, and the upper ends with the stepped portions 453a and 454a interposed therebetween. The first holding and holding portions 455 and 456 are provided, and the lower ends are the second holding and holding portions 457 and 458. As shown in FIG.

제 1의 보유·유지부(455,456) 외측에는, 각각 대향하는 한쌍의 측벽(455a, 456a)이 세워져 있고, 당해 측벽(455a,456a) 사이의 간격은, 보유·유지대상인 유리기판(G) 장변의 길이보다 약간 긴 간격을 갖추고 있다. 따라서, 이 측벽(455a, 456a)들의 대향방향으로 유리기판(G)의 장변방향을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 장변쥐기인 경우에 대처할 수 있다.A pair of sidewalls 455a and 456a facing each other is formed outside the first holding / holding portions 455 and 456, and the interval between the sidewalls 455a and 456a is the long side of the glass substrate G to be held and held. It has a gap slightly longer than its length. Therefore, by holding and holding the long side direction of the glass substrate G in the opposite direction of these side walls 455a and 456a, it can cope with the case where a processing apparatus is what is called a long side grip.

한편, 제 2의 보유·유지부(457,458)에 대향하는 측벽{단차부(453a,454a)에 상당함} 간의 간격은, 유리기판(G)의 단변길이보다 약간 길고 장변의 길이보다 짧은 간격으로 되어 있다. 따라서, 이 단차부(453a,454a)들의 대향방향으로 유리기판 (G)의 단변을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 단변쥐기일 경우에 대처할 수 있다.On the other hand, the interval between the side walls (corresponding to the step portions 453a and 454a) facing the second holding and holding portions 457 and 458 is slightly longer than the short side length of the glass substrate G and is shorter than the length of the long side. It is. Therefore, by holding and holding the short side of the glass substrate G in the opposite direction of these stepped portions 453a and 454a, it is possible to cope with the case where the processing apparatus is a so-called single lap.

제 1의 보유·유지부(455,456)의 기대부(452,451) 근처의 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트(459,460)가 각각 하방으로부터 상방으로 돌출되도록 있다. 또, 당해 제 1의 보유·유지부(455,456)의 선단측 부분이고 이 얼라인먼트핀 (459,460)에 대치하는 위치에도, 고정핀(461,462)가 돌출되어 형성되어 있다. 유리기판(G)이 제 1의 보유·유지부(455,456) 상에 보유·유지된 경우에, 얼라인먼트핀 (459,460)이 X방향을 따라 움직임으로써, 유리기판(G)의 전단위치가 가지런히 된다.Alignments 459 and 460 movable in the X direction protrude from the lower side to portions near the bases 452 and 451 of the first holding and holding units 455 and 456, respectively. Moreover, the fixing pins 461 and 462 protrude and are formed also in the position which is the front end side part of the said 1st holding / holding part 455,456 and opposes this alignment pin 459,460. When the glass substrate G is held and held on the first holding and holding portions 455 and 456, the alignment pins 459 and 460 move along the X direction, whereby the shear position of the glass substrate G is aligned. .

마찬가지로, 제 2의 보유·유지부(457,458)에 있어서의 기대부(452,451) 근처의 부분에도, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(463,464)이 상방으로 돌출되도록 설치되어 있고, 제 2의 보유·유지부(457,458) 선단 근처의 부분이고 이 얼라인먼트핀(463,464)에 대치하는 위치에는, 고정핀(465,466)이 돌출형성되어 있다. 따라서 유리기판(G)이 제 2의 보유·유지부(457,458) 상에 재치되어 있는 경우에는, 이 얼라인먼트핀(463,464)이 X방향을 따라 전후로 움직여, 유리기판(G)의 전단위치가 가지런히 된다.Similarly, the alignment pins 463 and 464 that can move in the X direction are also provided at portions near the bases 452 and 451 in the second holding and holding portions 457 and 458 so as to protrude upward. The fixing pins 465 and 466 protrude from the positions near the distal ends of the holding portions 457 and 458 and oppose the alignment pins 463 and 464. Therefore, when the glass substrate G is placed on the second holding and holding portions 457 and 458, the alignment pins 463 and 464 move back and forth along the X direction, so that the shear position of the glass substrate G is aligned. do.

또, 제 1의 보유·유지부(455,456)와 제 2의 보유·유지부(457,458)를 각각 형성하고 있는 아암(453,454)은, Y방향으로 대향거리가 커지거나 줄어들도록 기대부(451,452)에 설치되어 있다. 따라서, 제 1의 보유·유지부(455,456) 또는 제 2의 보유·유지부(457,458)에 보유·유지된 유리기판(G)은, 아암(453,454) 자체의 대향거리의 확장 또는 축소동작에 의해 Y방향을 따라 옆방향으로 위치가 가지런히 되어진다.In addition, the arms 453 and 454 which form the first holding and holding portions 455 and 456 and the second holding and holding portions 457 and 458 respectively, are provided on the base portions 451 and 452 so that the facing distance increases or decreases in the Y direction. It is installed. Therefore, the glass substrate G held and held by the first holding and holding portions 455 and 456 or the second holding and holding portions 457 and 458 is extended or contracted by the opposing distances of the arms 453 and 454 itself. The position is aligned laterally along the Y direction.

덧붙여 설명하면, 2개의 보유·유지부재는, 승강부재(48)를 공유하고 있다.Incidentally, the two holding and holding members share the lifting member 48.

이상에서 설명한 본 실시형태와 같이 보유·유지부재를 복수로 배치함으로써, 처리장치에 대하여 유리기판(G)을 반입하는 보유·유지부재와, 처리장치에서 처리된 유리기판(G)을 수취하는 보유·유지부재를 따로따로 하는 것이 가능하여, 스루풋(throughput)을 향상시킬 수 있다.By arranging a plurality of holding and holding members as in the present embodiment described above, the holding and holding member carrying the glass substrate G to the processing apparatus and the holding and receiving glass substrate G processed by the processing apparatus. The holding member can be separately provided, thereby improving the throughput.

다음, 도 20을 사용하여, 본 발명의 제 7의 실시형태에 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 20은 기판반송장치의 제어부를 설명하기 위한 도면이다. 본 실시형태는, 유리기판(G)의 회전 타이밍을 제어하는 기구를 더 부가시킨 구성으로 되어 있고, 여러 가지 기판반송장치에 적용이 가능하다.Next, the board | substrate carrying apparatus which concerns on 7th Embodiment of this invention is demonstrated using FIG. 20 is a view for explaining a control unit of the substrate transport apparatus. This embodiment has the structure which added the mechanism which controls the rotation timing of glass substrate G further, and is applicable to various board | substrate conveying apparatus.

제어부는, 반송의 순서, 각 처리장치로 반입할 때에 유리기판(G)의 회전이 필요한가 그렇지 않은가, 각 처리장치간의 반송시간, 유리기판(G)의 회전시간, 각 처리장치에 있어서의 처리시간등의 정보가 미리 입력되어 있다.The controller controls the conveyance order, whether the rotation of the glass substrate G is required when carrying it into each processing apparatus, the conveying time between the processing apparatuses, the rotation time of the glass substrate G, and the processing time in each processing apparatus. Information such as this is input in advance.

제어부에서는, 기판반송장치가 유리기판(G)을 수취하면, 다음에 반송되는 처리장치로의 유리기판(G)의 반입에 있어서, 유리기판을 회전하여 방향을 바꿀 필요가 있는가 그렇지 않은가가 먼저 판단된다.In the control section, when the substrate transfer device receives the glass substrate G, it is first determined whether or not the glass substrate G needs to be rotated and the direction changed in bringing the glass substrate G into the processing apparatus to be conveyed next. do.

유리기판(G)의 회전이 필요가 없을 경우(NO의 경우), 기판반송장치는 유리기판(G)을 회전시키는 일 없이 유리기판(G)을 반송한다.When the rotation of the glass substrate G is not necessary (in the case of NO), the substrate transfer device conveys the glass substrate G without rotating the glass substrate G.

한편, 여기서 유리기판(G)의 회전이 필요한 경우(YES의 경우), 다음에 유리기판(G)이 반입되는 처리장치 내에서 먼저 처리되고 있는 유리기판(G)의 남은 처리시간(그림중, 남은 시간)과, 다음의 처리장치까지의 반송시간과 회전에 필요한 시간의 합이 제어부에서 비교된다. 그리고, 반송시간과 회전시간의 합이 남은 시간보다도 길다고 판단(NO)되면, 제어부는 반송중에 유리기판(G)을 회전시키도록 지시하여, 유리기판(G)은 이동중에 회전하게 된다. 이 때문에, 유리기판(G)은 다음의 처리장치 내로 순조롭게 반입되게 되어, 유리기판(G)의 반송후에 회전하는 경우와 비교하여, 회전시간만큼 전체적으로 처리시간을 짧게 할 수 있기 때문에 스루풋을 향상시킬 수 있다. 한편, 반송시간과 회전시간의 합이 남은 시간보다도 짧다고 판단 (YES의 경우)되면, 제어부는 반송후에 유리기판(G)을 회전시키도록 지시하여, 유리기판(G)은 이동후에 회전되게 된다. 이 경우에, 이동후에 유리기판(G)을 회전시켜도 남은 시간이 충분히 있기 때문에 스루풋에 영향이 없다.On the other hand, if the rotation of the glass substrate G is necessary here (YES), the remaining processing time of the glass substrate G being processed first in the processing apparatus to which the glass substrate G is carried next (in the figure, The remaining time) and the sum of the transfer time to the next processing apparatus and the time required for rotation are compared in the control unit. If it is determined that the sum of the conveying time and the rotation time is longer than the remaining time (NO), the control unit instructs the glass substrate G to rotate during conveyance, and the glass substrate G rotates during movement. Therefore, the glass substrate G is smoothly brought into the following processing apparatus, and the processing time can be shortened as much as the rotation time as compared with the case where the glass substrate G is rotated after conveyance of the glass substrate G, thereby improving throughput. Can be. On the other hand, if it is determined that the sum of the conveying time and the rotation time is shorter than the remaining time (YES), the control unit instructs to rotate the glass substrate G after the conveyance, and the glass substrate G is rotated after the movement. In this case, even if the glass substrate G is rotated after the movement, there is enough time remaining so that the throughput is not affected.

이상과 같이, 본 실시형태에 있어서는, 필요에 따라 유리기판(G)의 이동중에 유리기판(G)의 회전을 행하기 때문에, 스루풋을 향상시키는 것이 가능하다.As described above, in the present embodiment, since the glass substrate G is rotated during the movement of the glass substrate G as necessary, the throughput can be improved.

다음, 도 21을 사용하여, 본 발명의 제 8의 실시형태에 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 21은 본 실시형태에 관련된 기판반송장치(580)에 개략 평면도이다. 본 실시형태의 기판반송장치(580)는, 제 3 실시형태의 기판반송장치(80)와 거의 동일한 구조를 갖추고, 수용카세트 내에 수용된 유리기판(G)이 회전할 수 없는 점, 유리기판(G)의 수취방법이 다른 점에서 상이하다. 이하, 제 3 실시형태와 동일한 구조 및 동작에 관하여는 설명을 일부 생략한다. 또, 동일한 구성에 관하여 동일한 부호를 사용하고 있다.Next, the board | substrate conveyance apparatus which concerns on 8th Embodiment of this invention is demonstrated using FIG. 21 is a schematic plan view of the substrate transport apparatus 580 according to the present embodiment. The substrate conveying apparatus 580 of this embodiment has a structure substantially the same as the substrate conveying apparatus 80 of 3rd embodiment, and the glass substrate G which the glass substrate G accommodated in the accommodating cassette cannot rotate, glass substrate G ) Is different in the way of receiving. Hereinafter, some description is abbreviate | omitted about the structure and operation | movement similar to 3rd Embodiment. In addition, the same code | symbol is used about the same structure.

본 실시형태에 있어서는, 수용카세트(582a) 내에 수용되는 유리기판(G)의 방향이 항상 일정하게 수용된다. 수용카세트(582a) 내에는, 유리기판(G)을 흡착하여 고정시키는 스핀척(582b)이 각각 배설되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 수용카세트(82a)에 수용된 유리기판(G)을 꺼낼 때에 있어서, 반송하는 처리장치에 따라 주고받음부재(86)가 유리기판(G)을 꺼내는 방법이 다르다. 즉, 도 21(a)에 나타내는 바와 같이, 유리기판(G)을 처리장치에 대하여 장변측으로부터 반입하는 경우에는, 주고받음부재(86)는 장변측으로부터 유리기판(G)을 수취한다. 한편, 유리기판 (G)을 처리장치에 대하여 단변측으로부터 반입하는 경우에는, 도 21(b)에 나타내는 바와 같이, 주고받음부재(86)는 단변측으로부터 유리기판(G)을 수취한다.In this embodiment, the direction of the glass substrate G accommodated in the accommodation cassette 582a is always kept constant. In the receiving cassette 582a, spin chucks 582b for adsorbing and fixing the glass substrate G are disposed. In this embodiment, when taking out the glass substrate G accommodated in the accommodation cassette 82a, the method of taking out the glass substrate G by the transfer member 86 differs according to the processing apparatus to convey. That is, as shown in Fig. 21A, when the glass substrate G is carried in from the long side side with respect to the processing apparatus, the transfer member 86 receives the glass substrate G from the long side side. On the other hand, when the glass substrate G is carried in from the short side to the processing apparatus, as shown in Fig. 21B, the transfer member 86 receives the glass substrate G from the short side.

이상과 같이, 유리기판(G)에 대하여 주고받음부재가 들어가는 방향에 따라, 유리기판(G)의 방향을 바꿀 수도 있다.As described above, the direction of the glass substrate G may be changed depending on the direction in which the exchange member enters the glass substrate G. As shown in FIG.

다음, 도 22∼도 24를 사용하여, 본 발명의 제 9의 실시형태에 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 22는 도포·현상처리시스템의 사시도이고, 도 1에 있어서 도포·현상처리시스템과 거의 동일한 구조를 갖추고 있고, 제 1의 주고받음부(12)의 구조가 다르다고 하는 점만이 상이하다. 도 23은 본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(680)의 개략 측면도이고, 도 24는 제 1의 주고받음부(670)의 개략 측면도이다. 제 3 실시형태에서는, 기판반송장치(80)로서 동일 대좌부(81)에 수용대 (82)와 아암지지대(83)가 배치되어, 대좌부(81)의 이동에 의해 수용대(82) 및 아암지지대(83)가 이동하는 구성으로 되어 있었지만, 본 실시형태에서는 아암지지대 (83)만이 이동하고, 수용대는 고정배치되어 제 1의 주고받음부(670)에 설치되어 있고, 제 1의 반송장치(25) 및 제 2의 반송장치(26) 사이에서 유리기판(G)의 주고받음에 사용된다. 이하, 상술한 구성에 관하여 동일한 개소(箇所)에는 같은 부호를 사용하고, 동일한 구조 및 동작에 관하여는 설명을 일부 생략한다.Next, the board | substrate conveyance apparatus which concerns on 9th Embodiment of this invention is demonstrated using FIGS. FIG. 22 is a perspective view of the coating and developing treatment system, which has a structure substantially the same as that of the coating and developing treatment system in FIG. 1, and differs only in that the structure of the first receiving part 12 is different. FIG. 23 is a schematic side view of the substrate transfer device 680 according to the present embodiment, and FIG. 24 is a schematic side view of the first transfer part 670. In 3rd Embodiment, as the board | substrate conveying apparatus 80, the receiving stand 82 and the arm support 83 are arrange | positioned at the same base part 81, and the receiving stand 82 and the movement of the base part 81 are moved. Although the arm support 83 was configured to move, in the present embodiment, only the arm support 83 is moved, the receiving stand is fixedly arranged, and is provided in the first transfer part 670 and the first conveying apparatus. It is used for the exchange of the glass substrate G between the 25 and the second conveying device 26. Hereinafter, the same reference numerals are used for the same positions in the above-described configuration, and the description of the same structures and operations is partially omitted.

본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(680)는, 대좌부(681)의 하부에 상기 도포·현상처리시스템(1)의 반송로(10,11) 상에 설치된 레일(36,37)을 따라 이동이 가능한 Y방향 이동체(782)가 설치되어 있다. 이 대좌부(681)는, 또 θ방향으로 수평이동이 가능하도록 설치되어 있다.The substrate conveyance apparatus 680 in this embodiment is along the rails 36 and 37 provided on the conveyance paths 10 and 11 of the said application | coating and developing processing system 1 in the lower part of the pedestal part 681. The Y-direction movable body 782 which is movable is provided. The pedestal portion 681 is further provided so that horizontal movement is possible in the θ direction.

대좌부(681)에는, 소정의 높이로 아암지지대(683)에 설치되어 있다. 이 아암지지대(683)는, 본 실시형태에서는 회전이 가능하도록 설치되어 있고, 또 그 상면에는 제 3의 실시형태와 마찬가지로 다관절아암(84)의 기부가 상호로 간격을 두고 회동이 자유롭도록 설치되어 있다. 다관절아암(84)은, 축부재(84a)를 매개로 하여 상호 회동이 자유롭도록 연결된 복수의 아암편(84b)에 의해 구성되고, 그 중에서 제일 선단측에 가깝게 배설된 아암편(84b)에, 주고받음부재(86)가 축부재를 매개로 하여 당해 선단측의 아암편(84b)에 대하여 회동이 자유롭도록 연결되어 있다.The pedestal portion 681 is provided on the arm support 683 at a predetermined height. This arm support 683 is provided so that rotation is possible in this embodiment, and it is provided in the upper surface so that the base of the articulated arm 84 can rotate freely at intervals mutually similarly to 3rd embodiment. It is. The articulated arm 84 is constituted by a plurality of arm pieces 84b connected to each other so as to be freely rotated via the shaft member 84a, and among the arm pieces 84b disposed closest to the front end side thereof. , The receiving member 86 is connected to the arm piece 84b on the tip side freely by the shaft member.

주고받음부(670)는, 유리기판(G)을 수용하는 수용대(682)가 제 1의 반송장치 (25) 및 제 2의 반송장치(26)에 진입될 수 있도록 설치되어 있다. 이 수용대(682)는, 소정 높이의 위치에 복수단의 수용카세트(682a)가 설치되어 있고, 각 수용카세트(682a) 내에는 회전이 가능하도록 배설된 스핀척(682b)이 각각 배설되어, 유리기판(G)의 주고받음시에 유리기판의 방향이 적절하게 되도록 회전이 가능하도록 되어 있다.The exchange part 670 is provided so that the receiving stand 682 which accommodates the glass substrate G can enter the first conveying apparatus 25 and the second conveying apparatus 26. The storage rack 682 is provided with a plurality of storage cassettes 682a at positions having a predetermined height, and each of the storage cassettes 682a is provided with spin chucks 682b disposed so as to be rotatable. When the glass substrate G is exchanged, the glass substrate G can be rotated so that the orientation of the glass substrate is appropriate.

본 실시형태에 의하면, 제 1의 반송장치(25) 및 제 2의 반송장치(26) 사이에서 유리기판(G)의 주고받음을 행할 경우, 유리기판(G)은 수용대(682)의 수용카세트 (682a) 내의 스핀척(682b) 상에 보유·유지된다. 또, 반송로(10)를 따라 배치된 처리장치간의 반송시에 유리기판(G)의 회전이 필요한 경우에, 유리기판(G)은 수용대 (682)의 수용카세트(682a) 내의 스핀척(682b) 상에 보유·유지된다. 그리고, 주고받음부(670)에서, 스핀척(682b) 상에 유리기판(G)을 보유·유지시켜, 필요에 따라 유리기판(G)을 소정 각도로 회전시킨다.According to the present embodiment, when the glass substrate G is exchanged between the first conveying apparatus 25 and the second conveying apparatus 26, the glass substrate G accommodates the container 682. It is held and held on the spin chuck 682b in the cassette 682a. In addition, when rotation of the glass substrate G is required at the time of conveyance between the processing apparatuses arranged along the conveyance path 10, the glass substrate G is a spin chuck in the receiving cassette 682a of the receiving table 682. 682b) is held and retained. Then, in the exchange section 670, the glass substrate G is held and held on the spin chuck 682b, and the glass substrate G is rotated at a predetermined angle as necessary.

이상의 본 실시형태와 같이, 유리기판(G)의 주고받음부에 유리기판(G)의 회전기구를 덧붙인 구성으로 하여도 좋고, 이와 같은 구성으로 함으로써, 반송로에 필요한 면적을 작게 할 수 있어 시스템 전체를 소형화할 수 있다.As described above, the configuration in which the rotation mechanism of the glass substrate G may be added to the exchange part of the glass substrate G may be reduced. By such a configuration, the area required for the conveying path can be reduced. The whole can be miniaturized.

다음, 도 25, 도 26을 사용하여, 본 발명의 제 10의 실시형태에 관련된 처리장치에 관하여 설명한다. 도 25는 처리장치의 단면도이고, 도 26은 평면도이다. 본 실시형태는, 스핀 코우팅법이 사용되는 처리장치에 유리기판의 방향을 원하는 위치에 설정하는 회전기구를 설치하고 있는 것을 특징으로 한다.Next, the processing apparatus which concerns on 10th Embodiment of this invention is demonstrated using FIG. 25, FIG. 25 is a cross-sectional view of the processing apparatus, and FIG. 26 is a plan view. This embodiment is characterized in that a rotating mechanism for setting the direction of the glass substrate at a desired position is provided in a processing apparatus in which the spin coating method is used.

이와 같은 처리장치는, 예를들어 도포·현상처리시스템에 있어서의 세정장치 (16)에 적용할 수 있고, 스핀 코우팅법을 사용한 처리장치로부터 다음 처리장치 내에 반송할 때에, 유리기판의 방향을 변경할 필요가 있는 경우에 사용할 수 있다. 이에 의해, 예를들어 상술한 각 실시형태에서 설명한 기판반송장치에 있어서의 유리기판(G)의 회전동작을 생략할 수 있다.Such a treatment apparatus can be applied to, for example, the washing apparatus 16 in a coating and developing treatment system, and changes the orientation of the glass substrate when conveying the treatment apparatus using the spin coating method into the next treatment apparatus. Can be used when necessary. Thereby, for example, the rotational operation of the glass substrate G in the substrate transport apparatus described in each of the above-described embodiments can be omitted.

이하, 세정장치(16)에 적용시킨 예를, 도면을 이용하여 설명한다.Hereinafter, the example applied to the washing | cleaning apparatus 16 is demonstrated using drawing.

세정장치(16)의 중앙부에는 고리형상의 컵(CP)이 배설되고, 컵(CP) 내부에는 스핀척(752)이 배설되어 있다. 스핀척(752)은 진공흡착에 의해 유리기판(G)을 고정시켜 보유·유지한 상태로 구동모터(754)에 의해 회전구동된다. 구동모터(754)는, 유니트 바닥판(750)에 설치된 개구(750a)에 승강이동이 가능하도록 배치되어, 예를들어 알루미늄에 의해 구성되는 캡 형상의 플랜지부재(758)를 매개로 하여, 예를들어 에어실린더에 의해 구성되는 승강구동수단(760) 및 승강가이드수단(762)에 결합되어 있다. 구동모터(754)는, 제어부(701)에 의해 제어되고 있다. 제어부(701)에는, 세정장치(16) 내에 반입될 때의 기판반입방향 및 다음의 처리장치 내로의 기판반입방향의 정보가 미리 입력되어 있다. 그리고, 이들 정보에 따라, 회전 후, 다음의 처리장치 내로의 기판의 반입방향으로 되도록, 유리기판(G)이 정지하도록 제어부(701)에 의해 기판의 회전이 제어되고 있다. 또, 세정장치(16)에는 개구부(DR)가 설치되어 있고, 이 개구부(DR)를 매개로 하여 기판보유·유지부(748) 상에 보유·유지된 유리기판(G)의 반입반출이 행하여진다.An annular cup CP is disposed in the central portion of the cleaning device 16, and a spin chuck 752 is disposed inside the cup CP. The spin chuck 752 is rotationally driven by the drive motor 754 in a state where the glass substrate G is held and held by vacuum suction. The drive motor 754 is arranged to be movable up and down in the opening 750a provided in the unit bottom plate 750, for example, via a cap-shaped flange member 758 made of aluminum, for example. For example, it is coupled to the lifting driving means 760 and the lifting guide means 762 constituted by an air cylinder. The drive motor 754 is controlled by the control unit 701. The control part 701 has previously inputted the information of the board | substrate loading direction at the time of carrying in in the washing | cleaning apparatus 16, and the board | substrate loading direction into the next processing apparatus. In accordance with these information, the rotation of the substrate is controlled by the control unit 701 so that the glass substrate G stops so as to be in the carrying-in direction of the substrate into the next processing apparatus after the rotation. In addition, the washing device 16 is provided with an opening DR, and carrying in and out of the glass substrate G held and held on the substrate holding / holding portion 748 via the opening DR. Lose.

유리기판(G)의 표면에, 세정액으로서의 순수(純水)를 공급하기 위한 토출수단으로서의 노즐(700)은, 노즐스캔아암(nozzle scan arm)(792)의 선단부에 부착되어 있다. 노즐(700)은, 유리기판(G)의 장변부보다 긴 직방체(直方體) 형상을 이루고, 길이방향을 따라 복수의 토출구(786)가 설치되어 있다. 그리고, 노즐(700)에 접속된 세정액 공급관(788)으로부터 노즐(700)에 대하여 세정액으로서의 순수가 공급되어, 토출구(786)로부터 순수가 유리기판(G)에 대하여 공급된다. 노즐스캔아암 (792)은, 유니트 바닥판(750) 상에 하나의 방향(Y방향)으로 깔려져 설치된 가이드레일(794) 상에서 수평이동이 가능한 수직지지부재(796)의 상단부에 설치되어 있고, Y방향 구동기구(도시않됨)에 의해 수직지지부재(796)와 일체로 되어 Y방향으로 이동하도록 되어 있다. 그리고, 유리기판(G)을 세정할 때에는, 유리기판(G)을 회전시키며, 세정액을 토출하면서 노즐(700)을 Y방향으로 이동시킨다.The nozzle 700 as a discharge means for supplying pure water as a cleaning liquid to the surface of the glass substrate G is attached to the tip end of the nozzle scan arm 792. The nozzle 700 has a rectangular parallelepiped shape longer than the long side portion of the glass substrate G, and a plurality of discharge ports 786 are provided along the longitudinal direction. Pure water as the cleaning liquid is supplied to the nozzle 700 from the cleaning liquid supply pipe 788 connected to the nozzle 700, and the pure water is supplied to the glass substrate G from the discharge port 786. The nozzle scan arm 792 is provided on the upper end of the vertical support member 796 that can be horizontally moved on the guide rail 794 installed on the unit bottom plate 750 in one direction (Y direction). It is integrated with the vertical support member 796 by the Y direction drive mechanism (not shown), and is moved in the Y direction. When the glass substrate G is cleaned, the glass substrate G is rotated to move the nozzle 700 in the Y direction while discharging the cleaning liquid.

이상과 같이, 스핀 코우팅법을 사용한 처리장치에, 회전후에 소정의 위치로 유리기판이 위치되도록 기구를 설치함으로써, 상술한 각 실시형태에서 설명한 기판반송장치에 있어서의 유리기판(G)의 회전동작을 생략시킬 수 있어, 스루풋이 향상한다.As described above, in the processing apparatus using the spin coating method, a mechanism is provided so that the glass substrate is positioned at a predetermined position after rotation, thereby rotating the glass substrate G in the substrate transfer apparatus described in each of the above-described embodiments. Can be omitted, thereby improving throughput.

이상의 각 실시형태에 있어서, CVD, 앳셔(asher), 엣쳐(etcher)등이 혼재되어 있고 각각에 반입반출되는 기판의 처리자세가 상이한 라인에 있어서도 적용이 가능하고, 반입반출되는 기판의 처리자세가 다른 라인에 있어서도 유효하다.In each of the above embodiments, CVD, an asher, an etcher, etc. are mixed, and the process attitude of the board | substrate carried in and out of each is applicable, and the process attitude of the board | substrate carried in and out is It is also valid for other lines.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 기판반송장치 또는 처리장치에 기판의 방향을 조정하는 수단을 설치함으로써, 처리라인 상에 이른바 장변주기의 처리장치 및 단변쥐기의 처리장치가 혼재하여 배치되어 있어도, 처리장치 간의 기판의 주고받음을 확실하게 행할 수 있다.As described above, according to the present invention, by providing means for adjusting the direction of the substrate in the substrate transport apparatus or the processing apparatus, the so-called long-sided processing apparatus and the single-sided processing apparatus are arranged in a mixed manner. Even if it exists, the transfer of the board | substrate between processing apparatuses can be performed reliably.

Claims (17)

처리대상의 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서,A substrate transport apparatus which holds and holds a substrate to be processed and can be moved, and simultaneously carries or unloads the substrate in a predetermined direction with respect to each processing apparatus. 기판의 보유·유지부재와,Holding and holding members of the substrate, 상하로 움직이는 것이 가능함과 동시에, 축심을 중심으로 하여 수평회전이 가능하도록 설치되어, 상기 보유·유지부재보다 상방위치에서 기판을 소정 각도로 회전시켜 소정의 방향으로 조정하고, 하강할 때에, 상기 보유·유지부재에 상기 기판을 소정의 방향으로 보유·유지시키는 기판방향조정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.It is possible to move up and down and to rotate horizontally around the axis, and to rotate the substrate at a predetermined angle from a position above the holding / holding member to adjust in a predetermined direction, and to hold the lowering And a substrate direction adjusting means for holding and holding the substrate in a predetermined direction in a holding member. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보유·유지부재를 복수로 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.A substrate carrying apparatus, comprising a plurality of the holding and holding members. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 조정수단의 축심은, 상기 기판의 대략 중심부에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.And the shaft center of the adjusting means is located approximately at the center of the substrate. 제 1 항 내지 제 3 항중의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 기판은 장방형상을 이루며,The substrate has a rectangular shape, 상기 보유·유지부재가,The holding and holding member, 대향하는 한쌍의 제 1 측벽의 대향방향으로 상기 기판의 장변방향을 맞춘 상태로 상기 기판을 상기 제 1 측벽 사이에서 보유·유지할 수 있는 제 1의 보유·유지부와,A first holding / holding portion capable of holding and holding said substrate between said first sidewalls in a state in which the long side direction of said substrate is aligned in an opposing direction of a pair of opposing first sidewalls; 대향하는 한쌍의 제 2 측벽의 대향방향으로 상기 기판의 단변방향을 맞춘 상태로 상기 기판을 상기 제 2 측벽 사이에서 보유·유지할 수 있는 제 2의 보유·유지부와,A second holding / holding portion capable of holding and holding the substrate between the second sidewalls while keeping the short side direction of the substrate in the opposite direction of a pair of opposite second sidewalls; 상기 제 1 및 제 2의 보유·유지부를 지지함과 동시에, 전후로 움직일 수 있도록 설치된 기대부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.And a base part provided to support the first and second holding and holding parts and to move back and forth. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 1의 보유·유지부재 및 제 2의 보유·유지부는, 각각 장변방향 및 단변방향으로 상기 기판의 위치를 결정하는 위치결정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.And the first holding and holding member and the second holding and holding portion are provided with positioning means for positioning the substrate in the long side direction and the short side direction, respectively. 제 1 항 내지 제 3 항중의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 기판은 장방형상을 이루며,The substrate has a rectangular shape, 상기 보유·유지부재가, 대향하는 측벽사이의 폭이 상기 기판의 장변의 길이에 상당하는 길이를 가지고, 이 측벽들의 대향방향으로 장변방향을 맞춘 상태에서 상기 기판을 보유·유지할 수 있는 넓은 폭을 갖추는 제 1의 보유·유지부와,The holding / holding member has a length corresponding to the length of the long side of the substrate having a width between the opposing side walls, and a wide width capable of holding and holding the substrate in a state in which the long side is aligned in the opposite direction of the side walls. The first holding, maintenance department to prepare, 대향하는 측벽사이의 폭이 상기 기판의 단변의 길이에 상당하는 길이를 가지고, 이 측벽들의 대향방향으로 단변방향을 맞춘 상태에서 상기 기판을 보유·유지할 수 있는, 상기 제 1의 보유·유지부보다 좁은 폭을 갖추는 제 2의 보유·유지부와,The width between the opposing side walls has a length corresponding to the length of the short side of the substrate, and the first holding and holding portion can hold and hold the substrate in a state where the short sides are aligned in the opposite direction of the side walls. Second holding, holding part having narrow width, 상기 제 1 및 제 2의 보유·유지부를 지지함과 동시에, 전후로 움직일 수 있도록 설치된 기대부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.And a base part provided to support the first and second holding and holding parts and to move back and forth. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 1의 보유·유지부는, 단변방향으로 상기 기판의 위치를 결정하는 위치결정수단을 구비하고,The first holding / holding portion includes positioning means for determining the position of the substrate in the short side direction. 상기 제 2의 보유·유지부는, 장변방향으로 상기 기판의 위치를 결정하는 위치결정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.And said second holding and holding portion includes positioning means for positioning the substrate in the long side direction. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,The method according to claim 5 or 6, 상기 위치결정수단은, 상기 기판을 끼우도록 상기 기판의 일변방향을 따라 배치된 상기 일변방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀과 고정된 고정핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.The positioning means is a substrate transport apparatus comprising an alignment pin and a fixed pin which is movable in the one side direction disposed along the one side direction of the substrate to sandwich the substrate. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,The method according to claim 5 or 6, 상기 위치결정수단은, 상기 기판을 끼우도록 상기 기판의 한변방향을 따라 배치된 한쌍의 상기 한변방향으로 회전이 가능한 로울러를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.And the positioning means comprises a pair of rollers rotatable in the one side direction arranged along the one side direction of the substrate to sandwich the substrate. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 기판은 장방형상을 이루며,The substrate has a rectangular shape, 상기 보유·유지부재가, 처리대상 기판의 단변의 길이보다 짧은 간격을 두고 설치된 한쌍의 지지편을 가지고, 각 지지편에 기판을 흡착하여 보유·유지하는 흡착부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.The holding / holding member has a pair of support pieces provided at intervals shorter than the length of the short side of the substrate to be processed, and each support piece has a suction portion for adsorbing and holding and holding the substrate. Device. 처리대상 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서,A substrate transport apparatus which holds and holds a substrate to be processed and can be moved, and simultaneously carries or unloads the substrate in a predetermined direction with respect to each processing apparatus. 회전이 가능하도록 설치된 대좌부와,And the pedestal installed to enable rotation, 상기 대좌부의 한쪽에 설치됨과 동시에, 기판의 수용방향을 변경시킬 수 있는 수용카세트를 갖춘 수용대와,A storage stand provided on one side of the pedestal portion and having a receiving cassette capable of changing the receiving direction of the substrate; 상기 대좌부 상의 한쪽에 설치되는 아암지지대와,An arm support provided on one side of the pedestal, 기부가 당해 아암지지대에 대하여 회동이 가능하도록 지지되는 다관절아암과,Articulated arm supporting the base to be pivotable with respect to the arm support; 당해 다관절아암의 선단측에, 당해 다관절아암에 대하여 회동이 가능하도록 설치된 기판의 주고받음부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.A substrate transfer device comprising a substrate transfer member provided on the distal end side of the articulated arm so as to be rotatable with respect to the articulated arm. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 아암지지대가, 상기 대좌부에 대하여 상대적으로 회전할 수 있도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.And the arm support is provided so as to be able to rotate relative to the pedestal part. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,The method according to claim 11 or 12, 상기 다관절아암과 주고받음부재가 복수의 쌍으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.And a plurality of pairs of the articulated arm and the receiving member are provided in a plurality of pairs. 제 11 항 내지 제 13 항중의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 11 to 13, 상기 주고받음부재의 형상이 전방부와 후방부가 다른 것을 특징으로 하는 기판반송장치.Substrate transport apparatus, characterized in that the shape of the exchange member is different from the front and rear. 제 11 항 내지 제 14 항중의 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 11 to 14, 상기 수용대가 대좌부에 대하여 회전이 가능하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.And the receiving table is provided to be rotatable with respect to the pedestal part. 처리대상 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서,A substrate transport apparatus which holds and holds a substrate to be processed and can be moved, and simultaneously carries or unloads the substrate in a predetermined direction with respect to each processing apparatus. 회전이 가능하도록 설치된 대좌부와,And the pedestal installed to enable rotation, 상기 대좌부의 한쪽에 설치되어, 기판을 수용하는 수용대와,A storage stand provided on one side of the pedestal portion to accommodate a substrate; 상기 대좌부 상의 다른쪽에 설치되는 아암지지대와,An arm support installed on the other side of the pedestal, 기부가 당해 아암지지대에 대하여 회동이 가능하도록 지지되는 다관절아암과,Articulated arm supporting the base to be pivotable with respect to the arm support; 당해 다관절아암의 선단측에, 당해 다관절아암에 대하여 회동이 가능하도록 설치된 기판의 주고받음부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.A substrate transfer device comprising a substrate transfer member provided on the distal end side of the articulated arm so as to be rotatable with respect to the articulated arm. 처리대상의 기판을 보유·유지하는 기판보유·유지부재와,A substrate holding / holding member for holding and holding a substrate to be processed; 상기 기판을 회전시키는 회전수단과,Rotating means for rotating the substrate; 상기 피처리 기판의 표면에 처리액을 공급하는 처리액 공급수단과,Processing liquid supplying means for supplying a processing liquid to a surface of the substrate to be processed; 상기 회전수단에 의해 회전하는 상기 기판이 소정의 위치에 정지하도록 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 처리장치.And a control unit for controlling the substrate rotated by the rotating means to stop at a predetermined position.
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