KR20010018643A - 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치 - Google Patents

수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20010018643A
KR20010018643A KR1019990034681A KR19990034681A KR20010018643A KR 20010018643 A KR20010018643 A KR 20010018643A KR 1019990034681 A KR1019990034681 A KR 1019990034681A KR 19990034681 A KR19990034681 A KR 19990034681A KR 20010018643 A KR20010018643 A KR 20010018643A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
test tray
shaft
cam
test
tray
Prior art date
Application number
KR1019990034681A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100338158B1 (ko
Inventor
김원
Original Assignee
정문술
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 정문술, 미래산업 주식회사 filed Critical 정문술
Priority to KR1019990034681A priority Critical patent/KR100338158B1/ko
Publication of KR20010018643A publication Critical patent/KR20010018643A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100338158B1 publication Critical patent/KR100338158B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치에 관한 것으로, 특히 수직으로 세워진 상태에서 챔버를 순환하는 테스트 트레이 승하강시 캠을 이용하여 동작을 원할하게 하여 파손을 방지하고, 연속적인 작업이 가능하도록 승하강시킬 수 있는 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치에 관한 것이다.
상기 본 발명은 챔버와; 상기 챔버의 상부에 설치되어 테스트 트레이를 승하강 동작시키기 위한 구동 유니트와; 상기 구동 유니트에 의해 테스트 트레이를 상승시키기 위한 테스트 트레이 상승 유니트와; 상기 테스트 트레이 상승 유니트에 의해 상승된 테스트 트레이를 하강시키기 위한 테스트 트레이 하강 유니트로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기한 바와같이 본 발명에서는 테스트 트레이가 파손되지 않도록 안전하게 승하강시킬 수 있으며, 테스트 트레이의 승하강 동작이 빠르게 움직이므로 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

Description

수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치{Test Tray Elevating System of Horizontal Handler}
본 발명은 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치에 관한 것으로, 특히 수직으로 세워진 상태에서 챔버를 순환하는 테스트 트레이 승하강시 캠을 이용하여 동작을 원할하게 하여 파손을 방지하고, 연속적인 작업이 가능하도록 승하강시킬 수 있는 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치에 관한 것이다.
일반적으로 핸들러는 패키지(package)가 완료된 반도체 소자를 출하 전에 테스트하게 되며, 테스트 결과에 따라 등급 별로 분류 적재되고, 테스트된 반도체 소자를 공급하거나 테스트가 완료된 반도체 소자를 분류 적재하기 위해 사용된다.
한편 제조 공정에서 생산 완료된 소자는 수평 또는 수직식 핸들러의 엘리베이터에 의해 순차적으로 이송되고 테스트 트레이에 설치된 다수의 캐리어에 테스트를 위해 순차적으로 적재되어 진다.
테스트 트레이에 순차적으로 적재된 소자는 성능을 테스트하기 위해 일정온도 이상으로 셋팅이 이루어진 히팅챔버에 공급시키고 고온으로 가열시킨 후, 후공정인 테스트 사이트에서 테스트부와 전기적으로 접촉시켜서 소자의 성능을 테스트한다.
위와 같은 공정을 따라 테스트부에서 테스트가 이루어진 소자는 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하고, 그 분류한 소자를 각각의 등급별로 테스트 트레이에 담고 테스터에 의한 에러 유무에 따라 다시 양품과 불량품으로 구분하여 소자 중 양품은 출하하고, 불량품은 폐기시킨다.
이때, 상기 로딩부의 엘리베이터로부터 공급되는 소자는 고객 트레이에 담겨져서 이송되고 트레이 트랜스퍼가 이동하여 고객 트레이를 잡아서 각각의 로딩부에 위치시키게 된다.
한편, 상기 트레이 트랜스퍼에 의해 이동된 고객 트레이에 담겨진 각각의 소자들은 픽커에 의해 흡착되어 히팅챔버에 이동되어 지는데, 그 중간공정에서 소자의 정렬이 이루어진다.
상기 소자를 정렬하기 위해서는 먼저 버퍼에 각각의 소자를 적재한 후, 일정한 셋팅이 이루어진 후에 픽커가 다시 소자를 흡착하여 익스체인져의 얼라이너에 올려놓게 된다. 이때 상기 얼라이너가 소자를 테스트 트레이에 넣게 되면 패키지가 완료된 반도체 소자들은 픽업장치에 의해 테스트 트레이에 장착된다.
반도체 소자가 장착된 테스트 트레이는 수평 상태로 이동되어 입구를 통해 가열챔버로 진입된다. 가열챔버로 진입된 테스트 트레이는 가열챔버의 승강장치에 의해 순차적으로 한 스텝(step)씩 하강된다. 가열챔버의 승강장치에 의해 한 스텝씩 하강되는 과정에서 반도체 소자는 테스트 온도 조건에 맞도록 가열된다. 테스트 온도 조건은 반도체 소자가 제품에 적용되어 정상적인 동작시 반도체 소자에서 발생될 수 있는 온도로 설정되며, 테스트 트레이는 가열챔버의 출구를 통해 배출되는 동안 가열된다.
출구를 통해 배출된 테스트 트레이는 테스트 사이트(test site)로 이송된다. 테스트 사이트로 이송된 테스트 트레이는 테스트 장치에 도달된다. 테스트 장치는 수직으로 하강하여 테스트 트레이를 소정의 힘으로 눌러 테스트 트레이와 전기적으로 접속한다. 이 때, 테스트 트레이는 고정장치에 의해 고정된 상태에서 테스트 장치와 접속된다. 테스트 트레이가 테스트 장치에 접속되어 테스트되고 테스트 장치에서 그 결과를 피드백(feedback) 받아 반도체 소자의 성능을 판별한다.
성능이 판별된 반도체 소자를 장착한 테스트 트레이는 테스트 사이트를 통과해 냉각챔버의 입구로 진입한다. 진입된 테스트 트레이는 냉각챔버의 승강장치에 의해 순차적으로 상승한다. 상승 과정에서 테스트 트레이는 상온으로 냉각된다. 반도체 소자가 상온으로 냉각된 상태에서 테스트 트레이는 출구를 통해 배출되어 픽업장치에 의해 테스트 결과에 따라 등급별로 분류 적재된다.
도 1은 종래의 수평식 핸들러의 구조를 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 단면도이며, 도 3은 일반적인 테스트 트레이의 구성을 나타낸 사시도이다.
64개의 소자가 캐리어 모듈에 각각 로딩된 테스트 트레이(6)를 수평이동하면서 소자의 성능을 테스트하는 수평식 핸들러는 생산 완료된 소자가 담겨진 합성수지재의 고객트레이(1)가 적재되는 적재부(2)와, 상기 적재부(2)에 적재되어 있던 최상측의 고객트레이(1)가 트랜스퍼(3)에 의해 분리되어 안착되는 로딩부(4)와, 상기 로딩부(4)에 얹혀져 있던 고객트레이로부터 픽 앤 플레이스 장치가 소자를 흡착하여 이송되어 옴에 따라 이송된 소자의 위치를 정렬하는 얼라이너(5)과, 상기 고객트레이(1)내에 담겨져 있던 소자를 얼라이너으로 이송시켜 위치를 정렬한 다음, 수평이동하는 테스트 트레이(6)의 캐리어 모듈에 로딩 또는 언로딩하는 로디 픽 및 플레이스장치(7,25)와, 상기 테스트 트레이(6)를 순차적으로 하강시키면서 테스트 트레이(6)에 로딩된 소자를 원하는 테스트온도가 되도록 가열 또는 냉각시키는 제 1챔버(8)와, 상기 제 1챔버(8)내에서 소자가 테스트 조건에 알맞는 온도가 되어 통로(9)를 통해 송출됨에 따라 테스트 트레이에 로딩된 소자를 테스트하는 제 1,2 테스트부(10a,10b)와, 상기 테스트 트레이(6)를 순차적으로 상승시키면서 일정온도조건에서 테스트 완료된 소자를 냉각 또는 가열시키는 제 2챔버(11)와, 상기 제 2챔버(11)에서 빠져 나온 테스트 트레이가 얹혀지는 언로딩부(12)와, 상기 언로딩부(12)에 얹혀진 테스트 트레이로부터 테스트결과에 따라 소자를 분류하여 적재하는 분류적재부(13)로 구성되어 있다.
상기한 바와 같은 구성에 따라 수평식 핸들러에서 소자를 테스트 하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
생산 완료된 소자가 담겨진 고개트레이(1)를 적재부(2)상에 적재하여 놓으면 엘리베이터(28)에 의해 고객트레이가 1스텝씩 상승하게 되므로 로더캣쳐(29)가 하방으로 내려가 최상측에 위치한 고객트레이(1)를 집어 버퍼(30)의 상면에 위치시킨 후, 다음의 고객트레이를 집기 위해 초기상태로 환원된다.
이와 같이 1개의 고객트레이(1)가 로더캣쳐(29)에 의해 버퍼(30)의 상면에 위치하면 트랜스퍼(3)가 상기 고객트레이(1)를 집어 로딩부(4)에 위치시킨다.
상기 로딩부(4)에 소자가 담겨진 고객트레이(1)가 위치되고 나면 로드 픽 및 플레이스장치(7)가 이송되어 와 1열의 소자를 진공으로 흡착한 다음 얼라이너(5)측으로 이송하여 소자의 위치를 테스트 트레이(6)에 장착된 캐리어 모듈의 캐비티와 일치되도록 정렬한다.
상기한 바와 같은 동작으로 소자의 위치가 정렬되고 나면 로드 픽 및 플레이스장치(7)가 얼라이너(5)내에 위치된 소자를 재흡착한 다음 테스트 트레이(6)의 상측으로 이동하여 흡착된 소자를 캐리어 모듈의 캐비티 상면에 얹어 놓는다.
상기 로드 픽 및 플레이스장치(7)의 반복된 동작으로 테스트 트레이(6)의 상면에 테스트하고자 하는 소자가 전부 얹혀직 나면 레일(31)의 상면에 얹혀진 테스트 트레이(6)가 제 1챔버(8)의 상측에 형성된 통로를 통해 제 1챔버(8)의 내부에 수평상태로 인입되어 엘리베이터(19)에 얹혀지게 된다.
상기 제 1챔버(8)엘리베이터(19)에 순차적으로 얹혀지는 테스트 트레이(6)는 하방으로 1스텝씩 이송되면서 테스트에 적합한 온도, 즉 소자가 제품에 적용된 상태에서 동작시 발열되는 온도로 히팅하거나 추운지역에서도 정상적으로 동작 가능한지를 판단하기 위해 냉각시킨 다음 테스트 트레이(6)가 제 1챔버(8)의 하방에 위치된 통로(9)를 통해 제 1테스트부(10a)로 이송되어 오면 테스트 트레이(6)를 하향구동시키는 수직드라이브(20)가 하강하여 테스터 고정장치(미도시됨)에 의해 각 소자의 테스트 신호를 중앙처리장치에 제공하게 되므로 소켓을 통해 결과신호가 출력되고, 이에 따라 테스터(미도시됨)에 의해 소자의 성능이 감지된다.
이때, 상기 제 1테스트부(10a)에 의해 홀수열의 캐리어 모듈(6)에 로딩된 소자만(26)을 테스트하게 된다.
이는 현재까지 출시된 테스터는 1회 테스트가능한 소자의 개수가 32개인데 반해, 도 3에 나타낸 바와 같이 테스트 트레이(6)의 캐리어 모듈(27)에 로딩되는 소자(26)는 64개이므로 상기 테스트 트레이(6)에 로딩된 소자(26)를 1번에 테스트 할 수 없기 때문이다.
상기한 동작으로 캐리어 모듈(27)에 얹혀진 홀수열의 소자(26)를 테스트하고 나면 테스트 트레이(6)는 이송수단에 의해 제 2테스트부(10b)측으로 이동하여 짝수열의 소자를 전술한 바와 같이 테스트하게 된다.
이와 같이 테스트 트레이(6)에 로딩되어 있던 소자(26)의 테스트가 완료되면 테스트 트레이(6)는 제 2챔버(11)의 하방에 형성된 통로(22)를 통해 상기 제 2챔버의 엘리베이터(23)에 얹혀지게 되므로 순차적으로 상승하면서 외부의 대기온도와 거의 동일한 온도로 서서히 냉각 또는 가열된다.
그 후, 상기 테스트 트레이(6)는 제 2챔버(11)의 상방에 형성된 통로(24)를 통해 언로딩부(12)로 이송되므로 언로딩부에 설치된 로드 픽 및 플레이스장치(25)가 캐리어 모듈(27)에 얹혀진 소자(26)를 테스트결과에 따라 분류적재부(13)에 위치된 빈고객트레이(1a)내에 분류하여 담게 된다.
테스트가 완료된 소자(26)가 각각의 캐리어 모듈(27)에서 전부 언로딩되고 나면 빈테스트 트레이는 레일(도시안됨)을 따라 초기상태로 이송되므로 계속해서 소자를 테스트 할 수 있게 된다.
상기한 바와 같이 양산된 반도체 소자를 대량으로 테스트하기 위해서는 테스트 트레이가 사용되며, 테스트 트레이에 테스트하기 위한 반도체 소자가 장착되면, 테스트 트레이는 가열챔버, 테스트 사이트 및 냉각챔버로 순착 이송된다. 이러한 연속적인 과정에서 반도체 소자가 테스트되며, 테스트 트레이의 승, 하강시 승, 하강에 의한 반도체 소자의 파손 등을 보호하기 위해 보다 안정적으로 테스트 트레이를 승, 하강시킬 수 있는 장치가 요구된다.
그런데 종래기술에서는 2스텝으로 이루어지므로 테스트 트레이의 승하강 동작이 원할하지 못하여 작업이 연속적으로 이루어지지 않았으며 작업지연이 발생하여 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 수직으로 세워진 상태에서 챔버를 순환하는 테스트 트레이 승하강시 캠을 이용하여 동작을 원할하게 하여 파손을 방지하고, 연속적인 작업이 가능하도록 승하강시킬 수 있는 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치를 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 수평식 핸들러의 구조를 보여주는 사시도,
도 2는 도 1의 단면도,
도 3은 일반적인 테스트 트레이의 구성을 나타낸 사시도,
도 4는 본 발명의 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치를 보여주는 정면도,
도 5는 본 발명의 우측면도,
도 6은 본 발명의 좌측면도,
도 7은 본 발명의 평면도,
도 8은 본 발명의 테스트 트레이 이송시 상승상태를 보여주는 개략도,
도 9는 본 발명의 테스트 트레이 이송시 하강상태를 보여주는 개략도이다.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
100 : 챔버 102 : 테스트 트레이
104 : 서포트 바 106 : 상부 플레이트
108 : 구동모터 110 : 원동풀리
112 : 벨트 114 : 종동풀리
116 : 샤프트 118 : 서포트 바
120 : 스텝 샤프트 캠 122 : 스텝 샤프트 플레이트
124 : 업/다운 캠 126 : 스텝 레일 플레이트
128 : 스텝 레일 캠 130 : 레일
132 : 샤프트 고정 브라켓 134 : 샤프트 고정 플레이트
136 : 고정수단 138 : 고정블럭
140 : 롤러 144 : 베이스 플레이트
146 : 샤프트 하우징
따라서 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 챔버와; 상기 챔버의 상부에 설치되어 테스트 트레이를 승하강 동작시키기 위한 구동 유니트와; 상기 구동 유니트에 의해 테스트 트레이를 상승시키기 위한 테스트 트레이 상승 유니트와; 상기 테스트 트레이 상승 유니트에 의해 상승된 테스트 트레이를 하강시키기 위한 테스트 트레이 하강 유니트로 구성되는 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치를 제공한다.
또한 상기 구동 유니트는 테스트 트레이를 승하강시키기 위해 상부 플레이트의 하부에 설치된 모터와; 상기 모터의 일측에 구비된 원동풀리와; 상기 원동풀리에 감겨진 벨트에 의해 회전되도록 샤프트에 설치된 종동풀리로 구성된다.
또한 상기 테스트 트레이 상승 유니트는 상기 샤프트의 하단부에 설치되어 테스트 트레이를 상승시키기 위한 업/다운 캠과; 상기 업/다운 캠의 하부에 고정 설치된 스텝 레일 플레이트와; 상기 스텝 레일 플레이트의 하부에 연결 고정되고 일체형으로 형성된 스텝 레일 캠으로 구성된다.
또한 상기 테스트 트레이 하강 유니트는 상기 샤프트의 중단에 형성된 스플라인에 설치된 하우징과; 상기 하우징의 외측에 고정된 샤프트 고정 브라켓과; 상기 하우징의 상부에 연속하여 설치된 스텝 샤프트 캠과; 상기 스텝 샤프트 캠의 일측 하부에 고정된 스텝 샤프트 플레이트와; 상기 스텝 샤프트 플레이트의 일측 하단에 설치된 레일 샤프트와; 상기 하우징의 외측에 설치된 샤프트 고정 브라켓의 일측 하단부에 설치된 고정블럭과; 상기 스텝 샤프트 캠의 일측 상부와 구름 접촉하여 동작이 이루어지도록 고정블럭의 일측에 설치된 롤러로 구성된다.
상기한 바와같이 본 발명에서는 테스트 트레이가 파손되지 않도록 안전하게 승하강시킬 수 있으며, 테스트 트레이의 승하강 동작이 빠르게 움직이므로 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
(실시예)
이하에 상기한 본 발명을 바람직한 실시예가 도시된 도면을 참고하여 더욱 상세하게 설명한다.
첨부된 도 4는 본 발명의 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치를 보여주는 정면도이고, 도 5는 본 발명의 우측면도이고, 도 6은 본 발명의 좌측면도이고, 도 7은 본 발명의 평면도이고, 도 8은 본 발명의 테스트 트레이 이송시 상승상태를 보여주는 개략도이고, 도 9는 본 발명의 테스트 트레이 이송시 하강상태를 보여주는 개략도이다.
먼저 본 발명의 전체적인 구성을 살펴보면, 챔버(100)와; 상기 챔버(100)의 상부에 설치되어 테스트 트레이(102)를 승하강 동작시키기 위한 구동 유니트(200)와; 상기 구동 유니트(200)에 의해 테스트 트레이(102)를 상승시키기 위한 테스트 트레이 상승 유니트(202)와; 상기 테스트 트레이 상승 유니트(202)에 의해 상승된 테스트 트레이(102)를 하강시키기 위한 테스트 트레이 하강 유니트(204)로 구성되고, 상기 구동 유니트(200)는 테스트 트레이(102)를 승하강시키기 위해 상부 플레이트(106)의 하부에 설치된 모터(108)와; 상기 모터(108)의 일측에 구비된 원동풀리(110)와; 상기 원동풀리(110)에 감겨진 벨트(112)에 의해 회전되도록 샤프트(116)에 설치된 종동풀리(114)로 구성된다.
또한, 상기 테스트 트레이 상승 유니트(202)는 상기 샤프트(116)의 하단부에 설치되어 테스트 트레이(102)를 상승시키기 위한 업/다운 캠(124)과; 상기 업/다운 캠(124)의 하부에 고정 설치된 스텝 레일 플레이트(126)와; 상기 스텝 레일 플레이트(126)의 하부에 연결 고정되고 일체형으로 형성된 스텝 레일 캠(128)으로 구성되고, 상기 테스트 트레이 하강 유니트(204)는 상기 샤프트(116)의 중단에 형성된 스플라인에 설치된 하우징(146)과; 상기 하우징(146)의 외측에 고정된 샤프트 고정 브라켓(132)과; 상기 하우징(146)의 상부에 연속하여 설치된 스텝 샤프트 캠(120)과; 상기 스텝 샤프트 캠(120)의 일측 하부에 고정된 스텝 샤프트 플레이트(122)와; 상기 스텝 샤프트 플레이트(122)의 일측 하단에 설치된 레일 샤프트(130)와; 상기 하우징(146)의 외측에 설치된 샤프트 고정 브라켓(132)의 일측 하단부에 설치된 고정블럭(138)과; 상기 스텝 샤프트 캠(120)의 일측 상부와 구름 접촉하여 동작이 이루어지도록 고정블럭(138)의 일측에 설치된 롤러(140)로 구성된다.
이와같은 본 발명의 구성을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 수직한 서포트 바(104)가 챔버(100)의 상부에 설치되어 있고 상부 플레이트(106)가 상기 서포트 바(104)의 상부에 고정수단(136)에 의해 고정되어 있으며, 샤프트(106)의 일측에 원동풀리(110)가 구비된 모터(108)가 상기 상부 플레이트(106)에 설치되어 있다.
이와 동시에 상기 모터(108)의 타측에는 중단부에 스플라인이 형성된 샤프트(106)가 수직하게 설치되어 있고, 하단부에는 스텝 레일 플레이트(126)가 개재된 업/다운 캠(120)이 회전 가능하도록 설치되어 있으며, 상기 스플라인에는 하우징(146)이 결합되어 있고, 스텝 샤프트 캠(120)이 상기 하우징(146)의 상부에 설치되어 있다.
그리고, 상기 스텝 샤프트 캠(120)은 고정수단(136)에 의해 일측이 스텝 샤프트 플레이트(122)에 고정되어 있고, 상기 스텝 샤프트 플레이트(122)는 고정수단(136)에 의해 일측이 샤프트 고정 브라켓(134)에 고정되어 있으며, 상기 샤프트 고정 브라켓(134)의 일측에는 고정수단(136)에 의해 고정블럭(138)이 고정되어 있고, 상기 고정블럭(138)은 그 하부에 롤러(140)가 설치되어 짐과 동시에 상기 롤러(140)의 회전 단부가 상기 업/다운 캠(124)의 상부면과 접촉하여 회전이 이루어지도록 설치되어 있다.
또한, 상기 샤프트(116)의 상단부에는 종동풀리(114)가 설치되어 샤프트(116)와 동시에 회전 가능하도록 설치되어 있고, 상기 종동풀리(114)는 상기 모터(108)에 설치된 원동풀리(110)와 벨트(112)에 의해 회전하도록 연결되어 있다.
상기 본 발명의 테스트 트레이 승하강 장치는 우선, 미도시된 전원에 의해 모터(108)가 동작하여 그 일측단에 설치된 원동풀리(110)의 회전이 이루어지고, 이때 상기 원동풀리(110)와 연결된 종동풀리(114)가 벨트(112)에 의해 회전이 전달되어 샤프트(116)가 회전하게 된다.
상기와 같이 샤프트(116)가 회전하면, 그 하단부에 설치된 스텝 샤프트 캠(120)의 회전이 이루어지고 상기 스텝 샤프트 캠(120)은 상부에 구름 접촉되어 있은 롤러(140)를 가동시키게 된다. 이와 동시에 상기 샤프트(116)의 중단부에 설치된 하우징(146)과 샤프트 고정 브라켓(132) 이동하면서 레일 샤프트(130)의 온/오프가 이루어진다.
상기와 같이 레일 샤프트(130)의 온/오프가 이루어지면서 스텝 샤프트 플레이트(122)가 동작되어 테스트 트레이(102)가 승강하게 된다.
또한, 상기한 바와 같이 테스트 트레이(102)의 상승이 이루어지면 상기 샤프트(116)의 중단부에 설치된 업/다운 캠(124)에 고정된 스텝 샤프트 플레이트(126)가 온/오프되어 업/다운 캠(124)이 동작하여 테스트 트레이(102)를 하강시키게 된다.
계속해서, 도 8은 본 발명의 테스트 트레이 이송시 상승상태를 보여주는 개략도이고, 도 9는 본 발명의 테스트 트레이 이송시 하강상태를 보여주는 개략도이다.
모터(108)가 동작하여 원동풀리(110) 및 종동풀리(114)를 벨트(112)에 의해 회전시키고, 그 하부에 설치된 스텝 샤프트 캠(120)이 샤프트(116)에 의해 회전하여 서포트 바(104)를 구동하여 테스트 트레이(102)가 기구물(미도시됨)에 의해 일정구간 상승하도록 도와준다.
이와 동시에 스텝 샤프트 플레이트(122)가 움직여서 테스트 트레이(102)의 상승시 간섭을 피하도록 레일 샤프트(130)를 벌려주게 된다. 이때, 상기 업/다운 캠(124)은 테스트 트레이(102)를 기구물(미도시됨)이 레일위로 올려주도록 동작이 이루어지고 상기 테스트 트레이(102)가 어느 정도 레일의 위로 올라가게 되면 레일이 다시 오므라들게 된다.
그리고, 상기 레일이 오므라들게 되면 업/다운 캠(124)에 의해 테스트 트레이(102)가 상기 레일의 위에 얹혀지게 된다.
상기한 바와같이 본 발명에서는 테스트 트레이가 파손되지 않도록 안전하게 승하강시킬 수 있으며, 테스트 트레이의 승하강 동작이 빠르게 움직이므로 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

Claims (4)

  1. 챔버와;
    상기 챔버의 상부에 설치되어 테스트 트레이를 승하강 동작시키기 위한 구동 유니트와;
    상기 구동 유니트에 의해 테스트 트레이를 상승시키기 위한 테스트 트레이 상승 유니트와;
    상기 테스트 트레이 상승 유니트에 의해 상승된 테스트 트레이를 하강시키기 위한 테스트 트레이 하강 유니트로 구성되는 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동 유니트는 테스트 트레이를 승하강시키기 위해 상부 플레이트의 하부에 설치된 모터와;
    상기 모터의 일측에 구비된 원동풀리와;
    상기 원동풀리에 감겨진 벨트에 의해 회전되도록 샤프트에 설치된 종동풀리로 구성되는 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 테스트 트레이 상승 유니트는 상기 샤프트의 하단부에 설치되어 테스트 트레이를 상승시키기 위한 업/다운 캠과;
    상기 업/다운 캠의 하부에 고정 설치된 스텝 레일 플레이트와;
    상기 스텝 레일 플레이트의 하부에 연결 고정되고 일체형으로 형성된 스텝 레일 캠으로 구성되는 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 테스트 트레이 하강 유니트는 상기 샤프트의 중단에 형성된 스플라인에 설치된 하우징과;
    상기 하우징의 외측에 고정된 샤프트 고정 브라켓과;
    상기 하우징의 상부에 연속하여 설치된 스텝 샤프트 캠과;
    상기 스텝 샤프트 캠의 일측 하부에 고정된 스텝 샤프트 플레이트와;
    상기 스텝 샤프트 플레이트의 일측 하단에 설치된 레일 샤프트와;
    상기 하우징의 외측에 설치된 샤프트 고정 브라켓의 일측 하단부에 설치된 고정블럭과;
    상기 스텝 샤프트 캠의 일측 상부와 구름 접촉하여 동작이 이루어지도록 고정블럭의 일측에 설치된 롤러로 구성되는 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치.
KR1019990034681A 1999-08-20 1999-08-20 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치 KR100338158B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990034681A KR100338158B1 (ko) 1999-08-20 1999-08-20 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990034681A KR100338158B1 (ko) 1999-08-20 1999-08-20 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010018643A true KR20010018643A (ko) 2001-03-15
KR100338158B1 KR100338158B1 (ko) 2002-05-24

Family

ID=19608090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990034681A KR100338158B1 (ko) 1999-08-20 1999-08-20 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100338158B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100746152B1 (ko) * 2006-08-22 2007-08-06 (주)테크윙 테스트핸들러용 테스트트레이 프레스장치
KR101233219B1 (ko) * 2007-08-21 2013-02-15 세메스 주식회사 반도체소자 트레이 공급장치 및 이를 이용한 반도체소자트레이 공급방법
CN113926722A (zh) * 2018-12-11 2022-01-14 泰克元有限公司 电子部件测试用分选机及其移动装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100746152B1 (ko) * 2006-08-22 2007-08-06 (주)테크윙 테스트핸들러용 테스트트레이 프레스장치
KR101233219B1 (ko) * 2007-08-21 2013-02-15 세메스 주식회사 반도체소자 트레이 공급장치 및 이를 이용한 반도체소자트레이 공급방법
CN113926722A (zh) * 2018-12-11 2022-01-14 泰克元有限公司 电子部件测试用分选机及其移动装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR100338158B1 (ko) 2002-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100287558B1 (ko) 모듈아이씨핸들러의엘리베이터부에서팔레트를순환시키는방법및그장치
KR100301750B1 (ko) 반도체디바이스용트레이꺼내기장치및반도체디바이스용트레이수납장치
JP2968406B2 (ja) オートマチックテストハンドラー
WO1996009556A1 (fr) Procede et appareil d'inspection automatique de dispositifs semiconducteurs
KR100200378B1 (ko) 아이씨 핸들러용 디바이스 반송 장치 및 디바이스 재검사 방법
JP3232071B2 (ja) ハンドラーのマルチスタッカ
JP2774264B2 (ja) 半導体素子検査機の素子積み降ろし装置
KR100747078B1 (ko) 반송장치 및 전자부품 핸들링 장치
JPH10232262A (ja) 半導体デバイスのテスト用搬送装置
CN107533102B (zh) 元件处理器
KR100334655B1 (ko) 모듈아이씨핸들러의모듈아이씨및캐리어핸들링방법
KR20090095617A (ko) 전자부품 시험장치 및 전자부품의 시험방법
CN112444734A (zh) 芯片测试机及芯片测试方法
KR100401014B1 (ko) 테스트 핸들러
KR100194326B1 (ko) 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법
KR100338158B1 (ko) 수평식 핸들러의 테스트 트레이 승하강 장치
KR20000001402A (ko) 반도체 디바이스 자동 테스트용 핸들러 시스템
KR100858141B1 (ko) 테스트 핸들러용 멀티 벌크 스태커 시스템
TWI603103B (zh) 用於測試分選機的姿勢轉換裝置及測試分選機
KR102037975B1 (ko) 트레이 승강 장치
KR100555066B1 (ko) 메모리 모듈 오토 로딩/언로딩 장치
KR100337570B1 (ko) 모듈아이씨 적재 트레이 순환 이송시스템
US20020117383A1 (en) Tray accommodation unit
KR100893141B1 (ko) 테스트 핸들러
KR100317416B1 (ko) 수평식 핸들러 얼라이너의 소자 센싱 구조

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090508

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee