KR20010004119A - 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법 - Google Patents
플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20010004119A KR20010004119A KR1019990024730A KR19990024730A KR20010004119A KR 20010004119 A KR20010004119 A KR 20010004119A KR 1019990024730 A KR1019990024730 A KR 1019990024730A KR 19990024730 A KR19990024730 A KR 19990024730A KR 20010004119 A KR20010004119 A KR 20010004119A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- electrode
- white dielectric
- back plate
- electrode material
- material layer
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/22—Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/34—Vessels, containers or parts thereof, e.g. substrates
- H01J11/38—Dielectric or insulating layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
본 발명은 비교적 단순한 공정을 통해 고정세의 패턴 형성이 용이하고, 배면판 전극의 도전성이 우수하며, 배면판 전극 패턴의 결함을 방지하고, 소성 공정에 의한 기판의 열 변형을 줄일 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있으며, 감광성 백색 유전체를 사용하여 배면판 전극을 샌드블라스팅하는 방식을 통해 배면판 전극과 백색 유전체(반사막)를 동시에 패터닝하고 소성하는 기술이다. 즉, 배면기판 전면에 전극재 및 감광성 백색 유전체를 전면에 도포한다. 그리고 배면판 전극용 포토 마스크를 사용하여 감광성 백색 유전체를 노광하고 현상을 실시한 후, 패터닝된 감광성 백색 유전체를 베리어로 사용하여 전극재를 샌드블라스팅하여 배면판 전극 패턴을 형성한 다음, 소성을 실시한다. 이 경우 샌드블라스트법을 이용하지만 DFR의 박리 과정이 없기 때문에 전극에 손상이 없으며, 감광성 백색 유전체와 도전성이 좋은 일반 전극용 페이스트를 이용하기 때문에 고정세의 패턴 형성이 용이하고 감광성 페이스트의 사용에 따른 전극의 에지-컬 현상이나 도전성 저하 문제를 해결할 수 있다.
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP) 제조 기술에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판(back panel) 제조방법에 관한 것이다.
PDP는 기체 방전시에 생기는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 영상을 표시하는 소자로 기체 방전 표시(gas discharge display) 소자라고도 부른다. PDP는 크게 플라즈마를 형성하기 위해 외부에서 가해주는 전압인가를 위해 사용되는 전극이 플라즈마에 직접 노출이 되어 전도전류가 전극을 통해 직접 흐르는 직류(DC)형과 전극이 유전체로 덮여 있어 직접 노출이 되지 않아 변위전류가 흐르게 되는 교류(AC)형으로 구분된다. 그리고, 방전 셀의 전극구조에 따라 대향 방전형, 표면 방전형, 격벽 방전형 등으로 분류가 되며, 방전가스로부터 나오는 가시광을 직접 이용하는 경우는 대부분 단색표시 PDP 소자에서 이용되는데, 대표적인 것으로 Ne 가스에서 나오는 오렌지색을 이용한 PDP가 있으며, 풀 칼라(full color) 표시가 요구될 경우, Kr이나 Xe와 같은 방전가스로부터 나오는 자외선이 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 형광체를 여기시켜 나오는 가시광을 이용하게 된다. 다양한 평판 디스플레이 중에서도 PDP는 대화면의 구현이 가능한 표시소자로서 주목되고 있으나, 아직까지 휘도와 명암비가 낮고, 구동전압이 타 소자에 비해 높고 전력 소비 효율이 낮으며, 대형화에 따른 제조 공정기술이 까다로워 생산 수율이 낮은 문제점들이 있어 상기의 특성의 개선과 더불어 저가격화가 이루어져야 하는 과제를 안고 있다.
현재 주류를 이루고 있는 면방전형 AC PDP의 경우, 전면판에는 투명 전극, 버스 전극, 투명 유전체, 유전체 보호막, 블랙 스트라이프(black stripe) 등이 형성되며, 배면판에는 어드레스 전극, 백색 유전체(반사막), 격벽 등이 형성된다. PDP에서 색상을 구현하기 위한 형광체는 반사형의 경우는 배면판에, 투과형의 경우는 전면판에 형성된다.
종래에 PDP의 어드레스 전극의 형성 방법으로 인쇄법, 감광성 페이스트법, 샌드블라스트(Sandblast)법 등이 있다.
우선, 인쇄법은 생산설비가 간단하고 재료의 이용 효율이 높아 많이 이용되고 있으나, 사용 시간에 따른 마스크의 변형 등에 의해 고정세의 균일한 패턴을 형성하기가 힘들다는 문제점이 있다.
또한, 감광성 페이스트법의 경우는 인쇄법에 비해 제조 공정이 비교적 단순하고 고정세의 패턴을 형성하기 용이한 장점이 있으나, 도전성이 떨어지는 문제점과 에지-컬(edge-curl) 현상 등에 의해 단선(open)이 많이 발생하는 문제점이 있다.
샌드블라스트법 또한, 인쇄법에 비해 제조 공정이 상대적으로 단순하고 생산성이 높은 장점은 있으나, 전극 패턴을 형성한 후 드라이 필름 레지스트(dry film resist, DFR)를 박리할 때 접착 부분의 전극이 떨어져나가는 단점이 있다.
그리고, 상기의 종래기술들은 모두 전극과 반사막(백색 유전체)을 각각 따로 형성하기 때문에 소성 공정이 증가하여 유리기판의 변형이 우려되는 단점을 내포하고 있다.
첨부된 도면 도 1a 내지 도 1d는 종래의 샌드블라스트법을 적용한 어드레스 전극 및 백색 유전체 형성 공정을 도시한 것으로, 이하 이를 참조하여 그 공정을 설명한다.
종래의 샌드블라스트법을 적용한 어드레스 전극 및 백색 유전체 형성 공정은 우선, 도 1a에 도시된 바와 같이 배면판용 유리기판(10) 전면에 전극재(11)를 도포하고 건조시킨다.
다음으로, 도 1b에 도시된 바와 같이 전극재(11) 상에 DFR(12)을 라미네이팅(laminating)하고, 어드레스 전극용 포토마스크를 사용하여 이를 노광하고 현상을 실시한다.
이어서, 도 1c에 도시된 바와 같이 패터닝된 DFR(12)을 마스크로 사용하여 샌드블라스팅을 실시하여 전극재(11)를 패터닝하고, 소성 공정을 실시한다.
계속하여, 도 1d에 도시된 바와 같이 DFR(12)을 박리시키고, 전면에 걸쳐 백색 유전체(13)를 도포한 다음, 건조 및 소성 공정을 실시한다.
상기와 같이 이루어지는 종래기술은 전술한 바와 같이 DFR을 박리할 때 전극 패턴이 떨어져나가는 문제점이 우려되며, 전극 및 백색 유전체 각각을 위한 소성 공정을 별도로 실시하기 때문에 유리기판의 열 변형이 문제점으로 지적되었다.
본 발명은 비교적 단순한 공정을 통해 고정세의 패턴 형성이 용이하고, 배면판 전극의 도전성이 우수하며, 배면판 전극 패턴의 결함을 방지하고, 소성 공정에 의한 기판의 열 변형을 줄일 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1a 내지 도 1d는 종래의 샌드블라스트법을 적용한 어드레스 전극 및 백색 유전체 형성 공정도.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 어드레스 전극 및 백색 유전체 형성 공정도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
20 : 배면판용 유리기판
21 : Ag 페이스트
21a : 어드레스 전극
22 : 감광성 백색 유전체
본 발명은 감광성 백색 유전체를 사용하여 배면판 전극을 샌드블라스팅하는 방식을 통해 배면판 전극과 백색 유전체(반사막)를 동시에 패터닝하고 소성하는 기술이다. 즉, 배면기판 전면에 전극재 및 감광성 백색 유전체를 전면에 도포한다. 그리고 배면판 전극용 포토 마스크를 사용하여 감광성 백색 유전체를 노광하고 현상을 실시한 후, 패터닝된 감광성 백색 유전체를 베리어로 사용하여 전극재를 샌드블라스팅하여 배면판 전극 패턴을 형성한 다음, 소성을 실시한다. 이 경우 샌드블라스트법을 이용하지만 DFR의 박리 과정이 없기 때문에 전극에 손상이 없으며, 감광성 백색 유전체와 도전성이 좋은 일반 전극용 페이스트를 이용하기 때문에 고정세의 패턴 형성이 용이하고 감광성 페이스트의 사용에 따른 전극의 에지-컬 현상이나 도전성 저하 문제를 해결할 수 있다.
상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법에 있어서, 배면기판 상에 배면판 전극용 전극물질층을 형성하는 제1 단계; 상기 배면판 전극용 전극물질층 상에 감광성 백색 유전체층을 형성하는 제2 단계; 상기 감광성 백색 유전체층을 노광 및 현상하여 패터닝하는 제4 단계; 및 패터닝된 상기 감광성 백색 유전체층을 베리어로 사용하여 샌드블라스팅을 실시하여 상기 배면판 전극용 전극물질층을 패터닝하는 제5 단계를 포함하여 이루어진다.
이하, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 보다 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예를 소개하기로 한다.
첨부된 도면 도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 어드레스 전극 및 백색 유전체 형성 공정을 도시한 것으로, 이하 이를 참조하여 설명한다.
본 실시예에 따른 어드레스 전극 및 백색 유전체 형성 공정은 우선, 도 2a에 도시된 바와 같이 배면판용 유리기판(20) 전면에 Ag 페이스트(21)를 도포 및 건조시키고, 그 상부에 감광성 백색 유전체(22)를 형성한다. 이때, Ag 페이스트(21)의 도포시 인쇄법, 롤 코팅(Roll coating)법, 커튼 코팅(Curtain Coating)법, 슬릿 코팅(Slit coating)법 등을 이용할 수 있으며, 감광성 백색 유전체(22)는 유전체 쉬트(sheet)를 라미네이팅하여 전면에 부착시킨다. 유전체 쉬트는 저융점 유리분말, 백색 안료 및 감광성 수지로 이루어진 것으로, 저융점 유리분말을 소성 후 유전체의 역할을 하고, 백색 안료는 광 반사도를 높이기 위한 것이며, 감광성 수지는 유전체 쉬트에 감광성을 부여해 주고 후속 샌드블라스팅시 마스크 역할을 수행하기 위한 것이다.
다음으로, 도 2b에 도시된 바와 같이 어드레스 전극용 포토마스크를 사용하여 감광성 백색 유전체(22)를 노광하고 현상을 실시하여 감광성 백색 유전체(22)를 패터닝한다.
이어서, 도 2c에 도시된 바와 같이 패터닝된 감광성 백색 유전체(12)를 마스크로 사용하여 샌드블라스팅을 실시하여 어드레스 전극(21a)을 패터닝하고, 백색 유전체(12) 및 어드레스 전극(21a)을 동시에 소성한다.
전술한 바와 같은 공정을 진행하게 되면, 노광 공정을 이용하기 때문에 사용 시간에 따른 마스크의 변형 등이 없어 고정세의 패턴을 균일하게 만들 수 있게 되며, Ag 페이스트와 같은 일반 전극용 페이스트를 사용하므로 도전성을 확보할 수 있다. 또한, 샌드블라스트법을 이용하기 때문에 에지-컬 현상 등에 의한 단선의 염려가 없으며, 감광성 백색 유전체를 사용하므로 사용된 감광 필름의 박리가 필요가 없어 감광 필름의 박리시 접착 부분의 전극이 떨어져나가는 것을 방지할 수 있다. 이와 더불어 어드레스 전극과 백색 유전체를 동시에 소성하기 때문에 소성 공정을 줄여 유리기판의 열 변형을 방지할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
예컨대, 전술한 실시예에서는 어드레스 전극용 전극재로서 Ag 페이스트를 사용하는 경우를 일례로 들어 설명하였으나, 본 발명은 샌드블라스팅이 가능한 전극재라면 전극재의 종류 및 도포법에 제한 받지 않는다.
또한, 전술한 실시예에서는 감광성 백색 유전체로 유전체 쉬트를 라미네이팅하는 경우를 일례로 들어 설명하였으나, 본 발명은 감광성을 가진 백색 유전체라면 그 물질의 종류 및 도포법에 제한 받지 않는다.
전술한 본 발명은 고정세의 전극 패턴 형성이 가능한 효과가 있으며, 안정된 전극 패턴을 형성하여 PDP의 신뢰도 및 수율을 개선하는 효과가 있으며, 소성 공정을 줄여 유리기판의 열 변형을 방지하고 생산성을 향상시키는 효과를 기대할 수 있다.
Claims (6)
- 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법에 있어서,배면기판 상에 배면판 전극용 전극물질층을 형성하는 제1 단계;상기 배면판 전극용 전극물질층 상에 감광성 백색 유전체층을 형성하는 제2 단계;상기 감광성 백색 유전체층을 노광 및 현상하여 패터닝하는 제3 단계; 및패터닝된 상기 감광성 백색 유전체층을 베리어로 사용하여 샌드블라스팅을 실시하여 상기 배면판 전극용 전극물질층을 패터닝하는 제4 단계를 포함하여 이루어진 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법.
- 제1항에 있어서,상기 제4 단계 수행 후,패터닝된 상기 배면판 전극용 전극물질층 및 상기 감광성 백색 유전체층을 동시에 소성하는 제5 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 감광성 백색 유전체층이,감광성 수지, 백색 안료 및 유리분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법.
- 제3항에 있어서,상기 제2 단계에서,상기 감광성 백색 유전체층이,라미네이팅법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 배면판 전극용 전극물질층이,Ag 페이스트인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법.
- 제5항에 있어서,상기 제1 단계 수행 후,상기 배면판 전극용 전극물질층을 건조시키는 제6 단계를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019990024730A KR100363800B1 (ko) | 1999-06-28 | 1999-06-28 | 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019990024730A KR100363800B1 (ko) | 1999-06-28 | 1999-06-28 | 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010004119A true KR20010004119A (ko) | 2001-01-15 |
KR100363800B1 KR100363800B1 (ko) | 2002-12-06 |
Family
ID=19596018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019990024730A KR100363800B1 (ko) | 1999-06-28 | 1999-06-28 | 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100363800B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20080044660A (ko) * | 2006-11-17 | 2008-05-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
-
1999
- 1999-06-28 KR KR1019990024730A patent/KR100363800B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20080044660A (ko) * | 2006-11-17 | 2008-05-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100363800B1 (ko) | 2002-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100363800B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법 | |
KR100350660B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 형성방법 | |
KR100350655B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판 형성방법 | |
KR100477742B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 | |
JPH04277439A (ja) | プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 | |
JP3541757B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル用ブラックストライプの製造方法 | |
KR100350652B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 형광체 형성 방법 | |
JP2002216640A (ja) | ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
KR20010065916A (ko) | 리프트-오프법을 사용한 플라즈마 디스플레이 패널의 전극형성방법 | |
KR20040005214A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 배면 판 제조방법 | |
KR20010004160A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법 | |
JPH10288842A (ja) | 露光装置及び蛍光面形成方法 | |
KR20010004390A (ko) | 플라즈마디스플레이패널의 패턴 형성방법 | |
JP2005116349A (ja) | プラズマディスプレイ装置 | |
KR100323697B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 블랙매트릭스 형성방법과 그 구조 | |
KR20010005187A (ko) | 교류형 플라즈마 디스플레이 패널 | |
US20040147196A1 (en) | Method for manufacturing bus electrodes of plasma display panel | |
KR20030037727A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 | |
KR100829252B1 (ko) | 격벽용 시트의 제조방법, 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법 및 플라즈마 디스플레이 패널 | |
JP3097614B2 (ja) | カラープラズマディスプレイパネル、及びカラープラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
KR20000044616A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법 | |
KR20000044632A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 배면판 제조방법 | |
KR20010018874A (ko) | 마스크 및 그를 사용한 플라즈마디스플레이패널의 패턴 형성방법 | |
KR20060072818A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 | |
JP2002150955A (ja) | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20051111 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |