KR100350655B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판 형성방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 균일한 유전체막을 얻을 수 있고 패널의 콘트라스트를 향상시킬 수 있으며, 전극의 오픈 또는 쇼트를 방지하여 생산수율을 증대시킬 수 있는 PDP 전면판 형성방법을 제공하는 데 그 목적이 있는 것으로써, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법에 있어서, 유리기판 상에 제1 투명유전체층을 형성하는 단계; 버스전극 형성 영역의 상기 제1 투명유전체층을 선택적으로 제거하여 상기 유리기판 표면을 노출시키는 오픈부를 형성하는 단계; 상기 오픈부에 전극물질을 매립하여 버스전극을 형성하는 단계; 상기 버스전극 및 상기 제1 투명유전체층 상에 투명전극의 패턴을 형성하는 단계; 상기 투명전극의 패턴이 형성된 전체 구조 상에 제2 투명유전체층을 적층으로 형성하는 단계; 및 상기 제2 투명유전체층 상에 유전체 보호막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
또한, 본 발명은 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법에 있어서, 유리기판 상부에 소정의 폭을 갖는 투명전극 패턴을 형성하는 단계; 상기 투명전극 상에 제1 투명유전체층을 형성하는 단계; 버스전극 형성 영역의 상기 제1 투명유전체층을 선택적으로 제거하여 상기 투명전극 표면을 노출시키는 오픈부를 형성하는 단계; 상기 오픈부에 전극물질을 매립시켜 버스전극을 형성하는 단계; 상기 버스전극이 형성된 전체 구조 상부에 제2 투명유전체층을 형성하는 단계; 및 상기 제2 투명유전체층 상부에 유전체 보호막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP) 기술에 관한 것으로, 특히 플라즈마 디스플레이 패널의 전면판(front panel)에 관한 것이다.
일반적으로, PDP는 기체 방전시에 생기는 플라즈마로부터 나오는 빛을 이용하여 문자 또는 영상을 표시하는 소자로 기체 방전 표시(gas discharge display) 소자라고도 부른다. PDP는 크게 플라즈마를 형성하기 위해 외부에서 가해주는 전압인가를 위해 사용되는 전극이 플라즈마에 직접 노출이 되어 전도전류가 전극을 통해 직접 흐르는 직류(DC)형과 전극이 유전체로 덮여 있어 직접 노출이 되지 않아 변위전류가 흐르게 되는 교류(AC)형으로 구분된다. 그리고, 방전 셀의 전극구조에 따라 대향 방전형, 표면 방전형, 격벽 방전형 등으로 분류가 되며, 방전가스로부터 나오는 가시광을 직접 이용하는 경우는 대부분 단색표시 PDP 소자에서 이용되는데, 대표적인 것으로 Ne 가스에서 나오는 오렌지색을 이용한 PDP가 있으며, 풀 칼라(full color) 표시가 요구될 경우, Kr이나 Xe와 같은 방전가스로부터 나오는 자외선이 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 형광체를 여기시켜 나오는 가시광을 이용하게 된다. 그러나, 아직까지 휘도와 명암비가 낮고, 구동전압이 타 소자에 비해 높고 전력 소비 효율이 낮으며, 대형화에 따른 제조 공정기술이 까다로워 생산 수율이 낮은 문제점들이 있어 상기의 특성의 개선과 더불어 저가격화가 이루어져야 하는 과제를 안고 있다.
첨부된 도면 도1은 종래기술에 따른 AC형 PDP의 전면판 단면을 도시한 것으로, 유리기판(glass subatrate)(10) 상에 형성된 투명 전극(11)과 그 상부에 배치된 버스 전극(12)을 투명 유전체(13)가 덮고 있으며, 유전체 보호막(14)이 투명 유전체(13) 상부를 덮고 있는 구조를 나타내고 있다.
한편, 현재 일반적인 상기 AC형 PDP의 전극형성 방법에는 일반적으로, 스크린 프린팅(screen printing)법, 감광성 페이스트법, 스퍼터링(sputtering)법 등이 사용되고 있다.
먼저, 상기 스크린 프린팅법은 기판상에 패터닝된 스크린(screen)을 일정간격을 유지하여 형성하고 스크린 패턴 사이에 점성이 있는 전극용 페이스트(paste)를 인쇄 및 건조시킨 후 소성하여 전극패턴을 만드는 방법으로, 공정이 간단하고 단가가 낮은 장점이 있어 많이 이용되고 있지만 생산수율이 낮고, HDTV와 같은 고정세화로 PDP를 제조하기에는 정밀도가 문제가 된다. 또한, 상기 스크린 프린팅법으로 버스전극을 형성하였을 때 상기 버스전극 위에 형성되는 투명 유전체의 베타(β)인쇄 시 굴곡문제가 발생하게 되어 결국, 방전의 불균일성을 초래하여 각각의 단위셀마다 방전전압 및 방전특성이 일정치 않음으로 인한 패널의 화질을 심하게 저하시키는 문제점도 발생하게 된다.
그리고, 상기 감광성 페이스트법은 미국의 듀폰(Dupont)사에 의해 개발된 공정으로 포델(FODELTM)법이라고도 하며, 감광성 페이스트를 도포하고 이를 건조시킨 다음, 포토 공정을 이용하여 노광 및 현상하고, 소성하여 후막을 형성하는 방법으로, 고정세의 패턴을 형성할 수 있다는 장점이 있는 반면, 고가인 재료의 손실이 크고, 페이스트 성분 중의 은(Ag) 성분이 유리기판 또는 투명 유전체(버스 전극의 경우)로 확산되어 전극의 오픈(Open) 또는 쇼트(Short)의 위험성과 투명도가 떨어져 콘트라스트(Contrast)가 저하되고 휘도효율이 감소하며 전극의 경우 소성 시의 에지-컬(Edge-Curl)현상이 심하고 봉착/배기 공정 시 패널의 누설 등의 공정자체의 안정성에도 문제가 발생하는 단점을 가지고 있다.
마지막으로, 상기 스퍼터링(sputtering)법은 통상적으로 Cr/Cu/Cr의 3층구조 박막 형태의 상기 버스전극 형성 시에 이용하는 방법으로써, 미세한 패턴에 유리한 특성이 있으며, 재료의 산화 문제가 없는 장점이 있는 반면 공정이 복잡하고 재료비와 장비 설비비의 큰 문제가 있다.
또한, 투명전극은 유리기판과의 부착성이 떨어지고, 투명전극과 버스전극과의 부착성도 결여되는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로써, 균일한 유전체막을 얻을 수 있고 패널의 콘트라스트를 향상시킬 수 있으며, 전극의 오픈 또는 쇼트를 방지하여 생산수율을 증대시킬 수 있는 PDP 전면판 형성방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
도1은 종래기술에 따른 AC형 PDP의 전면판 단면을 도시한 도면.
도2a 내지 도2e는 본 발명의 일실시예에 따른 전면판 형성방법의 진행을 도시한 도면.
도3a 내지 도3e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전면판 형성방법의 진행을 도시한 도면.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명
20 : 유리기판 21 : 제1 투명유전체층
22 : 버스전극 23 : 투명전극
24 : 제2 투명유전체층
25 : 유전체 보호막
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법에 있어서, 유리기판 상에 제1 투명유전체층을 형성하는 단계; 버스전극 형성 영역의 상기 제1 투명유전체층을 선택적으로 제거하여 상기 유리기판 표면을 노출시키는 오픈부를 형성하는 단계; 상기 오픈부에 전극물질을 매립하여 버스전극을 형성하는 단계; 상기 버스전극 및 상기 제1 투명유전체층 상에 투명전극의 패턴을 형성하는 단계; 상기 투명전극의 패턴이 형성된 전체 구조 상에 제2 투명유전체층을 적층하여 형성하는 단계; 및 상기 제2 투명유전체층 상에 유전체 보호막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.또한, 본 발명은 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법에 있어서, 유리기판 상부에 소정의 폭을 갖는 투명전극 패턴을 형성하는 단계; 상기 투명전극 상에 제1 투명유전체층을 형성하는 단계; 버스전극 형성 영역의 상기 제1 투명유전체층을 선택적으로 제거하여 상기 투명전극 표면을 노출시키는 오픈부를 형성하는 단계; 상기 오픈부에 전극물질을 매립시켜 버스전극을 형성하는 단계; 상기 버스전극이 형성된 전체 구조 상부에 제2 투명유전체층을 형성하는 단계; 및 상기 제2 투명유전체층 상부에 유전체 보호막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도2a 내지 도2e는 본 발명의 일실시예에 따른 전면판 형성방법의 진행을 도시한 도면이다.
먼저 도2a에 도시된 바와 같이, 유리기판(20) 상에 버스전극의 폭으로 오픈된 오픈부를 갖는 제1 투명유전체층(21)을 형성한다.구체적으로, 유리기판(20) 상에 제1 투명유전체층(21)을 형성한 다음, 포토레지스트 패턴(도시하지 않음)을 이용한 사진식각 공정을 통해 버스전극 형성 영역의 제1 투명유전체층(21)을 선택적으로 제거함으로써, 유리기판(20) 표면을 노출시키는 오픈부를 형성한다.
다음으로 도2b에 도시된 바와 같이, 스크린 프린팅법 또는 토출법으로 불리우는 디스펜스(Dispense)법 등의 방식으로 전극물질을 이용하여 오픈부를 매립함으로써, 버스전극(22)을 형성한다. 이때, 상기 버스전극(22) 형성 후 두께의 균일성 향상을 위해 그라인딩(Grinding) 공정을 진행한다.
다음으로, 도2c에 도시된 바와 같이, 상기 버스전극(22) 상부에 투명전극(23)의 패턴을 형성한다.
그리고, 도2d에 도시된 바와 같이 결과물 상부에 제2 투명유전체층(24)을 두 개의 층으로 형성한 후 마지막으로, 도2e에 도시된 바와 같이 유전체 보호막(25)을 형성하여 전면판을 완성한다.
요약하면, 본 발명은 AC PDP 전면판에서의 유리기판 위에 투명전극을 입힌 후 바로 버스전극을 형성하지 않고, 인쇄성이 뛰어나고 원하는 패턴을 잘 얻을 수 있는 상기 제1 투명유전체층(21)을 먼저 패턴 인쇄하므로써, 상기 종래기술보다 접착성을 증대시키고 상기 버스전극(22)의 은(Ag) 성분의 퍼짐을 방지하며 에지-컬(Edge-curl) 효과를 방지할 수가 있다. 또한, 상기 버스전극(22)의 형성 시 상기 제1 투명유전체층(21) 사이에 상기 버스전극(22) 페이스트를 토출법으로 형성이 가능하여 오픈(Open) 또는 쇼트(Short)의 위험성을 방지하여 공정시간을 단축할 수가 있다.
또한, 도3a 내지 도3e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전면판 형성방법의 진행을 도시한 도면이다.
먼저 도3a에 도시된 바와 같이, 유리기판(30) 상부에 소정의 폭을 갖는 투명 전극(31)을 패턴 형성한 후 도3b에 도시된 바와 같이 상기 투명전극(31) 상부에서 이후 형성될 버스전극의 폭으로 오픈된 오픈부를 갖는 제1 투명유전체층(32)을 형성한다.구체적으로, 투명전극(31)이 형성된 유리기판(30) 상에 제1 투명유전체층(32)을 형성한 다음, 포토레지스트 패턴(도시하지 않음)을 이용한 사진식각 공정을 통해 버스전극 형성 영역의 제1 투명유전체층(31)을 선택적으로 제거함으로써, 투명전극(31) 표면을 노출시키는 오픈부를 형성한다.
다음으로 도3c에 도시된 바와 같이, 상기 형성된 제1 투명유전체층(32) 사이 즉, 오픈부에 전극물질을 매립하는 방식인 스크린 프린팅법 또는 토출법으로 불리우는 디스펜스(Dispense)법을 사용하여 버스전극(33)을 형성한다. 이때, 상기 버스전극(33) 형성 후 두께의 균일성 향상을 위해 그라인딩(Grinding) 공정을 진행한다.
그리고, 도3d에 도시된 바와 같이 결과물 상부에 제2 투명유전체층(34)을 두 개의 층으로 형성한 후 마지막으로, 도3e에 도시된 바와 같이 유전체 보호막(35)을 형성하여 상기 전면판을 완성한다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같은 본 발명의 일실시예에 따른 전면판 형성방법으로써, 버스전극의 접착성을 높이고 은(Ag)확산을 방지할 수 있으며, 균일한 유전체막을 얻을 수 있는 효과가 있다. 또한, 투명전극과 버스전극 간의 오정렬 문제를 최소화 할수 있으며, 공정 단순화에 의한 생산성 향상의 효과가 있다.
Claims (6)
- 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법에 있어서,유리기판 상에 제1 투명유전체층을 형성하는 단계;버스전극 형성 영역의 상기 제1 투명유전체층을 선택적으로 제거하여 상기 유리기판 표면을 노출시키는 오픈부를 형성하는 단계;상기 오픈부에 전극물질을 매립하여 버스전극을 형성하는 단계;상기 버스전극 및 상기 제1 투명유전체층 상에 투명전극의 패턴을 형성하는 단계;상기 투명전극의 패턴이 형성된 전체 구조 상에 제2 투명유전체층을 적층으로 형성하는 단계; 및상기 제2 투명유전체층 상에 유전체 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법.
- 제1항에 있어서,상기 버스전극의 형성은 인쇄법 또는 토출법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법.
- 제1항에 있어서,상기 오픈부에 매립된 상기 버스전극을 형성하는 단계 후, 두께의 균일성 향상을 위해 그라인딩 공정을 진행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법.
- 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법에 있어서,유리기판 상부에 소정의 폭을 갖는 투명전극 패턴을 형성하는 단계;상기 투명전극 상에 제1 투명유전체층을 형성하는 단계;버스전극 형성 영역의 상기 제1 투명유전체층을 선택적으로 제거하여 상기 투명전극 표면을 노출시키는 오픈부를 형성하는 단계;상기 오픈부에 전극물질을 매립시켜 버스전극을 형성하는 단계;상기 버스전극이 형성된 전체 구조 상부에 제2 투명유전체층을 형성하는 단계; 및상기 제2 투명유전체층 상부에 유전체 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법.
- 제4항에 있어서,상기 버스전극의 형성은 인쇄법 또는 토출법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법.
- 제4항에 있어서,상기 오픈부에 매립된 상기 버스전극을 형성하는 단계 후, 두께의 균일성 향상을 위해 그라인딩 공정을 진행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마디스플레이패널의 전면판 형성방법.
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