KR20000077252A - 레이저장치의 자기커플링기구 - Google Patents

레이저장치의 자기커플링기구 Download PDF

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KR20000077252A
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사이토타카시
아라이모토히로
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타나카 아키히로
가부시키가이샤 우시오소우고우기쥬츠켄큐쇼
니시가키 코지
니폰덴키 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 모터 회전력의 전달효율이 좋고, 기구가 간단하고 베어링 등의 손상도 일어나기 어렵고 레이저가스의 오염을 일으키기 어려우며, 벗겨진 도금조각 등이 동작이상을 일으키는 일도 없는 자기커플링기구에 관한 것으로, 레이저가스가 충전된 레이저챔버 내의 가스순환용 팬(fan;11)의 샤프트(12)로 레이저챔버 밖의 모터샤프트(21)로부터 회전력을 전달하여 팬(11)을 회전시키는 자기커플링기구에 있어서, 모터샤프트(21) 일단의 내주면에 설치된 제1자석군(16)과, 레이저챔버 용기 벽의 일부를 구성하는 세라믹제의 격벽(22)을 통하여 제1자석군(16)과 레이디얼방향으로 커플링되어 있는 제2자석군(17)과, 이 제2자석군(17)이 외주면에 설치된 팬샤프트(12)로 이루어진 자기커플링기구이다.

Description

레이저장치의 자기커플링기구{Magnetic coupling mechanism for use in laser apparatus}
본 발명은 레이저장치의 자기커플링기구에 관한 것으로, 특히 엑시머레이저용 가스순환팬의 구동을 위한 커플링기구에 관한 것이다.
방전여기(放電勵起) 레이저장치에 있어서는 레이저가스가 밀봉되어 있는 용기 내부에 배치되어 레이저가스를 순환시키기 위한 팬에다 용기의 외부에 배치된 모터로부터 회전력을 전달할 필요가 있다. 이를 위하여 종래에는 기계적인 접촉을 갖지 않고 회전력을 전달할 수 있는 자기커플링기구가 사용되고 있다.
도 3에 종래의 자기커플링기구를 사용한 레이저장치의 개략 구성을 나타냈다. 도면의 (a)는 레이저 발진방향에 수직인 단면도, 도면의 (b)는 레이저 발진방향에 평행한 자기커플링부를 나타낸 부분단면도이고, 용기(10) 내에는 용기(10) 내에 레이저가스(ArF엑시머레이저의 경우는 Ar가스와 F2가스와 Ne가스의 혼합가스. 불소레이저의 경우는 F2가스와 예를 들면 He가스의 혼합가스.)의 가스류(1)를 형성하기 위한 팬(11), 레이저가스를 여기하는 전극(2a)(2b), 열교환기(3) 등이 설치되어 있고, 이 중, 전극(2a)(2b)은 용기(10) 내의 상부에 있고 서로 마주보는 위치에 설치되어 레이저 발진에 필요한 방전을 행한다. 팬(11)은 용기(10) 내의 하부에 있고 레이저가스를 용기(10) 내에서 순환시킨다. 전극(2a)(2b)의 방전에 의해서 가열된 레이저가스는 팬(11)에 의해서 가스류(1)가 발생되어 용기(10) 내를 순환하고, 용기(10) 내의 측부에 설치된 열교환기(3)에 냉각된다.
용기(10)의 외측에는 모터(15)가 배치되고 그 회전축(모터샤프트)(20) 선단에는 대기측 자기커플링(4)이 장치되어 있으며, 또 팬(11) 회전축(팬샤프트)(12)의 선단에는 가스측 자기커플링(5)이 장치되어 있다. 이들 자기커플링(4)(5)은 내부에 영구자석을 갖는 부재로서 용기(10)의 격벽(隔璧;6)을 통하여 마주보게 배치되어 있고, 모터(15) 회전축(20)의 회전력이 자기커플링(4)(5)의 영구자석간 자기결합에 의해 팬(11)의 회전축(12)에 전달되어 팬(11)이 회전구동된다(예를 들면 일본국 실용신안 공개 평6-45358호 공보).
이와 같은 자기커플링기구에 있어서, 대기측과 레이저가스측을 분리하기 위한 격벽(6)으로서 금속이 사용되고 있다. 그러나 자기커플링(4)(5)간의 격벽(6)으로서 금속을 사용하는 경우에는 자석의 회전에 따라서 내부에 와전류가 발생하여 발열하기 때문에 전달효율이 나쁘고, 또 냉각기구가 필요하게 되는 등의 구조가 복잡하게 된다는 결점이 있다. 그리고 자기커플링(4)(5)간의 커플링력이 스러스트(thrust)방향(축방향)으로 작용하기 때문에 회전축(20)(12)을 지지하는 베어링이 손상되기 쉽다는 문제도 있다.
또한, 종래예에서는 레이저가스 내의 자기커플링(5)에 사용되고 있는 자석에는 레이저가스 중의 F2가스에 대하여 내식성인 니켈도금 및 불소수지가 코팅되어 있다. 그러나 자석에 완전한 도금을 하는 것은 곤란하여 시간과 경과와 더불어 도금 등이 벗겨져서 자석이 부식되어 레이저가스를 오염시킴과 더불어 벗겨진 도금조각 등이 격벽과 자기커플링의 사이에 들어가 동작이상을 초래하기 쉽다는 문제가 있다.
본 발명은 종래기술의 이러한 문제점을 감안하여 발명한 것으로, 그 목적은 모터 회전력의 전달효율이 좋고 기구가 간단하며 베어링의 손상도 일어나기 어렵고, 또 레이저가스의 오염을 일으키기 어려우며, 또한 벗겨진 도금조각 등이 동작이상을 일으키는 일도 없는 레이저장치의 자기커플링기구를 제공하는 것에 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 자기커플링기구의 구조를 나타낸 단면도,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기커플링기구의 구조를 나타낸 단면도,
도 3은 종래의 자기커플링기구를 사용한 레이저장치의 개략 구성을 나타낸 도면이다.
상기 목적을 달성하는 본 발명 레이저장치의 자기커플링기구는 레이저가스가 충전된 레이저챔버(laser chamber) 내의 가스순환용 팬의 샤프트(shaft)로 레이저챔버 밖의 샤프트로부터 회전력을 전달하여 가스순환용 팬을 회전시키는 레이저장치의 자기커플링기구에 있어서, 상기 어느 한쪽 샤프트 일단의 외주면에 설치된 제1자석군과, 상기 레이저챔버 용기 벽의 일부를 구성하는 세라믹제의 격벽을 통하여 상기 제1자석군과 레이디얼(radial)방향으로 커플링되어 있는 제2자석군과, 이 제2자석군이 내주면에 설치된 다른 한쪽의 샤프트로 이루어진 것을 특징으로 하는 것이다.
이 경우에 레이저챔버 내의 샤프트에 설치된 자석군은 표면이 도금되고 또한 그 레이저챔버 내에 노출된 표면이 금속부재로 덮여져 있는 것이 바람직하다.
또, 세라믹제 격벽의 두께는 1.5∼10㎜의 범위 내에 있는 것이 바람직하다.
그리고, 세라믹제의 격벽은 산화알루미늄으로 구성되고, 그 순도가 99.5% 이상인 것이 바람직하다.
본 발명에서는 어느 한쪽 샤프트 일단의 외주면에 설치된 제1자석군과, 레이저챔버 용기 벽의 일부를 구성하는 세라믹제의 격벽을 통하여 제1자석군과 레이디얼방향으로 커플링되어 있는 제2자석군과, 이 제2자석군이 내주면에 설치된 다른 한쪽의 샤프트로 이루어지기 때문에, 회전력을 커플링할 때에 격벽 내에 와전류를 발생시키지 않고 발열도 일으키지 않아서 회전력의 전달효율이 떨어지지 않고, 또 냉각기구 등의 복잡한 기구를 설치할 필요도 없다. 게다가 제1자석군과 제2자석군의 사이에 작용력도 스러스트(thrust)방향이 아니라 레이디얼(radial)방향이기 때문에 베어링 등이 그 힘에 의해서 파손되는 일도 없다. 또한 레이저가스측과 대기측을 기밀(氣密)하게 분리하고 있는 세라믹제의 격벽으로서 순도가 99.5% 이상의 고순도 산화알루미늄을 사용함으로써 불순물이 발생하여 레이저가스를 오염시키는 일도 없다. 또한, 레이저챔버 내의 샤프트에 설치된 자석군의 표면을 도금하고, 그 레이저챔버 내에 노출된 표면을 금속부재로 덮음으로써 그 자석군이 직접 레이저가스에 접촉하지 않아 시간의 경과와 더불어 그 표면에 설치된 도금이 벗겨지기 쉽게 되어도 그 파편 등이 격벽과 레이저챔버측의 회전부재 사이에 들어가서 동작이상 등을 초래하는 일이 없어 장시간의 안정동작이 가능하게 된다.
이하, 본 발명의 일례로서 레이저가스 중에 F2가스를 포함한 엑시머레이저장치의 자기커플링기구의 실시예에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1에 본 발명의 일실시예에 따른 자기커플링기구의 구조를 나타냈다. 도 1의 (a)는 모터샤프트와 팬샤프트의 중심축을 포함한 단면도, 도 1의 (b)는 도 1의 (a)에 나타낸 모터샤프트의 중심축에 수직인 직선 A-A단면도이다.
이 실시예에 있어서는 엑시머레이저장치의 엑시머가스가 밀봉되어 있는 용기(10)(도 3 참조)의 벽에 설치된 플랜지(flange;14)의 개구(開口)를 덮도록 세라믹제로 한쪽의 바닥이 닫힌 원통형상의 격벽(22)을 적절한 수단으로 플랜지(14)의 개구부에 기밀하게 장치하고(도면의 경우는 격벽(22)의 개구단(開口端)의 돌기가 누름판으로 덮여서 나사에 의해 플랜지(14)에 장치되어 있다), 이 세라믹제 원통형상의 격벽(22)에 의해 용기(10)의 내부(가스측)와 외부(대기측)를 기밀하게 칸막이하여 분리하고 있고, 이 실시예에 있어서는 세라믹제 원통형상의 격벽(22)은 엑시머가스 중의 F2가스에 의해 부식되지 않는 고순도 알루미나로 이루어지는 세라믹으로 구성되고, 또한 도 1에 나타낸 바와 같이 대기측으로 돌출되도록 장치되어 있다.
대기측에는 모터(15)가 배치되고, 모터(15)의 회전축(모터샤프트)(20) 선단에는 동심(同心)으로 원통형상의 외전요크(자성체)(23)가 장치되고, 그 외전(外轉 )요크(yoke;23)의 내면에 축방향으로 평행하게 간격을 두고서 복수(도면의 경우 6개)의 외전자석(영구자석)(16)이 장치되어 있다. 그리고 대기측에 돌출되어 있는 원통형상의 격벽(22)을 그 외전자석(16)이 동심으로 둘러싸도록 외전요크(23)와 원통형상의 격벽(22)이 접촉하지 않도록 상호 동심으로 끼워맞춰져 있다.
한편, 용기(10) 내의 가스측에는 팬(11)이 설치되어 있고, 그 회전축(팬샤프트)(12)은 플랜지(14)의 개구에 장치된 베어링(13)을 통하여 원통형상의 격벽(22) 내에 돌출되어 있고, 그 돌출단에 동심으로 원통상의 내전(內轉)요크(자성체)(21)가 장치되며, 이 내전요크(21)의 외주에 축방향으로 평행하게 간격을 두고서 복수(도면의 경우는 외전자석(16)의 수와 같은 6개)의 내전자석(영구자석)(17)이 장치되어 있다.
내전자석(17)은 종래와 같이 레이저가스 중의 F2가스에 의해 그 성분인 사마륨(Samarium, Sm), 네오디뮴(Neodymium, Nd) 등의 희토류 금속이 부식되는 것을 방지하기 위하여 표면에 내부식성의 니켈도금 등이 가해져 있지만, 그 도금 등이 벗겨져서 도금조각 등이 격벽(22)과 내전요크(21)의 사이에 들어가서 동작이상 등을 초래하는 것을 방지하기 위하여 내전요크(21)의 외주에 장치된 내전자석(17)의 외주 전역을 덮도록 금속제(예를 들면 스테인레스제)로 원통형상의 자석커버(19)가 덮어 씌워져 있고, 또한 그 자석커버(19)와 내전자석(17)의 양끝을 덮는 내전자석(17)을 내전요크(21)에 고정하기 위하여 링형상의 금속제(예를 들면 스테인레스제)의 자석홀더(18)가 내전자석(17)과 자석커버(19)의 양끝에 밀착 고정되어, 내전자석(17)이 직접 레이저가스에 접촉되지 않고 또한 내전자석(17)으로부터의 도금조각 등이 레이저가스 속에 새어나오지 않도록 되어 있다.
이와 같은 구성이기 때문에 원통형상의 격벽(22)의 레이디얼방향 외부에는 모터(15)의 모터샤프트(20)에 고정된 외전요크(23)가 동심으로 위치하고, 원통형상의 격벽(22)의 레이디얼방향 내부에는 팬(11)의 회전축(12)과 일체로 고정된 내전요크(21)가 동심으로 위치하며, 외전요크(23)의 내주에 장치된 외전자석(16)과 내전요크(21)의 외주에 장치된 내전자석(17)의 사이에 작용하는 자력 때문에 모터(15)의 회전력은 자기적으로 팬(11)으로 전달된다. 게다가 외전요크(23)와 내전요크(21) 사이의 원통형상의 격벽(22)은 세라믹제의 것이기 때문에 이들 요크(23)(21)가 회전하여도 원통형상의 격벽(22) 내에는 와전류가 발생하지 않아 발열도 없기 때문에 회전력의 전달효율이 떨어지는 일은 없고, 또 냉각기구를 설치할 필요도 없다. 그러나, 외전요크(23)와 내전요크(21)의 사이에 작용력도 스러스트방향이 아니라 레이디얼방향이기 때문에 베어링(13) 등이 그 힘에 의해서 손상되는 일도 없다. 또 레이저가스측과 대기측을 기밀하게 분리하고 있는 원통형상의 격벽(22)에는 고순도의 알루미나세라믹이 사용되어 있기 때문에 불순물을 발생하여 레이저가스를 오염시키는 일도 없다(알루미나는 F2가스에 대하여 내부식성을 갖는다). 또한 레이저가스측의 내전자석(17)은 자석커버(19)와 자석홀더(18)에 의해 전면이 덮여져 있기 때문에 직접 레이저가스에 접촉하지 않아 시간의 경과와 더불어 그 표면에 설치된 도금이 벗겨지기 쉽게 되어도 그 파편 등이 격벽(22)과 내전요크(21)의 사이에 들어가서 동작이상 등을 초래하는 일이 없어 장시간의 안정동작이 가능하게 된다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기커플링기구의 구조를 나타낸 도 1과 같은 도면이다. 이 실시예는 도 1의 실시예에 대하여 내전요크(21)를 대기측(모터(15)측)에, 외전요크(23)를 가스측(팬(11)측)에 바꾸어 넣어서 자석커버(19)와 자석홀더(18)를 외전요크(23)에 장치된 외전자석(16)을 덮도록 한 점에서 다르다.
즉, 엑시머레이저장치의 엑시머가스가 밀봉되어 있는 용기(10)(도 3 참조)의 벽에 설치된 플랜지(14)의 개구를 덮도록 세라믹제로 한쪽의 바닥이 닫힌 원통형상의 격벽(22)이 적절한 수단으로 플랜지(14)의 개구부에 기밀하게 장치되고(도면의 경우는 격벽(22) 개구단의 돌기가 누름판으로 덮여서 플랜지(14)에 장치되어 있다.), 이 세라믹제 원통형상의 격벽(22)에 의해 용기(10)의 내부(가스측)와 외부(대기측)를 기밀하게 칸막이하여 분리하고 있고, 마찬가지로 고순도 알루미나로 이루어진 세라믹으로 되어 있다. 그리고 이 실시예에서는 도 1의 경우와 반대로 원통형상의 격벽(22)은 가스측(용기(10) 내)으로 돌출되도록 장치되어 있다.
대기측에는 모터(15)가 배치되고, 모터(15)의 모터샤프트(20) 선단에는 동심으로 원통형상의 내전요크(21)가 장치되며, 그 내전요크(21)의 외주에 축방향으로 평행하게 간격을 두고서 복수(도면의 경우는 6개)의 내전자석(영구자석)(17)이 장치되어 있으며, 가스측에 돌출되어 있는 원통형상의 격벽(22) 속에 그 내전요크(21)가 동심으로 들어가서 내전자석(17)과 원통형상의 격벽(22)이 접촉하지 않도록 장치되어 있다.
한편, 용기(10) 내의 가스측에는 팬(11)이 설치되어 있고, 그 팬샤프트(12) 선단은 용기(10) 속에 장치된 베어링(13)을 통하여 원통형상의 격벽(22)의 저부에 동심으로 면하여 있고, 그 선단에는 동심으로 원통형상의 외전요크(23)가 장치되며, 그 외전요크(23)의 내면에 축방향으로 평행하게 간격을 두고서 복수(도면의 경우 내전자석(17)의 수와 같은 6개)의 외전자석(영구자석)(16)이 장치되어 있다. 그리고 가스측에 돌출되어 있는 원통형상의 격벽(22)을 그 외전자석(16)이 동심으로 둘러싸도록 외전요크(23)와 원통형상의 격벽(22)이 접촉하지 않도록 서로 동심으로 끼워맞춰져 있다.
외전자석(16)은 레이저가스 중의 F2가스에 의해 그 성분이 부식되는 것을 방지하기 위하여 표면에 내부식성의 니켈도금 등이 되어 있지만, 그 도금 등이 벗겨져서 도금조각 등이 격벽(22)과 외전요크(23)의 사이에 들어가서 동작이상 등을 초래하는 것을 방지하기 위하여 외전요크(23)의 내면에 장치된 외전자석(16)의 내주 전역을 덮도록 금속제로 원통형상의 자석커버(19)가 덮여져 있고, 또한 그 자석커버(19)와 외전자석(16)의 노출단을 덮어 외전자석(16)을 외전요크(23)에 고정하기 위하여 링형상의 자석홀더(18)가 외전자석(16)과 자석커버(19)의 한쪽 끝에 밀착고정되어 외전자석(16)이 직접 레이저가스에 접촉하지 않고 또한 외전자석(16)으로부터의 도금조각 등이 레이저가스 속에 새어나오지 않도록 되어 있다.
이와 같은 구성이기 때문에 원통형상의 격벽(22)의 레이디얼방향 내부에는 모터(15)의 모터샤프트(20)에 고정된 내전요크(21)가 동심으로 위치하고, 원통형상의 격벽(22)의 레이디얼방향 외부에는 팬(11)의 회전축(12)과 일체로 고정된 외전요크(23)가 동심으로 위치하며, 내전요크(21)의 외주에 장치된 내전자석(17)과 외전요크(23)의 내주에 장치된 외전자석(16)의 사이에 작용하는 자력 때문에 모터(15)의 회전력은 자기적으로 팬(11)으로 전달된다. 더구나, 내전요크(21)와 외전요크(23) 사이의 원통형상의 격벽(22)은 세라믹제의 것이기 대문에 이들 요크(21)(23)가 회전하여도 원통형상의 격벽(22) 내에는 와전류가 발생하지 않고 발열도 없기 때문에 회전력의 전달효율이 떨어지는 일은 없고, 또 냉각기구를 설치할 필요도 없다. 또한 내전요크(21)와 외전요크(23)의 사이에 작용력도 스러스트방향이 아니라 레이디얼방향이기 때문에 베어링(13) 등이 그 힘에 의해서 손상되는 일도 없다. 또, 레이저가스측과 대기측을 기밀하게 분리하고 있는 원통형상의 격벽(22)에는 고순도의 알루미나세라믹이 사용되고 있기 때문에 불순물이 발생하여 레이저가스를 오염시키는 일도 없다. 또한, 레이저가스측의 외전자석(16)은 자석커버(19)와 자석홀더(18)에 의해 전면이 덮여져 있기 때문에 직접 레이저가스에 접촉되지 않아, 시간의 경과와 더불어 그 표면에 설치한 도금이 벗져지기 쉽게 되어도 그 파편 등이 격벽(22)과 외전요크(23)의 사이에 들어가서 동작이상 등을 초래하는 일이 없어 장시간의 안정동작이 가능하게 된다.
그런데, 본 발명의 자기커플링기구에서 중요한 구성요소인 세라믹제의 원통형상의 격벽(22)의 재료에 대하여 상기한 바와 같이 고순도의 알루미나세라믹을 사용하는 것이 바람직하고, 그 순도로서는 99.5% 이상의 것을 사용하는 것이 바람직하다. 순도가 그것보다 낮으면 세라믹 속의 불순물이 불순물가스로서 레이저가스 속에 들어가 레이저 발진동작에 악영향을 미치게 된다.
원통형상의 격벽(22)용 다른 세라믹재료로서는 질화규소, 산화지르코늄 등이 있다. 산화규소를 포함하는 것은 레이저가스 중의 F2가스에 의해 부식되므로 바람직하지 않다.
또, 세라믹제 원통형상의 격벽(22)의 두께로서는 1.5∼10㎜의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 엑시머레이저장치에 있어서는 레이저챔버와 대기의 압력차가 3∼4기압이기 때문에 그 압력차에 견디는 격벽(22)의 두께로서는 1.5㎜ 이상이 필요하다. 한편, 실용적인 원통형상의 격벽(22)의 내경이 40∼100㎜이기 때문에 그 경우에 최대토크로 자기커플링 시키는데는 내전자석(17)과 외전자석(16) 사이의 간격이 6∼12㎜이기 때문에 그 사이에 위치하는 격벽(22)의 두께로서는 10㎜ 이하인 것이 필요하다.
이상, 본 발명 엑시머레이저장치의 자기커플링기구를 실시예에 기초하여 설명하여 왔지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되지 않고 여러 가지 변형이 가능하다. 특히, 엑시머레이저장치 뿐만 아니라 불소레이저장치에도 적용할 수 있다.
이상의 설명으로부터 명백한 바와 같이 본 발명 레이저장치의 자기커플링기구에 의하면, 어느 한쪽의 샤프트 일단의 외주면에 설치된 제1자석군과, 레이저챔버의 용기 벽의 일부를 구성하는 세라믹제의 격벽을 통하여 제1자석군과 레이디얼방향으로 커플링되어 있는 제2자석군과, 이 제2자석군이 내주면에 설치된 다른 한쪽의 샤프트로 이루어지기 때문에 회전력을 커플링할 때에 격벽 내에 와전류가 발생하지 않고 발열도 없기 때문에, 회전력의 전달효율이 떨어지는 일은 없고 또한 냉각기구 등의 복잡한 기구를 설치할 필요도 없다. 더구나, 제1군자석군과 제2군자석군의 사이에 작용력도 스러스트방향이 아니라 레이디얼방향이기 때문에 베어링 등이 그 힘에 의해서 손상되는 일도 없다. 또 레이저가스측과 대기측을 기밀하게 분리하고 있는 세라믹제의 격벽으로서 순도가 99.5% 이상인 고순도 산화알루미늄을 사용함으로써 불순물을 발생하여 레이저가스를 오염시키는 일도 없다. 또한 레이저챔버 내의 샤프트에 설치된 자석군의 표면을 도금하고, 그 레이저챔버 내에 노풀된 표면을 금속부재로 덮음으로써 그 자석군이 직접 레이저가스에 접촉되지 않아 시간의 경과와 더불어 그 표면에 설치한 도금이 벗겨지기 쉽게 되어도 그 파편 등이 격벽과 레이저챔버측의 회전부재 사이에 들어가서 동작이상 등을 초래하는 일이 없어 장시간의 안정동작이 가능하게 된다.

Claims (7)

  1. 레이저가스가 충전된 레이저챔버 내의 가스순환용 팬의 샤프트로 레이저챔버 밖의 샤프트로부터 회전력을 전달하여 가스순환용 팬을 회전시키는 레이저장치의 자기커플링기구에 있어서,
    상기 어느 한쪽 샤프트 일단의 외주면에 설치된 제1자석군과, 상기 레이저챔버 용기 벽의 일부를 구성하는 세라믹제의 격벽을 통하여 상기 제1자석군과 레이디얼방향으로 커플링되어 있는 제2자석군과, 이 제2자석군이 내주면에 설치된 다른 한쪽의 샤프트로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저장치의 자기커플링기구.
  2. 제1항에 있어서, 레이저챔버 내의 샤프트에 설치된 자석군은 표면이 도금되고, 또한 그 레이저챔버 내에 노출된 표면이 금속부재로 덮여져 있는 것을 특징으로 하는 레이저장치의 자기커플링기구.
  3. 제1항에 있어서, 상기 세라믹제 격벽의 두께가 1.5∼10㎜의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 레이저장치의 자기커플링기구.
  4. 제2항에 있어서, 상기 세라믹제 격벽의 두께가 1.5∼10㎜의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 레이저장치의 자기커플링기구.
  5. 제1항에 있어서, 상기 세라믹제의 격벽은 산화알루미늄으로 구성되고, 그 순도가 99.5% 이상인 것을 특징으로 하는 레이저장치의 자기커플링기구.
  6. 제2항에 있어서, 상기 세라믹제의 격벽은 산화알루미늄으로 구성되고, 그 순도가 99.5% 이상인 것을 특징으로 하는 레이저장치의 자기커플링기구.
  7. 제3항에 있어서, 상기 세라믹제의 격벽은 산화알루미늄으로 구성되고, 그 순도가 99.5% 이상인 것을 특징으로 하는 레이저장치의 자기커플링기구.
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