KR20000057587A - 육플루오르화황 회수 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 육플루오르화 황("SF6")을 회수하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 상기 SF6을 흡착하는 제올라이트, 활성 탄소, 또는 실리칼라이트를 사용하여 가스 스트림으로부터 SF6을 회수하는 가압 스윙 흡-탈착 방법을 제공한다.

Description

육플루오르화황 회수 방법{PROCESS FOR RECOVERING SULFUR HEXAFLUORIDE}
다양한 적용처의 공업에서 사용되는 비-가연성 가스인 SF6은 수많은 알려진 방법중 어느것으로도 제조된다. 그 제조에서, 생성물인 SF6은 전형적으로 불순물을 제거하기 위해 처리되어야 한다. 상기 SF6을 이렇게 처리하는데 있어서, 일부 SF6은 상기 생성물인 SF6으로부터 제거된 불순물의 가스 스트림중 한 성분으로서 손실될 수 있다. 상기 불순물과 일부 SF6을 함유한 가스 스트림은 대기로 배출될 수 있다. 이는 생성된 SF6중 일부의 손실을 초래할 뿐 아니라, SF6은 "온실 효과"인, 지구 온난화 가스로 추정되기 때문에 환경적으로도 바람직하지 않다.
다른 가스로부터 SF6을 분리하기 위한 수많은 방법들이 알려져 있다. J.J.Perona와 J.S.Watson의 "Sulfur Hexafluroride Purification From Mixtures With Air: A Process Feasibility Study"에서는 활성 탄소와 -50℉ 미만의 온도를 사용하여 공기-SF6혼합물로부터 SF6의 탈착이 개시되어 있다. 이 방법은 에너지-집약적 방법이기 때문에 불리하다.
C. Brassard의 Proceeding of the Symposium of Northeast Accelerator Personnel(S.N.E.A.P), 60(1976)에서는, 활성탄 흡착을 사용하여 SF6를 회수하는 방법이 개시되어 있다. 이 방법에서는, 단파(short burst)의 가스를 칼럼에 주입하게 하여 SF6보다 빠른 속도로 흐르는 불순물들은 SF6이전에 방출한다. 이 방법은 공업에서 사용하기에 비실용적이기 때문에 불리하다.
나아가, 미국특허번호 3,675,392에는 SF6로부터 물과 이산화탄소를 분리하기 위하여 분자체의 사용을 개시하였다. 그러나, 이 특허에 개시된 상기 방법은 배치 방법이므로 SF6가 주성분인 가스 스트림에 대해서만 적합하다. 마지막으로, 일본 특허출원 번호 60-054723에는 칼슘 수소화물을 사용하여 SF6로부터 물과 이산화탄소의 분리가 개시되어 있다. 이 방법은 칼슘 수화물이 위험한 물질이며 물과 이산화 탄소의 제거를 위한 용량이 비교적 낮으므로 불리하다.
상기한 방법중 어느것도 SF6이 소량 성분인 가스 스트림으로부터 SF6을 회수하기 위한 공업적으로 유용한 방법을 제공하지 못한다. 따라서, SF6를 회수하기 위한 저렴하고, 효율적이며, 공업적으로 유용한 방법에 대한 필요성이 존재하고 있다.
본 발명은 육플루오르화 황("SF6")을 회수하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 가스 스트림으로부터 SF6을 회수하기 위한 가압 스윙(swing) 흡-탈착 방법에 관한 것이다.
본 발명은 가스 스트림으로부터 SF6을 회수하기 위한 간단하며, 경제적인 방법을 제공한다. 본 발명의 방법은 가스 스트림으로부터 SF6의 선택적인 흡착에 적합한 조건하에 소량의 SF6을 포함하는 가스 스트림과 선택적으로 SF6을 흡착할 수 있는 흡착제를 접촉시키는 단계를 포함한다. 임의로, 본 발명의 방법은 상기 흡착제로부터 SF6을 재생시키는 단계를 부가적으로 포함한다.
본 발명에 유용한 가스 스트림은 최소 하나의 다른 성분과 함께 소량의 SF6을 함유한다. "소량" 이란 가스 스트림의 총부피를 기준으로 SF6가 약 50부피% 미만, 바람직하게는 약 20 부피% 미만, 보다 바람직하게는 약 1부피% 미만인 것을 의미한다.
상기 가스 스트림의 다른 성분은 하나 이상의 비-응축성 가스들이다. 상기 상분은 전형적으로 공기, 헬륨, 아르곤, 일산화탄소, 이산화탄소, 질소, 산소, 네온, 수소 또는 사플루오르화 탄소중 하나 이상일 것이다. 본 방법은 사플루오르화 탄소가 다른 성분이거나 다른 성분들중 하나인 가스 스트림에 있어 그 용도가 크다.
본 발명에 유용한 흡착제는 SF6을 선택적으로 흡착할 수 있는 어떠한 흡착제이다. "선택적으로 흡착하는"이란 상기 흡착제가 SF6에 대한 친화도가 가스 스트림내의 다른 성분 또는 성분들에 대한 그 친화도보다 크다는 것을 의미한다. 바람직하게는 상기 흡착제는 다른 성분 또는 성분들을 거의 또는 전혀 흡수하지 않는 반면 상기 가스 스트림으로부터 SF6는 실질적으로 전부 흡수되는 것과 같은 SF6에 대한 친화도를 갖는다. 본 발명에 유용한 적합한 흡착제들은 상업용으로 시판된다. 유용한 흡착제로는, 예외없이 제올라이트, 활성 탄소 및 실리칼라이트(silicalite)를 포함한다. 바람직하게는, 제올라이트 또는 활성 탄소가 사용된다. 보다 바람직하게는, 활성 탄소가 흡착제로서 사용된다.
본 발명의 방법에서 사용할 수 있는 제올라이트는 평균 공극 크기가 약 5보다 큰, 바람직하게는 약 5 ~ 20Å인 천연 또는 합성 제올라이트이다. 바람직하게는 사용되는 제올라이트는 X 또는 Y 포자사이트(Faujasite) 제올라이트이다. 보다 바람직하게는, 나트륨 X(13X) 제올라이트가 사용된다.
본 발명에 유용한 활성 탄소는 약 4 ~ 300, 바람직하게는 약 20 ~ 50의 메쉬를 갖는 어떠한 과립형, 활성탄소이다. 표면적에 있어서, 상기 활성 탄소는 표면적이 최소한 약 200m2/g, 바람직하게는 약 1000 ~ 1500m2/g 이다. 바람직하게는, 상기 활성 탄소는 Calgon Corp.에서 시판되는 PCBTM또는 ASCTM탄소이다.
사용되는 흡착제의 양은 상기 흡착제의 재생이 필요하기전에 원하는 시간동안 흡착 주기를 진행하도록 하는데 효과적인 양이다. 사용되는 흡착제의 정확한 양은 선택된 흡착제의 용량, 흡착제 재생 사이에 원하는 시간, 및 SF6가스 스트림의 유속을 고려함으로써 이 기술분야에서 숙련된 자들에 의해 쉽게 결정할 수 있다.
상기 가스 스트림과 흡착제의 접촉은 이 기술분야에서 알려진 어떠한 방법으로도 일어날 수 있다. 바람직하게는, 상기 가스 스트림을 흡착제가 고정되어, 패킹된 배드를 통해 통과시킴으로써 접촉이 일어난다. 상기 가스 스트림은 약 240h-1미만, 바람직하게는 약 100h-1의 가스 시간당 공간속도로 통과하게 된다.
상기 접촉은 상기 가스 스트림으로부터 SF6의 선택적 흡착이 용이하게되는 어떠한 조건하에서도 수행된다. 이에따라, 접촉 온도 및 압력은 상기 온도가 상기 접촉 압력에 대해 SF6의 비점보다 높은, 바람직하게는 약 10℃ 높은 것이다. 바람직하게는, 약 10 ~ 40℃, 바람직하게는 약 25 ~ 40℃의 온도에서 접촉이 수행된다. 보다 바람직하게는, 실온에서 접촉이 수행된다. 접촉이 실행되는 압력은 최소한 약 5,170 torr(100 psia), 바람직하게는 약 10,340 torr(200psia)이다.
상기 접촉 단계에서 흡착된 SF6은 어떠한 편리한 방법으로도 흡착제로부터 재생될 수 있다. 바람직하게는, 상기 재생은 SF6가 수집될 수 있도록 SF6를 방출하는 흡착제 배드상에서 압력을 약 760 torr(14.7psia), 보다 바람직하게는 약 100 torr(1.93psia), 가장 바람직하게는 약 40torr(0.77psia)로 낮춤으로써 수행된다. 이와같이 수행된 재생은 최소 약 10℃, 바람직하게는 최소한 약 25℃에서 발생할 수 있다. SF6를 재생하는데 필요한 시간은 사용된 흡착제의 양 뿐 아니라 상기 흡착제상에 흡착된 SF6의 양에 따라 좌우될 것이다. 통상적으로, 재생은 약 5 ~ 40시간내에 발생할 것이다.
본 발명의 방법은 어떠한 가스 스트림으로부터 SF6을 회수하는데 사용할 수 있지만, 상기 SF6가 소량으로 존재하는 가스 스트림으로부터 SF6를 회수하는데 있어 용도가 큰 것을 발견할 수 있다. 에를들어, SF6의 제조에서, 상기 생성된 SF6은 전형적으로 증류되며 정제된 SF6는 칼럼의 최하단 스트림으로서 제거된다. 칼럼의 상부 스트림은 다른 성분들 뿐 아니라 소량의 SF6를 함유할 것이다. SF6는 본 발명의 방법을 사용함으로써 상기 상부 스트림으로부터 회수할 수 있다.
본 발명의 방법은 어떠한 적합한 용기를 사용하여 수행할 수 있다. 예를들어, 양쪽 말단에 파이프 이음쇄가 있는 크로마토그래피 칼럼이 있다. 바람직하게는, 한 칼럼내의 흡착제의 재생이 상기 SF6회수를 방해하지 않고 수행될 수 있도록 하나 이상의 용기가 사용된다.
본 발명은 다음의 실시예에 의해 보다 더 명확해질 것이다.
실시예 1
500mL(14in x 1.814 in i.d) 칼럼에 UOP Inc.에서 시판되는 건조 13X 제올라이트 275g을 채웠다. 400mL/min으로 흐르는 공기 스트림과 100mL/분으로 흐르는 0.091% 사플루오르화 탄소로 오염된 SF6스트림을 혼합함으로써 제조된 공급 스트림을 25℃에서 통과하도록 하였다. 상기 칼럼내의 압력을 약 248 - 265 psia로 조정하였다. 칼럼을 빠져나가는 가스 스트림 시료를 주기적으로 취하여 가스 크로마토그래피로 분석하였다. 상기 분석에 의해 얻어진 SF6와 CF4의 농도를 표 1에 나타내었다. SF6에 대한 상기 흡착제의 용량은 SF6의 농도가 상기 공급 농도의 50%에 이르는데 필요한 시간으로부터 계산하였다.
시간(분) 〔CF4〕1 〔SF6〕2
공급 0.091 18.39
13 0 0.8
27 0 0.48
42 0 0.24
59 0 0.23
74 0 0.19
89 0 0.17
103 0 0.21
117 0 0.19
131 0 0.18
145 0.17 0.2
163 0.657 0.17
178 0.047 16.5
193 0 16.5
206 0 16.1
1. 상기 괄호는 CF4의 중량%의 농도를 나타낸다.
2. 상기 괄호는 SF6의 중량%의 농도를 나타낸다.
실시예 2
Calgon Corp.에서 시판되는 CPG 활성 탄소 215g을 흡착제로서 사용한 것을 제외하고는 실시예 1의 방법을 사용하였다. 결과는 표 2에 나타내었다.
시간(분) 〔CF4〕 〔SF6〕
공급 0.6129 19.93
10 0 1.16
25 0 1.58
41 0 1.5
55 0 0.68
68 0 0.968
83 0 0.422
95 0 0.898
110 0 0.877
128 0 0.892
185 0.85278 0.804
197 0.8135 1.374
211 0.07415 16.32
225 0.04538 19.1
237 0.03941 18.95
실시예 3
실리칼라이트 332g을 흡착제로서 사용한 것을 제외하고는 실시예 1의 방법을 사용하였다. 결과는 표 3에 나타내었다.
시간(분) 〔CF4〕 〔SF6〕
공급 0.03743 19.84
5 0 8.21
20 0 0.78
40 0 0.169
54 0 0
69 0 0
80 0.496 0
129 0.061 31.9
실시예 4
Calgon Corp.에서 시판되는 F-400 226g을 흡착제로서 사용한 것을 제외하고는 실시예 1의 방법을 사용하였다. 결과는 표 4에 나타내었다.
시간(분) 〔CF4〕 〔SF6〕
공급 0.03812 30.64678
4 0 8.09
19 0 0.904
32 0 1.65
45 0 1.1
90 0 0.404
103 0 0
117 0 0
131 0 0
145 0 0
160 0 0
174 0.047 0
187 0.269 0
200 0.493 0
213 0.212 0
224 0.189 0
238 0.081 50.55
255 0.037 29.03
실시예 5
흡착제로서 Calgon Corp.에서 시판되는 PCB 활성 탄소 225g을 사용한 것을 제외하고는 실시예 1의 방법을 사용하였다. 결과는 표 5에 나타내었다.
시간(분) 〔CF4〕 〔SF6〕
공급 0.02678 16.93
4 0 3.564
16 0 0.993
30 0 1.37
43 0 0.886
58 0 0.181
74 0 0.36
86 0 0.095
100 0 0.277
115 0 0.065
156 0 0
170 0 0
185 0 0
200 0 0
215 0 0
227 0 0
240 0.198 0
253 0.849 0
265 0.221 0.145
282 0.027 16.6
실시예 6
흡착제로서 UOP Inc에서 시판되는 5A 제올라이트 346.8g을 사용한 것을 제외하고는 실시예 1의 방법을 사용하였다. 결과는 표 6에 나타내었다.
시간(분) 〔CF4〕 〔SF6〕
공급 0.03629 18.784
4 0 2.099
20 0 7.981
47 0 16.794
61 0 16.805
실시예 7
흡착제로서 Calgon Corp.에서 시판되는 ASC 활성 탄소 287g을 사용한 것을 제외하고는 실시예 1의 방법을 사용하였다. 결과는 표 7에 나타내었다.
시간(분) 〔CF4〕 〔SF6〕
공 급 0.02967 18.25573
4 0 5.225
196 0 2.181
32 0 1.173
52 0 0.2084
77 0 0.3609
101 0 0.2848
110 0.02856 0
129 0.449 0
142 0.204 0
155 0.652 0
170 0.062 13.59
190 0.027 17.52
실시예 8
실시예 1의 칼럼을 사용하여 Calgon Corp.에서 시판되는 건조 PCB 활성 탄소 225g으로 채웠다. 400mL/min으로 흐르는 공기 스트림과 100mL/min으로 흐르는 2.25% CF4로 오염된 SF6스트림을 혼합함으로써 제조한 공급 가스 스트림을 25℃ 온도의 칼럼을 통과하도록 하였다. 상기 칼럼내의 압력을 248 - 265 psia로 조정하였다. 상기 칼럼을 빠져 나가는 가스 스트림 시료를 주기적으로 취하여 GC로 분석하였다. 상기 결과를 표 8에 나타내었다. SF6농도가 그 공급 농도의 50%에 이르는데 필요한 시간으로부터SF6에 대한 흡착제의 용량을 계산하였다.
나타난 바와 같이, 상기 CF4는SF6이전에 칼럼을 통과하여 그 농도는 통과시에 그 공급 농도를 초과한다. 이는 상기 흡착제가 CF4에 비해 SF6에 대해 보다 강한 친화력을 가졌다는 것을 나타낸다고 이론화된다. 상기 SF6의 재생전에 흡착 모드에서 칼럼을 작동하는 적당한 시간을 선택함으로써, 상기 칼럼이 SF6로만 적재되도록 하면서 필수적으로 모든 CF4를 대체하는 것이 가능하다. 이는 재생중에 상기 칼럼으로부터 CF4가 없는 SF6가 회수되도록 한다.
누적 시간(분) 누적 부피공급량(L) %CF4 %SF6 %CF4공급액 %SF6공급액
공급 0 --- --- 0.5698 23.372
공급 0 --- --- 0.4836 22.413
91.00 20.02 0 0.3078 --- ---
117.00 25.74 0 0.1838 --- ---
144.00 31.68 0 0 --- ---
165.00 36.30 0 0 --- ---
190.00 41.80 0 0 --- ---
213.00 46.86 0.9923 0 --- ---
236.00 51.92 2.8433 0 --- ---
268.00 58.96 0.2606 16.134 --- ---
실시예 9
실시예 1의 칼럼을 건조, 13X 제올라이트 275g으로 채웠다. 400mL/min으로 흐르는 공기 스트림과 100mL/min으로 흐르는 0.091% CF4로 오염된 SF6스트림을 혼합함으로써 제조한 공급 가스 스트림을 25℃ 온도의 칼럼을 통과하도록 하였다. 상기 칼럼 압력을 248 - 265 psia로 조정하였다. 상기 빠져나가는 가스 스트림 시료를 주기적으로 취하여 GC로 분석하였다. 상기 결과를 표 9에 나타내었다. SF6농도가 나타내어진 표 9에 결과를 나타내었다.
상기 SF6가 일단 통과하면, 상기 칼럼은 내부 압력 760 torr(14.7psia)까지 1시간 동안 통기되도록 하였다. 상기 칼럼은 동일한 SF6/공기 스트림을 정화하는데 사용한 다음 동일한 방법으로 모니터하여, 그 결과를 또한 표 9에 나타내었다. 다음으로 상기 칼럼을 이번에는 20시간동안 다시 통기하고, 동일한 스트림을 정화하는데 다시 사용하였다. 통과가 다시 관찰된 후, 상기 칼럼은 진공 펌프를 사용하여 1시간동안 내부 압력을 27torr(0.52psia)로 감소시켰다. 상기 칼럼은 동일한 스트림을 정화하였으며 이동안 초기 SF6농도는 훨씬 낮았으며 통과에 필요한 시간은 더 길었다. 동일한 방법으로, 재생 실험을 1.25 및 3.5시간으로 진행하였다. 이 실시예는 보다 낮은 압력을 사용하면 보다 나은 흡착제 재생이 얻어진다는 것을 나타낸다.
시간(분) 새로운 13X 760torr에서1시간 760torr에서2시간 27torr에서1시간 27torr에서1.25시간 27torr에서3.5시간
15 0.8 --- --- --- --- ---
25 0.48 --- --- --- --- ---
40 0.24 --- --- --- --- ---
60 0.23 --- --- --- --- ---
75 0.19 --- --- --- --- ---
90 0.17 --- --- --- --- ---
100 0.21 --- --- --- --- ---
120 0.19 --- --- --- --- ---
130 0.l8 --- --- --- --- ---
150 0.2 --- --- --- --- ---
160 0.17 --- --- --- --- ---
180 16.5 --- --- --- --- ---
190 16.46 --- --- --- --- ---
210 16.12 --- --- --- --- ---
중단 0.17 --- --- --- --- ---
70 --- 6.97 --- --- --- ---
50 --- 7.95 --- --- --- ---
30 --- 10.41 --- --- --- ---
15 --- 13.41 --- --- --- ---
25 --- --- 12.61 --- --- ---
25 --- --- 12.61 --- --- ---
40 --- --- 10.43 --- --- ---
40 --- --- 10.43 --- --- ---
50 --- --- 8.53 --- --- ---
50 --- --- 8.53 --- --- ---
65 --- --- 18.03 --- --- ---
65 --- --- 18.03 --- --- ---
80 --- --- 18.57 --- --- ---
80 --- --- 18.57 --- --- ---
15 --- --- --- 1.53 --- ---
70 --- --- --- 1.47 --- ---
85 --- --- --- 1.47 --- ---
100 --- --- --- 1.47 --- ---
시간(분) 새로운 13X 760torr에서1시간 760torr에서2시간 27torr에서1시간 27torr에서1.25시간 27torr에서3.5시간
110 --- --- --- 15.06 --- ---
120 --- --- --- 17.38 --- ---
20 --- --- --- --- 1.08 ---
30 --- --- --- --- 1.2 ---
45 --- --- --- --- 3.36 ---
60 --- --- --- --- 1.23 ---
70 --- --- --- --- 3.69 ---
85 --- --- --- --- 1.23 ---
100 --- --- --- --- 3.41 ---
110 --- --- --- --- 1.24 ---
120 --- --- --- --- 1.25 ---
140 --- --- --- --- 15.5 ---
150 --- --- --- --- 16.6 ---
160 --- --- --- --- 17.3 ---
180 --- --- --- --- 17.1 ---
190 --- --- --- --- 17.2 ---
15 --- --- --- --- --- 0.458
30 --- --- --- --- --- 0.497
75 --- --- --- --- --- 0.515
50 --- --- --- --- --- 0.53
95 --- --- --- --- --- 0.53
130 --- --- --- --- --- 1.729
120 --- --- --- --- --- 1.775
150 --- --- --- --- --- 7.194
160 --- --- --- --- --- 16.97
180 --- --- --- --- --- 17.52
실시예 10
실시예 1의 칼럼을 건조 PCB 활성 탄소 222g으로 채웠다. 400mL/min으로 흐르는 공기 스트림과 100mL/min으로 흐르는 0.091% CF4로 오염된 SF6스트림을 혼합함으로써 제조한 공급 가스 스트림을 25℃ 온도의 칼럼을 통과하도록 하였다. 상기 칼럼내의 압력을 248 - 265 psia로 조정하였다. 상기 배출 가스 시료를 주기적으로 취하여 GC로 분석하였다. 상기 농도가 그 공급 농도의 50%에 이르는데 필요한 시간으로부터 SF6에 대한 흡착제의 용량을 계산하였다. SF6의 선-통과 농도는 통과전에 취한 모든 시료들에 대한 SF6의 농도를 평균함으로써 계산하였다.
다음으로 상기 칼럼은 실온에서 16시간동안 진공 펌프를 사용하여 그 압력을 43 torr(0.83 psia)로 감소시킴으로써 재생시켰다. 다음으로 상기 칼럼은 상기와 동일한 방법으로 재-사용하였다. 상기 칼럼은 총 12회 주기 동안 교대로 흡착 및 재생에 사용하였다. SF6의 용량과 선-통과점의 농도를 표 10에 나타내었다. 효능에 있어 심각한 저하는 관찰되지 않았다.
재생 수 용 량 선-통과점 농도(%SF6)
새로운 것 596 ---
1 604 0.24707
2 624 0.24638
3 564 0.23068
4 586 0.25699
5 553 0.25105
6 597 0.27282
7 608 0.25235
8 549 0.20434
9 622 0.19294
10 580 0.19467
11 582 0.28268
12 586 0.21974
실시예 11
500mL(14in x 1.814in i.d)칼럼을 활성 탄소로 채웠다. 공급 가스 스트림은 400mL/min로 흐르는 공기 스트림과 100mL/min로 흐르는 0.091%의 사플루오르화 탄소로 오염된 육플루오르화 황의 스트림을 혼합함으로써 제조하여 40℃의 이 칼럼을 통과하도록 하였다. 상기 칼럼내의 압력을 약 248 - 265 psia로 조정하였다. 이 칼럼을 빠져나가는 가스 스트림 시료를 주기적으로 취하여 GC로 분석하였다. 결과는 실시예 1의 결과와 필적할만한 것으로 관찰된다.
실시예 12
500mL(14in x 1.814in i.d)칼럼을 활성 탄소로 채웠다. 공급 가스 스트림은 400mL/min로 흐르는 공기 스트림과 100mL/min로 흐르는, 0.091%의 사플루오르화 탄소로 오염된 육플루오르화 황의 스트림을 혼합함으로써 제조하여 25℃에서 이 칼럼을 통과하도록 하였다. 상기 칼럼내의 압력을 약 100 - 200 psia로 조정하였다. 이 칼럼을 빠져나가는 가스 스트림 시료를 주기적으로 취하여 GC로 분석하였다. 결과는 실시예 1의 결과와 필적할만한 것으로 관찰된다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 의하면 육플루오르화 황을 보다 경제적이고, 효과적으로 회수하는 방법이 제공된다.

Claims (10)

  1. 소량의 육플루오르화 황을 포함하는 가스 스트림과 그 가스 스트림으로부터 상기 육 플루오르화 황의 선택적인 흡착에 적합한 조건하에 육 플루오르화 황을 선택적으로 흡착할 수 있는 흡착제와 접촉시키는 단계를 포함하는 육 플루오르화 황 회수 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가스 스트림은 소량의 육플루오르화 황을 포함하며 상기 최소 한가지 성분은 공기와 사플루오르화 탄소임을 특징으로 하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 소량의 육플루오르화 황은 상기 가스 스트림의 약 20 부피% 미만임을 특징으로 하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 흡착제는 제올라이트, 활성 탄소 및 실리카라이트(silicalites)로 이루어지는 그룹으로부터 선택됨을 특징으로 하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제올라이트는 나트륨 X(13X) 제올라이트임을 특징으로 하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 나아가 선택적으로 흡수된 육플루오르화 황을 재생하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 방법.
  7. 육플루오르화 황 약 50부피% 미만과 공기, 사플루오르화 탄소, 아르곤, 헬륨, 일산화탄소, 이산화탄소, 질소, 산소, 네온 및 수소로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 최소 하나의 성분을 포함하는 가스 스트림과 제올라이트, 활성 탄소 및 실리칼라이트로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 흡착제를 접촉시키는 단계를 포함하며,
    상기 접촉은 약 10 ~ 40℃의 온도와 최소한 약 100psia의 압력(상기 온도는 상기 접촉 압력에 대해 상기 육플루오르화 황의 비점 이상이다), 및 약 240h-1미만의 가스 시간당 공간 속도에서 수행되는 육플루오르화 황 회수 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 육플루오르화 황은 상기 가스 스트림의 약 20 부피% 미만의 양으로 존재함을 특징으로 하는 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제올라이트는 나트륨 X(13X) 제올라이트임을 특징으로 하는 방법.
  10. 육플루오르화 황 약 20부피% 미만과 공기, 사플루오르화 탄소, 아르곤, 헬륨, 일산화탄소, 이산화탄소, 질소, 산소, 네온 및 수소로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 최소 하나의 성분을 포함하는 가스 스트림과 제올라이트, 활성 탄소 및 실리칼라이트로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 흡착제를 접촉시키는 단계(상기 접촉은 약 25 ~ 40℃의 온도와 최소한 약 100psia의 압력(상기 온도는 상기 접촉 압력을 위해 상기 육플루오르화 황의 비점 이상이다), 및 약 240h-1미만의 가스 시간당 공간 속도에서 수행된다); 및
    최소한 약 10℃의 온도에서 상기 압력을 약 14.7psia로 감소시킴으로써 선택적으로 흡착된 상기 육플루오르화 황을 재생시키는 단계;
    를 포함하는 육플루오르화 황 회수 방법.
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