KR20000039288A - 4장의 마스크를 이용한 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법 및 액정 표시 장치용박막 트랜지스터 기판 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 첫째 마스크를 이용하여 절연 기판 위에 게이트 배선을 형성하는 단계,둘째 마스크를 이용하여 상기 게이트 배선을 덮으며 게이트 절연막, 반도체층 및 접촉층을 포함하는 3중층을 형성하는 단계,셋째 마스크를 이용하여 하부 도전층과 상부 도전층의 이중층으로 이루어진 도전체 패턴을 형성하는 단계,상기 도전체 패턴으로 덮이지 않은 상기 접촉층을 식각하는 단계,넷째 마스크를 이용하여 보호막을 형성하는 단계,상기 보호막으로 덮이지 않은 상기 도전체 패턴의 상부 도전층 및 상기 반도체층을 식각하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제2항에서,상기 상부 도전층은 ITO로 이루어진 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제2항에서,상기 게이트 배선은 게이트선, 상기 게이트선의 분지인 게이트 전극, 상기 게이트선의 끝에 연결되어 있어 외부로부터의 주사 신호를 인가 받는 게이트 패드를 포함하고, 상기 도전체 패턴은 데이터 배선, 화소 전극 및 도체 패턴을 포함하며, 상기 3중층은 상기 게이트 패드를 드러내는 제1 접촉 구멍을 가지고 있고, 상기 도체 패턴은 상기 제1 접촉 구멍을 통하여 상기 게이트 패드를 덮으며, 상기 보호막은 상기 도체 패턴의 하부 도전층을 드러내는 제1 개구부를 가지고 있는액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제3항에서,상기 데이터 배선은 상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 상기 데이터선의 분지이며 상기 접촉층 위에 형성되어 있는 소스 전극, 상기 소스 전극의 맞은 편에 위치하는 상기 접촉층 위에 형성되어 있으며 상기 소스 전극과 분리되어 있는 드레인 전극, 상기 데이터선의 끝에 연결되어 있어 외부로부터의 화상 신호를 인가 받는 데이터 패드를 포함하고, 상기 화소 전극은 상기 드레인 전극과 연결되어 있고, 상기 보호막은 상기 화소 전극의 하부 도전층을 드러내는 제2 개구부와 상기 데이터 패드의 하부 도전층을 드러내는 제3 개구부를 가지고 있는액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제4항에서,상기 보호막은, 상기 게이트선 중 인접하는 상기 데이터선 사이에 위치한 부분 위의 상기 게이트 절연막의 일부를 드러내는 제4 개구부를 가지고 있으며 상기 제4 개구부 양쪽의 상기 반도체층은 서로 분리되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제5항에서,상기 화소 전극은 인접하는 게이트선과 중첩되어 있으며 상기 화소 전극과 상기 게이트선 사이에 끼어 있는 상기 반도체층은 고립되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제1항에서,상기 3중층 형성 단계는,상기 게이트 절연막 및 상기 반도체층을 연속하여 적층하는 단계,상기 반도체층 위에 실리사이드 형성 가능한 금속층을 적층하여 상기 반도체층 위에 실리사이드로 이루어진 상기 접촉층을 형성하는 단계,상기 금속층을 제거하는 단계,상기 셋째 마스크를 이용하여 상기 접촉층, 상기 반도체층 및 상기 게이트 절연막을 패터닝하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제1항에서,상기 3중층 형성 단계는,상기 게이트 절연막 및 상기 반도체층을 연속하여 적층하는 단계,상기 반도체층 위에 도핑된 비정질 규소로 이루어진 접촉층을 형성하는 단계,상기 접촉층을 미세결정화하는 단계,상기 셋째 마스크를 이용하여 상기 접촉층, 상기 반도체층 및 상기 게이트 절연막을 패터닝하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제1항에서,상기 3중층 형성 단계는,상기 게이트 절연막 및 상기 반도체층을 연속하여 적층하는 단계,상기 셋째 마스크를 이용하여 상기 반도체층 및 상기 게이트 절연막을 패터닝하는 단계,상기 반도체층 위에 실리사이드 형성 가능한 금속층을 적층하여 상기 반도체층 위에 실리사이드로 이루어진 접촉층을 형성하는 단계,상기 금속층을 제거하는 단계,를 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제9항에서,상기 게이트 배선은 하부막과 그 위의 상부막으로 이루어진 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
- 제10항에서,상기 게이트 배선의 하부막은 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어지고 상기 상부막은 몰리브덴으로 이루어지며, 상기 금속층은 크롬으로 이루어진 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법.
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- 절연 기판,상기 기판 위에 형성되어 있는 게이트선, 상기 게이트선과 연결되어 있는 게이트 전극, 상기 게이트선의 끝에 연결되어 있는 게이트 패드를 포함하는 게이트 배선,상기 게이트 배선을 덮고 있으며 상기 게이트 패드를 드러내는 접촉 구멍을 가지고 있는 게이트 절연막,상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 반도체층,상기 반도체층 위에 상부층 및 하부층의 이중층으로 형성되어 있으며, 상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 상기 게이트 전극에 인접한 소스 전극, 상기 데이터선의 한쪽 끝에 연결되어 있으며 상기 하부층으로 주로 이루어진 데이터 패드, 상기 데이터선 및 소스 전극과 분리되어 있으며 상기 게이트 전극에 대하여 상기 소스 전극의 반대쪽에 위치하는 드레인 전극을 포함하는 제1 도전체 패턴,상기 제1 접촉 구멍을 통하여 상기 게이트 패드를 덮으며 상기 하부층으로 주로 이루어진 제2 도전체 패턴,상기 드레인 전극과 연결되어 있으며 상기 하부층으로 주로 이루어진 화소 전극,상기 도전체 패턴, 반도체층, 게이트 절연막 및 기판 위에 형성되어 있으며 상기 화소 전극을 드러내는 제1 개구부와 이웃하는 상기 데이터선 사이의 게이트 절연막을 드러내는 제2 개구부 및 상기 제2 도전체 패턴 상부의 제3 개구부와 상기 데이터 패드를 드러내는 제4 개구부를 가지고 있는 보호막을 포함하며,상기 상부층은 상기 하부층과 상기 보호막 사이에만 형성되어 있고, 상기 반도체층은 상기 제2 개구부의 게이트 절연막을 제외한 모든 게이트 절연막 위에 형성되어 있으며 인접한 두 데이터선 하부의 반도체층은 서로 분리되어 있는액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
- 제13항에서,상기 하부층은 ITO로 이루어진 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
- 제14항에서,상기 반도체층과 상기 하부층의 사이에만 형성되어 있으며 상기 반도체층과 상기 하부층 사이의 접촉 저항을 줄이기 위하여 실리사이드나 미세결정화된 도핑된 비정질 규소로 이루어진 접촉층을 더 포함하는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
- 제14항에서,상기 화소 전극은 인접하는 게이트선과 중첩되어 있으며 상기 화소 전극과 상기 게이트선 사이의 반도체층은 고립되어 있는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판.
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