KR20000019157U - 광학 마이크로스코프 구동 장치 - Google Patents

광학 마이크로스코프 구동 장치 Download PDF

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박종운
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Abstract

본 고안은 광학 마이크로스코프(optical microscope)에 관한 것으로, 특히 램프의 구동을 간단하게 할 수 있는 램프 구동 장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 고안은, 램프를 턴온 및 턴오프시키는 기능과 램프의 밝기 레벨을 조작할 수 있는 기능을 노브 구조로 일체화하여, 램프 턴온 스위치와 램프 밝기 조작 노브가 각기 설치되어 있음에 따라 웨이퍼 패턴 형성 공정의 정확도를 측정하는 과정중 발생하는 불편함을 제거하였으며, 램프를 필요에 따라 턴온 또는 턴오프할 수 있어 램프의 수명을 연장시키는 효과가 있다.

Description

광학 마이크로스코프 구동 장치{APPARATUS FOR OPERATING LAMP IN AN OPTICAL MICROSCOPE}
본 고안은 반도체 웨이퍼 제조(fabrication : FAB) 공정에 이용되어지는 광학 마이크로스코프(Optical microscope)에 관한 것으로, 특히 램프를 구동시키는 조작을 간단하게 할 수 있는 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치에 관한 것이다.
잘 알려진 바와 같이, 반도체 웨이퍼 제조 공정은 로트(lot) 단위의 매 반도체 웨이퍼의 표면에 여러 종류의 막을 형성시키고, 패턴 마스크를 이용하여 포토레지스트가 도포된 반도체 웨이퍼의 특정 부분을 선택적으로 깍아내는 작업을 되풀이함으로서 반도체 웨이퍼상의 각각의 칩상에 동일한 패턴을 갖는 전자 회로를 구성해 나가는 전 과정을 지칭한다.
상술한 반도체 웨이퍼 제조 공정에서, 스테퍼(stepper)로부터 자외선을 발생하여 패턴 마스크상에 그려진 회로 패턴을 반도체 웨이퍼의 표면에 전사해주는 포토마스킹(photomasking) 공정이 수행된다. 이러한 포토마스킹 공정은 반도체 웨이퍼상에 포토레지스트를 도포하고, 포토레지스트 층에 창(window)을 형성하여 라인(line), 스페이스(space), 또는 비아(via)(또는 홀(hole))패턴을 형성하는 포토마스킹 공정이 완료된 후 그 공정이 정확하게 이루어졌는지를 확인하는 측정 과정이 수행되는 바, 이러한 측정 과정은 광학 마이크로스코프를 통하여 이루어진다.
도 1은 웨이퍼상에 형성된 패턴을 정확하게 측정할 수 있도록 광학 마이크로스코프의 구동 장치의 구성 블록도로서, 사용자 조작부(10), 램프 밝기 조절부(20), 스위칭부(30), 램프(40)로 구성된다.
사용자 조작부(10)는 광학 마이크로스코프를 이용하여 사용자가 웨이퍼상에 형성된 패턴의 정확도를 측정하고자 할 때 광학 마이크로스코프 램프(40)를 턴온시키고 또한 사용자가 원하는 밝기 레벨로 조작할 수 있는 사용자 조작 수단으로서, 램프(40) 구동 스위치(11)와 사용자가 원하는 램프 밝기 레벨로 조작하는 램프 밝기 조작 노브(Knob)(12)로 이루어진다.
스위칭부(30)는 램프 턴온 스위치(11)가 조작되어지면 스위칭 온되고 그 결과는 램프 밝기 조절부(20)로 제공된다.
램프 밝기 조절부(20)는 스위칭부(30)의 스위치 온된 상태에서 사용자 조작부(10)의 램프 밝기 조작 노브(12)에 의해 조작되어지는 램프 밝기 레벨로 램프(40)의 밝기를 조절하도록 구성된다.
즉, 램프 밝기 조절부(20)는 사용자 조작부(10)의 램프 밝기 조작 노브(12)의 조작에 따른 가변 저항값이 입력되면 이에 대응하는 전류값을 램프(40)로 제공하면 램프(40)는 램프 밝기 조절부(20)에서 제공되는 전류값에 해당하는 밝기로 구동된다.
이 때, 램프(40)의 광원으로는 통상 할로겐 램프가 이용된다.
이러한 램프 구조를 갖는 광학 마이크로스코프를 이용하여 웨이퍼의 패턴을 측정하기 위하여 우선, 사용자는 웨이퍼 이송 기구에 의하여 이송되어 웨이퍼 스테이지에 안착되어 있는 웨이퍼로 광학 마이크로스코프를 고정시킨 후, 광학 마이크로스코프의 램프 턴온 스위치(11)를 조작하여 램프(40)를 구동시킨 후, 사용자는 원하는 밝기 레벨로 램프(40)가 구동될 수 있도록 램프 밝기 조작 노브(12)를 최대 또는 최소로 조작한다.
그러나, 상기한 광학 마이크로스코프의 램프 조작 단계는, 각기 별도로 설치되어 있는 램프를 턴온하기 위한 램프 턴온 스위치(11)를 조작시킨 후, 램프 밝기 조작 노브(12)를 통하여 사용자가 원하는 램프의 밝기 레벨로 조작하여야 함에 따라 번거로움이 있었으며, 또한, 램프 턴온 스위치(11)가 조작된 상태에서는 메인 전원이 차단되기전까지는 램프(40)가 계속적으로 켜져 있음으로 인하여 램프의 수명이 감소되는 문제점이 있었다.
본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 램프를 턴온 및 턴오프시키는 스위치와 램프의 밝기 레벨을 조작하는 램프 밝기 조작 노브를 일체화시킨 구조에 의하여 광학 마이크로스코프의 램프를 조작하므로써, 광학 마이크로스코프의 램프 조작에 따른 편리함과 램프의 수명을 연장시키기 위한 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치를 제공하는 데 있다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 고안은, 웨이퍼상에 패턴을 형성하는 포토마스킹 공정의 정확도를 측정하는 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치에 있어서, 상기 램프를 턴온 및 턴오프시키는 기능과 상기 램프의 밝기 레벨을 조작할 수 있는 기능이 일체화된 노브 구조로 이루어져 사용자의 조작에 따른 가변 저항값을 제공하는 사용자 조작부; 상기 사용자 조작부로부터 제공되는 가변 저항값에 따라 상기 램프를 턴온 및 턴오프시키고 램프의 밝기 레벨을 조절하는 램프 구동부를 포함한다.
본 고안의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 하기에 기술되는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
도 1은 일반적인 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치의 구성을 나타낸 블록도이고,
도 2는 본 고안에 따른 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10, 100 : 사용자 조작부 20 : 램프 밝기 조절부
30 : 스위칭부 40, 120 : 램프
110 : 램프 구동부
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 바람직한 실시예의 동작을 상세하게 설명한다.
도 2는 본 고안에 따르 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치의 구성 블록도로서, 램프(120)를 턴온 및 턴오프시키는 기능과 램프의 밝기 레벨을 조절하는 기능을 노브 구조로 일체화한 사용자 조작부(100)와 사용자 조작부(100)의 조작에 따른 가변 저항값에 대응하도록 램프(120)를 구동시키는 램프 구동부(110)로 구성된다.
사용자 조작부(100)는 종래의 램프 구동 장치에 있어서의 램프를 턴온시키는 램프 턴온 스위치와 램프의 밝기를 조작하는 램프 밝기 조작 노브로 이원화된 구조에서 도면에는 도시되어 있지 않지만 램프(120)를 턴온 및 턴오프시키는 기능, 램프의 밝기를 조작하는 기능을 하나의 노브로 일체화한 구조로 이루어져있다.
따라서, 사용자에 의해 사용자 조작부(100)가 조작되어지면 사용자 조작부(100)는 사용자 조작에 따른 가변 저항값을 램프 구동부(110)로 제공한다.
램프 구동부(110)는 사용자 조작부(100)에서 제공되는 가변 저항값에 따라 램프(120)를 구동 즉, 램프(120)를 턴온 및 턴오프, 램프의 밝기를 조절하는 역할을 수행한다.
즉, 램프 구동부(110)는 사용자 조작부(100)로부터 제공되는 가변 저항값이 최대이면 램프(120)가 턴온될 수 있는 전류값을 램프(120)로 제공하고, 가변 저항값이 최소이면 턴온되어 있는 램프(120)를 턴오프시키기 위한 전류값을 램프(120)로 제공한다.
또한, 램프 구동부(110)는 사용자 조작부(100)로부터 제공되는 가변 저항값이 최소 및 최대사이에 해당하는 값이면 설정된 램프 밝기 레벨에 대응하는 전류값을 램프(120)로 제공하여 램프의 밝기를 변화시킨다.
상기한 바와 같이, 램프 턴온 및 턴오프 기능과 램프의 밝기를 조작하는 기능을 하나의 노브로 일체화 구조를 갖는 광학 마이크로스코프에 의하여 웨이퍼를 측정할 때, 웨이퍼 스테이지에 안착되어 있는 웨이퍼에 광학 마이크로스코프를 고정시킨 상태에서 사용자는 노브만 조작하여 램프를 턴온 및 턴오프하고 램프의 밝기까지 조절할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치는, 광학 마이크로스코프를 이용하여 웨이퍼상의 패턴 형성 공정의 정확도를 측정할 때, 램프를 턴온 및 턴오프시키는 기능과 램프의 밝기를 조절하는 기능을 하나의 노브 구조로 일체화하므로써, 사용자에게 편리함을 제공하며 램프의 수명을 연장시키는 효과가 있다.
본 발명은 특정한 바람직한 실시예들에 대하여 도시되고 설명되었지만, 당업자라면 본 발명의 사상 및 범주를 벗어나지 않고도 다양한 수정 및 변화, 생략이 가능함을 알 수 있을 것이다.

Claims (2)

  1. 웨이퍼상에 패턴을 형성하는 포토마스킹 공정의 정확도를 측정하는 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치에 있어서,
    상기 램프를 턴온 및 턴오프시키는 기능과 상기 램프의 밝기 레벨을 조작할 수 있는 기능이 일체화된 노브 구조로 이루어져 사용자의 조작에 따른 가변 저항값을 제공하는 사용자 조작부;
    상기 사용자 조작부로부터 제공되는 가변 저항값에 따라 상기 램프를 턴온 및 턴오프시키고 램프의 밝기 레벨을 조절하는 램프 구동부를 포함하는 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 램프 구동부는, 상기 가변 저항값에 해당하는 전류값을 상기 램프로 제공하는 것을 특징으로 하는 광학 마이크로스코프의 램프 구동 장치.
KR2019990005516U 1999-04-06 1999-04-06 광학 마이크로스코프 구동 장치 KR20000019157U (ko)

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