KR100200360B1 - 도포장치의 레시피 입력키 제어장치 - Google Patents

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Abstract

이 발명은 도포장치(coater)의 레시피(recipe) 입력키 제어장치에 관한 것으로서, 트랙이 선택될 경우 하이레벨의 트랙 선택신호에 따라 출력단을 턴온시키며, 트랙이 선택되지 않을 경우에는 로우레벨의 트랙 선택신호에 따라 출력단을 턴오프시키는 제1포토 커플러; 상기 제1 포토 커플러의 출력단에 연결되어, 상기 출력단이 턴온일 경우에는 하이레벨의 바이어스를 제공하고, 상기 출력단이 턴오프일 경우에는 로우레벨의 바이어스를 제공하는 트랜지스터; 트랙의 웨이퍼 존재여부를 나타내는 트랙 감지신호와 상기 트랜지스터에서 제공되는 신호를 입력하며, 상기 트랜지스터의 출력신호가 하이레벨이고 상기 트랙 감지신호로부터 트랙에 웨이퍼가 존재하면, 턴오프 구동신호를 생성하여 출력하고, 그렇지 않을 경우에는 턴온 구동신호를 생성하여 출력하는 논리회로;및 출력단이 레시피 입력키의 키 스위치와 전원 공급 단자 사이에 연결되며, 상기 논리회로의 출력신호가 턴오프 구동신호일 경우에는 상기 출력단을 턴오프시키고, 그렇지 않을 경우에는 턴온시키는 제2포토 커플러로 구성되어, 작업자가 실수로 트랙에 웨이퍼가 존재하는 상태에서 래시피 입력키를 누를 경우, 레시피 입력키의 기능이 정지되도록 제어할 수 있다.

Description

도포장치의 레시피 입력키 제어장치
제1도는 이 발명의 실시예에 따른 도포장치의 레시피 입력키 제어장치를 도시하는 상세 회로도.
제2도는 이 발명의 실시예에 따른 도포장치의 입력 패널의 외관을 도시하는 평면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 2 : 반전기 3, 4, 5 : 논리곱 소자
PC1, PC2, PC3 : 포토 커플러 R1~R6 : 저항
D1, D2, D5 : 발광 다이오드 D3, D4 : 다이오드
Q1~Q5 : 트랜지스터
이 발명은 도포장치(coater)의 레시피(recipe) 입력키 제어장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 말하자면 도포장치 내에 웨이퍼가 존재함에도 불구하고 사용자의 실수로 레시피가 선택될 경우, 레시피 입력키로의 전원공급을 차단함으로써 기능을 정지시키는 도포장치의 레시피 입력키 제어장치에 관한 것이다.
반도체 제조공정 중 포토 리소그래피(Photo lithography) 공정에서는 산화막의 선택적 제거를 위한 패턴(pattern)을 형성하기 위하여 감광액(photo resist)을 웨이퍼(wafer)에 도포하는 도포장치(coater)가 필요하다.
상기 도포장치에는 작업 제어 기능이 자동 프로그램되어 있는 입력 패널이 구비되어 있으며, 작업자는 도포장치의 해당 트랙(track)에 대응하는 레시피 번호를 엔터 스위치를 이용하여 입력한다. 이에 따라, 도포장치가 동작하여 도포 유니트 내의 웨이퍼에 감광액이 도포된다.
상기 종래의 도포장치에서는 트랙의 도포 유니트에 웨이터가 존재하고 있는 상태에서, 사용자가 실수로 상기 트랙을 선택하여 레시피를 입력하는 경우가 있다.
그런데, 이 경우에도 도포 유니트에 레시피의 입력이 이루어짐으로써 도포중이던 웨이퍼에 도포 불량이 발생하고 장비에 에러가 발생한다.
또한, 상기 실수를 수습하고 장비 에러를 복구하기 위하여, 도포장치를 정지해야 하므로, 생산라인의 효율이 떨어질 뿐만 아니라 시간 손실도 발생한다.
그러므로, 이 발명의 목적은 상기한 종래의 기술적 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 도포장치의 각 트랙에 웨이퍼가 존재하는지 감시하며, 웨이퍼가 존재함에도 불구하고 레시피의 선택이 있을 경우 레시피 입력키의 작동이 정지되도록 제어하는 도포장치의 레시피 입력키 제어장치를 제공하는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 수단으로써, 이 발명에 따른 도포장치의 레시피 입력키 제어장치는, 트랙이 선택될 경우 하이레벨의 트랙 선택신호에 따라 출력단을 턴온시키며, 트랙이 선택되지 않을 경우에는 로우레벨의 트랙 선택신호에 따라 출력단을 턴오프시키는 제1포토 커플러; 상기 제1포토 커플러의 출력단에 연결되어, 상기 출력단이 턴온일 경우에는 하이레벨의 바이어스를 제공하고, 상기 출력단이 턴오프일 경우에는 로우레벨의 바이어스를 제공하는 트랜지스터; 트랙의 웨이퍼 존재여부를 나타내는 트랙 감지신호와 상기 트랜지스터에서 제공되는 신호를 입력하며, 상기 트랜지스터의 출력신호가 하이레벨이고 상기 트랙 감지신호로부터 트랙에 웨이퍼가 존재하면, 턴오프 구동신호를 생성하여 출력하고, 그렇지 않을 경우에는 턴온 구동신호를 생성하여 출력하는 논리회로;및 출력단이 레시피 입력키의 키 스위치와 전원 공급 단자 사이에 연결되며, 상기 논리회로의 출력신호가 하이레벨일 경우에는 상기 출력단을 턴오프시키고, 그렇지 않을 경우에는 턴온시키는 제2포토 커플러를 포함한다.
상기한 이 발명의 구성에 따르면, 작업자가 입력 패널을 이용하여 현재의 트랙을 선택할 경우, 트랙 선택신호가 하이레벨로 되고, 상기 하이레벨의 트랙 선택신호에 의해 제1포토 커플러가 턴온되어 논리회로에 하이레벨의 바이어스가 제공된다.
이 상태에서 현재의 트랙에 웨이퍼가 존재하면, 상기 논리회로는 하이레벨의 신호를 출력하며, 상기 제2포토 커플러는 레시피 입력키의 키 스위치와 전원 공급 단자를 턴오프시켜 상기 레시피 입력키의 기능이 정지되도록 한다.
따라서, 트랙에 웨이퍼가 존재하는 상태에서 작업자가 실수로 트랙을 선택하더라도, 상기 레시피 입력키가 작동하지 않도록 함으로써 도포장치의 에러를 방지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 이 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
제1도는 이 발명의 실시예에 따른 도포장치의 레시피 입력키 제어장치를 도시하는 상세 회로도이고, 제2도는 이 발명의 실시예에 따른 도포장치의 입력 패널 외관을 도시하는 평면도이다.
상기 제1도에 도시된 도포장치의 레시피 입력키 제어장치는 도포장치에 두개의 트랙이 존재하는 것을 가정한 것이며, 이 발명의 기술적 범위는 여기에 한정되지 않고 추가적인 회로를 구비함으로써 둘 이상의 트랙을 구비한 도포장치에도 적용될 수 있다.
제1도를 참조하면, 1번 트랙 선택신호는 발광 다이오드(D1)의 양극에 입력되며, 2번 트랙 선택신호는 발광 다이오드(D2)의 양극에 입력된다.
두 발광 다이오드(D1, D2)의 음극은 일단이 접지된 저항(R4)과 연결된다. 트랜지스터(Q1)는 발광 다이오드(D1)에서 방사되는 빛을 수광할 수 있도록 연결되며, 상기 트랜지스터(Q1)의 컬렉터는 일단에 전원전압(VCC)이 연결된 저항(R1)에 연결되고, 상기 트랜지스터(Q1)의 에미터는 트랜지스터(Q2)의 베이스에 연결된다. 트랜지스터(Q2)의 컬렉터는 상기 트랜지스터(Q1)의 컬렉터에 연결되며, 트랜지스터(Q2)의 에미터는 일단이 접지된 저항(R2)에 연결된다. 트랜지스터(Q3)는 발광 다이오드(D2)에서 방사되는 빛을 수광할 수 있도록 연결되며, 상기 트랜지스터(Q3)의 컬렉터는 상기 트랜지스터(Q1)의 컬렉터에 연결되며, 상기 트랜지스터(Q3)의 에미터는 트랜지스터(Q4)의 베이스에 연결된다.
트랜지스터(Q4)의 에미터는 일단이 접지된 저항(R3)에 연결된다.
1번 트랙 감지신호는 반전기(1)에 입력되며, 2번 트랙 감지신호는 반전기(2)에 입력된다. 트랜지스터(Q2)의 에미터와 저항(R2)의 접점과 반전기(1)의 출력단은 두 입력단자로서 낸드 게이트(NAND gate)(3)에 연결되며, 트랜지스터(Q4)의 에미터와 저항(R3)의 접점과 반전기(2)의 출력단은 두 입력단자로서 낸드 게이트(4)에 연결된다.
각 낸드 게이트(3, 4)의 출력단에는 다이오드(D3, D4)의 음극이 차례로 연결되며, 두 다이오드(D3, D4)의 양극에는 일단에 전원전압(VCC)이 인가된 저항(R5)이 공통으로 연결된다.
상기 두 다이오드(D3, D4)와 저항(R5)의 공통 접점은 두 입력으로서 낸드 게이트(5)에 연결된다. 상기 낸드 게이트(5)의 출력단에는 발광 다이오드(D5)의 음극이 연결되며, 상기 발광 다이오드(D5)의 양극에는 일단에 전원전압(VCC)이 인가된 저항(R6)이 연결된다.
트랜지스터(Q5)는 상기 발광 다이오드(D5)에서 방사되는 빛을 수광할 수 있도록 연결된다.
상기한 이 발명의 실시예에 따른 구성에서 발광 다이오드(D1)와 트랜지스터(Q1), 발광 다이오드(D2)와 트랜지스터(Q3), 발광 다이오드(D5)와 트랜지스터는 각각 포토 커플러(PC1, PC2, PC3)를 구성한다.
또한, 1번 및 2번 트랙 감지신호는 트랙에 장착된 진공 센서(도시하지 않음)의 출력신호로서, 트랙에 웨이퍼가 존재할 경우에는 상기 감지신호가 하이레벨이고, 트랙에 웨이퍼가 존재하지 않을 경우에는 상기 감지신호가 로우레벨이다.
제2도의 입력 패널을 참조하면, 키패드와, 레시피 네임(Recipe name)을 표시하기 위한 두자리수 7 세그먼트 표시기(7 segment display)와, 도포 유니트(Unit No.)를 표시하기 위한 7 세그먼트 표시기와, 트랙 라인(Line No.)을 표시하기 위한 7 세그먼트 표시기가 도시되어 있다.
상기 제1도의 1번 트랙 선택신호는 제2도의 트랙 라인을 표시하기 위한 7 세그먼트 구동회로(도시하지 않음)의 출력신호 중 (a)다이오드를 구동하기 위한 신호이며, 상기 제1도의 2번 트랙 선택신호는 제2도의 트랙 라인을 표시하기 위한 7 세그먼트 구동회로의 출력신호 중 (c)다이오드를 구동하기 위한 신호이다. 이렇게 연결한 것은 7 세그먼트 표시기에서 십진수 (1)이 표시될때, 제2도에서 (b), (c)다이오드를 구동하기 위한 신호만 로우레벨이고, 나머지는 하이레벨이며, 십진수(2)가 표시될 때에는 제2도에서(a),(b),(g),(e),(d)다이오드를 구동하기 위한 신호만 로우레벨이고, 나머지는 하이레벨이기 때문이다.
한편, 포토 커플러(PC3)의 트랜지스터(Q5)의 컬렉터와 에미터 단자는 제 2 도 키패드의 엔터키(ENT)에 내장되어 있는 키 스위치(도시하지 않음)와 전원 공급단자에 각각 연결된다.
다음으로, 상기한 구성에 의거하여 이 발명의 실시예에 따른 도포장치의 레시피 입력키 제어장치의 동작을 설명한다.
전원이 공급되어 회로의 동작이 시작되면, 1, 2번 트랙 선택신호와 1, 2번 트랙 감지신호가 각각 발광 다이오드(D1, D2) 및 반전기(1, 2)에 입력된다.
발광 다이오드(D1)는 1번 트랙 선택신호가 하이레벨일 경우에 턴온되어 빛을 방사하며, 트랜지스터(Q1)는 방사된 빛을 감지하여 턴온된다. 발광 다이오드(D2)도 상기 발광 다이오드(D1)와 마찬가지로 하이레벨의 2번 트랙 선택신호에 의해 턴온되며, 트랜지스터(Q3)는 발광 다이오드(D2)에서 빛이 방사될 경우에 이를 감지하여 턴온된다.
트랜지스터(Q1)가 턴온되면, 상기 트랜지스터(Q1)에 다알링톤 접속된 트랜지스터(Q2)도 턴온되며, 상기 트랜지스터(Q2)가 턴온되면 전원전압(VCC)이 두 저항(R1, R2)에 의해 분배되므로, 낸드 게이트(3)의 입력단에는 하이레벨이 제공된다. 만약, 1번 트랙 선택신호가 로우레벨일 경우에는 발광 다이오드(D1)가 턴오프되며, 트랜지스터(Q1, Q2)가 모두 턴오프되므로, 낸드 게이트(3)의 입력단에는 로우레벨이 제공된다.
두 트랜지스터(Q3, Q4)도 상기 두 트랜지스터(Q1, Q2)와 동일한 연결관계를 가지므로, 2번 트랙 선택신호가 하이레벨일 경우에는 낸드 게이트(4)의 입력단에 하이레벨이 제공되고, 2번 트랙 선택신호가 로우레벨일 경우에는 낸드 게이트(4)의 입력단에 로우레벨이 제공된다.
한편, 1번 트랙 감지신호는 반전기(1)에 의해 반전된 후 낸드 게이트(3)의 입력단에 제공되며, 2번 트랙 감지신호는 반전기(2)에 의해 반전된 후 낸드 게이트(4)의 입력단에 제공된다. 각 낸드 게이트(3)는 두 입력에 대한 낸드 연산(NAND operation)을 수행하며, 그 결과를 출력한다.
이때, 낸드 게이트(3)의 출력신호가 하이레벨이면 다이오드(D3)는 턴오프되며, 낸드 게이트(3)의 출력신호가 로우레벨이면 다이오드(D3)는 턴온된다. 다이오드(D4)도 상기 낸드 게이트(4)의 출력신호에 따라 턴온 또는 턴오프된다.
만약, 두 다이오드(D3, D4) 중 하나가 턴온되면, 전원전압(VCC)에 의한 전류는 턴온된 다이오드로 흐르므로, 낸드 게이트(5)의 입력단에는 로우레벨이 제공되며, 두 다이오드(D3, D4)가 모두 턴온프되면, 전원전압(VCC)에 의한 전류는 낸드 게이트(5)의 입력단으로 흐르므로, 낸드 게이트(5)의 입력단에는 하이레벨이 제공된다.
낸드 게이트(5)는 입력신호에 대한 낸드 연산을 수행하는데, 입력신호가 하이레벨일 경우에는 로우레벨을 출력하며, 입력신호가 로우레벨일 경우에는 하이레벨을 출력한다.
낸드 게이트(5)의 출력신호가 하이레벨일 경우에는 발광 다이오드(D5)가 턴오프되며, 낸드 게이트(5)의 출력신호가 로우레벨일 경우에는 발광 다이오드(D5)가 턴온된다. 상기 발광 다이오드(D5)가 턴온되면 빛이 방사되고, 트랜지스터(Q5)가 이 빛을 감지하여 턴온되며, 상기 다이오드(D5)가 턴오프되면 트랜지스터(Q5)도 턴오프된다.
전원 공급단자와 키 스위치 사이에 상기 트랜지스터(Q5)의 컬렉터 단자와 에미터 단자가 연결되므로, 상기 트랜지스터(Q5)가 턴오프되면, 제2도에 도시된 엔터키의 키 스위치에 전원 공급이 차단된다. 이에 따라, 사용자가 엔터키를 누르더라도 키 입력이 이루어지지 않는다.
이에 반해, 상기 트랜지스터(Q5)가 턴온되면, 제2도에 도시된 엔터키의 키 스위치에 전원 공급이 이루어지므로, 사용자가 누를 때마다 키 입력이 이루어진다.
상기 설명된 회로의 동작을 도표로 정리하면, 아래의 표와 같이 표현될 수 있다.
상기 표를 참조하면, 1번 트랙 선택신호와 1번 트랙 감지신호가 모두 하이레벨이거나, 2번 트랙 선택신호와 2번 트랙 감지신호가 모두 하이레벨일 경우에만 발광 다이오드(D5)가 턴오프됨을 알 수 있다.
즉, 이 발명의 실시예에 따른 도포장치의 레시피 입력키 제어장치는 해당 트랙이 선택될 때, 그 트랙에 웨이퍼가 존재하면, 입력키로의 전원 공급을 차단시킴으로써 입력키의 기능이 정지되도록 제어하며, 그 트랙에 웨이퍼가 존재하지 않으면, 입력키로의 전원 공급이 이루어지도록 한다.
상기 실시예에 따른 장치에 트랙이 추가될 경우, 포토 커플러, 트랜지스터, 반전기, 낸드 게이트 및 다이오드를 제1도에 도시된 바와 유사한 방식으로 연결함으로써 트랙 확장에 대비할 수 있다.
이상에서와 같이 이 발명의 실시예에 따르면, 작업자가 실수로 트랙에 웨이퍼가 존재하는 상태에서 래시피 입력키를 누를때, 레시피 입력키로의 전원공급을 차단시킴으로써 도포장치의 장비 에러와 생산성 저하, 시간 손실을 방지할 수 있는 도포장치의 레시피 입력키 제어장치를 제공한다.

Claims (4)

  1. 트랙이 선택될 경우 하이레벨의 트랙 선택신호에 따라 출력단을 턴온시키며, 트랙이 선택되지 않을 경우에는 로우레벨의 트랙 선택신호에 따라 출력단을 턴오프시키는 제1포토 커플러; 상기 제1포토 커플러의 출력단에 연결되어, 상기 출력단이 턴온일 경우에는 하이레벨의 바이어스를 제공하고, 상기 출력단이 턴오프일 경우에는 로우레벨의 바이어스를 제공하는 트랜지스터; 트랙의 웨이퍼 존재여부를 나타내는 트랙 감지신호와 상기 트랜지스터에서 제공되는 신호를 입력하며, 상기 트랜지스터의 출력신호가 하이레벨이고 상기 트랙 감지신호로부터 트랙에 웨이퍼가 존재하면, 턴오프 구동신호를 생성하여 출력하고, 그렇지 않을 경우에는 턴온 구동신호를 생성하여 출력하는 논리회로 ; 및 출력단이 레시피 입력키의 키 스위치와 전원 공급 단자 사이에 연결되며, 상기 논리회로의 출력신호가 턴오프 구동신호일 경우에는 상기 출력단을 턴오프시키고, 그렇지 않을 경우에는 턴온시키는 제2포토 커플러를 포함하는 도포장치의 레시피 입력키 제어장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 제1포토 커플러는 트랙 감지신호의 상태에 따라 턴온 또는 턴오프되는 발광 다이오드 ; 및 상기 발광 다이오드의 턴온 또는 턴오프에 대응하여 턴온 또는 턴오프되는 트랜지스터로 구성되는 도포장치의 레시피 입력키 제어장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기한 논리회로는 트랙 감지신호를 입력하여 반전시키는 반전기; 상기 반전기의 출력신호와 상기 트랜지스터에서 제공되는 바이어스를 입력하여 낸드 연산을 수행하는 낸드 게이트; 상기 낸드 게이트에 음극이 연결되고, 양극에는 전원전압이 인가되는 다이오드 ; 및 두 입력단이 상기 다이오드의 양극에 공통으로 연결되며, 출력단이 상기 제2포토 커플러의 입력단에 연결되어, 두 입력에 대한 낸드 연산을 수행하는 낸드 게이트로 구성되는 도포장치의 레시피 입력키 제어장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기한 제포토 커플러는 양극에 전원전압이 인가되고, 음극은 상기 낸드 게이트의 출력단에 연결되어, 상기 낸드 게이트의 출력 상태에 따라 턴온 또는 턴오프되는 발광 다이오드 ; 및 컬렉터와 에미터 단자가 입력키의 키 스위치와 전원 공급단자 사이에 연결되며, 상기 발광 다이오드의 턴온 또는 턴오프 상태에 따라 상기 컬렉터와 에미터 단자를 턴온 또는 턴온프시키는 트랜지스터로 구성되는 도포장치의 레시피 입력키를 제어장치.
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