JP2002141014A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JP2002141014A JP2002141014A JP2000332157A JP2000332157A JP2002141014A JP 2002141014 A JP2002141014 A JP 2002141014A JP 2000332157 A JP2000332157 A JP 2000332157A JP 2000332157 A JP2000332157 A JP 2000332157A JP 2002141014 A JP2002141014 A JP 2002141014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- aperture
- brightness
- driving circuit
- irradiation angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【課題】 操作盤上の１つのノブの操作で集束レンズ電
流と絞り径を自動的に制御し、ビームの照射角や像の明
るさを可変とする操作を簡単にする。 【解決手段】 レンズ絞り（５）を駆動する絞り駆動回
路（３）と、レンズコイル（６）にレンズ電流を供給す
るレンズコイル駆動回路（４）と、操作盤（１）の操作
量に応じて絞り駆動回路、レンズコイル駆動回路を制御
する制御手段（２）とを備え、前記制御手段（２）は、
操作量に対応するブライトネス、又はビーム照射角と絞
りやレンズ電流との関係を示すテーブルを有しており、
該テーブルを参照して操作量に応じて絞り駆動回路及び
レンズコイル駆動回路を制御するようにしたものであ
る。
流と絞り径を自動的に制御し、ビームの照射角や像の明
るさを可変とする操作を簡単にする。 【解決手段】 レンズ絞り（５）を駆動する絞り駆動回
路（３）と、レンズコイル（６）にレンズ電流を供給す
るレンズコイル駆動回路（４）と、操作盤（１）の操作
量に応じて絞り駆動回路、レンズコイル駆動回路を制御
する制御手段（２）とを備え、前記制御手段（２）は、
操作量に対応するブライトネス、又はビーム照射角と絞
りやレンズ電流との関係を示すテーブルを有しており、
該テーブルを参照して操作量に応じて絞り駆動回路及び
レンズコイル駆動回路を制御するようにしたものであ
る。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は自動的に集束レンズ
電流、集束レンズ絞り径を制御し、ビームの照射角、像
の輝度を調整するようにした電子顕微鏡に関する。
電流、集束レンズ絞り径を制御し、ビームの照射角、像
の輝度を調整するようにした電子顕微鏡に関する。
【従来の技術】電子顕微鏡において、ビームの絞りサイ
ズをパラメータとしたときのレンズ励磁の強さと照射角
の関係、電子ビームのサイズ（スポットサイズ）と明る
さとの関係は、それぞれ図５（ａ）、図５（ｂ）に示す
ような特性となる。そこで、ビームの照射角または像の
明るさを変えるには、次のような方法で、集束レンズの
励磁条件または集束レンズ絞り径を制御する、或いは電
子ビームの大きさを可変とすることによって単位面積当
たりの電子流密度を制御する必要がある。 操作盤上の輝度調整用ブライトネス・ノブとビーム径
可変用スポットサイズ選択スイッチを操作し、集束レン
ズの電流値を可変することより、レンズ励磁の強さを調
整する、あるいは試料面上のビーム径（スポットサイ
ズ）を変える。 集束レンズ絞り駆動機構の絞り径選択ノブを操作し、
絞り径を可変とすることにより、集束レンズを通過する
ビームの照射角またはビームの径を変える。このよう
に、従来は通常のブライトネス・ノブとスポットサイ
ズ・スイッチを操作し、照射角あるいは像の明るさを調
整しているが、この操作だけでは必要とする照射角、あ
るいは明るさが得られない場合、の絞り径も操作する
必要がある。
ズをパラメータとしたときのレンズ励磁の強さと照射角
の関係、電子ビームのサイズ（スポットサイズ）と明る
さとの関係は、それぞれ図５（ａ）、図５（ｂ）に示す
ような特性となる。そこで、ビームの照射角または像の
明るさを変えるには、次のような方法で、集束レンズの
励磁条件または集束レンズ絞り径を制御する、或いは電
子ビームの大きさを可変とすることによって単位面積当
たりの電子流密度を制御する必要がある。 操作盤上の輝度調整用ブライトネス・ノブとビーム径
可変用スポットサイズ選択スイッチを操作し、集束レン
ズの電流値を可変することより、レンズ励磁の強さを調
整する、あるいは試料面上のビーム径（スポットサイ
ズ）を変える。 集束レンズ絞り駆動機構の絞り径選択ノブを操作し、
絞り径を可変とすることにより、集束レンズを通過する
ビームの照射角またはビームの径を変える。このよう
に、従来は通常のブライトネス・ノブとスポットサイ
ズ・スイッチを操作し、照射角あるいは像の明るさを調
整しているが、この操作だけでは必要とする照射角、あ
るいは明るさが得られない場合、の絞り径も操作する
必要がある。
【発明が解決しようとする課題】従来の方法では、電子
顕微鏡のオペレータは適切な照射角、あるいは像の明る
さを得るために、集束レンズの電流値と集束レンズの絞
り径の両方を操作しなければならず、ある程度の操作経
験が必要であり、操作が煩わしいという問題があった。
本発明は上記課題を解決するためのもので、操作盤上の
ブライトネスノブやスポットサイズスイッチ等のノブを
操作することによって、集束レンズ電流と絞り径を自動
的に制御し、ビームの照射角や像の明るさを可変する操
作を簡単にすることを目的とする。
顕微鏡のオペレータは適切な照射角、あるいは像の明る
さを得るために、集束レンズの電流値と集束レンズの絞
り径の両方を操作しなければならず、ある程度の操作経
験が必要であり、操作が煩わしいという問題があった。
本発明は上記課題を解決するためのもので、操作盤上の
ブライトネスノブやスポットサイズスイッチ等のノブを
操作することによって、集束レンズ電流と絞り径を自動
的に制御し、ビームの照射角や像の明るさを可変する操
作を簡単にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】本発明は、レンズ絞りを
駆動する絞り駆動回路と、レンズコイルにレンズ電流を
供給するレンズコイル駆動回路と、操作盤の操作量に応
じて絞り駆動回路及びレンズコイル駆動回路を制御する
制御手段とを備え、前記制御手段は、操作量に対応する
ブライトネス、またはビーム照射角と絞りやレンズ電流
との関係を示すテーブルを有しており、該テーブルを参
照して操作量に応じて絞り駆動回路及びレンズコイル駆
動回路を制御することを特徴とする。
駆動する絞り駆動回路と、レンズコイルにレンズ電流を
供給するレンズコイル駆動回路と、操作盤の操作量に応
じて絞り駆動回路及びレンズコイル駆動回路を制御する
制御手段とを備え、前記制御手段は、操作量に対応する
ブライトネス、またはビーム照射角と絞りやレンズ電流
との関係を示すテーブルを有しており、該テーブルを参
照して操作量に応じて絞り駆動回路及びレンズコイル駆
動回路を制御することを特徴とする。
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は本発明の電子顕微鏡の概
略構成を示すブロック図である。操作盤１に設けられた
ブライトネスノブあるいはスポットサイズスイッチの操
作内容を顕微鏡制御用ＭＰＵ２により読み込む。ＭＰＵ
２は、操作内容（ノブの回転方向と回転量）に応じて集
束レンズ絞り径データを絞り駆動回路３に、また集束レ
ンズ電流値データをレンズコイル駆動回路４に送る。絞
り駆動回路３、レンズコイル駆動回路４はそれぞれ送ら
れたデータに基づいて集束レンズ絞り５、集束レンズコ
イル６を制御してビームの照射角あるいは像の明るさを
制御する。かかる構成により、操作盤上のブライトネス
ノブあるいはスポットサイズスイッチを操作するだけ
で、自動的に集束レンズ電流と集束レンズ絞り径が制御
され、ビームの照射角や像の明るさが調整される。次
に、ビームの絞りサイズをパラメータとした時のレンズ
励磁の強さと照射角の関係を示す図２を参照してビーム
照射角を制御する場合の動作について説明する。操作盤
に設けられた角度制御ノブを操作して、照射角Ａの状態
から照射角Ｂの状態まで角度を徐々に小さくしていく場
合、操作方向と操作量を読み込んだ顕微鏡制御用ＭＰＵ
２は、集束レンズ電流を制御し、現在の絞りの大きさ
（図では絞り中）のままＯ→Ｐのように励磁を強くして
いく（逆の場合は弱くする）。レンズの励磁範囲内で目
的とする照射角が得られない時は、絞りのサイズを現在
のものより小さく（図では絞り小）するように、絞り駆
動回路３を制御すると同時に、レンズコイル駆動回路４
によりレンズ電流を制御して図の同じ照射角となるＱの
位置に設定する。その後は照射角がＢとなるようにレン
ズ電流を制御し、Ｒの位置にもっていく。こうして、単
にブライトネスノブを操作するだけで照射角がＡからＢ
へ変えられる。同様に明るさの制御を行うことができ
る。すなわち、スポットサイズと明るさの関係を示す図
３において、明るさＡの状態から明るさＢの状態まで徐
々に暗くする場合は、操作方向と操作量を読み込んだ顕
微鏡制御用ＭＰＵ２は、集束レンズ電流を制御し、絞り
径は一定（図では絞り中）にしたままで、ＯからＰの位
置までスポットサイズを大きくしていく。レンズの励磁
範囲内で目的とする明るさが得られない時は、絞りサイ
ズを小さく（図では絞り小）すると同時にレンズ電流を
制御し、同じ明るさとなるＱの位置になるように設定す
る。その後は明るさがＢとなるようにレンズ電流を制御
し、Ｒの位置にもっていく。こうして単にスボットサイ
ズスイッチを操作するだけで所定の明るさが得られる。
図４は本発明の詳細な制御回路ブロック図である。操作
パネル１０はロータリーエンコーダ等のノブからなるブ
ライトネスまたは照射角やスポットサイズ可変用に割り
付けられたノブ１１を有している。このノブを回転する
と、その回転方向と回転角が回転検知回路１２によって
検出される。ＭＰＵバスインターフェース回路１３はこ
れらの検出信号をデジタルデータ信号に変換し、ＭＰＵ
バス１４に出力する。ＭＰＵ１５は操作パネル１０から
送られる操作信号を取り込み、その内容に応じた制御デ
ータ信号をモータドライバとレンズドライバに転送す
る。モータドライバは、粗ドライバ１８、ファインＸド
ライバ２４、ファインＹドライバ２５からなり、レンズ
ドライバは、レンズドライバ３１、３６、３８からなっ
ている。そして、ＭＰＵ１５のデータＲＯＭ１６にはノ
ブ操作量に対応するブライトネスまたは照射角と絞り穴
番号の関係を示すテーブル、ノブ操作量に対応するブラ
イトネスまたは照射角とレンズ電流の関係を示すテーブ
ル、絞り穴番号とファイン（微細）ＸＹセンターリング
用データの関係を示すテーブルが格納されており、操作
信号に応じて関係を示すテーブルが参照されて制御信号
がモータ／レンズドライバに出力される。複数の絞り径
が形成された絞り２６の穴径の選択は、ブライトネスま
たは照射角と絞り穴番号の関係を示すテーブルを参照し
て出力された制御信号により粗ドライバ１８により行わ
れ、選択された孔径に対するＸ方向、Ｙ方向の位置調整
は、絞り穴番号とファイン（微細）ＸＹセンターリング
用データの関係を示すテーブルを参照して出力された制
御信号によりファインＸドライバ、ファインＹドライバ
により行われる。例えば、粗ドライバ１８は、ＭＰＵ１
５から転送される制御データをラッチ回路１９でラッチ
し、位置検出回路２３の信号をＡＤＣ２２でデジタル信
号に変換し、コンパレータ２０でラッチ回路の出力と比
較し、制御データＰが位置検出信号Ｑより大きければ、
モータＭ１を正転、Ｐ＜Ｑなら反転、Ｐ＝Ｑなら停止の
ようにパワーアンプ２１の出力で制御し、制御データに
基づく孔径を選択する。ファインＸドライバ、ファイン
Ｙドライバも同様にモータＭ２，Ｍ３を駆動制御して制
御データに基づいてＸ、Ｙの位置調整を行う。レンズド
ライバ３１は、ブライトネスまたは照射角とレンズ電流
の関係を示すテーブルを参照してＭＰＵ１５から出力さ
れた制御データをラッチ回路３２でラッチし、ＤＡＣ３
３でアナログ信号に変換し、パワーアンプ３４を通して
レンズコイル３５に電流を流して励磁を制御する。レン
ズドライバ３６、３８も同様である。こうしてノブ１１
を回転するだけの簡単な操作で、ＭＰＵ１５を通して絞
り径、およびレンズ励磁電流が制御され、自動的に所定
の照射角、または明るさに制御される。
を参照しつつ説明する。図１は本発明の電子顕微鏡の概
略構成を示すブロック図である。操作盤１に設けられた
ブライトネスノブあるいはスポットサイズスイッチの操
作内容を顕微鏡制御用ＭＰＵ２により読み込む。ＭＰＵ
２は、操作内容（ノブの回転方向と回転量）に応じて集
束レンズ絞り径データを絞り駆動回路３に、また集束レ
ンズ電流値データをレンズコイル駆動回路４に送る。絞
り駆動回路３、レンズコイル駆動回路４はそれぞれ送ら
れたデータに基づいて集束レンズ絞り５、集束レンズコ
イル６を制御してビームの照射角あるいは像の明るさを
制御する。かかる構成により、操作盤上のブライトネス
ノブあるいはスポットサイズスイッチを操作するだけ
で、自動的に集束レンズ電流と集束レンズ絞り径が制御
され、ビームの照射角や像の明るさが調整される。次
に、ビームの絞りサイズをパラメータとした時のレンズ
励磁の強さと照射角の関係を示す図２を参照してビーム
照射角を制御する場合の動作について説明する。操作盤
に設けられた角度制御ノブを操作して、照射角Ａの状態
から照射角Ｂの状態まで角度を徐々に小さくしていく場
合、操作方向と操作量を読み込んだ顕微鏡制御用ＭＰＵ
２は、集束レンズ電流を制御し、現在の絞りの大きさ
（図では絞り中）のままＯ→Ｐのように励磁を強くして
いく（逆の場合は弱くする）。レンズの励磁範囲内で目
的とする照射角が得られない時は、絞りのサイズを現在
のものより小さく（図では絞り小）するように、絞り駆
動回路３を制御すると同時に、レンズコイル駆動回路４
によりレンズ電流を制御して図の同じ照射角となるＱの
位置に設定する。その後は照射角がＢとなるようにレン
ズ電流を制御し、Ｒの位置にもっていく。こうして、単
にブライトネスノブを操作するだけで照射角がＡからＢ
へ変えられる。同様に明るさの制御を行うことができ
る。すなわち、スポットサイズと明るさの関係を示す図
３において、明るさＡの状態から明るさＢの状態まで徐
々に暗くする場合は、操作方向と操作量を読み込んだ顕
微鏡制御用ＭＰＵ２は、集束レンズ電流を制御し、絞り
径は一定（図では絞り中）にしたままで、ＯからＰの位
置までスポットサイズを大きくしていく。レンズの励磁
範囲内で目的とする明るさが得られない時は、絞りサイ
ズを小さく（図では絞り小）すると同時にレンズ電流を
制御し、同じ明るさとなるＱの位置になるように設定す
る。その後は明るさがＢとなるようにレンズ電流を制御
し、Ｒの位置にもっていく。こうして単にスボットサイ
ズスイッチを操作するだけで所定の明るさが得られる。
図４は本発明の詳細な制御回路ブロック図である。操作
パネル１０はロータリーエンコーダ等のノブからなるブ
ライトネスまたは照射角やスポットサイズ可変用に割り
付けられたノブ１１を有している。このノブを回転する
と、その回転方向と回転角が回転検知回路１２によって
検出される。ＭＰＵバスインターフェース回路１３はこ
れらの検出信号をデジタルデータ信号に変換し、ＭＰＵ
バス１４に出力する。ＭＰＵ１５は操作パネル１０から
送られる操作信号を取り込み、その内容に応じた制御デ
ータ信号をモータドライバとレンズドライバに転送す
る。モータドライバは、粗ドライバ１８、ファインＸド
ライバ２４、ファインＹドライバ２５からなり、レンズ
ドライバは、レンズドライバ３１、３６、３８からなっ
ている。そして、ＭＰＵ１５のデータＲＯＭ１６にはノ
ブ操作量に対応するブライトネスまたは照射角と絞り穴
番号の関係を示すテーブル、ノブ操作量に対応するブラ
イトネスまたは照射角とレンズ電流の関係を示すテーブ
ル、絞り穴番号とファイン（微細）ＸＹセンターリング
用データの関係を示すテーブルが格納されており、操作
信号に応じて関係を示すテーブルが参照されて制御信号
がモータ／レンズドライバに出力される。複数の絞り径
が形成された絞り２６の穴径の選択は、ブライトネスま
たは照射角と絞り穴番号の関係を示すテーブルを参照し
て出力された制御信号により粗ドライバ１８により行わ
れ、選択された孔径に対するＸ方向、Ｙ方向の位置調整
は、絞り穴番号とファイン（微細）ＸＹセンターリング
用データの関係を示すテーブルを参照して出力された制
御信号によりファインＸドライバ、ファインＹドライバ
により行われる。例えば、粗ドライバ１８は、ＭＰＵ１
５から転送される制御データをラッチ回路１９でラッチ
し、位置検出回路２３の信号をＡＤＣ２２でデジタル信
号に変換し、コンパレータ２０でラッチ回路の出力と比
較し、制御データＰが位置検出信号Ｑより大きければ、
モータＭ１を正転、Ｐ＜Ｑなら反転、Ｐ＝Ｑなら停止の
ようにパワーアンプ２１の出力で制御し、制御データに
基づく孔径を選択する。ファインＸドライバ、ファイン
Ｙドライバも同様にモータＭ２，Ｍ３を駆動制御して制
御データに基づいてＸ、Ｙの位置調整を行う。レンズド
ライバ３１は、ブライトネスまたは照射角とレンズ電流
の関係を示すテーブルを参照してＭＰＵ１５から出力さ
れた制御データをラッチ回路３２でラッチし、ＤＡＣ３
３でアナログ信号に変換し、パワーアンプ３４を通して
レンズコイル３５に電流を流して励磁を制御する。レン
ズドライバ３６、３８も同様である。こうしてノブ１１
を回転するだけの簡単な操作で、ＭＰＵ１５を通して絞
り径、およびレンズ励磁電流が制御され、自動的に所定
の照射角、または明るさに制御される。
【発明の効果】以上のように本発明によれば、電子顕微
鏡のオペレータはスポットサイズスイッチやブライトネ
スノブを単に操作するだけで、集束レンズ絞りを操作す
ることなく、試料に入射するビームの照射角や明るさを
連続的に調整することができ、操作を簡単にすることが
できる。
鏡のオペレータはスポットサイズスイッチやブライトネ
スノブを単に操作するだけで、集束レンズ絞りを操作す
ることなく、試料に入射するビームの照射角や明るさを
連続的に調整することができ、操作を簡単にすることが
できる。
【図１】 本発明の電子顕微鏡の概略構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】 照射角を制御する場合の動作を説明する図で
ある。
ある。
【図３】 明るさを制御する場合の動作を説明する図で
ある。
ある。
【図４】 本発明の詳細な制御回路ブロック図である。
【図５】 ビームの絞りサイズをパラメータとしたとき
のレンズ励磁と照射角の関係、電子ビームのサイズと明
るさとの関係を示す図である。
のレンズ励磁と照射角の関係、電子ビームのサイズと明
るさとの関係を示す図である。
１…操作盤、２…ＭＰＵ、３…絞り駆動回路、４…レン
ズコイル駆動回路、６…集束コイル、１０…操作パネ
ル、１１…ノブ、１２…回転検知回路、１３…ＭＰＵバ
スインターフェース、１４…ＭＰＵバス、１５…ＭＰ
Ｕ、１６…データＲＯＭ、１８…粗ドライバ、１９…ラ
ッチ回路、２０…コンパレータ、２１…パワーアンプ、
２２…ＡＤＣ、２３…位置検出回路、２４，２５…ファ
インドライバ、２６…絞り、３１，３６，３８…レンズ
ドライバ、３２…ラッチ回路、３３…ＤＡＣ、３４…パ
ワーアンプ。
ズコイル駆動回路、６…集束コイル、１０…操作パネ
ル、１１…ノブ、１２…回転検知回路、１３…ＭＰＵバ
スインターフェース、１４…ＭＰＵバス、１５…ＭＰ
Ｕ、１６…データＲＯＭ、１８…粗ドライバ、１９…ラ
ッチ回路、２０…コンパレータ、２１…パワーアンプ、
２２…ＡＤＣ、２３…位置検出回路、２４，２５…ファ
インドライバ、２６…絞り、３１，３６，３８…レンズ
ドライバ、３２…ラッチ回路、３３…ＤＡＣ、３４…パ
ワーアンプ。
Claims (1)
- 【請求項１】 レンズ絞りを駆動する絞り駆動回路と、 レンズコイルにレンズ電流を供給するレンズコイル駆動
回路と、 操作盤の操作量に応じて絞り駆動回路及びレンズコイル
駆動回路を制御する制御手段とを備え、 前記制御手段は、操作量に対応するブライトネス、また
はビーム照射角と絞りやレンズ電流との関係を示すテー
ブルを有しており、該テーブルを参照して操作量に応じ
て絞り駆動回路及びレンズコイル駆動回路を制御するこ
とを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000332157A JP2002141014A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000332157A JP2002141014A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002141014A true JP2002141014A (ja) | 2002-05-17 |
Family
ID=18808398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000332157A Withdrawn JP2002141014A (ja) | 2000-10-31 | 2000-10-31 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002141014A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2393571A (en) * | 2002-09-26 | 2004-03-31 | Leo Electron Microscopy Ltd | Improvements in and relating to the control of instruments |
| JP2011129444A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の可動絞り位置制御方法及び装置 |
| JP2017110774A (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 日立建機株式会社 | 建設機械 |
-
2000
- 2000-10-31 JP JP2000332157A patent/JP2002141014A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2393571A (en) * | 2002-09-26 | 2004-03-31 | Leo Electron Microscopy Ltd | Improvements in and relating to the control of instruments |
| GB2393571B (en) * | 2002-09-26 | 2007-03-21 | Leo Electron Microscopy Ltd | Improvements in and relating to the control of instruments |
| US7523009B2 (en) | 2002-09-26 | 2009-04-21 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Control of instruments |
| JP2011129444A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の可動絞り位置制御方法及び装置 |
| JP2017110774A (ja) * | 2015-12-18 | 2017-06-22 | 日立建機株式会社 | 建設機械 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5684627A (en) | Microscope with a multi-functional adjustment knob | |
| JP5436080B2 (ja) | 画像投射装置 | |
| JP2003250813A (ja) | 外科用照明装置 | |
| JP2002141014A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH08201701A (ja) | 電動式顕微鏡 | |
| JPS5854463B2 (ja) | 電子プロ−ブ装置 | |
| JP2000106116A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| US20020033451A1 (en) | Electron microscope | |
| JPH0218845A (ja) | 電子顕微鏡の絞り位置制御装置 | |
| JPH0654379A (ja) | リモコン操作時のレベル設定表示装置 | |
| JPS5858779B2 (ja) | 電子顕微鏡等用視野移動装置 | |
| JP2000055823A (ja) | 外観検査装置 | |
| KR960014653B1 (ko) | 광디스크 플레이어의 자동 오프셀 조정장치 | |
| JPS62272584A (ja) | レ−ザ描画装置 | |
| JPS62171123A (ja) | 露光方法、該方法を用いた素子製造方法および露光装置 | |
| JPH05334980A (ja) | 試料ステージコントローラ | |
| JP2636381B2 (ja) | 電子線装置 | |
| JPS6115572Y2 (ja) | ||
| JP2752689B2 (ja) | 原稿走査装置 | |
| JP3367979B2 (ja) | 画像読取装置 | |
| US20080205457A1 (en) | Image recording apparatus | |
| JPH0119225B2 (ja) | ||
| JPH11264939A (ja) | 顕微鏡用焦点調節装置 | |
| JPH10244391A (ja) | マーキングパターン形成装置 | |
| JPH0232739B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080108 |