KR19990085868A - 액정표시장치용 기판 카세트 - Google Patents

액정표시장치용 기판 카세트 Download PDF

Info

Publication number
KR19990085868A
KR19990085868A KR1019980018547A KR19980018547A KR19990085868A KR 19990085868 A KR19990085868 A KR 19990085868A KR 1019980018547 A KR1019980018547 A KR 1019980018547A KR 19980018547 A KR19980018547 A KR 19980018547A KR 19990085868 A KR19990085868 A KR 19990085868A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
liquid crystal
crystal display
cassette
substrate cassette
Prior art date
Application number
KR1019980018547A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100525997B1 (ko
Inventor
양두흠
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019980018547A priority Critical patent/KR100525997B1/ko
Publication of KR19990085868A publication Critical patent/KR19990085868A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100525997B1 publication Critical patent/KR100525997B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

본 발명의 액정표시장치용 기판 카세트는 상부판에 설치된 이송용 손잡이를 구성하는 강심재가 상부판과 측면 프레임의 내부를 관통하여 하부판의 측면부에까지 연장하여 설치되도록 구성된다.
따라서, 작업자가 손잡이를 아래로 눌러 측면 프레임들을 외측으로 휘어지게 한 상태에서 기판 카세트의 해당 슬롯에 기판을 로딩/언로딩하여 기판의 외측면부와 기판 카세트의 측면 프레임의 내벽과의 마찰을 방지함으로써 오염원인 미세 입자의 발생을 방지할 수 있다.

Description

액정표시장치용 기판 카세트
본 발명은 액정표시장치용 기판 카세트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판이 로딩/언로딩될 때 기판의 양측면부와, 기판 카세트의 측면 프레임의 내벽과의 충돌이 방지되어 오염원인 미세 입자가 발생되지 않도록 한 액정표시장치용 기판 카세트에 관한 것이다.
일반적으로 알려진 바와 같이, 액정표시장치용 기판은 하나의 공정설비에서 처리되고 나면 다음 공정설비나 계측설비에서의 처리를 위해 해당하는 설비로 이송된다. 카세트는 기판의 이송 효율을 향상시키기 위해 가능한 한 많은 기판들을 적재할 수 있도록 기판 카세트의 대향하는 내측면에 슬롯들(slot)이 형성된다.
종래의 기판 카세트(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 사각형상의 상부판(11)과 하부판(13)이 일정 간격을 두도록 이들 양자의 대향하는 좌, 우 양측면에 사다리 형상의 측면 프레임들(15)이 쌍으로 나사 결합되고, 상부판(11)의 상부면 중앙부에 이송용 손잡이들(17)이 일정 거리를 두고 2개 설치되도록 구성된다. 각각의 측면 프레임들(15)의 측벽에 기판(1)의 수납용 슬롯들을 형성하기 위한 수평가이드(16)가 일체로 연결된다.
이와 같이 구성된 종래의 기판 카세트에서는 좌, 우 대향하는 측면 프레임들(15)의 간격이 기판(1)의 가로 길이에 대응하여 형성된다.
그런데, 측면 프레임들(15)과 상, 하부판(11),(13)이 모두 동일한 딱딱한 경성 재질로 이루어지므로 카세트(10)의 슬롯에 기판(1)을 로딩하거나 카세트(10)의 슬롯으로부터 기판(1)을 언로딩할 때, 기판(1)의 양측면부와 측면 프레임(15)의 내벽과의 사이에 충분한 여유 공간이 확보되지 않기 때문에 기판(1)의 양측면부와 측면 프레임(15)의 내벽이 면접하여 충돌하기 쉽다.
기판(1)의 로딩/언로딩이 반복 수행됨에 따라 미세입자가 다량으로 발생하면, 기판(1)은 물론 기판 카세트(10)도 미세입자에 의해 오염된다.
이후, 오염된 기판이나 기판 카세트를 해당 공정장비에서 해당 공정조건으로 완벽하게 처리하더라도 제품 불량을 피할 수 없다.
따라서, 본 발명의 목적은 기판이 카세트에 수납될 때 기판과 기판 카세트의 충돌을 방지하여 오염원인 미세 입자의 발생을 억제하도록 한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 다음의 상세한 설명 및 첨부된 도면에 의해 보다 명확해질 것이다.
도 1은 종래의 기술에 의한 액정표시장치용 기판 카세트를 나타낸 사시도.
도 2는 도 1의 I-I선을 따라 절단한 단면도.
도 3은 본 발명에 의한 액정표시장치용 기판 카세트를 나타낸 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1: 기판 10: 기판 카세트 11: 상부판 13: 하부판 15: 측면 프레임 16: 수평가이드 17: 손잡이 20: 기판 카세트 21: 상부판 23: 하부판 25: 측면 프레임 26: 수평돌출부 27: 손잡이
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 액정표시장치용 기판 카세트는 상, 하부판의 대향하는 좌, 우 양측면부에 측면 프레임이 쌍으로 연결되면서 기판이 로딩/언로딩될 때 기판과의 충돌을 방지하기 위해 측면 프레임이 외측으로 휘어지도록 구성된다.
기판을 슬롯에 수납할 때 기판의 양측면부가 측면 프레임들의 내벽에 충돌하지 않도록 측면 프레임이 외측으로 휘어지도록 상부판에 강심재의 손잡이가 설치되고 강심재가 상부판과 측면 프레임 및 하부판에 관통 삽입된다.
이하, 본 발명에 의한 액정표시장치용 기판 카세트를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 기판 카세트(20)는 사각형상의 상부판(21)과 하부판(23)이 일정 간격을 두고 대향하도록 이들 양자의 대향하는 좌, 우 양측면에 사다리 형상의 측면 프레임들(25)이 복수 쌍으로 나사 결합되고, 상부판(21)의 상부면 중앙부에 이송용 손잡이(27)가 설치되도록 구성된다. 측면 프레임들(25)의 측벽에 기판(1)의 수납용 슬롯들을 형성하기 위한 수평돌출부들(16)이 일체로 연결된다.
손잡이(27)를 구성하는 강심재가 상부판(21), 하부판(23) 및 측면 프레임(25)의 재질과 다르며, 상부판(21)의 좌, 우 양측면과 좌, 우 양측의 측면 프레임들(25)의 내부를 연속적으로 관통하여 하부판(23)의 측면부까지 연장하여 설치된다.
이와 같이 구성되는 본 발명의 기판 카세트에 기판을 로딩/언로딩하는 과정을 살펴보면, 먼저, 액정표시장치용 기판(1)을 기판 카세트(20)의 해당 슬롯에 로딩하기 위해 손잡이(27)를 상부판(21)을 향해 아래로 누르면, 손잡이(27)를 구성하는 강심재가 연속하여 측면 프레임들(25)의 내부에 관통하여 삽입되어 있으므로 좌, 우 양측의 측면 프레임들(25)이 원래의 수직상태에서 일점쇄선으로 도시된 바와 같이, 외측으로 휘어진다.
이때, 좌, 우 양측의 측면 프레임들(25)은 중앙부에서 가장 큰 간격으로 벌어진다. 따라서, 좌, 우 양측의 측면 프레임들(25)이 기판(1)의 길이 사이즈보다 큰 간격으로 벌어지므로 기판(1)의 양측면부가 측면 프레임들(25)의 내벽에 전혀 마찰하지 않고 기판(1)이 해당 슬롯에 로딩된다.
기판(1)을 카세트(20)의 해당 슬롯으로부터 언로딩하는 경우에도 이와 마찬가지로, 좌, 우 양측의 측면 프레임들(25)이 기판(1)의 길이 사이즈보다 큰 간격으로 벌어지므로 기판(1)의 양측면부가 측면 프레임들(25)의 내벽에 전혀 마찰하지 않고 기판(1)이 해당 슬롯에 언로딩된다.
한편, 기판 카세트(20)에 로딩된 기판(1)을 계속 보관하는 경우, 손잡이(27)을 위로 당기면, 측면 프레임들(25)이 다시 원래의 수직 상태로 되돌아온다. 따라서, 측면 프레임들(25)의 내벽이 기판(1)의 좌, 우 양측면과 밀착하므로 기판(1)의 유동이 방지되며 보관된다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 액정표시장치용 기판 카세트는 상부판에 설치된 이송용 손잡이를 구성하는 강심재가 상부판과 측면 프레임의 내부를 관통하여 하부판의 측면부에까지 연장하여 설치되도록 구성된다.
따라서, 작업자가 손잡이를 아래로 눌러 측면 프레임들을 외측으로 휘어지게 한 상태에서 기판 카세트의 해당 슬롯에 기판을 로딩/언로딩하여 기판의 외측면부와 기판 카세트의 측면 프레임의 내벽과의 마찰을 방지함으로써 오염원인 미세 입자의 발생을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명은 도시된 도면과 상세한 설명에 기술된 내용에 한정하지 않으며 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 적용 가능함은 이 분야에 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 사실이다.

Claims (3)

  1. 상부판;
    하부판;
    상기 상부판과 상기 하부판의 좌, 우 양측면부에 대향하여 설치되고, 기판을 수납하기 위한 슬롯들이 적어도 한 쌍 이상 형성된 측면 프레임들을 포함하며,
    상기 기판을 상기 슬롯들중 해당 슬롯에 수납할 때 상기 기판의 양측면부가 상기 측면 프레임들의 내벽에 충돌하여 미세 입자를 발생시키는 것을 방지하도록 상기 측면 프레임들이 외측으로 휘어지는 것을 특징으로 액정표시장치용 기판 카세트.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 상부판에 이송용 손잡이가 설치되고, 상기 손잡이를 구성하는 강심재가 상기 측면 프레임들의 내부를 관통하여 상기 하부판에까지 삽입, 설치되어 상기 손잡이가 아래로 눌러 지면, 상기 측면 프레임들이 원래의 수직상태에서 외측으로 휘어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 기판 카세트.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 손잡이가 위로 당겨지면, 상기 측면 프레임들이 원래 위치로 되돌아와 수직 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 기판 카세트.
KR1019980018547A 1998-05-22 1998-05-22 액정표시장치용 기판 카세트 KR100525997B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980018547A KR100525997B1 (ko) 1998-05-22 1998-05-22 액정표시장치용 기판 카세트

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980018547A KR100525997B1 (ko) 1998-05-22 1998-05-22 액정표시장치용 기판 카세트

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990085868A true KR19990085868A (ko) 1999-12-15
KR100525997B1 KR100525997B1 (ko) 2006-02-08

Family

ID=37178557

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980018547A KR100525997B1 (ko) 1998-05-22 1998-05-22 액정표시장치용 기판 카세트

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100525997B1 (ko)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970005596B1 (ko) * 1994-07-08 1997-04-18 재단법인 한국전자통신연구소 디지틀 정보의 암호화 및 복호화 방법
JPH08244909A (ja) * 1995-03-14 1996-09-24 Hitachi Electron Eng Co Ltd カセット内のガラス基板整列方法
JP3740722B2 (ja) * 1995-09-22 2006-02-01 スターライト工業株式会社 基板用カセット
JPH09216685A (ja) * 1996-02-08 1997-08-19 Nippon Valqua Ind Ltd 基板用カセット

Also Published As

Publication number Publication date
KR100525997B1 (ko) 2006-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970008334A (ko) 진공처리장치 및 이를 사용한 반도체 생산라인
JPH10203584A (ja) 基板用カセット
JP2009010119A (ja) 基板収容容器
KR100525997B1 (ko) 액정표시장치용 기판 카세트
KR100548745B1 (ko) 기판 수납 트레이
JP4372313B2 (ja) 基板収納容器
JP5916508B2 (ja) 基板収納容器
KR100279524B1 (ko) 반도체수용장치및반도체디바이스의삽입및인출방법
JPH0837172A (ja) ウェット処理装置
KR100234359B1 (ko) 박스기능을 갖는 웨이퍼 카세트
US7017758B2 (en) Wafer protective cassette
KR100525999B1 (ko) 액정표시장치용 기판 카세트
JP2009124063A (ja) リテーナ及び基板収納容器
US5531329A (en) IC carrier to which an IC can be mounted with the leads thereof supported in a non-contacting state
JPH0936215A (ja) キャリアケース
KR100525996B1 (ko) 액정표시장치용 기판 카세트
KR100539969B1 (ko) 수납장치
KR20040038675A (ko) 평판물 수납 및 이송 컨테이너
US7971722B2 (en) Wafer container with restrainer
JP2872895B2 (ja) 基板保持カセット
JP3020287U (ja) 薄板用支持容器
KR20040066963A (ko) 웨이퍼 캐리어
KR20040021427A (ko) 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어
KR200187047Y1 (ko) 매스크 보관케이스의 매스크 유동방지구조
KR200169669Y1 (ko) 반도체 웨이퍼 캐리어

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20111017

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee