KR19990062899A - Loc 패키지 구조를 갖는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치 - Google Patents
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- H01L2224/48638—Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Gold (Au) with a principal constituent of the bonding area being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
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Abstract
본 발명은 오버-리드 본딩 기술을 사용하지 않고 버스-바에 의하여 전원선/접지선을 강화할 수 있는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치를 제공한다. 이 반도체 장치는 (a) 복수의 제 1 본딩 패드 및 복수의 제 2 본딩 패드가 제공된 표면을 가지며, 복수의 제 1 본딩 패드는 표면의 중앙 영역에 배열되고 복수의 제 2 본딩 패드는 표면의 주변 영역에 배열되는 IC 칩, (b) 내부 단부가 칩의 표면에 고정된 리드 핑거로서, 하나 이상의 리드 핑거가 칩용 전원선/접지선의 일부분으로 역할하는 리드 핑거, (c) 전원선/접지선의 일부분으로 역할하는 하나 이상의 리드 핑거에 기계적 및 전기적으로 접속되고, 칩의 표면 상에 연장된 버스-바, (d) 리드 핑거의 내부 단부 및 버스-바를 복수의 제 1 및 제 2 본딩 패드중 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 본딩 와이어 및 (e) 칩, 리드 핑거의 내부 부분, 버스-바 및 와이어를 봉지하는 플라스틱 패키지로서, 리드 핑거의 외부 부분을 돌출시키는 플라스틱 패키지로 이루어진다. 버스-바는 복수의 제 1 본딩 패드를 리드 핑거중 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 본딩 와이어가 버스-바와 겹치지 않도록 칩의 상기 표면의 상기 중앙 영역 상에 연장된다.
Description
본 발명은 LOC (Lead-On-Chip) 패키지 구조를 갖는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치에 관한 것으로, 특히, 집적 회로 (IC) 칩과, 칩 상에 연장되어 금속 와이어를 통해 IC 칩의 본딩 패드에 전기적으로 접속되는 리드 핑거를 갖춘 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치에 관한 것으로, 전원선/접지선으로 역할하는 하나 이상의 리드 핑거는 칩 상에 연장되어 전원선/접지선을 전원 단자/접지 단자로 역할하는 칩의 패드중 하나와 전기적으로 상호 접속시키는 버스-바를 갖는다.
최근, 메모리 IC 칩이 플라스틱 패키지에 의하여 전형적으로 봉지되는 다이내믹 램 (DRAMs) 의 작동 속도가 증가함에 따라, DRAM 의 플라스틱 패키지에서의 전원선 및 접지선 강화의 필요성은 패키지 설계 작업에서 더욱 더 중요하게 되어 왔다. 이는 다음의 이유로 인한 것이다.
특히, 플라스틱 패키지에서 전원선 및 접지선의 전기적 저항이 높으면, 메모리 IC 칩의 전원 단자 및 접지 단자에서의 전기적 전위가 변동하기 쉽다. 이 전기적 전위 변동에 의하여 칩내에 메모리 셀로의 액세스 속도가 저하된다. 따라서, 증가하는 동작 속도에 따라서 전원선 및 접지선을 강화하거나 두껍게 함으로써 전원선 및 접지선의 전기적 저항을 저하하는 것이 필요하다.
플라스틱으로 봉지된 반도체 장치 (예를 들면, DRAM) 의 종래의 LOC 패키지 구조를 도 1 및 도 2 에 도시한다. 종래의 패키지에서, 메모리 IC 칩의 본딩 패드는 메모리 칩의 상부 표면의 중앙 영역에 배열된다. 따라서, 본딩 패드의 이러한 배열을 중앙 패드 구조 라 부른다.
도 1 에 도시한 바와 같이, 반도체 장치는 IC 칩 (107), 칩 (107) 의 상부 표면 (107a) 상에 제공된 본딩 패드 (101), 리드 핑거 (122a, 122b, 122c 및 122d), 금속 결합선 (105) 및 플라스틱 패키지 (108) 로 이루어진다. 칩 (107) 이 중앙 패드 구조를 갖기 때문에, 본딩 패드 (101) 는 칩 (107) 의 상부 표면 (107a) 의 중앙 영역 (110) 에 규칙적인 간격으로 직선을 따라 배열된다.
제 1 및 제 2 의 두 번 코팅된, 비전도성 접착 테이프 (106a 및 106b) 가 중앙 영역 (110) 의 각 측부에서 칩 (107) 의 상부 표면 (107a) 상에 배열된다. 테이프 (106a 및 106b) 의 코팅된 하부 면이 상부 표면 (107a) 에 부착되어 그 위에서 고정된다. 테이프 (106a 및 106b) 는 본딩 패드 (101) 의 열에 평행하게 연장된다.
리드 핑거 (122a, 122b, 122c 및 122d) 는 금속 리드프레임에 의하여 형성된다. 리드 핑거 (122a, 122b, 122c 및 122d) 의 내부 단부는 각각 본딩 영역 (103a, 103b, 103c 및 103d) 으로서 역할한다. 이 본딩 영역 (103a, 103b, 103c 및 103d) 을 스티치 라 부른다.
도 1 의 좌측 상에 제공되는 리드 핑거 (122a 및 122b) 는 그것의 스티치 (103a 및 103b) 에서 제 1 테이프 (106a) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 리드 핑거 (122a 및 122b) 가 칩 (107) 에 고정된다. 도 1 의 우측 상에 제공된 리드 핑거 (122c 및 122d) 는 그것의 스티치 (103c 및 103d) 에서 제 2 테이프 (106b) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 리드 핑거 (122c 및 122d) 의 내부 단부가 칩 (107) 에 고정된다.
도 1 의 상부에 위치된 리드 핑거 (122a) 중 하나는 전원 공급 전압 (VCC) 을 IC 칩 (107) 에 공급하는 제 1 전원선으로서 역할한다. 도 1 의 저부에 위치된 리드 핑거 (122b) 중 하나는 전원 공급 전압 (VCC) 을 IC 칩 (107) 에 공급하는 제 2 전원선으로서 역할한다. 제 1 전원선으로서 역할하는 리드 핑거 (122a) 의 내부 단부 (즉, 스티치 (103a)) 및 제 2 전원선으로서 역할하는 리드 핑거 (122b) 의 내부 단부 (즉, 스티치 (103b)) 는 제 1 버스-바 (104a) 를 통해 기계적 및 전기적으로 상호 접속된다.
리드 핑거 (122a, 122b, 122c 및 122d) 와 동일한 재료로 이루어진 제 1 버스-바 (104a) 는 본딩 패드 (101) 의 열과 제 1 테이프 (106a) 사이에 위치되어 그것들을 따라서 연장된다. 제 1 버스-바 (104a) 는 중간에 본딩 영역 (즉, 스티치) (103a') 으로서 역할하는 돌출 부분을 가진다. 스티치 (103a') 는 리드 핑거 (122a) 의 군과 리드 핑거 (122b) 의 군 사이에 위치된다. 제 1 버스-바 (104a) 는 제 1 테이프 (106a) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 제 1 버스-바 (104a) 의 중앙 부분이 칩 (107) 에 고정된다.
도 1 의 상부에 위치된 리드 핑거 (122c) 중 하나는 특정한 접지 전위 (GND) 를 IC 칩 (107) 에 인가하는 제 1 접지선으로서 역할한다. 도 1 의 저부에 위치된 리드 핑거 (122d) 의 하나는 특정한 접지 전위 (GND) 를 IC 칩 (107) 에 인가하는 제 2 접지선으로서 역할한다. 제 1 접지선으로서 역할하는 리드 핑거 (122c) 의 내부 단부 (즉, 스티치 (103c)) 및 제 2 접지선으로서 역할하는 리드 핑거 (122d) 의 내부 단부 (즉, 스티치 (103d)) 는 제 2 버스-바 (104b) 를 통해 기계적 및 전기적으로 상호 접속된다.
리드 핑거 (122a, 122b, 122c 및 122d) 와 동일한 재료로 이루어진 제 2 버스-바 (104b) 는 본딩 패드 (101) 의 열과 제 2 테이프 (106b) 사이에 위치되어 그것들을 따라서 연장된다. 제 2 버스-바 (104b) 는 중간에 본딩 영역 (즉, 스티치) (103b') 으로서 역할하는 돌출 부분을 가진다. 스티치 (103b') 는 리드 핑거 (122c) 의 군과 리드 핑거 (122d) 의 군 사이에 위치된다. 제 2 버스-바 (104b) 는 제 2 테이프 (106b) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 제 2 버스-바 (104b) 의 중앙 부분이 칩 (107) 에 고정된다.
각각의 리드 핑거 (122a, 122b, 122c 및 122d) 는 금속 본딩 와이어 (105) 를 통해 스티치-본딩 공정에 의하여 본딩 영역 또는 스티치 (103a, 103b, 103c 및 103d) 에서 대응하거나 인접한 본딩 패드 (101) 중 하나에 전기적으로 접속된다. 칩 (107) 의 중앙에 근접하게 위치된 본딩 패드 (101) 중 하나가 금속 본딩 와이어 (105) 를 통해 제 1 및 제 2 전원선용으로 설계된 제 1 버스-바 (104a) 에 전기적으로 접속된다. 칩 (107) 의 중앙에 근접하게 위치된 본딩 패드 (101) 중 다른 하나는 금속 본딩 와이어 (105) 를 통해 제 1 및 제 2 접지선용으로 설계된 제 2 버스-바 (104b) 에 전기적으로 접속된다.
IC 칩 (107), 본딩 와이어 (105), 제 1 및 제 2 버스-바 (104a 및 104b) 및 리드 핑거 (122a, 122b, 122c 및 122d) 의 내부 부분 (102a, 102b, 102c 및 102d) 은 플라스틱 패키지 (108) 로 봉지된다. 내부 부분 (102a, 102b, 102c 및 102d) 을 내부 리드 라 부른다.
리드 핑거 (122a, 122b, 122c 및 122d) 의 외부 부분만이 패키지 (108) 의 외부에 위치됨으로써, 반도체 장치의 입력/출력 (I/O) 단자가 제공된다. 외부 부분 (109a, 109b, 109c 및 109d) 을 외부 리드 라 부른다.
도 1 에 도시한 상술한 종래의 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치에서, 도 2 로부터 알 수 있는 바와 같이, 본딩 와이어 (105) 가 개재된 버스-바 (104a 또는 104b) 상에 연장되도록 본딩되는 것이 필요하다. 이것은 이 반도체 장치에 대한 와이어 본딩 작업에서 오버-리드 본딩 기술이 필수적임을 의미한다.
따라서, 본딩 와이어 (105) 의 루프 (loop) 높이가 충분히 크지 않으면, 몇몇의 본딩 와이어 (105) 가 플라스틱 패키지 (108) 의 몰딩 작업에서 버스-바 (104a 또는 104b) 와 접촉될 가능성이 있다. 결과적으로, 통상적인 TSOP (Thin Small Outline L-leaded Package) 와 같은 박형 (薄型) 패키지를 플라스틱 패키지 (108) 용으로 사용하기가 어렵다.
한편, SOJ (Small Outline J-leaded Package) 와 같은 후형 (厚型) 패키지는 후형 패키지에서 본딩 와이어 (105) 의 만족할만한 루프 높이가 보장되므로, 오버-리드 본딩 기술을 사용함으로써 패키지 (108) 에 적용될 수도 있다. 그러나, 이 경우, 본딩 와이어 (105) 와 버스-바 (104a 및/또는 104b) 사이의 몰딩후 간격이 테스트 작업에서의 X-선 검사와 같은 공지된 2차원적, 비파괴적인 검사 방법의 사용에 의해서는 3차원적으로 관찰되거나 검사될 수 없다는 문제가 있다.
더욱이, 오버-리드 본딩 기술이 TSOP 와 같은 패키지에 실제로 적용될 경우, 몇몇 측정은 패키지 (108) 의 몰딩 공정 후에 버스-바 (104a 및 104b) 와 본딩 와이어 (105) 의 맞닿음 또는 접촉을 피하도록 사용될 것을 요구한다. 도 3 및 도 4 에 측정중 두 가지 예를 도시한다.
도 3 에서, 본딩 와이어 (105) 와 버스-바 (104a' 및 104b') 사이의 몰딩후 간격을 증가시키기 위하여 하프-에칭된 버스-바 (104a' 및 104b') 가 사용된다. 그러나, 이 경우, 리드프레임의 제조 가격이 높아지는 또 다른 문제가 발생한다.
도 4 에서, 절연층 (114a 및 114b) 이 버스바 (104a 및 104b) 의 상부 표면을 각각 덮기 위해 형성되거나 도포된다. 그러나, 이 경우, 리드프레임의 제조 가격이 높아지고 절연층 (114a 및 114b) 이 패키지 (108) 의 몰딩 플라스틱으로부터 분리되기 쉽다는 또 다른 문제가 발생한다. 층 (114a 및 114b) 의 분리는 패키지 (108) 의 신뢰성을 저하한다.
따라서, 본 발명의 목적은 오버-리드 본딩 기술을 사용하지 않고 버스-바에 의하여 전원선/접지선을 강화하는 것을 가능하게 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 버스-바와 본딩 와이어의 맞닿음 또는 접촉으로 인한 불량율을 감소시키는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 리드프레임의 제조 수율 및 본딩 와이어의 본딩 수율을 향상시키는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치를 제공하는 것이다.
도 1 은 패키지의 상부 절반이 제거된, 종래의 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치의 LOC 패키지 구조를 도시한 개략적인 평면도.
도 2 는 도 1 의 선 Ⅱ - Ⅱ 을 따라서 자른 단면도.
도 3 은 버스-바에 하프-에칭된 부분이 있는, 다른 종래의 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치를 도 1 의 선 Ⅱ - Ⅱ 과 동일한 선을 따라서 자른 단면도.
도 4 는 버스-바에 절연층이 있는, 또 다른 종래의 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치를 도 1 의 선 Ⅱ-Ⅱ 과 동일한 선을 따라서 자른 단면도.
도 5 는 패키지의 상부 절반이 제거된, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치의 LOC 패키지 구조를 도시한 개략적인 평면도.
도 6a 는 도 5 의 선 Ⅵ A - Ⅵ A 를 따라서 자른 단면도.
도 6b 는 도 5 의 선 Ⅵ B - Ⅵ B 를 따라서 자른 단면도.
도 6c 는 도 5 의 선 Ⅵ C - Ⅵ C 를 따라서 자른 단면도.
도 7 은 패키지의 상부 절반이 제거된, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치의 LOC 패키지 구조를 도시한 개략적인 평면도.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※
1a, 1b, 1c : 본딩 패드
2a, 2b, 2c, 2d : 내부 리드
3a, 3b, 3c, 3d : 스티치
3b', 3d' : 스티치
4a : 제 1 버스-바
4b : 제 2 버스-바
5 : 금속 본딩 와이어
6a, 6b : 비전도성 접착 테이프
7 : IC 칩
7a : 칩의 상부 표면
8 : 플라스틱 패키지
9a, 9b, 9c, 9d : 외부 리드
10 : 중앙 패드 영역
11a : 제 1 주변 패드 영역
11b : 제 2 주변 패드 영역
22a, 22b, 22c, 22d : 리드 핑거
VCC : 전원 공급 전압
GND : 접지 전위
특별히 언급하지 않은 다른 목적들과 함께 상기 목적은 다음의 설명으로부터 당업자에게 명확해질 것이다.
본 발명에 따른 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치는 (a) 복수의 제 1 본딩 패드 및 복수의 제 2 본딩 패드가 제공된 표면을 가지며, 복수의 제 1 본딩 패드는 표면의 중앙 영역에 배열되고 복수의 제 2 본딩 패드는 표면의 주변 영역에 배열된 IC 칩, (b) 내부 단부가 IC 칩의 표면에 고정된 리드 핑거로서, 하나 이상의 리드 핑거가 IC 칩용 전원선/접지선의 일부분으로서 역할하는 리드 핑거, (c) 전원선/접지선의 일부분으로서 역할하는 하나 이상의 리드 핑거에 기계적 및 전기적으로 접속되고, IC 칩의 표면 상에 연장되는 버스-바 (bus-bar), (d) 리드 핑거의 내부 단부와 버스-바를 복수의 제 1 및 제 2 본딩 패드중 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 본딩 와이어, 및 (e) IC 칩, 리드 핑거의 내부 부분, 버스-바 및 본딩 와이어를 봉지하는 플라스틱 패키지로서, 패키지로부터 리드 핑거의 외부 부분을 돌출시키는 플라스틱 패키지로 이루어진다.
버스-바는 복수의 제 1 본딩 패드를 리드 핑거중 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 본딩 와이어가 버스-바와 겹치지 않는 방식으로 IC 칩의 표면 상에 연장되도록 형성된다.
본 발명에 따른 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치에서, IC 칩은 복수의 제 1 본딩 패드 및 복수의 제 2 본딩 패드를 갖는다. 복수의 제 1 본딩 패드는 칩 표면의 중앙 영역에 배열되고 복수의 제 2 본딩 패드는 칩 표면의 주변 영역에 배열된다.
더욱이, 버스-바는 복수의 제 1 본딩 패드를 리드 핑거중 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 본딩 와이어가 버스-바와 겹치지 않는 방식으로 IC 칩의 표면 상에 연장되도록 형성된다. 이것은 버스-바가 복수의 제 1 본딩 패드와 이에 전기적으로 접속된 리드 핑거중 대응하는 것 사이의 개재된 영역으로 연장되지 않도록 형성됨을 의미한다.
따라서, IC 칩용 전원선/접지선은 오버-리드 (over-lead) 본딩 기술을 사용하지 않고 버스-바에 의하여 강화될 수 있다. 이것은 버스-바의 하프-에칭 (half-etching) 공정이 불필요하고, 리드 핑거용 금속 리드프레임이 프레싱 또는 스탬핑 작업에 의하여 용이하게 제조될 수 있음을 의미한다.
또한, 오버-리드 본딩 기술이 불필요하므로, 버스-바가 본딩 와이어 또는 와이어와 접촉될 가능성이 없다. 따라서, 버스-바와 본딩 와이어의 맞닿음 또는 접촉으로 인한 반도체 장치의 불량율이 감소된다. 이것은 리드 핑거용으로 사용되는 리드프레임의 제조 수율 및 본딩 와이어의 본딩 수율이 향상됨을 의미한다.
본 발명에 따른 반도체 장치의 바람직한 실시예에서, 비전도성 테이프가 IC 칩의 표면에 부착된다. 리드 핑거의 내부 단부가 테이프에 부착됨으로써, 리드 핑거가 IC 칩의 표면에 고정된다.
이 실시예에서, 버스-바가 단단하게 고정되기 때문에, 버스-바의 단부는 테이프에 부착되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 반도체 장치의 다른 바람직한 실시예에서, IC 칩의 전원 단자/접지 단자로서 역할하는, IC 칩 표면의 중앙에 근접하게 위치된 복수의 제 1 본딩 패드중 하나가 버스-바 및 본딩 와이어중 대응하는 본딩 와이어를 통해 전원선/접지선에 전기적으로 접속된다.
본 발명에 따른 반도체 장치의 또 다른 바람직한 실시에에서, 복수의 제 2 본딩 패드에 전기적으로 접속된 리드 핑거는 복수의 제 2 본딩 패드에 근접하게 위치된 협소 부분을 가진다.
이 실시예에서는, 복수의 제 2 본딩 패드를 대응하는 리드 핑거에 전기적으로 접속하는 본딩 와이어는 인접한 리드 핑거에 접촉되기 어렵고, 동시에, 본딩 와이어를 복수의 제 2 본딩 패드에 결합하는 본딩 작업은 용이해지며, 이것이 리드 핑거의 내부 단부의 피치를 증가시키지 않고 실현된다는 추가적인 이점이 있다.
본 발명에 따른 반도체 장치의 또 다른 바람직한 실시예에서, IC 칩은 리드 핑거의 외부 부분에 대하여 칩에 평행한 평면을 따라 이동된 장소에 위치됨으로써, 복수의 제 2 본딩 패드에 전기적으로 접속된 리드 핑거의 내부 부분의 굴곡 각도가 감소된다.
이 실시예에서는, 복수의 제 2 본딩 패드를 위한 리드 핑거의 내부 부분의 폭 또는 두께가 증가될 수 있어서, 리드프레임의 강도가 증가되는 추가적인 이점이 있다. 더욱이 이것은 리드 핑거용 금속 리드프레임의 제조 수율 및 본딩 와이어의 본딩 수율을 향상시킨다.
본 발명을 용이하게 실시하기 위하여, 이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명한다.
제 1 실시예
본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치는 도 5, 도 6a, 도 6b 및 도 6c 에 도시한 바와 같이, LOC 패키지 구조를 갖는다.
도 5 에 도시한 바와 같이, 이 반도체 장치는 IC 칩 (7), 칩 (7) 의 상부 표면 또는 본딩 표면 (7a) 상에 제공된 본딩 패드 (1a, 1b 및 1c), 리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d), 금속 본딩 와이어 (5) 및 플라스틱 패키지 (8) 로 이루어진다. 패키지 (8) 는 대략 직사각형의 평행 6 면체의 형태를 가진다.
도 1 에 도시한 중앙 패드 구조 를 갖는 종래의 반도체 장치의 칩 (107) 과는 달리, 이 반도체 장치는 칩 (7) 의 상부 표면 (7a) 의 중앙 패드 영역 (10) 에 위치된 본딩 패드 (1a), 한쪽 측부 (도 5 에서 좌측부) 상에 위치되어 있는 제 1 주변 패드 영역 (11a) 에 위치된 본딩 패드 (1b) 및 제 1 주변 패드 영역 (11a) 에 대하여 반대 측부 (도 5 에서 우측부) 상에 위치되어 있는 제 2 주변 패드 영역 (11b) 에 위치된 본딩 패드 (1c) 를 갖는다. 또한, 제 1 및 제 2 버스-바 (4a 및 4b) 가 칩 (7) 용 전원선 및 접지선을 강화하기 위해 제공된다.
중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 는 규칙적인 간격으로 직선을 따라서 배열됨으로써, 본딩 패드 (1a) 의 열이 형성된다. 본딩 패드 (1a) 의 열은 표면 (7a) 의 절반 (도 5 에서 상부 절반) 에만 위치된다.
제 1 주변 패드 영역 (11a) 의 본딩 패드 (1b) 는 규칙적인 간격으로 직선을 따라서 배열됨으로써, 본딩 패드 (1b) 의 열이 형성된다. 본딩 패드 (1b) 의 열은 한쪽 단부 (도 5 에서 좌측 단부) 상의 상부 표면 (7a) 의 다른 절반 (도 5 에서 하부 절반) 에만 위치된다.
제 2 주변 패드 영역 (11b) 의 본딩 패드 (1c) 는 규칙적인 간격으로 직선을 따라서 배열됨으로써, 본딩 패드 (1c) 의 열이 형성된다. 본딩 패드 (1c) 의 열은 본딩 패드 (1b) 대하여 반대편 단부 (도 5 에서 우측 단부) 상에, 본딩 패드 (1b) 가 위치된 것과 동일한 상부 표면 (7a) 의 절반 (도 5 에서 하부 절반) 에만 위치된다.
본딩 패드 (1a, 1b 및 1c) 의 열은 서로 평행하게 연장된다.
통상 폴리이미드 (PI) 막으로 이루어진, 제 1 및 제 2 의 두 번 코팅된, 비전도성 접착 테이프 (6a 및 6b) 는 테이프 (6a 및 6b) 가 본딩 패드 (1a) 열의 외부 단부로부터 본딩 패드 (1b 및 1c) 의 반대편 외부 단부로 본딩 패드 (1a, 1b 및 1c) 의 열과 평행하게 연장되는 방식으로 중앙 패드 영역 (10) 의 각각의 측부에서 칩 (7) 의 상부 표면 (7a) 상에 배열된다. 이 두 개의 테이프 (6a 및 6b) 는 길이, 폭 및 두께가 동일하다. 제 1 및 제 2 테이프 (6a 및 6b) 의 코팅된 하부 면은 표면 (7a) 상에 부착 고정된다.
통상 본딩 패드 (1a 및 1b) 용으로 사용되는 제 1 테이프 (6a) 는 중앙 패드 영역 (10) 과 제 1 주변 패드 영역 (11a) 사이에 있는 표면 (7a) 의 개재된 영역에 위치된다. 통상 본딩 패드 (1a 및 1c) 용으로 사용되는 제 2 테이프 (6b) 는 중앙 패드 영역 (10) 과 제 2 주변 패드 영역 (11b) 사이에 있는 표면 (7a) 의 개재된 영역에 위치된다. 따라서, 중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 의 열은 제 1 및 제 2 테이프 (6a 및 6b) 에 의해 끼워진다. 제 1 주변 패드 영역 (11a) 의 본딩 패드 (1b) 의 열은 제 1 테이프 (6a) 의 외부 단부 (도 5 에서 좌측단부) 에 위치된다. 제 2 주변 패드 영역 (11b) 의 본딩 패드 (1c) 의 열은 제 2 테이프 (6b) 의 외부 단부 (도 5 에서 우측 단부) 에 위치된다.
도 5 로부터 알 수 있는 바와 같이, 중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 중 두 개의 본딩 패드 (이 두 개의 본딩 패드는 도 5 에서 VCC 로 라벨된 두 개의 리드 핑거 (9a) 에 접속된다) 는 전원 공급 전압 (VCC) 을 칩 (7) 의 내부 회로에 공급하는 IC 칩 (7) 의 제 1 및 제 2 전원 단자로서 사용된다. 중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 중 다른 두 개의 본딩 패드 (이 두 개의 본딩 패드는 도 5 에서 GND 로 라벨된 두 개의 리드 핑거 (9c) 에 접속된다) 는 접지 전위 (GND) 를 칩 (7) 의 내부 회로에 인가하는 IC 칩 (7) 의 제 1 및 제 2 접지 단자로서 사용된다. 남은 본딩 패드 (1a) 는 신호 단자로서 사용된다.
제 1 주변 패드 영역 (11a) 의 본딩 패드 (1b) 중 하나 (이것은 도 5 에서 VCC 로 라벨된 리드 핑거 (9b) 에 접속된다) 는 전원 공급 전압 (VCC) 을 칩 (7) 의 내부 회로에 공급하는 IC 칩 (7) 의 제 3 전원 단자로서 사용된다. 제 2 주변 패드 영역 (11b) 의 본딩 패드 (1c) 중 하나 (이것은 도 5 에서 GND 로 라벨된 리드 핑거 (9d) 에 접속된다) 는 접지 전위 (GND) 를 칩 (7) 의 내부 회로에 인가하는 IC 칩 (7) 의 제 3 접지 단자로서 사용된다. 남은 본딩 패드 (1b 및 1c) 는 신호 단자로서 사용된다.
리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 는 전형적으로 합금 42 또는 구리 합금으로 이루어지는 금속 리드프레임에 의하여 형성된다. 리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 의 내부 단부는 본딩 와이어 (5) 가 개개의 리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 에 스티치-본딩되는 본딩 영역 (즉, 스티치) (3a, 3b, 3c 및 3d) 으로서 각각 역할한다. 리드 핑거 (22b) 중 하나 (이것은 VCC 로 라벨된다) 는 제 1 버스-바 (4a) 를 구성하는 연장부를 갖는다. 리드 핑거 (22d) 중 하나 (이것은 GND 로 라벨된다) 는 제 2 버스-바 (4b) 를 구성하는 연장부를 갖는다.
통상 그 선단으로부터 약 1 ㎜ 정도의 동일한 폭을 갖는 스티치 (3a, 3b, 3c 및 3d) 는 일반적으로 은 (Ag) 과 같은 도금된 금속층으로 도포된다. 일반적으로 금 (Au) 또는 금 합금으로 이루어진 본딩 와이어 (5) 는 약 23 내지 30 ㎛ 정도의 직경을 갖는다.
리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 와 동일한 재료로 이루어진 제 1 및 제 2 버스-바 (4a 및 4b) 는 테이프 (6a 및 6b) 에 평행하게 서로 이격되어 연장되도록 제 1 및 제 2 테이프 (6a 및 6b) 사이에 위치된다.
제 1 버스-바 (4a) 는 중앙 패드 영역 (10) 과 인접한 제 1 테이프 (6a) 사이에 스트립 형태의 개재된 영역에 위치된다. 제 1 버스-바 (4a) 의 단부는 리드 핑거 (22b) 중 대응하는 것 (이것은 VCC 로 라벨된다) 에 기계적으로 연결된다. 본딩 영역 또는 스티치 (3b') 는 대응하는 리드 핑거 (22b) 에 대하여 제 1 버스-바 (4a) 의 반대편 단부 상에 형성된다. 스티치 (3b') 는 리드 핑거 (22a) 의 군과 리드 핑거 (22b) 의 군 사이에 위치된다. 제 1 버스-바 (4a) 는 스티치 (3b') 에서 제 1 테이프 (6a) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 제 1 버스-바 (4a) 의 단부 부분이 칩 (7) 에 고정된다.
제 2 버스-바 (4b) 는 중앙 패드 영역 (10) 과 인접한 제 2 테이프 (6b) 사이에 스트립 형태의 개재된 영역에 위치된다. 제 2 버스-바 (4b) 의 단부는 리드 핑거 (22d) 중 대응하는 것 (이것은 GND 로 라벨된다) 에 기계적으로 연결된다. 본딩 영역 또는 스티치 (3d') 는 대응하는 리드 핑거 (22d) 에 대하여 제 2 버스-바 (4b) 의 반대편 단부 상에 형성된다. 스티치 (3d') 는 리드 핑거 (22c) 의 군과 리드 핑거 (22d) 의 군 사이에 위치된다. 제 2 버스-바 (4b) 는 스티치 (3d') 에서 제 2 테이프 (6b) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 제 2 버스-바 (4b) 의 단부 부분이 칩 (7) 에 고정된다.
중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 에 제공되는 리드 핑거 (22a) 가 스티치 (3a) 에서 제 1 테이프 (6a) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 리드 핑거 (22a) 는 칩 (7) 의 표면 (7a) 에 고정된다. 도 5 에 도시한 바와 같이, 리드 핑거 (22a) 중 하나 (이것은 VCC 로 라벨된다) 는 전원 공급 전압 (VCC) 을 IC 칩 (7) 의 내부 회로에 공급하는 제 1 전원선으로서 역할하고, 본딩 와이어 (5) 중 대응하는 것을 통해 제 1 전원 단자로서 역할하는 중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 중 대응하는 것에 전기적으로 접속된다. 남은 리드 핑거 (22a) 는 신호선으로 사용된다.
제 1 버스-바 (4a) 는 스티치 (3b') 에서 본딩 와이어 (5) 중 대응하는 것을 통해 중앙 패드 영역 (10) 의 제 2 전원 단자로서 역할하는 본딩 패드 (1a) 중 대응하는 것에 전기적으로 접속된다.
제 1 주변 패드 영역 (11a) 의 본딩 패드 (1b) 에 제공되는 리드 핑거 (22b) 가 스티치 (3b) 에서 제 1 테이프 (6a) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 리드 핑거 (22b) 는 칩 (7) 의 표면 (7a) 에 고정된다. 도 5 에 도시한 바와 같이, 리드 핑거 (22b) 중 하나 (이것은 VCC 로 라벨된다) 는 전원 공급 전압 (VCC) 을 IC 칩 (7) 의 내부 회로에 공급하는 제 2 전원선으로서 역할하고, 본딩 와이어 (5) 중 대응하는 것을 통해 제 3 전원 단자로서 역할하는 제 1 주변 패드 영역 (11a) 의 본딩 패드 (1b) 중 대응하는 것에 전기적으로 접속된다. 또한, 제 2 전원선으로서 역할하는 리드 핑거 (22b) 는 제 1 버스-바 (4a) 및 본딩 와이어 (5) 중 대응하는 본딩 와이어를 통해 중앙 패드 영역 (10) 의 제 2 전원 단자로서 역할하는 본딩 패드 (1a) 에 전기적으로 접속된다. 남은 리드 핑거 (22b) 는 신호선으로 사용된다.
중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 에 제공되는 리드 핑거 (22c) 가 스티치 (3c) 에서 제 2 테이프 (6b) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 리드 핑거 (22c) 는 칩 (7) 의 표면 (7a) 에 고정된다. 도 5 에 도시한 바와 같이, 리드 핑거 (22c) 중 하나 (이것은 GND 로 라벨된다) 는 접지 전위 (GND) 를 IC 칩 (7) 의 내부 회로에 인가하는 제 1 접지선으로서 역할하고, 본딩 와이어 (5) 중 대응하는 것을 통해 제 1 접지 단자로서 역할하는 중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 중 대응하는 것에 전기적으로 접속된다. 남은 리드 핑거 (22c) 는 신호선으로 사용된다.
제 2 버스-바 (4b) 는 스티치 (3d') 에서 본딩 와이어 (5) 중 대응하는 것을 통해 중앙 패드 영역 (10) 의 제 2 접지 단자로서 역할하는 본딩 패드 (1a) 중 대응하는 것에 전기적으로 접속된다.
제 2 주변 패드 영역 (11b) 의 본딩 패드 (1c) 에 제공되는 리드 핑거 (22d) 가 스티치 (3d) 에서 제 2 테이프 (6b) 의 코팅된 상부 표면에 부착됨으로써, 리드 핑거 (22d) 는 칩 (7) 의 표면 (7a) 에 고정된다. 도 5 에 도시한 바와 같이, 리드 핑거 (22d) 중 하나 (이것은 GND 로 라벨된다) 는 접지 전위 (GND) 를 IC 칩 (7) 의 내부 회로에 인가하는 제 2 접지선으로서 역할하고, 본딩 와이어 (5) 중 대응하는 것을 통해 제 3 접지 단자로서 역할하는 제 2 주변 패드 영역 (11b) 의 본딩 패드 (1c) 중 대응하는 것에 전기적으로 접속된다. 또한, 제 2 접지선으로서 역할하는 리드 핑거 (22d) 는 제 2 버스-바 (4b) 및 본딩 와이어 (5) 중 대응하는 본딩 와이어를 통해 중앙 패드 영역 (10) 의 제 2 접지 단자로서 역할하는 본딩 패드 (1a) 에 전기적으로 접속된다. 남은 리드 핑거 (22d) 는 신호선으로 사용된다.
각 리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 는 금속 본딩 와이어 (5) 를 통해 스티치-본딩 공정에 의하여 본딩 영역 또는 스티치 (3a, 3b, 3c 또는 3d) 에서 본딩 패드 (1a, 1b 및 1c) 중 대응하거나 인접한 것에 전기적으로 접속된다.
각 리드 핑거 (22b) 는 대응하는 본딩 와이어 (5) 와 접촉되지 않게 하기 위해서 제 1 주변 패드 영역 (11a) 의 본딩 패드 (1b) 중 인접한 것들 사이에 연장되도록 고정된다. 마찬가지로, 각 리드 핑거 (22d) 는 대응하는 본딩 와이어 (5) 와 접촉되지 않게 하기 위해서 제 2 주변 패드 영역 (11b) 의 본딩 패드 (1c) 중 인접한 것들 사이에 연장되도록 고정된다. 대응하는 본딩 와이어 (5) 로부터 리드 핑거 (22b 및 22d) 의 몰딩후 이격을 보장하기 위해, 각 리드 핑거 (22b) 는 협소한 중간 부분 (12b) 을 갖고 각 리드 핑거 (22d) 는 협소한 중간 부분 (12d) 을 갖는다.
IC 칩 (7), 본딩 와이어 (5), 제 1 및 제 2 버스-바 (4a 및 4b) 와 리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 의 내부 부분 또는 내부 리드 (2a, 2b, 2c 및 2d) 는 플라스틱 패키지 (8) 내에 봉지된다.
리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 의 외부 부분 또는 외부 리드 (9a, 9b, 9c 및 9d) 만이 패키지 (8) 외부에 위치됨으로써, 이 반도체 장치의 I/O 단자가 제공된다.
본 발명의 제 1 실시예에 따르는 상술한 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치에서, IC 칩 (7) 은 중앙 패드 영역 (10) 에 배열된 본딩 패드 (1a), 제 1 주변 패드 영역 (11a) 에 배열된 본딩 패드 (1b) 및 제 2 주변 패드 영역 (11b) 에 배열된 본딩 패드 (1c) 를 그 상부 표면 (7a) 에 갖는다.
더욱이, 도 6a, 도 6b 및 도 6c 로부터 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 제 1 및 제 2 버스-바 (4a 및 4b) 는 중앙 패드 영역 (10) 에 배열된 본딩 패드 (1a) 를 리드 핑거 (22a 및 22b) 의 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 본딩 와이어 (5) 가 제 1 및 제 2 버스-바 (4a 및 4b) 와 겹치지 않는 방식으로 IC 칩 (7) 의 상부 표면 (7a) 상에 연장되도록 형성된다. 이것은 제 1 버스-바 (4a) 가 중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 와 이에 전기적으로 접속된 리드 핑거 (22a) 사이의 개재된 영역으로 연장되지 않도록 형성되고, 제 2 버스-바 (4b) 가 중앙 패드 영역 (10) 의 본딩 패드 (1a) 와 이에 전기적으로 접속된 리드 핑거 (22b) 사이의 개재된 영역으로 연장되지 않도록 형성되었음을 의미한다.
따라서, 전원 공급 전압 (VCC) 을 IC 칩 (7) 에 공급하는 제 1 및 제 2 전원선과 접지 전위 (GND) 를 칩 (7) 에 인가하는 제 1 및 제 2 접지선이 오버-리드 본딩 기술을 사용하지 않고 제 1 및 제 2 버스-바 (4a 및 4b) 에 의하여 강화될 수 있다. 이것은 버스-바 (4a 및 4b) 의 하프-에칭 공정이 불필요하고, 리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 용 금속 리드프레임이 프레싱 또는 스탬핑 작업에 의하여 용이하게 제조될 수 있음을 의미한다.
또한, 오버-리드 본딩 기술이 불필요하기 때문에, 제 1 및/또는 제 2 버스-바 (4a 및/또는 4b) 가 본딩 와이어 (5) 와 접촉될 가능성이 없다. 따라서, 제 1 및/또는 제 2 버스-바 (4a 및/또는 4b) 와 본딩 와이어 (5) 의 맞닿음 또는 접촉으로 인한 반도체 장치의 불량율이 감소된다. 이것은 리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 용으로 사용되는 리드프레임의 제조 수율 및 본딩 와이어 (5) 의 본딩 수율이 향상됨을 의미한다.
도 6b 로부터 알 수 있는 바와 같이, 제 1 및 제 2 버스-바 (4a 및 4b) 에 본딩된 두 개의 본딩 와이어 (5) 가 버스-바 (4a 및 4b) 상에 각각 연장되므로, 이들 본딩 와이어 (5) 는 플라스틱 패키지 (8) 의 몰딩 공정 후에 버스-바 (4a 및 4b) 와 접촉될 수도 있다. 그러나, 이 경우, 이들 본딩 와이어 (5) 는 다른 도체와 접촉되지 않기 때문에 문제가 되지 않는다.
제 1 실시예에서, 각각의 제 1 및 제 2 버스-바 (4a 및 4b) 는 단일 스티치 (3b' 또는 3d') 를 갖는다. 그러나, 두 개 이상의 스티치가 필요에 따라 각각의 제 1 및 제 2 버스-바 (4a 및 4b) 에 형성될 수도 있음은 말할 필요가 없다.
발명자의 시험에 따르면, 본딩 와이어 (5) 와 버스-바 (4a 또는 4b) 사이의 전기적 단락으로 인하여 발생하는 본딩 불량율은 도 1 에 도시한 종래의 반도체 장치에서 약 0.8 % 정도였다. 한편, 제 1 실시예에 따른 반도체 장치에서, 불량율은 0 % 로 감소되었다.
제 2 실시예
도 7 은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치를 도시한다.
제 2 실시예에 따른 반도체 장치는 IC 칩 (7) 이 패키지 및 리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 의 외부 부분 (9a, 9b, 9c 및 9d) 에 대하여 칩 (7) 에 평행한 평면을 따라서 이동된 장소에 위치 (도 7 에서 하부 방향) 된 것을 제외하면 도 5 에 도시한 제 1 실시예에 따른 반도체 장치와 동일한 구성 요소를 갖는다. 따라서, 설명의 간략화를 위하여 여기서는 제 1 실시예와 동일한 구성 요소에 관한 설명은 동일한 참조 기호를 도 7 의 동일 요소에 부여함으로써 생략한다.
제 2 실시예에서, IC 칩 (7) 의 상기 위치 이동으로 인하여, 리드 핑거 (22b 및 22d) 의 내부 부분 (즉, 내부 리드) (2b 및 2d) 의 굴곡 각도가 제 1 실시예에서보다 더 커진다. 즉, 리드 핑거 (22b 및 22d) 의 리드간 간격이 제 1 실시예에서보다 더 넓어진다. 따라서, 도 7 로부터 알 수 있는 바와 같이, 제 1 주변 패드 영역 (11a) 에 배열된 본딩 패드 (1b) 용 리드 핑거 (22b) 의 중간 부분 (12b') 은 제 1 실시예에서의 중간 부분 (12b) 보다 더 넓다. 또한, 제 2 주변 패드 영역 (11b) 에 배열된 본딩 패드 (1d) 용 리드 핑거 (22d) 의 중간 부분 (12d') 은 제 1 실시예에서의 중간 부분 (12d) 보다 더 넓다.
결과적으로, 리드 핑거 (22b 및 22d) 의 내부 부분 (즉, 내부 리드) (2b 및 2d) 의 폭 또는 두께가 증가될 수 있고, 이에 의하여 리드프레임의 강도가 증가되는 추가적인 이점이 있다. 이것은 리드 핑거 (22a, 22b, 22c 및 22d) 용 금속 리드프레임의 제조 수율 및 본딩 와이어 (5) 의 본딩 수율을 더욱 향상시킨다.
칩 (7) 의 이동 거리는 적절하게 그리고 임의적으로 설계될 수도 있다. 그러나, 전기 저항 히터에 의하여 생성된 열을 받으며 수행되는 후속 어셈블링 단계에서의 리플로우 공정시, 플라스틱 패키지 (8) 의 균열이 발생하는 것을 방지하기 위하여, 패키지 (8) 의 표면과 칩 (7) 의 반대편 단부 사이의 패키지 (8) 의 최소 두께가 0.5 ㎜ 이상이 되는 것이 바람직하다.
제 2 실시예에서, 중앙 패드 영역 (10) 에 배열된 본딩 패드 (1a) 에 제공된 리드 핑거 (22a 및 22c) 의 스티치 (3a 및 3c) 의 길이는 칩 (7) 의 이동으로 인해 제 1 실시예에서의 길이보다 더 짧아지기 쉽다. 이것은 제 1 및 제 2 테이프 (6a 및 6b) 로 리드 핑거 (22c 및 22d) 의 본딩 또는 부착 강도를 감소시킨다. 따라서, 스티치 (3a 및 3c) 의 길이는 0.8 ㎜ 이상이 바람직하다는 것을 발견하였다.
발명자의 시험에 따르면, 제 2 실시예의 내부 리드 (2b 및 2d) 의 두께는 제 1 실시예에서보다 대략 두배 정도 또는 그 이상으로 증가될 수 있었다. 제 2 실시예에서 내부 리드 (2b 및 2d) 의 변형율은 제 1 실시예에서보다 대략 1/10 로 감소되었다. 제 2 실시예에서 본딩 와이어 (5) 의 본딩 불량율은 제 1 실시예에 비하여 개선되었다. 이하 표1 에 구체적인 시험 결과를 나타낸다.
시험에 사용된 제 1 및 제 2 실시예에 따른 반도체 장치의 시편은 다음과 같다.
패키지 크기 : 10.16 ㎜ ×20.91 ㎜
IC 칩 크기 : 7.15 ㎜ ×13.92 ㎜
I/O 핀 수 : 50
제 1 실시예 | 제 2 실시예 | |
리드 폭 | 0.125 ㎜ | 0.3 ㎜ |
리드 변형율 | 0.03 % | 0.005 % |
불량율 | 0.35 % | 0.05 % |
본 발명의 바람직한 실시예를 설명하여 왔으나, 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않은 변용이 당업자에게 분명할 것임이 이해되어야 한다. 따라서, 본 발명의 범주는 오직 다음의 청구 범위에 의해서 결정되어야 한다.
이상의 설명에 따르면, 본 발명은 오버-리드 본딩 기술을 사용하지 않고 버스-바에 의하여 전원선/접지선을 강화하는 것을 가능하게 하고 버스-바와 본딩 와이어의 맞닿음 또는 접촉으로 인한 불량율을 감소시키며 리드프레임의 제조 수율 및 본딩 와이어의 본딩 수율을 향상시키는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치를 제공한다.
Claims (12)
- (a) 복수의 제 1 본딩 패드 및 복수의 제 2 본딩 패드가 제공된 표면을 가지며,상기 복수의 제 1 본딩 패드가 상기 표면의 중앙 영역에 배열되고 상기 복수의 제 2 본딩 패드가 상기 표면의 주변 영역에 배열된 IC 칩,(b) 내부 단부가 상기 IC 칩의 상기 표면에 고정된 리드 핑거로서,하나 이상의 상기 리드 핑거가 상기 IC 칩용 전원선/접지선의 일부분으로 역할하는 리드 핑거,(c) 상기 전원선/접지선의 일부분으로 역할하는 상기 하나 이상의 상기 리드 핑거에 기계적 및 전기적으로 접속되고,상기 IC 칩의 상기 표면 상에 연장된 버스-바,(d) 상기 리드 핑거의 상기 내부 단부와 상기 버스-바를 상기 복수의 제 1 및 제 2 본딩 패드중 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 본딩 와이어, 및(e) 상기 IC 칩, 상기 리드 핑거의 내부 부분, 상기 버스-바 및 상기 본딩 와이어를 봉지하는 플라스틱 패키지로서,상기 패키지로부터 상기 리드 핑거의 외부 부분을 돌출시키는 플라스틱 패키지를 구비하고,상기 버스-바는 상기 복수의 제 1 본딩 패드를 상기 리드 핑거중 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 상기 본딩 와이어가 상기 버스-바와 겹치지 않는 방식으로 상기 IC 칩의 상기 표면의 상기 중앙 영역 상에 연장되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 IC 칩의 상기 표면 상에 부착된 비전도성 테이프를 더 구비하고,상기 리드 핑거의 상기 내부 단부가 상기 테이프에 부착됨으로써, 상기 리드 핑거가 상기 IC 칩의 상기 표면에 고정되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 2 항에 있어서, 상기 버스-바는 상기 테이프에 부착되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 IC 칩의 전원 단자/접지 단자로서 역할하는, 상기 IC 칩의 상기 표면의 중앙에 근접하게 위치된 상기 복수의 제 1 본딩 패드중 하나가 상기 버스-바 및 상기 본딩 와이어중 대응하는 본딩 와이어를 통해 상기 전원선/접지선에 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 복수의 제 2 본딩 패드에 전기적으로 접속된 상기 리드 핑거는 상기 복수의 제 2 본딩 패드에 근접하게 위치된 협소 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 IC 칩은 상기 리드 핑거의 상기 외부 부분에 대하여 상기 칩에 평행한 평면을 따라서 이동된 장소에 위치됨으로써, 상기 복수의 제 2 본딩 패드에 전기적으로 접속된 상기 리드 핑거의 상기 내부 부분의 굴곡 각도가 감소되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- (a) 복수의 제 1 본딩 패드, 복수의 제 2 본딩 패드 및 복수의 제 3 본딩 패드가 제공된 표면을 가지며,상기 복수의 제 1 본딩 패드는 상기 표면의 중앙 영역에 배열되고,상기 복수의 제 2 본딩 패드는 상기 표면의 제 1 주변 영역에 배열되고,상기 복수의 제 3 본딩 패드는 상기 제 1 주변 영역에 대하여 반대편 측부에 위치된 상기 표면의 제 2 주변 영역에 배열된 IC 칩,(b) 내부 단부가 상기 IC 칩의 상기 표면에 고정된 리드 핑거로서,두 개 이상의 상기 리드 핑거가 상기 IC 칩용 제 1 및 제 2 전원선/접지선의 일부분으로 역할하는 리드 핑거,(c) 상기 제 1 전원선/접지선의 일부분으로 역할하는 상기 리드 핑거중 대응하는 것에 기계적 및 전기적으로 접속되고,상기 IC 칩의 상기 표면 상에 연장되는 제 1 버스-바,(d) 상기 제 2 전원선/접지선의 일부분으로 역할하는 상기 리드 핑거중 대응하는 것에 기계적 및 전기적으로 접속되고,상기 IC 칩의 상기 표면 상에 연장되는 제 2 버스-바,(e) 상기 리드 핑거의 상기 내부 단부와 상기 제 1 및 제 2 버스-바를 상기 복수의 제 1, 제 2 및 제 3 본딩 패드중 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 본딩 와이어, 및(f) 상기 IC 칩, 상기 리드 핑거의 내부 부분, 상기 제 1 및 제 2 버스-바 및 상기 본딩 와이어를 봉지하는 플라스틱 패키지로서,상기 패키지로부터 상기 리드 핑거의 외부 부분을 돌출시키는 플라스틱 패키지를 구비하고,상기 제 1 및 제 2 버스-바는 상기 복수의 제 1 본딩 패드를 상기 리드 핑거중 대응하는 것에 전기적으로 접속하는 상기 본딩 와이어가 상기 제 1 및 제 2 버스-바와 겹치지 않는 방식으로 상기 IC 칩의 상기 표면의 상기 중앙 영역 상에 연장되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 IC 칩의 상기 표면 상에 부착된 비전도성 테이프를 더 구비하고,상기 리드 핑거의 상기 내부 단부가 상기 테이프에 부착됨으로써, 상기 리드 핑거가 상기 IC 칩의 상기 표면에 고정되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 8 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 버스-바는 상기 테이프에 부착되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 IC 칩의 전원 단자/접지 단자로서 역할하는 상기 IC 칩의 상기 표면의 중앙에 근접하게 위치된 상기 복수의 제 1 본딩 패드중 두 개가 상기 제 1 및 제 2 버스-바 및 상기 본딩 와이어중 대응하는 본딩 와이어를 통해 상기 제 1 및 제 2 전원선/접지선에 각각 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 복수의 제 2 및 제 3 본딩 패드에 전기적으로 접속된 상기 리드 핑거는 각각 상기 복수의 제 2 및 제 3 본딩 패드에 근접하게 위치된 협소 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
- 제 7 항에 있어서, 상기 IC 칩이 상기 리드 핑거의 상기 외부 부분에 대하여 상기 칩에 평행한 평면을 따라서 이동된 장소에 위치됨으로써, 상기 복수의 제 2 및 제 3 본딩 패드에 전기적으로 접속된 상기 리드 핑거의 상기 내부 부분의 굴곡 각도가 감소되는 것을 특징으로 하는 플라스틱으로 봉지된 반도체 장치.
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