KR19980084712A - 석영튜브의 세정 및 건조장비 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 의한 석영튜브의 세정 및 건조장비는 일측으로 약액 및 초순수가 유입되며, 타측으로 배액되는 약액탱크부와, 상기 약액탱크부의 일측에 설치되어 약액탱크부의 세정액을 펌핑한 후 걸러서 순환시키거나, 상기 세정액을 펌핑하여 세정실로 보내는 순환 및 분사기구부와, 상기 순환 및 분사기구부와 연결되어 분사되는 세정액으로 석영튜브를 세정하거나 상기 약액탱크부로 유입되는 초순수관의 일측이 분지되어 세정된 석영튜브를 초순수 린스하는 세정부와, 상기 세정부의 일측에 연결되어 린스 완료된 세정부내의 석영튜브를 건조하는 질소가열 및 건조부로 구성되어, 세정대기, 초순수 린스 및 질소건조시에 약액이 순환되고 걸리짐으로 약액을 여러번 사용할수 있어 세정효과를 높일 수 있고, 회전분사판을 이용하여 튜브 내벽을 구석구석 식각해 줄 수 있으며, 초순수 린스시에 샤워기 및 회전분사판을 이용함으로써 린스 효과를 높일수 있고, 린스정도를 필요시나 일정시간후 비저항계로 확인할 수 있으며, 질소건조, 초순순 린스, 약액세정을 한 개의 샤워기 및 회전분사판을 이용함으로써 불필요한 설치를 없앨 수 있고, 가열된 질소를 이용함으로써 건조시간 및 건조효과를 높일 수 있도록 하였다.
Description
본 발명은 종형방식의 석영튜브 및 치구의 세정 및 건조장비에 관한 것으로, 특히 세정대기, 초순수 린스 및 질소건조시에 약액이 순환되고 걸리짐으로 약액을 여러번 사용할수 있어 세정효과를 높일 수 있고, 회전분사판을 이용하여 튜브 내벽을 구석구석 식각해 줄 수 있으며, 초순수 린스시에 샤워기 및 회전분사판을 이용함으로써 린스 효과를 높일수 있고, 린스정도를 필요시나 일정시간후 비저항계로 확인할 수 있으며, 질소건조, 초순순 린스, 약액세정을 한 개의 샤워기 및 회전분사판을 이용함으로써 불필요한 설치를 없앨 수 있고, 밸브를 이용해서 샤워와 더불어 초순수, 약액 침청을 시킬 수 있으며, 세정, 린스, 질소 건조를 동일 세정실에서 실시함으로 파티클 부착을 줄일 수 있고, 가열된 질소를 이용함으로써 건조시간 및 건조효과를 높일 수 있도록 한 석영튜브의 세정 및 건조장비에 관한 것이다.
종래의 기술은 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 저압화학 기상증착 공정시에 사용되는 각종 치구류를 세정하는데 있어서, 수평의 로봇 팔(1)에 올려놓고, 약액조(2)로 이동시켜 일정시간 담궈 각종 치구류(10)에 부착되어 있는 막을 제거한다. 이때 약액조(2)는 사용약액을 계속 섞어주기 위해서 약액펌프를 이용하여 계속 순환시킨다. 일정시간이 경과하여 막을 제거한 후 로봇을 이동시켜 약액조에서 초순수조(3)로 옮긴 후 치구류에 묻어있는 약액성분을 정해진 시간동안 씻어 낸다. 물이 묻어 있는 상태에서 별도의 건조장치로 이동 후 건조를 실시한다. 주로 램프에 의한 열을 이용한다.
종래의 기술에서는 튜브의 대형화에 따른 로봇(1) 이동시의 파손이 우려되고, 치구류인 튜브(10)의 내부 깊숙한 곳에 생기는 물때 및 기포막힘의 세정상의 문제점과, 넓은 면적을 차지한다는 공간상의 문제점을 갖고 있고, 또한 약액조(2)의 대형에 의한 약액사용량이 많게 되며, 별도의 건조장치로 이동하는 과정에서 튜브(10)의 오염 및 바닦에 물이 떨어지는 문제점이 있는 바, 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출한 것으로, 세정대기, 초순수 린스 및 질소건조시에 약액이 순환되고 걸리짐으로 약액을 여러번 사용할수 있어 세정효과를 높일 수 있고, 회전분사판을 이용하여 튜브 내벽을 구석구석 식각해 줄 수 있으며, 초순수 린스시에 샤워기 및 회전분사판을 이용함으로써 린스 효과를 높일수 있고, 린스정도를 필요시나 일정시간후 비저항계로 확인할 수 있으며, 질소건조, 초순순 린스, 약액세정을 한 개의 샤워기 및 회전분사판을 이용함으로써 불필요한 설치를 없앨 수 있고, 밸브를 이용해서 샤워와 더불어 초순수, 약액 침청을 시킬 수 있으며, 세정, 린스, 질소 건조를 동일 세정실에서 실시함으로 파티클 부착을 줄일 수 있고, 가열된 질소를 이용함으로써 건조시간 및 건조효과를 높일 수 있도록 한 석영튜브의 세정 및 건조장비를 제공함에 있다.
도 1은 종래의 기술에 의한 약액조 및 순수조를 개략적으로 나타내는 측면도.
도 2는 종래의 기술에 의한 처리조를 개략적으로 나타내는 정면도.
도 3은 본 발명에 의한 석영튜브의 세정 및 건조장비를 개략적으로 나타내는 배관도.
도 4는 본 발명에 의한 회전분사판을 나타내는 상세도.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
20 ; 약액탱크부21 ; 약액탱크
22 ; 약액관22a ; 약액유입구
23 ; 초순수관23a ; 초순수 유입구
24 ; 질소레벨센서30 ; 순환 및 분사기구부
31 ; 펌프32 ; 연결관
33 ; 캐미컬 필터34 ; 순환관
35 ; 세정관36 ; 농도계
40 ; 세정부41 ; 샤워기
42 ; 회전분사판43 ; 배수구
44 ; 비저항계50 ; 질소가열 및 건조부
이러한, 본 발명의 목적은 일측으로 약액 및 초순수가 유입되며, 타측으로 배액되는 약액탱크부와, 상기 약액탱크부의 일측에 설치되어 약액탱크부의 세정액을 펌핑한 후 걸러서 순환시키거나, 상기 세정액을 펌핑하여 세정실로 보내는 순환 및 분사기구부와, 상기 순환 및 분사기구부와 연결되어 분사되는 세정액으로 석영튜브를 세정하거나 상기 약액탱크부로 유입되는 초순수관의 일측이 분지되어 세정된 석영튜브를 초순수 린스하는 세정부와, 상기 세정부의 일측에 연결되어 린스 완료된 세정부내의 석영튜브를 건조하는 질소가열 및 건조부에 의해 달성된다.
이하, 본 발명에 의한 석영튜브의 세정 및 건조장비를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라서 설명한다.
도 3은 본 발명에 의한 석영튜브의 세정 및 건조장비를 개략적으로 나타내는 배관도이고, 도 4는 본 발명에 의한 회전분사판을 나타내는 상세도를 각각 보인 것이다.
이에 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 석영튜브의 세정 및 건조장비는 일측으로 약액 및 초순수가 유입되며, 타측으로 배액되는 약액탱크부(20)와, 상기 약액탱크부의 일측에 설치되어 약액탱크부의 세정액을 펌핑한 후 걸러서 순환시키거나, 상기 세정액을 펌핑하여 세정실로 보내는 순환 및 분사기구부(30)와, 상기 순환 및 분사기구부와 연결되어 분사되는 세정액으로 석영튜브(10)를 세정하거나 상기 약액탱크부(20)로 유입되는 초순수관(23)의 일측이 분지되어 세정된 석영튜브(10)를 초순수 린스하는 세정부(40)와, 상기 세정부의 일측에 연결되어 린스 완료된 세정부내의 석영튜브(10)를 건조하는 질소가열 및 건조부(50)로 구성된다.
상기 약액탱크부(20)는 초순수 및 약액이 공급되어 일정비율의 세정액을 만드는 약액탱크(21)와, 그 약액탱크의 상부 일측에 설치되어 약액관(22)과 연결되는 약액유입구(22a) 및 초순수관(23)과 연결되는 초순수 유입구(23a)와, 상기 약액탱크의 상부 타측에 설치되며 세정실과 연결되는 처리밸브(15)와, 상기 약액탱크내에 세정액의 비율을 계량하도록 설치한 질소레벨센서(24)와, 상기 약액탱크의 하부에 설치한 배액관(25)으로 구성된다.
상기 순환 및 분사기구부(30)는 약액탱브부의 일측에 설치한 펌프(31)와, 상기 펌프와 연결된 연결관(32)과, 상기 연결관에 설치된 캐미컬 필터(33)와, 상기 캐미컬 필터와 약액탱크부를 연결하는 순환관(34)과, 상기 캐미컬 필터와 세정부를 연결하는 세정관(35)과, 상기 연결관(32)의 일측에 설치되어 약액섞임상태를 확인하는 농도계(36)로 구성된다.
상기 세정부(40)는 석영튜브(10)의 둘레에 설치된 샤워기(41)와, 상기 석영튜브(10)의 내부에 회전가능하게 설치된 회전분사판(42)으로 구성된다.
상기 세정부(40)의 하측에 배수구(43)를 설치하고, 상기 배수구의 일측에 초순수 린스의 정도를 확인하는 비저항계(44)를 설치한다.
이와 같이 구성된 본 발명에 의한 석영튜브의 세정 및 건조장비의 작용을 설명하면 다음과 같다.
최초 약액탱크(21)에 초순수 및 약액을 공급해서 일정비율의 세정액을 만든다. 비율을 맞출때는 질소레벨센서(24)를 이용해서 계량한다. 계량된 약액 및 초순수는 순환 및 분사기구부(30)의 약액펌프(31), 연결관(32)을 지나 약액필터인 캐미컬 필터(33)를 통해 순환시킨다. 이때 제3밸브(3)는 닫혀있고, 제4밸브(4)는 열어준다. 일정시간 순환후 제5,6밸브(5)(6)를 열어서 농도계(36)로 약액섞임상태를 확인하고, 원하는 약액비율이 되었는지 확인한다.
세정할 튜브(10)를 세정실에 안착시킨 후 제4밸브(4)를 닫고, 제3,12,13밸브(3)(12)(13)를 열어서 약액을 보낸다. 이때 제14,17,19밸브(14)(17)(19)는 닫혀있다. 공급된 약액은 석영튜브(10) 둘레의 샤워기(41)와 회전분사판(42)을 통해서 튜브(10)에 보내지고, 이 약액에 의해서 튜브(10)에 부착된 필림을 깍아내고, 씻어낸다. 분사된 약액은 처리밸브(15)를 통해 약액탱크(21)로 들어가고, 들어간 약액은 펌프(31) 및 필터(33)를 통해 다시 공급된다. 일정시간 공급, 순환 후 처리밸브(15)를 닫고, 약액을 계속 공급시킨 후 펌프동작을 정지시켜서 튜브(10)를 약액에 침청시킬 수도 있다.
약액처리 완료후 처리밸브(15)를 열어 세정실내의 약액을 약액탱크(21)로 보낸 후 처리밸브(15)를 닫고 순환기구를 동작시켜 사용된 약액을 정화시킨다. 약액처리된 튜브의 린스를 위해서 제3,19밸브(3)(19)를 닫고 제17,12밸브(17)(12)를 열어 초순수를 공급한다. 약액세정시와 같은 동작에 의해서 튜브(10)를 린스할 수 있고, 일정시간 린스후 초순수에 튜브를 침청시킬 수도 있다. 초순수 린스의 정도를 확인하기 위해 제10밸브(44a)를 열어 비정항계(44)로 초순수의 비저항을 측정한다. 사용된 초순수는 제9밸브(9)를 통해 배수구(43)로 배액시킨다.
비저항이 원하는 값에 일치되면, 제17,12밸브(17)(12)를 닫고, 제14,13밸브(14)(13)를 열어서 린스완료된 튜브(10)를 건조한다. 린스,건조,세정대기 중에도 약액탱크(21)의 약액은 순환하여, 필터(33)를 통해 계속 섞이고, 정제된다.
상기 석영튜브를 올려놓는 받침대(47)를 회전시켜 세정효과를 높일 수도 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 석영튜브의 세정 및 건조장비는 일측으로 약액 및 초순수가 유입되며, 타측으로 배액되는 약액탱크부와, 상기 약액탱크부의 일측에 설치되어 약액탱크부의 세정액을 펌핑한 후 걸러서 순환시키거나, 상기 세정액을 펌핑하여 세정실로 보내는 순환 및 분사기구부와, 상기 순환 및 분사기구부와 연결되어 분사되는 세정액으로 석영튜브를 세정하거나 상기 약액탱크부로 유입되는 초순수관의 일측이 분지되어 세정된 석영튜브를 초순수 린스하는 세정부와, 상기 세정부의 일측에 연결되어 린스 완료된 세정부내의 석영튜브를 건조하는 질소가열 및 건조부로 구성되어, 세정대기, 초순수 린스 및 질소건조시에 약액이 순환되고 걸리짐으로 약액을 여러번 사용할수 있어 세정효과를 높일 수 있고, 회전분사판을 이용하여 튜브 내벽을 구석구석 식각해 줄 수 있으며, 초순수 린스시에 샤워기 및 회전분사판을 이용함으로써 린스 효과를 높일수 있고, 린스정도를 필요시나 일정시간후 비저항계로 확인할 수 있으며, 질소건조, 초순순 린스, 약액세정을 한 개의 샤워기 및 회전분사판을 이용함으로써 불필요한 설치를 없앨 수 있고, 밸브를 이용해서 샤워와 더불어 초순수, 약액 침청을 시킬 수 있으며, 세정, 린스, 질소 건조를 동일 세정실에서 실시함으로 파티클 부착을 줄일 수 있고, 가열된 질소를 이용함으로써 건조시간 및 건조효과를 높일 수 있도록 한 효과가 있다.
Claims (5)
- 일측으로 약액 및 초순수가 유입되며, 타측으로 배액되는 약액탱크부와, 상기 약액탱크부의 일측에 설치되어 약액탱크부의 세정액을 펌핑한 후 걸러서 순환시키거나, 상기 세정액을 펌핑하여 세정실로 보내는 순환 및 분사기구부와, 상기 순환 및 분사기구부와 연결되어 분사되는 세정액으로 석영튜브를 세정하거나 상기 약액탱크부로 유입되는 초순수관의 일측이 분지되어 세정된 석영튜브를 초순수 린스하는 세정부와, 상기 세정부의 일측에 연결되어 린스 완료된 세정부내의 석영튜브를 건조하는 질소가열 및 건조부로 구성된 것을 특징으로 하는 석영튜브의 세정 및 건조장비.
- 제1항에 있어서, 상기 약액탱크부는 초순수 및 약액이 공급되어 일정비율의 세정액을 만드는 약액탱크와, 그 약액탱크의 상부 일측에 설치된 약액유입구 및 초순수 유입구와, 상기 약액탱크의 상부 타측에 설치되며 세정실과 연결되는 처리밸브와, 상기 약액탱크내에 세정액의 비율을 계량하도록 설치한 질소레벨센서와, 상기 약액탱크의 하부에 설치한 배액관으로 구성된 것을 특징으로 하는 석영튜브의 세정 및 건조장비.
- 제1항에 있어서, 상기 순환 및 분사기구부는 약액탱브부의 일측에 설치한 펌프와, 상기 펌프와 연결된 연결관과, 상기 연결관에 설치된 캐미컬 필터와, 상기 캐미컬 필터와 약액탱크부를 연결하는 순환관과, 상기 캐미컬 필터와 세정부를 연결하는 세정관과, 상기 연결관의 일측에 설치되어 약액섞임상태를 확인하는 농도계로 구성된 것을 특징으로 하는 석영튜브의 세정 및 건조장비.
- 제1항에 있어서, 상기 세정부는 석영튜브의 둘레에 설치된 샤워기와, 상기 석영튜브의 내부에 회전가능하게 설치된 회전분사판으로 구성된 것을 특징으로 하는 석영튜브의 세정 및 건조장비.
- 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 세정부의 하측에 배수구를 설치하고, 상기 배수구의 일측에 초순수 린스의 정도를 확인하는 비저항계를 설치한 것을 특징으로 하는 석영튜브의 세정 및 건조장비.
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