CN110465523A - 一种立式石英管自动清洗机及清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种立式石英管自动清洗机及清洗方法，所述立式石英管自动清洗机包括壳体，设置在壳体内的控制系统、清洗腔、储液槽和喷淋机构，所述清洗腔的底部设有回流孔和底盘支架座，回流孔下方安装有气动分配阀组，气动分配阀组分别与储液槽、壳体上的废水排放口和废液排放口相连，底盘支架座通过进液管道分别与储液槽、清洗管道和第一氮气管道相连。本发明能够提高了清洗机的清洗效率和清洗质量，同时酸液和碱液可循环利用，降低了企业的生产成本。

Description

一种立式石英管自动清洗机及清洗方法
技术领域
本发明涉及光纤生产辅助设备技术领域，尤其涉及一种立式石英管自动清洗机及清洗方法。
背景技术
在光纤制造行业中，管内法工艺是预制棒芯棒制造的一种不可替代的工艺方法，四大主流光纤预制棒制造工艺中，MCVD工艺，PCVD工艺均是采用管内法的制造工艺。管内法制造工艺一般使用一根高纯度的石英管作为基管，高纯度的气相原料与氧气发生化学反应，形成的氧化物玻璃微粒沉积在基管内壁，沉积完成后，通过熔缩工艺形成光纤预制棒芯棒。显然的，基管在沉积工艺完成后也将成为预制棒芯棒的一部分，因此，基管的清洁程度与光纤预制棒芯棒的质量紧密相关，基管内壁的不洁净将直接影响到光纤的品质，甚至将造成光纤预制棒芯棒沉积过程的报废。
为了保证光纤预制棒芯棒的质量，在管内法制造工艺中，基管的清洗是预制棒芯棒制作中的一个非常重要的工序。现有技术中，对基管的清洗一般是采用碱液，HF酸液，纯水等对石英管的内壁进行人工或设备自动清洗，在整个清洗过程中需要比较多的人工操作，这种方法一方面自动化程度低，清洗效率及效果较差，另一方面清洗进程中人工操作的过多进入也带来了非常大的安全隐患。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种立式石英管自动清洗机及清洗方法，用以解决上述背景技术中存在的问题。
一种立式石英管自动清洗机，包括壳体、设置在壳体内的控制系统和清洗腔、设置在清洗腔下方的储液槽、以及设置在清洗腔顶部的喷淋装置，
其中，所述清洗腔的底部设有回流孔和用以放置石英管的底盘支架座，所述回流孔下方安装有气动分配阀组，所述气动分配阀组分别与储液槽、壳体上的废水排放口和废液排放口相连，底盘支架座通过进液管道分别与储液槽、清洗管道、第一氮气管道相连，所述喷淋装置的进水口连接有喷淋管道，清洗管道和喷淋管道的进液口均与壳体上的纯水接入口相连，第一氮气管道的进气口与壳体上的氮气接入口相连。
优选地，所述底盘支架座包括支撑板、支撑脚和支座，所述支撑脚固定在支撑板的底部，支撑板上设置有多个贯穿其厚度的进液孔，每个进液孔通过螺纹固定有一个用以放置石英管的支座，所述进液孔通过进液管道分别与储液槽、清洗管道、第一氮气管道相连。
优选地，所述支座内孔为倒锥形孔，所述支撑板呈圆盘状，支撑板上的多个进液孔沿圆周方向均匀分布。
优选地，所述储液槽包括酸洗槽和碱洗槽，酸洗槽上设有酸液进出口，碱洗槽上设有碱液进出口，酸洗管道和碱洗管道均与进液口相连；
所述气动分配阀组包括回流管道口，回流管道口分别通过气动控制阀与酸槽接入管口、碱槽接入管口、废水排放管口和废液排放管口相连；
所述酸槽接入管口通过酸槽接入管与酸洗槽相连通，碱槽接入管口通过碱槽接入管与碱洗槽相连通，废水排放管口通过废水排放管与壳体的废水排放口相连通，废液排放管口通过废液排放管与壳体的废液排放口相连通。
优选地，壳体上部还设有排风口，壳体内还设有排风管道和第二氮气管道，所述排风口与排风管道相连，第二氮气管道的一端与氮气接入口相连、另一端接入清洗腔内与清洗腔的内腔室相连通。
优选地，控制系统包括控制器、触摸屏和操作按钮，
喷淋管道上设有喷淋控制阀，清洗管道上设有清洗控制阀；
第一氮气管道上设有第一氮气控制阀，第二氮气管道上设有第二氮气控制阀；
酸洗管道上设有酸洗控制阀，碱洗管道上设有碱洗控制阀；
排风管道上设有排风控制阀，
所述触摸屏、操作按钮、喷淋控制阀、清洗控制阀、第一氮气控制阀、第二氮气控制阀、排风控制阀、酸洗控制阀、碱洗控制阀均与控制器电连接。
优选地，所述清洗腔的内壁中部设置有用以约束石英管的固定环。
优选地，所述壳体上还设置有纯水喷枪和氮气喷枪。
一种立式石英管自动清洗机的清洗方法，包括以下步骤：
S1，将待清洗的石英管放在清洗腔内的底盘支架座上，并关闭密封门；
S2，按下操作按钮，并在触摸屏25上启动立式石英管自动清洗机，控制器控制打开清洗控制阀和喷淋控制阀对石英管进行预清洗，预清洗石英管设定时间后，控制器24自动关闭清洗控制阀和喷淋控制阀，使预清洗后的废水从回流孔、废水排放管回流至石英管自动清洗机外，废水回流设定时间后，控制器控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔、清洗管道、废水排放管进行吹扫；
S3，控制器控制打开碱洗控制阀和碱洗槽内的输送泵，对石英管进行碱液冲洗，碱洗石英管设定时间后，关闭碱洗控制阀和碱洗槽内的输送泵，使碱液从回流孔、碱槽接入管回流至碱洗槽，碱液回流设定时间后，控制器控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔、碱槽接入管进行吹扫；
S4，对石英管和清洗腔进行纯水清洗；
S5，控制器控制打开酸洗控制阀和酸洗槽内的输送泵，对石英管进行酸液冲洗，酸洗石英管设定时间后，关闭酸洗控制阀和酸洗槽内的输送泵，使酸液从回流孔、酸槽接入管回流至酸洗槽，酸液回流设定时间后，控制器控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔、酸槽接入管进行吹扫；
S6，重复步骤S4，再次对石英管和清洗腔进行纯水清洗；
S7，控制器控制打开喷淋控制阀，对石英管外壁和清洗腔内壁进行清洁冲洗，冲洗设定时间后，关闭喷淋控制阀，使废水沿回流孔、废水排放管回流设定时间，然后控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔、喷淋管道、废水排放管进行吹扫；
S8，控制器控制打开第一氮气控制阀和第二氮气控制阀，对石英管和清洗腔进行干燥，干燥设定时间后，关闭第一氮气控制阀和第二氮气控制阀，清洗结束。
优选地，所述步骤S4中对石英管和清洗腔进行纯水清洗的具体步骤为：
S41，控制器控制打开清洗控制阀和喷淋控制阀对石英管和清洗腔进行一次冲洗，一次冲洗0-10分钟后，关闭清洗控制阀和喷淋控制阀使冲洗后的废水从回流孔、废水排放管回流至石英管自动清洗机外，废水回流0-5分钟后，控制器控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔、清洗管道、喷淋管道、废水排放管进行吹扫；
S42，控制器控制打开清洗控制阀和喷淋控制阀对石英管和清洗腔进行二次冲洗，二次冲洗0-20分钟后，关闭清洗控制阀和喷淋控制阀使冲洗后的废水从回流孔、废水排放管回流至石英管自动清洗机外，废水回流0-15分钟后，控制器控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔、清洗管道、喷淋管道、废水排放管进行吹扫。
本发明的有益效果是：
1、本申请通过在清洗腔的底部设置回流孔和用于放置石英管的底盘支架座，并在回流孔下方安装气动分配阀，通过底盘支架座将酸液、碱液、纯水或氮气通入石英管内，从石英管的上方管口溢出，并在重力作用下从回流孔进行回流，提高了清洗机的清洗效率和清洗质量，同时酸液和碱液可循环利用，从而降低了企业的生产成本。
2、本申请的清洗方法为自动清洗方法，期间无人工操作，简化了石英管的清洗操作步骤，同时提高了清洗作业的安全性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本发明的正视结构示意图。
图2是本发明的后视结构示意图。
图3是底盘支架座的安装视图。
图4是气动分配阀组的结构示意图。
图5是本发明方法的流程图。
图中标号的含义为：
1为壳体，2为控制系统，3为清洗腔，4为喷淋装置,5为回流孔，6为底盘支架座，7为废水排放口，8为废液排放口，9为纯水接入口，10为氮气接入口，11为支撑板，12为支撑脚，13为支座，14为进液孔，15为酸洗槽，16为碱洗槽，17为回流管道口，18为酸槽接入管口，19为碱槽接入管口，20为废水排放管口，21为废液排放管口，22为气动控制阀，23为排风口，24为控制器，25为触摸屏，26为操作按钮，27为固定环,28为纯水喷枪和氮气喷枪，29为进液接头。
具体实施方式
为了更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。
应当明确，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。
在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
本发明实施例给出一种立式石英管自动清洗机，包括壳体1、控制系统2、清洗腔3、储液槽以及喷淋装置4，控制系统2、清洗腔3、储液槽和喷淋装置4均设置在壳体1内，储液槽设置在清洗腔3的下方，喷淋装置4设置在清洗腔3的顶部。
具体地，壳体1的上部设有纯水接入口9、氮气接入口10，壳体1的下部设有废水排放口7和废液排放口8。
所述清洗腔3为一个立式的内中空腔体结构，清洗腔3上设有密封门，密封门由控制系统进行控制，可将清洗腔与外界进行隔离密封，防止清洗过程中因误操作打开密封门进而对工作人员或周围环境造成损害。
清洗腔3的底部设有用以放置石英管的底盘支架座6和回流孔5。
所述底盘支架座6通过进液管道分别与储液槽、清洗管道、第一氮气管道相连。
本实施例中，所述底盘支架座6包括支撑板11、支撑脚12和支座13，所述支撑脚12固定在支撑板11的底部，支撑板11上设置有多个贯穿其厚度的进液孔14，每个进液孔通过螺纹固定有一个支座13，石英管竖直放置在支座13内，支座13的内截面为倒锥形。底盘支架座6可采用耐酸碱的PVDF、PFA或PP材料制成。
所述支撑板11呈圆盘状，支撑板11上的多个进液孔14沿圆周方向均匀分布。
所述储液槽包括酸洗槽15和碱洗槽16，酸洗槽15上设有酸液进出口，碱洗槽16上设有碱液进出口，酸洗管道通过气动或电动泵、酸洗控制阀与酸液进口相连，碱洗管道上通过气动或电动泵、碱洗控制阀与碱液进口相连。底盘支架座6上的进液孔14与进液管道的一端相连，进液管道的另一端连接在壳体上的进液接头29上，酸洗槽15上的酸洗管道、碱洗槽16上的碱洗管道、清洗管道以及第一氮气管道分别与进液接头29相连。这样，酸液、碱液、纯水或氮气可从底盘支架座的进液孔14喷射入石英管内，沿着石英管的内壁自上方管口溢出，并通过回流孔5进行回流。
所述回流孔5下方安装有气动分配阀组，所述气动分配阀组分别与酸洗槽15、碱洗槽16、壳体上的废水排放口7和废液排放口8相连。
本实施例中，所述气动分配阀组包括回流管道口17，回流管道口17分别通过气动控制阀22与酸槽接入管口18、碱槽接入管口19、废水排放管口20和废液排放管口21相连，。所述回流管道口17与清洗腔底部的回流孔5相连，所述酸槽接入管口18通过酸槽接入管与酸洗槽15相连通，碱槽接入管口19通过碱槽接入管与碱洗槽16相连通，废水排放管口20通过废水排放管与壳体的废水排放口7相连通，废液排放管口21通过废液排放管与壳体的废液排放口8相连通。气动分配阀组可采用耐酸碱的PVDF、PFA或PP材料制成。
所述壳体1内设置有喷淋管道、清洗管道和第一氮气管道。喷淋管道与喷淋装置4的进水口相连，喷淋装置4可选用喷淋球。喷淋管道和清洗管道的进液口均与壳体上的纯水接入口9相连，喷淋管道上设有喷淋控制阀，清洗管道上设有清洗控制阀。第一氮气管道的进气口与壳体上的氮气接入口10相连，第一氮气管道上设有第一氮气控制阀。
壳体1上部还设有排风口23，可将清洗过程中产生的酸雾排除。壳体1内还设有排风管道和第二氮气管道，所述排风口23与排风管道相连，第二氮气管道的一端与氮气接入口相连、另一端接入清洗腔内与清洗腔的内腔室相连通。排风管道上设有排风控制阀，第二氮气管道上设有第二氮气控制阀。喷淋管道和清洗管道上的管阀件采用PP材料，第一氮气管道和第二氮气管道上的管阀件采用的是不锈钢或PFA材料。酸洗管道、碱洗管道、清洗管道、喷淋管道、第一氮气管道、第二氮气管道、排风管道在附图中均未画出。
所述控制系统2包括控制器24、触摸屏25和操作按钮26，触摸屏25、操作按钮26、喷淋控制阀、清洗控制阀、第一氮气控制阀、第二氮气控制阀、排风控制阀、酸洗控制阀、碱洗控制阀均与控制器24电连接。
为了防止石英管倾倒，可在清洗腔3的内壁中部设置用以约束石英管的固定环27。
所述壳体1上还设置有纯水喷枪和氮气喷枪28，可在设备维护时，对清洗腔3内死角区域或可疑液体残留区进行清洁处理，避免手工清洗造成的安全隐患。
采用本申请的立式石英管自动清洗机对石英管进行清洗时，包括以下清洗步骤：
S1，将待清洗的石英管放在清洗腔内的底盘支架座6上，并关闭密封门。
S2，按下操作按钮26，并在触摸屏25上启动立式石英管自动清洗机，控制器24控制打开清洗控制阀和喷淋控制阀对石英管进行预清洗，清洗管道内的纯水从底盘支架座6的进液孔14喷射入石英管内，沿着石英管的内壁自上方管口溢出，对石英管的内壁和外壁进行预清洗，同时喷淋管道内的纯水由清洗腔3顶部的旋转喷淋球4喷出，对清洗腔3和石英管进行无死角冲刷，清洗腔3内的废水经回流孔5、气动分配阀组的废水排放管20回流至自动清洗机外部。
预清洗石英管0-10分钟(优选为1-5分钟)后，控制器24自动关闭清洗控制阀和喷淋控制阀，使预清洗后的废水从回流孔5、废水排放管20回流至石英管自动清洗机外，废水回流0-5分钟(优选为1-3分钟)后，控制器24控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔3、清洗管道、废水排放管20进行吹扫排空。
S3，控制器24控制打开碱洗控制阀和碱洗槽16内的输送泵，使碱洗槽16内的碱液从底盘支架座6的进液孔14喷射入石英管内，沿着石英管的内壁自上方管口溢出，对石英管进行碱液冲洗，从管口溢出的碱液从回流孔5、碱槽接入管19回流至碱洗槽16内，从而对石英管的内壁和外壁进行碱液循环冲洗。
碱洗石英管0-30分钟(优选为10-20分钟)后，关闭碱洗控制阀和碱洗槽内的输送泵，使碱液从回流孔5、碱槽接入管19回流至碱洗槽16，碱液回流0-15分钟(优选为5-10分钟)后，控制器24控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔3、碱槽接入管19进行吹扫排空。
S4，对石英管和清洗腔进行纯水清洗：
控制器24控制打开清洗控制阀和喷淋控制阀对石英管和清洗腔3进行一次冲洗，一次冲洗0-10分钟(优选为1-5分钟)后，关闭清洗控制阀和喷淋控制阀使冲洗后的废水从回流孔5、废水排放管20回流至石英管自动清洗机外，废水回流0-5分钟(优选为1-3分钟)后，控制器24控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔3、清洗管道、喷淋管道、废水排放管20进行吹扫排空；
然后，控制器24控制打开清洗控制阀和喷淋控制阀对石英管和清洗腔3进行二次冲洗，二次冲洗0-20分钟(优选为10-15分钟)后，关闭清洗控制阀和喷淋控制阀使冲洗后的废水从回流孔5、废水排放管20回流至石英管自动清洗机外，废水回流0-15分钟(优选为5-10分钟)后，控制器24控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔3、清洗管道、喷淋管道、废水排放管20进行吹扫排空。
S5，控制器24控制打开酸洗控制阀和酸洗槽15内的输送泵，使酸洗槽15内的酸液从底盘支架座6的进液孔14喷射入石英管内，沿着石英管的内壁自上方管口溢出，对石英管进行酸液冲洗，从管口溢出的酸液从回流孔5、酸槽接入管18回流至酸洗槽15内，从而对石英管的内壁和外壁进行酸液循环冲洗。
酸洗石英管0-40分钟(优选为20-30分钟)后，关闭酸洗控制阀和酸洗槽15内的输送泵，使酸液从回流孔5、酸槽接入管18回流至酸洗槽15，酸液回流0-15分钟(优选为5-10分钟)后，控制器控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔3、酸槽接入管18进行吹扫排空。
S6，重复步骤S4，再次对石英管和清洗腔3进行纯水清洗。
S7，控制器24控制打开喷淋控制阀，喷淋管道内的纯水由清洗腔3顶部的旋转喷淋球4喷出，对清洗腔3和石英管进行无死角冲刷，冲洗0-15分钟(优选为5-10分钟)后，关闭喷淋控制阀，使废水沿回流孔5、废水排放管20回流至石英管自动清洗机外，回流0-5分钟(优选为1-3分钟)后，控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔3、喷淋管道、废水排放管20进行吹扫。
S8，控制器24控制打开第一氮气控制阀和第二氮气控制阀，使第一氮气管道内的氮气从底盘支架座6的进液孔14喷射入石英管内，对石英管内壁进行烘干处理，同时位于清洗腔3顶部的第二氮气管道内的氮气对石英管外壁和清洗腔3进行烘干处理，烘干0-30分钟(优选为15-20分钟)后，关闭第一氮气控制阀和第二氮气控制阀，清洗结束。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种立式石英管自动清洗机，其特征在于，包括壳体(1)、设置在壳体(1)内的控制系统(2)和清洗腔(3)、设置在清洗腔(3)下方的储液槽、以及设置在清洗腔顶部的喷淋装置(4)，
其中，所述清洗腔(3)的底部设有回流孔(5)和用以放置石英管的底盘支架座(6)，所述回流孔(5)下方安装有气动分配阀组，所述气动分配阀组分别与储液槽、壳体上的废水排放口(7)和废液排放口(8)相连，底盘支架座(6)通过进液管道分别与储液槽、清洗管道、第一氮气管道相连，所述喷淋装置(4)的进水口连接有喷淋管道，清洗管道和喷淋管道的进液口均与壳体上的纯水接入口(9)相连，第一氮气管道的进气口与壳体上的氮气接入口(10)相连。
2.根据权利要求1所述的立式石英管自动清洗机，其特征在于，所述底盘支架座(6)包括支撑板(11)、支撑脚(12)和支座(13)，所述支撑脚(12)固定在支撑板(11)的底部，支撑板(11)上设置有多个贯穿其厚度的进液孔(14)，每个进液孔通过螺纹固定有一个用以放置石英管的支座(13)，所述进液孔(14)通过进液管道分别与储液槽、清洗管道、第一氮气管道相连。
3.根据权利要求2所述的立式石英管自动清洗机，其特征在于，所述支座(13)的内孔为倒锥形孔，所述支撑板(11)呈圆盘状，支撑板(11)上的多个进液孔(14)沿圆周方向均匀分布。
4.根据权利要求1所述的立式石英管自动清洗机，其特征在于，
所述储液槽包括酸洗槽(15)和碱洗槽(16)，酸洗槽(15)上设有酸液进出口，碱洗槽(16)上设有碱液进出口，酸洗管道和碱洗管道均与进液口相连；
所述气动分配阀组包括回流管道口(17)，回流管道口(17)分别通过气动控制阀(22)与酸槽接入管口(18)、碱槽接入管口(19)、废水排放管口(20)和废液排放管口(21)相连；
所述酸槽接入管口(18)通过酸槽接入管与酸洗槽相连通，碱槽接入管口(19)通过碱槽接入管与碱洗槽相连通，废水排放管口(20)通过废水排放管与废水排放口(7)相连通，废液排放管口(21)通过废液排放管与废液排放口(8)相连通。
5.根据权利要求4所述的立式石英管自动清洗机，其特征在于，壳体(1)上部还设有排风口(23)，壳体(1)内还设有排风管道和第二氮气管道，所述排风口(23)与排风管道相连，第二氮气管道的一端与氮气接入口(10)相连、另一端接入清洗腔(3)内与清洗腔的内腔室相连通。
6.根据权利要求5所述的立式石英管自动清洗机，其特征在于，
控制系统(2)包括控制器(24)、触摸屏(25)和操作按钮(26)，
喷淋管道上设有喷淋控制阀，清洗管道上设有清洗控制阀；
第一氮气管道上设有第一氮气控制阀，第二氮气管道上设有第二氮气控制阀；
酸洗管道上设有酸洗控制阀，碱洗管道上设有碱洗控制阀；
排风管道上设有排风控制阀，
所述触摸屏(25)、操作按钮(26)、喷淋控制阀、清洗控制阀、第一氮气控制阀、第二氮气控制阀、排风控制阀、酸洗控制阀、碱洗控制阀均与控制器(24)电连接。
7.根据权利要求1所述的立式石英管自动清洗机，其特征在于，所述清洗腔(3)的内壁中部设置有用以约束石英管的固定环(27)。
8.根据权利要求1所述的立式石英管自动清洗机，其特征在于，所述壳体(1)上还设置有纯水喷枪和氮气喷枪(28)。
9.一种权利要求1-8中任一项所述的立式石英管自动清洗机的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，将待清洗的石英管放在清洗腔内的底盘支架座(6)上，并关闭密封门；
S2，按下操作按钮，并在触摸屏(25)上启动立式石英管自动清洗机，控制器(24)控制打开清洗控制阀和喷淋控制阀对石英管进行预清洗，预清洗石英管设定时间后，控制器(24)自动关闭清洗控制阀和喷淋控制阀，使预清洗后的废水从回流孔(5)、废水排放管(20)回流至石英管自动清洗机外，废水回流设定时间后，控制器(24)控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔(3)、清洗管道、废水排放管(20)进行吹扫；
S3，控制器(24)控制打开碱洗控制阀和碱洗槽内的输送泵，对石英管进行碱液冲洗，碱洗石英管设定时间后，关闭碱洗控制阀和碱洗槽(16)内的输送泵，使碱液从回流孔(5)、碱槽接入管(19)回流至碱洗槽(16)，碱液回流设定时间后，控制器(24)控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔(3)、碱槽接入管(19)进行吹扫；
S4，对石英管和清洗腔(3)进行纯水清洗；
S5，控制器控制打开酸洗控制阀和酸洗槽(15)内的输送泵，对石英管进行酸液冲洗，酸洗石英管设定时间后，关闭酸洗控制阀和酸洗槽(15)内的输送泵，使酸液从回流孔(5)、酸槽接入管(18)回流至酸洗槽(15)，酸液回流设定时间后，控制器(24)控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔(3)、酸槽接入管(18)进行吹扫；
S6，重复步骤S4，再次对石英管和清洗腔(3)进行纯水清洗；
S7，控制器(24)控制打开喷淋控制阀，对石英管外壁和清洗腔(3)内壁进行清洁冲洗，冲洗设定时间后，关闭喷淋控制阀，使废水沿回流孔(5)、废水排放管(20)回流至石英管自动清洗机外，回流设定时间，然后控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔(3)、喷淋管道、废水排放管(20)进行吹扫；
S8，控制器(24)控制打开第一氮气控制阀和第二氮气控制阀，对石英管和清洗腔(3)进行干燥，干燥设定时间后，关闭第一氮气控制阀和第二氮气控制阀，清洗结束。
10.根据权利要求9所述的立式石英管自动清洗机的清洗方法，其特征在于，所述步骤S4中对石英管和清洗腔进行纯水清洗的具体步骤为：
S41，控制器(24)控制打开清洗控制阀和喷淋控制阀对石英管和清洗腔(3)进行一次冲洗，一次冲洗0-10分钟后，关闭清洗控制阀和喷淋控制阀使冲洗后的废水从回流孔(5)、废水排放管(20)回流至石英管自动清洗机外，废水回流0-5分钟后，控制器(24)控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔(3)、清洗管道、喷淋管道、废水排放管(20)进行吹扫；
S42，控制器(24)控制打开清洗控制阀和喷淋控制阀对石英管和清洗腔(3)进行二次冲洗，二次冲洗0-20分钟后，关闭清洗控制阀和喷淋控制阀使冲洗后的废水从回流孔(5)、废水排放管(20)回流至石英管自动清洗机外，废水回流0-15分钟后，控制器(24)控制打开第二氮气控制阀，对清洗腔(3)、清洗管道、喷淋管道、废水排放管(20)进行吹扫。
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