CN112845293A - 一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备 - Google Patents

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Abstract

本专利申请涉及半导体加工技术领域，公开了一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，清洗槽用于容纳清洗液，清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，注流组件包括注流主管和注流支管，注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，清洗液由注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动，附着于机械手臂夹手上的试剂不断地受到水流的冲击而从机械手表面分离，从而提升清洗效果，通过喷淋安装组件来调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置，避免喷淋支管上某一点的应力集中从而避免喷淋支管的损坏。

Description

一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备。
背景技术
半导体设备常通过各种晶圆传输用的机械手臂完成的入料、传输、出料等的动作，在湿法工艺中，晶圆需要在多种不同的试剂中浸泡反应，机械手臂夹手批量夹持晶圆或夹持晶圆花篮并在各个工艺模组之间进行输送，机械手臂夹手包括两个板状的夹持部，在夹取过程中，两个夹持部容易沾染试剂，在多个模组之间进行输送时容易造成交叉污染，影响湿法工艺处理后的晶圆产品的工艺品质。
半导体设备包括壳体，在壳体内设置有清洗槽，现有的机械手臂夹手的清洗方式常为将机械手臂夹手伸入清洗槽内进行浸洗，然而这种清洗方式所耗费的时间长，影响工作效率；或是采用喷淋清洗的方式，在清洗槽上设置喷淋组件，喷淋组件包括喷淋支管，喷淋支管上直线排布有若干喷淋孔，喷淋支管的两端分别安装于清洗槽上，然而这种清洗方式下喷淋支管的安装位置固定，无法根据实际安装情况进行调整，使得各个喷淋支管之间位置不对称，会导致某个部位应力集中，从而造成喷淋支管的损坏。
发明内容
本发明意在提供一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，其具有有效清洁机械手臂夹手，避免污染残留的特点。
为达到上述目的，本发明的基本方案如下：
一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，所述清洗槽用于容纳清洗液，所述清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽，所述清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，所述清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，所述喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，所述清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，第一方向为竖直方向，第二方向为垂直于清洗槽侧面的方向，所述喷淋安装组件用于调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置，所述注流组件包括相互连通的注流主管和注流支管，所述注流支管设置于清洁槽的底部，所述注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，当向所述注流主管内注入清洗液时，清洗液由注流支管上的注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动；所述喷气组件用于干燥机械手臂夹手。
进一步地，所述清洗槽包括两个相互独立的槽体，两个所述槽体内分别注有用于清洗两个的夹持部清洗液，所述槽体的底部均设置有注流支管，两个所述槽体均固定连接于连接板上，相比一整个清洁槽，两个槽体的容积更小，能够减少清洗液用量，并且清洗液在较小的槽内流动时，流动阻力小，更容易形成循环流动，以提升清洗效果。
进一步地，所述喷淋组件包括喷淋主管和若干喷淋支管，各个喷淋支管分别与喷淋主管相连通，每一所述槽体上方分别设置有两个喷淋支管，设置于同一槽体上的两个喷淋支管之间形成有使机械手臂夹手的夹持部通过的间隙，各个所述喷淋支管上均直线排布有若干喷淋喷嘴，所述喷淋喷嘴用于对夹持部进行喷淋。
进一步地，每一槽体上均设置有两组喷淋安装组件，所述喷淋安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷淋安装组件分别与喷淋支管的两端相连接，所述喷淋安装组件包括第一安装板和两块第二安装板，两块所述第二安装板分别与第一安装板相连接，所述第一安装板上开设有若干第一腰形孔，所述第一腰形孔用于调整第一安装板在第一方向上的安装位置，所述第二安装板上开设有若干第二腰形孔，所述第二腰形孔用于沿第二方向调整第二安装板在第一安装板上的安装位置，所述第一安装板于第二腰形孔相对应的位置开设由第一孔，所述第一孔和第二腰形孔内贯穿有第一紧固件；所述第一安装板开设有第一安装槽，两根所述喷淋支管的一端均滑动连接于第一安装槽内，且滑动方向平行于第二方向，所述第二安装板上开设有第二安装槽，两根所述喷淋支管分别滑动连接于两块安装板上的第二安装槽内，所述第二安装板上设置有用于固定喷淋支管的第一固定件。
进一步地，所述注流孔开设于注流支管的底部，且设置于同一注流支管上的若干注流孔呈直线分布，当向注流主管中注入清洗液时，清洗液经过注流孔并冲击到槽体的底部，清洗液并分散成多股并分别沿槽体的侧壁向上流动形成循环。
进一步地，所述槽体底部设置有排水组件，所述排水组件用于排出清洗后的清洗液，所述排水组件包括排水主管和若干排水支管，所述排水支管用于连通槽体与排水主管，所述排水主管上设置有用于开启或关闭排水主管的排水阀。
进一步地，所述喷气组件喷气主管和若干喷气支管，每个所述槽体的上方均与两根喷气支管固定连接，设置于同一所述槽体上的两根喷气支管分别用于对机械夹手的两个侧面进行干燥，所述喷气管上固定连接有若干喷气喷嘴，设置于同一所述喷气管上的喷淋喷嘴呈直线分布，喷气喷嘴朝向设置于同一槽体上的另一喷气管所在方向并向下倾斜设置。
进一步地，每一所述槽体上均设置有两组喷气安装组件，所述喷气安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷气安装组件分别与喷气支管的两端相连接，所述喷气安装组件包括第三安装板和两块第四安装板，两块所述第四安装板分别与第三安装板相连接，所述第三安装板上开设有若干第三腰形孔，所述第三腰形孔用于调整第三安装板在第一方向上的安装位置，所述第四安装板上开设有若干第四腰形孔，所述第四腰形孔用于沿第二方向调整第四安装板在第三安装板上的安装位置，所述第三安装板于第四腰形孔相对应的位置开设由第二孔，所述第二孔和第四腰形孔内贯穿有第二紧固件,所述第三安装板开设有第三安装槽，两根所述喷气支管的一端均滑动连接于第三安装槽内，且滑动方向平行于第二方向，所述第四安装板上开设有第四安装槽，两根所述喷气支管分别滑动连接于两块安装板上的第四安装槽内，所述第四安装板上设置有用于固定喷气支管的第二固定件。
进一步地，所述溢流沟槽均匀分布于槽体的槽口处，所述溢流沟槽的截面呈V字形，当液面高于溢流沟槽的槽口时，清洗液从溢流沟槽的槽口处溢出，能够避免流出的清洗液回流，通过溢流能够增强槽体内的清洗液循环，从而提升清洗效果。
进一步地，所述连接板上开设有若干第三腰形孔，所述第三腰形孔用于调整连接板的安装位置，若干所述第三腰形孔分别设置于两个槽体相互背离的两侧，所述连接板的底部形成有两个相对设置的顶梁，所述顶梁用于安装定位，两个所述顶梁之间形成有加强筋，第三腰形孔在长度方向上存在一定可调整的范围，便于安装。
与现有技术相比本方案的有益效果是：
机械手臂夹手伸入清洗槽内的清洗液中时，相比于浸洗，附着于机械手臂夹手上的试剂不断地受到水流的冲击而从机械手表面分离，从而提升清洗效果；注流组件带动清洗槽内的清洗液循环流动，携带有试剂的清洗液随着清洗液的流动离开夹持部表面，同时带动新鲜的清洗液流经夹持部表面，避免使用后的清洗液再次污染夹持部；清洗槽内清洗后的清洗液从溢流沟槽处排出，同时注入清洗液，在清洁的过程中持续保持清洗液的清洁度，并且通过溢流能够增强槽体内清洗液的循环流动，从而增强清洗效果。通过喷淋安装组件来调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置，便于根据实际安装情况来进行调整，将各个喷淋支管调整到对称位置，避免喷淋支管某一安装点上的应力集中，从而避免喷淋支管的损坏。
附图说明
图1为实施例的整体结构示意图；
图2为实施例的喷淋安装组件的结构示意图；
图3为实施例的剖面结构示意图；
图4为实施例中清洗槽内清洗液流动方向的示意图；
图5为实施例中喷淋支管、喷气支管与夹持部之间相对位置的结构示意图；
图6为实施例的喷气安装组件的结构示意图。
说明书附图中的附图标记包括：
1、槽体；11、溢流沟槽；12、排水孔；2、连接板；21、第三腰形孔；22、顶梁；23、加强筋；3、喷淋主管；31、喷淋支管；32、第一安装板；321、第一腰形孔；322、第一孔；323、第一安装槽；33、第二安装板；331、第二腰形孔；332、第二安装槽；34、第一紧固件；35、第一固定件；4、注流主管；41、注流支管；42、注流孔；5、排水主管；51、排水支管；52、排水阀；7、喷气主管；71、喷气支管；72、第三安装板；721、第三腰形孔；722、第二孔；723、第三安装槽；73、第四安装板；731、第四腰形孔；732、第四安装槽；74、第二紧固件；75、第二固定件；81、第一冲击液柱；82、第二冲击液柱；83、第三冲击液柱；9、夹持部。
具体实施方式
下面结合说明书附图，并通过具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
实施例：
一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，如图1所示，包括清洗槽，清洗槽用于容纳清洗液，清洗液采用纯水，清洗槽内形成有使机械手臂夹手伸入的清洗空间，清洗槽上设置有用于对机械手臂夹手喷淋清洗液的喷淋组件，清洗槽内设置有注流组件,清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件和用于安装喷气组件的喷气安装组件，喷淋安装组件用于调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置,喷气安装组件用于调整喷气组件在第一方向和第二方向上的安装位置，第一方向为竖直方向，第二方向为垂直于清洗槽侧面的方向。清洗槽包括两个相互独立的槽体1，槽体1的材料采用透明的PVC材料，两个槽体1内分别注有用于清洗两个的夹持部9清洗液，槽体1均固定连接于连接板2上，槽体1的槽口处均匀分布有若干使清洗液溢出的溢流沟槽11，溢流沟槽11的截面呈V字形。
如图1和图2所示，喷淋组件包括喷淋主管3和若干喷淋支管31，各个喷淋支管31相互平行设置并分别与喷淋主管3相连通，每一槽体1上均设置有两组喷淋安装组件，喷淋安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷淋安装组件分别与喷淋支管31的两端相连接，喷淋安装组件包括第一安装板32和两块第二安装板33，两块第二安装板33分别与第一安装板32相连接，第一安装板32上开设有若干第一腰形孔321，第一腰形孔321用于调整第一安装板32在第一方向上的安装位置。第二安装板33上开设有若干第二腰形孔331，第二腰形孔331用于沿第二方向调整第二安装板33在第一安装板32上的安装位置，第一安装板32于第二腰形孔331相对应的位置开设由第一孔322，第一孔322和第二腰形孔331内贯穿有第一紧固。第一安装板32开设有第一安装槽323，两根喷淋支管31的一端均滑动连接于第一安装槽323内，且滑动方向平行于第二方向，第二安装板33上开设有第二安装槽332，两根喷淋支管31分别设置于两块安装板上的第二安装槽332内，第二安装板33上设置有用于固定喷淋支管31的第一固定件35，第一紧固件34贯穿第二安装板33的侧壁并与喷淋支管31的侧面相抵。
如图1所示，设置于同一槽体1上的两个喷淋支管31之间形成有使夹持部9通过的间隙，各个喷淋支管31上均直线排布有若干喷淋喷嘴(图中未示出)，喷淋喷嘴用于对夹持部9进行喷淋设置于同一喷淋支管31上的喷淋喷嘴呈矩阵排列分布。通过旋转喷淋支管31可以更改喷淋喷嘴的位置，当喷淋喷嘴的轴线垂直于夹持部9的表面时，喷淋喷嘴喷出的清洗液对夹持部9表面的垂直冲击力最大，此时对夹持部9表面的清洁效果最好；当喷淋喷嘴的轴线不垂直于夹持部9的表面时，喷淋喷嘴喷出的清洗液对夹持部9的冲击力可以分解为垂直于夹持部9表面的分量和平行于夹持部9表面的分量，该垂直方向的分量小于垂直状态时的垂直冲击力，相应的对夹持部9表面的清洁效果也小于喷淋喷嘴垂直于夹持部9设置时的清洁效果。
如图5所示，夹持部9的右侧面为夹持面，呈竖直状态，左侧面则为与水平面的倾角为七十五度的倾斜平面，左侧喷淋支管31上的喷淋喷嘴所喷射出的清洗液的喷射方向垂直于夹持部9的左侧面，右侧喷淋支管31上的喷淋喷嘴所喷射出的清洗液的喷射方向垂直垂直于夹持部9的右侧面，清洗液喷射所产生的冲击力可以有效地冲击到附着于夹持部9表面的试剂上，减小凝固在夹持部9表面的试剂的附着力，并配合后续夹持部在槽体1的浸洗而将试剂完全从夹持部表面分离开来，以实现对机械夹手的夹持部9的两侧面的清洁效果最佳。
如1图所示，连接板2上开设有若干第三腰形孔21，第三腰形孔21用于调整连接板2的安装位置，若干第三腰形孔21分别设置于两个槽体1相互背离的两侧，连接板2的底部形成有两个相对设置的顶梁22，顶梁22用于安装定位，两个顶梁22之间形成有加强筋23。
如图1和图3所示，注流组件包括注流主管4和两根注流支管41，两根注流支管41与注流主管4相连通，注流支管41设置于槽体1的底部，注流支管41的一端贯穿槽体1的侧壁，另一端与槽体1的内侧壁转动连接用于调整安装角度。注流支管41的底部上开设有直线设置的注流孔42，注流孔42用于向槽体1内注入清洗液。
如图4所示，注流孔42设置为为两行，两行注流孔42分别到与其对应的槽体内壁的距离相等，且注流孔42的轴线均与水平面的夹角呈四十五度，当向注流主管4内注入清洗液时，清洗液从注流孔42喷出形成第一冲击液柱81，第一冲击液柱81沿斜向下四十五度的方向冲击到槽体1的底面并反弹形成第二冲击液柱82，第二冲击液柱82冲击到槽体1的侧壁上形成第三冲击液柱83，注流支管41两侧的第三冲击液柱83包括竖直方向上的运动分量和水平方向相向的运动分量，带动液面处的清洗液上下波动且向槽口中间位置汇聚形成回流，第一冲击液柱81，第二冲击液柱82，第三冲击液柱83和回流的流动强度依次递减。多股冲击液柱持续在槽体1内对槽体1内的清洗液进行循环扰动，从而提高槽体1内的清洗液的液体张力，从而提高对夹持部9的清洗效果，使附着于夹持部9上的试剂能够在持续的清洗液的扰动作用下与夹持部9相互脱离开来。
如图3所示，槽体1的底部设置有排水组件，排水组件用于排出清洗后的清洗液，排水组件包括排水主管5和排水支管51，槽体1的底部开设有排水孔12，排水孔12与排水支管51固定连接，排水支管51穿过连接板2并与排水主管5相连通，排水主管5上设置有用于开启或关闭排水主管5的排水阀52。
如图1和图6所示，喷淋组件的上方设置有喷气组件，喷气组件用于对夹持部9喷射气体以使液体脱离夹持部9，喷气组件喷气主管7和若干喷气支管71，每一槽体1上均设置有两组喷气安装组件，喷气安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷气安装组件分别与喷气支管71的两端相连接，喷气安装组件包括第三安装板72和两块第四安装板73，两块第四安装板73分别与第三安装板72相连接，第三安装板72上开设有若干第三腰形孔721，第三腰形孔721用于调整第三安装板72在第一方向上的安装位置，第四安装板73上开设有若干第四腰形孔731，第四腰形孔731用于沿第二方向调整第四安装板73在第三安装板72上的安装位置，第三安装板72于第四腰形孔731相对应的位置开设由第二孔722，第二孔722和第四腰形孔731内贯穿有第二紧固件74；第三安装板72开设有第一安装槽323，两根喷气支管71的一端均滑动连接于第一安装槽323内，且滑动方向平行于第二方向，第四安装板73上开设有第二安装槽332，两根喷气支管71分别设置于两块安装板上的第二安装槽332内，第四安装板73上设置有用于固定喷气支管71的第二固定件75，第二紧固件74贯穿第四安装板73的侧壁并与喷气支管71的侧面相抵。安装于同一槽体1上的两根喷气支管71分别用于对机械夹手的两个侧面进行干燥，喷气管上固定连接有若干喷气喷嘴(图中未示出)，设置于同一喷气管上的喷淋喷嘴呈直线分布，为了向下喷离液体，喷气喷嘴朝向设置于同一槽体1上的另一喷气管所在方向并向下倾斜设置，能够减少被喷离液体的飞溅，避免污染其他设备。
如图5所示，左侧喷气支管71上的喷气喷嘴的轴线与水平面的夹角为四十五度，其与夹持部9的左侧面的夹角为三十度，右侧喷气支管71上的喷气喷嘴所喷射气体的喷射方向与水平面的夹角为六十度，其与夹持部9的右侧面的夹角为三十度。此时对夹持部9两侧的干燥能力相同，并且喷气喷嘴所喷射气体的喷射方向与夹持部9的侧面呈三十度夹角时，喷气的冲击力可以分解为垂直于夹持部9表面的分量和平行于夹持表表面斜向下的分量，能够有效地吹落夹持部9表面附着的液滴，起到干燥的作用。
本方案具体实施方式如下：
安装喷淋组件时，用螺钉穿过第一安装板32上的第一腰形孔321并将其连接于半导体设备壳体上，将两根喷淋支管31的两端分别穿过两个第一安装板32上的第一安装槽323，并在每一喷淋支管31的两端上均安装上第二安装板33，使喷淋支管31伸入第二安装槽332内，在第二腰形孔331和第一孔322内旋上第一紧固件34使喷淋支管31的位置固定，旋转喷淋支管31使喷淋支管31上的喷淋喷嘴旋转至合适位置，在第二安装板33上旋上第一固定件35固定喷淋支管31。安装完毕后，调整喷淋主管3两侧的喷淋支管31的位置，旋松第一腰形孔321内的螺钉可以上下调节喷淋管的位置，旋松第二腰形孔331内的第一紧固件34可以沿垂直于槽体1侧壁的方向调节喷淋支管31的位置，调整至各个喷淋支管31水平且相互平行，各个喷淋支管31到对应槽体1的距离相等。同理安装并调节喷气安装组件的位置。
使用时关闭排水阀52，向注流主管4内注入清洗液，清洗液经过注流支管41后从注流孔42喷出形成第一冲击液柱81，第一冲击液柱81沿斜向下四十五度的方向冲击到槽体1的底面并反弹形成第二冲击液柱82，第二冲击液柱82冲击到槽体1的侧壁上形成第三冲击液柱83，注流支管41两侧的第三冲击液柱83包括竖直方向上的运动分量和水平方向相向的运动分量，带动液面处的清洗液上下波动并由槽面的中间位置向下汇聚形成回流，对槽体1内的清洗液持续进行循环扰动。夹持部9穿过两根喷淋支管31之间的间隙，喷淋喷嘴对夹持部9的外侧面喷淋清洗液，带走夹持部9表面的部分试剂，夹持部9持续向下移动，从夹持部9开始接触清洗液至夹持部9完全进入槽体1内的液面的过程中，中间部分清洗液的流动方向与夹持部9的运动方向相同，夹持部9的移动促进清洗液的循环，夹持部9向上移动的过程中，中间部分清洗液的流动方向与夹持部9的运动方向相反，增大该部分清洗液对夹持部9的冲击，以增强清洁效果。在以上过程中，当槽体1内的液面高于溢流沟槽11的槽口位置时，槽体1内的清洗液溢出，再次向注流主管4内注入清洗液，增强槽体1内液体的循环流动。喷淋喷嘴持续对夹持部9进行喷淋，喷淋喷嘴上方的喷气喷嘴对夹持部9喷气以去除夹持部9上携带的液滴，夹持部9重复上下移动，实现清洁夹持部9的作用，使用完毕后，打开排水阀52，使用后的清洗液通过排水支管51汇聚到排水主管5中并经排水支管51排出。
以上所述的仅是本发明的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本发明的保护范围，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。

Claims (10)

1.一种自动化晶圆夹手喷淋清洗的清洗槽设备，包括清洗槽，所述清洗槽用于容纳清洗液，其特征在于：所述清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽(11)，所述清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，所述清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，
所述喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，所述清洗槽上设置有若干用于安装喷淋组件的喷淋安装组件，第一方向为竖直方向，第二方向为垂直于清洗槽侧面的方向，所述喷淋安装组件用于调整喷淋组件在第一方向和第二方向上的安装位置；
所述注流组件包括相互连通的注流主管(4)和注流支管(41)，所述注流支管(41)设置于清洁槽的底部，所述注流支管(41)的侧壁上开设有若干注流孔(42)，当向所述注流主管(4)内注入清洗液时，清洗液由注流支管(41)上的注流孔(42)进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动；
所述喷气组件用于干燥机械手臂夹手。
2.根据权利要求1所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：所述清洗槽包括两个相互独立的槽体(1)，两个所述槽体(1)内分别注有用于清洗机械手臂夹手的两个夹持部(9)的清洗液，所述槽体(1)的底部均设置有注流支管(41)，两个所述槽体(1)均固定连接于连接板(2)上。
3.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：所述喷淋组件包括喷淋主管(3)和若干喷淋支管(31)，各个喷淋支管(31)分别与喷淋主管(3)相连通，每一所述槽体(1)上方分别设置有两个喷淋支管(31)，设置于同一槽体(1)上的两个喷淋支管(31)之间形成有使机械手臂夹手的夹持部(9)通过的间隙，各个所述喷淋支管(31)上均直线排布有若干喷淋喷嘴，所述喷淋喷嘴用于对夹持部(9)进行喷淋。
4.根据权利要求3所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：每一槽体(1)上均设置有两组喷淋安装组件，所述喷淋安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷淋安装组件分别与喷淋支管(31)的两端相连接，所述喷淋安装组件包括第一安装板(32)和两块第二安装板(33)，两块所述第二安装板(33)分别与第一安装板(32)相连接，所述第一安装板(32)上开设有若干第一腰形孔(321)，所述第一腰形孔(321)用于调整第一安装板(32)在第一方向上的安装位置，
所述第二安装板(33)上开设有若干第二腰形孔(331)，所述第二腰形孔(331)用于沿第二方向调整第二安装板(33)在第一安装板(32)上的安装位置，所述第一安装板(32)于第二腰形孔(331)相对应的位置开设由第一孔(322)，所述第一孔(322)和第二腰形孔(331)内贯穿有第一紧固件(34)；
所述第一安装板(32)开设有第一安装槽(323)，两根所述喷淋支管(31)的一端均滑动连接于第一安装槽(323)内，且滑动方向平行于第二方向，所述第二安装板(33)上开设有第二安装槽(332)，两根所述喷淋支管(31)分别滑动连接于两块安装板上的第二安装槽(332)内，所述第二安装板(33)上设置有用于固定喷淋支管(31)的第一固定件(35)。
5.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：所述注流孔(42)开设于注流支管(41)的底部，且设置于同一注流支管(41)上的若干注流孔(42)呈直线分布，当向注流主管(4)中注入清洗液时，清洗液经过注流孔(42)并冲击到槽体(1)的底部，分散成多股并分别沿槽体(1)的侧壁向上流动形成循环。
6.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：所述槽体(1)底部设置有排水组件，所述排水组件用于排出清洗后的清洗液，所述排水组件包括排水主管(5)和若干排水支管(51)，所述排水支管(51)用于连通槽体(1)与排水主管(5)，所述排水主管(5)上设置有用于开启或关闭排水主管(5)的排水阀(52)。
7.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：所述喷气组件喷气主管(7)和若干喷气支管(71)，每个所述槽体(1)的上方均与两根喷气支管(71)固定连接，设置于同一所述槽体(1)上的两根喷气支管(71)分别用于对机械夹手的两个侧面进行干燥，所述喷气管上固定连接有若干喷气喷嘴，设置于同一所述喷气管上的喷淋喷嘴呈直线分布，喷气喷嘴朝向设置于同一槽体(1)上的另一喷气管所在方向并向下倾斜设置。
8.根据权利要求7所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：每一所述槽体(1)上均设置有两组喷气安装组件，所述喷气安装组件安装于半导体设备壳体的内壁上，两组喷气安装组件分别与喷气支管(71)的两端相连接，所述喷气安装组件包括第三安装板(72)和两块第四安装板(73)，两块所述第四安装板(73)分别与第三安装板(72)相连接，所述第三安装板(72)上开设有若干第三腰形孔(721)，所述第三腰形孔(721)用于调整第三安装板(72)在第一方向上的安装位置，
所述第四安装板(73)上开设有若干第四腰形孔(371)，所述第四腰形孔(371)用于沿第二方向调整第四安装板(73)在第三安装板(72)上的安装位置，所述第三安装板(72)于第四腰形孔(371)相对应的位置开设由第二孔(722)，所述第二孔(722)和第四腰形孔(371)内贯穿有第二紧固件(74)；
所述第三安装板(72)开设有第三安装槽(723)，两根所述喷气支管(71)的一端均滑动连接于第三安装槽(723)内，且滑动方向平行于第二方向，所述第四安装板(73)上开设有第四安装槽(372)，两根所述喷气支管(71)分别滑动连接于两块安装板上的第四安装槽(372)内，所述第四安装板(73)上设置有用于固定喷气支管(71)的第二固定件(75)。
9.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：所述溢流沟槽(11)均匀分布于槽体(1)的槽口处，所述溢流沟槽(11)的截面呈V字形。
10.根据权利要求2所述的自动化晶圆夹手有效喷淋分离的清洗槽配置，其特征在于：所述连接板(2)上开设有若干第三腰形孔(21)，所述第三腰形孔(21)用于调整连接板(2)的安装位置，若干所述第三腰形孔(21)分别设置于两个槽体(1)相互背离的两侧，所述连接板(2)的底部形成有两个相对设置的顶梁(22)，所述顶梁(22)用于安装定位，两个所述顶梁(22)之间形成有加强筋(23)。
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