CN204035110U - 一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，包括依次布置的酸液罐、酸洗池、碱液池、碱液罐以及清洗液罐，酸液罐与酸洗池连接，酸洗池的顶部设有酸液板，酸液板的对内朝向面设有若干出酸口；碱液罐与碱液池连接，碱液池的顶部设有碱液板，碱液板的对内朝向面设有若干出碱口，酸洗池与碱液池的顶部设有顶盖，顶盖的内部为空腔结构，顶盖的对内朝向面设有若干清洗口，顶盖与清洗液罐连通。本实用新型既能实现酸洗功能，又能实现碱洗功能，且更具有清洗液清洗功能，大大提高了多晶硅的处理效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种碱化酸化过滤清洗装置，特别涉及一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置。
背景技术
现有技术中，如专利CN201120244746.9公开了一种多功能铝件清洗池。为长方体形清洗池，所述长方体形清洗池一端侧壁外凸有半圆柱体，并且与半圆柱体所处侧壁相邻的长方体形清洗池侧壁宽度不小于半圆柱体的半径。该清洗池不具有酸洗与碱洗功能，也不具有清洗功能，处理效果差。
发明内容
本实用新型的主要目的在于提供一种既能实现酸洗功能，又能实现碱洗功能，且更具有清洗液清洗功能，大大提高了多晶硅的处理效果的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，包括依次布置的酸液罐、酸洗池、碱液池、碱液罐以及清洗液罐，酸液罐与酸洗池连接，酸液罐与酸洗池之间设有第一单向阀，酸洗池内设有第一回收槽，第一回收槽的底部中间位置向下凹陷，第一回收槽的中间位置设有第一回收口，第一回收口与酸洗池的内部连通，第一回收槽的顶部两侧设有第一支撑轮，第一支撑轮上设有第一载物板，酸洗池的顶部设有酸液板，酸液板的对内朝向面设有若干出酸口，出酸口呈等间距布置，出酸口与酸洗池的内部连通，酸液板与酸液罐通过酸液管道连通；碱液罐与碱液池连接，碱液罐与碱液池之间设有第二单向阀，碱液池内设有第二回收槽，第二回收槽的底部中间位置向下凹陷，第二回收槽的中间位置设有第二回收口，第二回收口与碱液池的内部连通，第二回收槽的顶部两侧设有第二支撑轮，第二支撑轮上设有第二载物板，碱液池的顶部设有碱液板，碱液板的对内朝向面设有若干出碱口，出碱口呈等间距布置，出碱口与碱液池的内部连通，碱液板与碱液罐通过碱液管道连通；第一载物板为镂空结构，第二载物板为镂空结构，酸洗池与碱液池的顶部设有顶盖，顶盖的内部为空腔结构，顶盖的对内朝向面设有若干清洗口，顶盖与清洗液罐连通。
进一步地，所述顶盖与清洗液罐通过横向输液管和与横向输液管连接的竖向输液管连通。
进一步地，所述竖向输液管与清洗液罐的连接位置设有第三控制阀。
进一步地，所述酸液管道设有第一控制阀。
进一步地，所述碱液管道设有第二控制阀。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：由于酸液罐与酸洗池连接，酸液罐与酸洗池之间设有第一单向阀，酸洗池内设有第一回收槽，第一回收槽的底部中间位置向下凹陷，第一回收槽的中间位置设有第一回收口，第一回收口与酸洗池的内部连通，第一回收槽的顶部两侧设有第一支撑轮，第一支撑轮上设有第一载物板，酸洗池的顶部设有酸液板，酸液板的对内朝向面设有若干出酸口，出酸口呈等间距布置，出酸口与酸洗池的内部连通，酸液板与酸液罐通过酸液管道连通；碱液罐与碱液池连接，碱液罐与碱液池之间设有第二单向阀，碱液池内设有第二回收槽，第二回收槽的底部中间位置向下凹陷，第二回收槽的中间位置设有第二回收口，第二回收口与碱液池的内部连通，第二回收槽的顶部两侧设有第二支撑轮，第二支撑轮上设有第二载物板，碱液池的顶部设有碱液板，碱液板的对内朝向面设有若干出碱口，出碱口呈等间距布置，出碱口与碱液池的内部连通，碱液板与碱液罐通过碱液管道连通；第一载物板为镂空结构，第二载物板为镂空结构，酸洗池与碱液池的顶部设有顶盖，顶盖的内部为空腔结构，顶盖的对内朝向面设有若干清洗口，顶盖与清洗液罐连通，所以将待处理的多晶硅放置在第一载物板上，酸液罐给酸液板提供酸液，酸液从出酸口喷下，给多晶硅实现酸洗，酸液再从第一回收槽回收，从第一回收口流下，通过第一单向阀回收到酸液罐内；将酸洗后的多晶硅放置在第二载物板上，碱液罐提供碱液给碱液板，碱液板提供碱液并通过出碱口喷向酸洗后的多晶硅，实现碱洗功能，碱液再从第二回收槽与第二回收口流下，并通过第二单向阀输送入碱液罐；清洗液罐提供清洗液给顶盖，并通过清洗口给酸洗与碱洗后的多晶硅清洗，大大提高了多晶硅的处理效果。
【附图说明】
图1为本实用新型多晶硅碱化酸化过滤清洗装置的结构示意图。
【具体实施方式】
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1所示，一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，包括依次布置的酸液罐1、酸洗池2、碱液池12、碱液罐15以及清洗液罐28，酸液罐1与酸洗池2连接，酸液罐1与酸洗池2之间设有第一单向阀11，酸洗池2内设有第一回收槽3，第一回收槽3的底部中间位置向下凹陷，第一回收槽3的中间位置设有第一回收口4，第一回收口4与酸洗池2的内部连通，第一回收槽3的顶部两侧设有第一支撑轮5，第一支撑轮5上设有第一载物板6，酸洗池2的顶部设有酸液板7，酸液板7的对内朝向面设有若干出酸口8，出酸口8呈等间距布置，出酸口8与酸洗池2的内部连通，酸液板7与酸液罐1通过酸液管道9连通；碱液罐15与碱液池12连接，碱液罐15与碱液池12之间设有第二单向阀16，碱液池12内设有第二回收槽13，第二回收槽13的底部中间位置向下凹陷，第二回收槽13的中间位置设有第二回收口14，第二回收口14与碱液池12的内部连通，第二回收槽13的顶部两侧设有第二支撑轮17，第二支撑轮17上设有第二载物板18，碱液池12的顶部设有碱液板19，碱液板19的对内朝向面设有若干出碱口20，出碱口20呈等间距布置，出碱口20与碱液池12的内部连通，碱液板19与碱液罐15通过碱液管道21连通；第一载物板6为镂空结构，第二载物板18为镂空结构，酸洗池2与碱液池12的顶部设有顶盖23，顶盖23的内部为空腔结构，顶盖23的对内朝向面设有若干清洗口24，顶盖23与清洗液罐28连通；顶盖23与清洗液罐28通过横向输液管25和与横向输液管25连接的竖向输液管26连通，竖向输液管26与清洗液罐28的连接位置设有第三控制阀27，酸液管道9设有第一控制阀10，碱液管道21设有第二控制阀22。
本实用新型多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，将待处理的多晶硅放置在第一载物板6上，酸液罐1给酸液板7提供酸液，酸液从出酸口8喷下，给多晶硅实现酸洗，酸液再从第一回收槽3回收，从第一回收口4流下，通过第一单向阀11回收到酸液罐1内；将酸洗后的多晶硅放置在第二载物板18上，碱液罐15提供碱液给碱液板19，碱液板19提供碱液并通过出碱口20喷向酸洗后的多晶硅，实现碱洗功能，碱液再从第二回收槽13与第二回收口14流下，并通过第二单向阀16输送入碱液罐15；清洗液罐28提供清洗液给顶盖23，并通过清洗口24给酸洗与碱洗后的多晶硅清洗，大大提高了多晶硅的处理效果。
其中，顶盖23与清洗液罐28通过横向输液管25和与横向输液管25连接的竖向输液管26连通，竖向输液管26与清洗液罐28的连接位置设有第三控制阀27，所以输送清洗液更加方便。
其中，酸液管道9设有第一控制阀10，所以可以控制酸液的流动。
其中，碱液管道21设有第二控制阀22，所以可以控制碱液的流动。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定 。
Claims (5)
1.一种多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，包括依次布置的酸液罐、酸洗池、碱液池、碱液罐以及清洗液罐，其特征在于：酸液罐与酸洗池连接，酸液罐与酸洗池之间设有第一单向阀，酸洗池内设有第一回收槽，第一回收槽的底部中间位置向下凹陷，第一回收槽的中间位置设有第一回收口，第一回收口与酸洗池的内部连通，第一回收槽的顶部两侧设有第一支撑轮，第一支撑轮上设有第一载物板，酸洗池的顶部设有酸液板，酸液板的对内朝向面设有若干出酸口，出酸口呈等间距布置，出酸口与酸洗池的内部连通，酸液板与酸液罐通过酸液管道连通；碱液罐与碱液池连接，碱液罐与碱液池之间设有第二单向阀，碱液池内设有第二回收槽，第二回收槽的底部中间位置向下凹陷，第二回收槽的中间位置设有第二回收口，第二回收口与碱液池的内部连通，第二回收槽的顶部两侧设有第二支撑轮，第二支撑轮上设有第二载物板，碱液池的顶部设有碱液板，碱液板的对内朝向面设有若干出碱口，出碱口呈等间距布置，出碱口与碱液池的内部连通，碱液板与碱液罐通过碱液管道连通；第一载物板为镂空结构，第二载物板为镂空结构，酸洗池与碱液池的顶部设有顶盖，顶盖的内部为空腔结构，顶盖的对内朝向面设有若干清洗口，顶盖与清洗液罐连通。
2.根据权利要求1所述的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，其特征在于：所述顶盖与清洗液罐通过横向输液管和与横向输液管连接的竖向输液管连通。
3.根据权利要求2所述的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，其特征在于：所述竖向输液管与清洗液罐的连接位置设有第三控制阀。
4. 根据权利要求1所述的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，其特征在于：所述酸液管道设有第一控制阀。
5.根据权利要求1所述的多晶硅碱化酸化过滤清洗装置，其特征在于：所述碱液管道设有第二控制阀。
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| CN110465523A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-11-19 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 | 一种立式石英管自动清洗机及清洗方法 |
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